JPH0990360A - 平板型マイクロレンズアレイの製造方法及びこの平板型マイクロレンズアレイを用いた液晶表示素子の製造方法 - Google Patents

平板型マイクロレンズアレイの製造方法及びこの平板型マイクロレンズアレイを用いた液晶表示素子の製造方法

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JPH0990360A
JPH0990360A JP24428895A JP24428895A JPH0990360A JP H0990360 A JPH0990360 A JP H0990360A JP 24428895 A JP24428895 A JP 24428895A JP 24428895 A JP24428895 A JP 24428895A JP H0990360 A JPH0990360 A JP H0990360A
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microlens array
index resin
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plate type
refractive
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Kenjiro Hamanaka
賢二郎 浜中
Atsunori Matsuda
厚範 松田
Satoshi Taniguchi
敏 谷口
Daisuke Arai
大介 新井
Takashi Kishimoto
隆 岸本
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 寸法精度に優れた平板型マイクロレンズアレ
イを効率よく製造する。 【解決手段】 ガラス基板1は一面側に平板型マイクロ
レンズアレイの1ピース分に相当する凹部群2を複数個
規則的に画成している。この凹部群2は矩形状の溝部3
にて囲まれ、内部にはレンズ部となる平面視四角形状の
凹部4が稠密状態で多数形成されている。また、凹部群
2の表面にはレンズ部となるとともに接着剤としても作
用する高屈折率樹脂5が塗布されている。この高屈折率
樹脂5の余剰分は溝部3に流れ込み、溝部3の外側領域
には出ない。また、仮に溝部3よりも外側領域に高屈折
率樹脂5が流れてもこの領域には撥水剤6が塗布されて
いるので、溝部3よりも外側領域は高屈折率樹脂5が塗
布されない部分7となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス基板等の表面
に形成した多数の凹部に高屈折率樹脂を充填してなる平
板型マイクロレンズアレイの製造方法とこの平板型マイ
クロレンズアレイを用いた液晶表示素子の製造方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来の液晶表示素子の構造を図11に示
す。液晶表示素子はガラス基板101,102間にスペ
ーサ103にて隙間を形成し、この隙間に液晶104を
充填し、ガラス基板101の液晶104側の面には対向
電極101aを形成し、ガラス基板102の液晶104
側の面には透明画素電極102aを形成し、更に透明画
素電極102a以外の部分は配線やTFT(薄膜トラン
ジスタ)等の照射光が透過しない部分となっている。
【0003】そして、ガラス基板101の外側面には平
板型マイクロレンズアレイ105を接合し、レンズ部1
06で照射光を画素電極(画素開口部)102aに集光
せしめてスクリーンに投影される像を明るくするように
している。ここで、レンズ部106は平板型マイクロレ
ンズアレイ105を構成するガラス基板にエッチングに
て凹部を形成し、この凹部に高屈折率樹脂を充填するこ
とで形成する方法が一例として挙げられる。
【0004】上記の平板型マイクロレンズアレイを製造
する方法としては、図12(a)に示すように、平板型
マイクロレンズアレイの1ピースの大きさに切断された
ガラス基板110の一面側にレンズ部となる凹部111
を形成し、次いで凹部111を形成したガラス基板11
0の一面側に高屈折率樹脂112を塗布し、凹部111
に高屈折率樹脂112を充填してレンズ部を形成する方
法がある。
【0005】また、図13(a)に示すように、平板型
マイクロレンズアレイの複数ピース分の大きさのガラス
基板110の一面側にレンズ部となる凹部111を各ピ
ース毎に形成し、次いで凹部111を形成したガラス基
板110の一面側に高屈折率樹脂112を塗布し、凹部
111に高屈折率樹脂112を充填してレンズ部を形成
した後、1ピースの大きさに切断する方法がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】平板型マイクロレンズ
アレイの1ピースの大きさに切断されたガラス基板11
0に高屈折率樹脂112を塗布する場合には、図12
(b)に示すように、余分な高屈折率樹脂112がガラ
ス基板110から食み出した状態で硬化したり、裏面側
に高屈折率樹脂112が廻り込むことがある。
【0007】このように、高屈折率樹脂112がガラス
基板110から食み出した状態で硬化すると、平板型マ
イクロレンズアレイ自体の寸法が大きくなり、他の部材
に接合したり、組み付ける際の寸法が合わなくなる不利
がある。また、裏面側に高屈折率樹脂112が廻り込む
と、平板型マイクロレンズアレイの性能面で問題が生じ
る。
【0008】一方、大寸法のガラス基板から複数個の平
板型マイクロレンズアレイを切り出す方法にあっては、
高屈折率樹脂112はガラス基板110の一面全体に塗
布され皮膜となっているので、ガラス基板110を各平
板型マイクロレンズアレイ毎に切断すると、図13
(b)に示すように、ガラス基板110の表面に形成さ
れている高屈折率樹脂112の膜が剥離してしまう。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明に係る平板型マイクロレンズアレイの製造方法
は、ガラス基板等の透明基板の一面側に1ピース分のマ
イクロレンズアレイに相当する凹部群を形成し、この凹
部群の外側に凹部群を囲むように溝部を形成するか樹脂
をはじく撥水部を形成し、次いで透明基板の一面側に高
屈折率樹脂を塗布することで前記凹部群に高屈折率樹脂
を充填するとともに余分な高屈折率樹脂を前記溝部で受
け、或いは撥水部に高屈折率樹脂が付着しないように
し、この後、高屈折率樹脂を硬化させて両面とも平坦な
透明基板とした。
【0010】また、本発明に係る平板型マイクロレンズ
アレイの製造方法のうち、1枚の基板から多数の平板型
マイクロレンズアレイを切り出す方法は、透明基板の一
面側に複数ピース分のマイクロレンズアレイに相当する
凹部群を各ピース毎に離して形成し、また各凹部群の外
側に各凹部群を囲むように溝部を形成するか撥水部を形
成し、次いで透明基板の一面側に高屈折率樹脂を塗布す
ることで前記凹部群に高屈折率樹脂を充填するとともに
余分な高屈折率樹脂を前記溝部で受け、或いは撥水部に
高屈折率樹脂が付着しないようにし、この後、高屈折率
樹脂を硬化させて両面とも平坦な透明基板とし、更に前
記溝部間の高屈折率樹脂が塗布されていない部分または
撥水部に沿って基板を各ピース毎に切断するようにし
た。
【0011】更に、本発明に係る液晶表示素子の製造方
法は、一対の透光性パネルを間に液晶の充填空間を残し
て接合することでセルを形成し、このセルを構成する一
対の透光性パネルの少なくとも一方の表面に接着剤を介
して前記方法にて製造した平板型マイクロレンズアレイ
のレンズ形成面を接合するようにした。
【0012】ここで、前記基板としては、例えば、低膨
張率ガラス、具体的には、ソーダライムガラス、アルカ
リアルミノシリケートガラス、アルカリボロンシリケー
トガラス、無アルカリガラス、結晶化ガラス及び石英ガ
ラス等が挙げられ、また、接着剤を兼ねる高屈折率樹脂
としては、例えば、ポリエステル系樹脂、エポキシ樹
脂、シリコーン樹脂、フォスファゼン樹脂、フェノール
樹脂、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系
樹脂等が挙げられる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図1は1枚のガラス
基板から1枚の平板型マイクロレンズアレイを製造する
場合のガラス基板の平面図、図2は同ガラス基板に高屈
折率樹脂を塗布した状態の側面図、図3は高屈折率樹脂
の展開途中を示す平面図である。
【0014】透明なガラス基板1は一面側に1ピース分
のマイクロレンズアレイに相当する凹部群2を形成し、
またこの凹部群2の外側に凹部群を囲むように矩形状の
溝部3を形成している。
【0015】凹部群2は平面視四角形状の凹部4を稠密
状態で多数形成することで構成され、凹部4の深さと溝
部3の深さが略等しくなるようにしている。またレンズ
部となる凹部4の形状としては、図4に示すような六角
稠密状、或いは図5に示すような長溝状(レンチキュラ
ー)等任意である。更に、凹部4の底面形状について
も、図に示すような円弧状に限らず、底部を平坦形状に
してもよい。
【0016】以上のガラス基板1から平板型マイクロレ
ンズアレイを製造するには、図2に示すように、ガラス
基板1の表面を洗浄して清浄化し気泡が残らない状態と
したうえで高屈折率樹脂5を塗布する。塗布の方法とし
ては表面の中心部1点に滴下してもよいが、図3に示す
ように対角線に沿って塗布するようにしてもよい。この
ようにして、凹部4に高屈折率樹脂5が充填されてレン
ズ部を形成するが、高屈折率樹脂5の粘度は0.1ポア
ズ〜100ポアズとする。粘性が高い場合には、図2に
示すようにプレス部材にて高屈折率樹脂5を押し付けて
平坦にするのが好ましい。
【0017】また、気泡混入を防止するには、樹脂の塗
布を減圧環境下で行うのが有効であるが、この他にも、
ガラス基板の表面を超音波洗浄する方法、紫外線照射に
よってオゾンを発生させ、これによりガラス表面の有機
系付着物を除去するとともに、表面を活性化して樹脂の
濡れ性を上げる方法、或いは樹脂を低粘度(1000c
ps以下程度)で塗布する方法等も有効である。
【0018】以上において、高屈折率樹脂5は凹部4に
入り込んでレンズ部を形成するが、余分な樹脂は外側に
形成した溝部3に受入れられ、ガラス基板1からはみ出
したり裏面に廻り込むことはない。
【0019】図6は1枚のガラス基板から平板型マイク
ロレンズアレイを多数個取りするガラス基板の全体図、
図7は同基板の一部拡大図、図8は基板の更なる拡大断
面図である。
【0020】ガラス基板1は一面側に1ピース分のマイ
クロレンズアレイに相当する凹部群2を複数個規則的に
画成している。この凹部群2は矩形状の溝部3にて囲ま
れ、内部にはレンズ部となる平面視四角形状の凹部4が
稠密状態で多数形成されている。
【0021】また、凹部群2の表面にはレンズ部を形成
する高屈折率樹脂5が前記したと同様の方法で塗布さ
れ、余剰分は溝部3に流れ込み、溝部3の外側領域には
出ない。また、仮に溝部3よりも外側領域に高屈折率樹
脂5が流れてもこの領域には撥水剤6が塗布されている
ので、溝部3よりも外側領域は高屈折率樹脂5が塗布さ
れない部分7となる。
【0022】以上の如く表面に高屈折率樹脂5が塗布さ
れたガラス基板1から平板型マイクロレンズアレイを多
数個取りするには、図9(a)に示すように撥水剤6を
塗布した部分7に沿って切断することで、図9(b)に
示すように高屈折率樹脂5を剥離することなく多数の1
ピース毎の平板型マイクロレンズアレイ8に切断する。
【0023】以上の如くして得られた平板型マイクロレ
ンズアレイを適用したのが、図10に示す液晶表示素子
である。液晶表示素子9はガラス基板10とガラス基板
11とを間にスペーサ12を介して接合することでセル
13を作製し、このセル13を構成するガラス基板10
に接着剤を介して前記平板型マイクロレンズアレイ8の
レンズ形成面を接合し、この後、ガラス基板10とガラ
ス基板11との間の空間に液晶14を充填することで液
晶表示素子9が完成する。尚、ガラス基板9または10
の液晶14側面には対向電極15が、ガラス基板12の
液晶14側面には画素電極16が予め形成されている。
【0024】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
ガラス基板等の透明基板の一面側に1ピース分のマイク
ロレンズアレイに相当する凹部群を形成し、この凹部群
の外側に凹部群を囲むように溝部を形成するか撥水部を
形成し、次いで透明基板の一面側に高屈折率樹脂を塗布
することで前記凹部群に高屈折率樹脂を充填するととも
に余分な高屈折率樹脂を前記溝部で受け、或いは撥水部
に高屈折率樹脂が付着しないようにし、この後、高屈折
率樹脂を硬化させて両面とも平坦な透明基板としたの
で、基板から高屈折率樹脂樹脂がはみ出したり、基板の
裏面に高屈折率樹脂が廻り込むことがなく、性能と寸法
精度に優れた平板型マイクロレンズアレイが得られる。
【0025】また、本発明によれば、透明基板の一面側
に複数ピース分のマイクロレンズアレイに相当する凹部
群を各ピース毎に離して形成し、また各凹部群の外側に
各凹部群を囲むように溝部を形成するか撥水部を形成
し、次いで透明基板の一面側に高屈折率樹脂を塗布する
ことで前記凹部群に高屈折率樹脂を充填するとともに余
分な高屈折率樹脂を前記溝部で受け、或いは撥水部に高
屈折率樹脂が付着しないようにし、この後、高屈折率樹
脂を硬化させて両面とも平坦な透明基板とし、更に前記
溝部間の高屈折率樹脂が塗布されていない部分または撥
水部に沿って基板を各ピース毎に切断するようにしたの
で、1枚の基板から多数の平板型マイクロレンズアレイ
を効率よく製造することができる。
【0026】更に従来であれば、レンズ部を構成する高
屈折率樹脂と接着する樹脂とを同一の樹脂を用いるよう
にしていたが、本発明によれば、液晶表示素子のセルと
は別体として、平板型マイクロレンズアレイを単独で製
造しておくので、後に液晶表示素子のセルに平板型マイ
クロレンズアレイを接合する際に、屈折率を考慮せずに
任意の屈折率の樹脂を接着剤として用いることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】1枚のガラス基板から1枚の平板型マイクロレ
ンズアレイを製造する場合のガラス基板の平面図
【図2】同ガラス基板に高屈折率樹脂を塗布した状態の
側面図
【図3】高屈折率樹脂の展開途中を示す平面図
【図4】基板に形成する凹部の別パターンを示す図
【図5】基板に形成する凹部の別パターンを示す図
【図6】1枚のガラス基板から平板型マイクロレンズア
レイを多数個取りするガラス基板の全体図
【図7】同基板の一部拡大図
【図8】基板の拡大断面図
【図9】(a)及び(b)は本発明による基板の切断か
らチップの接合までを説明した図
【図10】本発明方法によって製造した基板を用いた液
晶表示素子の断面図
【図11】従来の液晶表示素子の断面図
【図12】従来の平板型マイクロレンズアレイの製造方
法を説明した図
【図13】従来の平板型マイクロレンズアレイの製造方
法の別例を説明した図
【符号の説明】
1…ガラス基板、2…接着領域、3…溝部、4…凹部、
5…高屈折率樹脂、6…撥水剤、8…平板型マイクロレ
ンズアレイ、9,10…ガラス基板、11…液晶表示素
子、14…液晶。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新井 大介 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 岸本 隆 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明基板の一面側に1ピース分のマイク
    ロレンズアレイに相当する凹部群を形成し、またこの凹
    部群の外側に凹部群を囲むように溝部を形成し、次いで
    透明基板の一面側に高屈折率樹脂を塗布することで前記
    凹部群に高屈折率樹脂を充填するとともに余分な高屈折
    率樹脂を前記溝部で受け、この後、高屈折率樹脂を硬化
    させて両面とも平坦な透明基板とすることを特徴とする
    平板型マイクロレンズアレイの製造方法。
  2. 【請求項2】 透明基板の一面側に1ピース分のマイク
    ロレンズアレイに相当する凹部群を形成し、またこの凹
    部群の外側に撥水部を設け、次いで透明基板の一面側に
    高屈折率樹脂を塗布することで撥水部を避けて前記凹部
    群に高屈折率樹脂を充填し、この後、高屈折率樹脂を硬
    化させて両面とも平坦な透明基板とすることを特徴とす
    る平板型マイクロレンズアレイの製造方法。
  3. 【請求項3】 透明基板の一面側に複数ピース分のマイ
    クロレンズアレイに相当する凹部群を各ピース毎に離し
    て形成し、また各凹部群の外側に各凹部群を囲むように
    溝部を形成し、次いで透明基板の一面側に高屈折率樹脂
    を塗布することで前記凹部群に高屈折率樹脂を充填する
    とともに余分な高屈折率樹脂を前記溝部で受け、この
    後、高屈折率樹脂を硬化させて両面とも平坦な透明基板
    とし、更に前記溝部間の高屈折率樹脂が塗布されていな
    い部分に沿って基板を各ピース毎に切断することを特徴
    とする平板型マイクロレンズアレイの製造方法。
  4. 【請求項4】 透明基板の一面側に複数ピース分のマイ
    クロレンズアレイに相当する凹部群を各ピース毎に離し
    て形成し、また各凹部群の外側に各凹部群を囲むように
    撥水部を設け、次いで透明基板の一面側に高屈折率樹脂
    を塗布することで撥水部を避けて前記凹部群に高屈折率
    樹脂を充填し、この後、高屈折率樹脂を硬化させて両面
    とも平坦な透明基板とし、更に前記撥水部に沿って基板
    を各ピース毎に切断することを特徴とする平板型マイク
    ロレンズアレイの製造方法。
  5. 【請求項5】 一面側に電極膜等の薄膜を形成した一対
    の透光性パネルを薄膜形成面を対向せしめるとともに間
    に液晶の充填空間を残して接合することでセルを形成
    し、このセルを構成する一対の透光性パネルの少なくと
    も一方の表面に接着剤を介して前記請求項1乃至請求項
    4に記載の平板型マイクロレンズアレイのレンズ形成面
    を接合することを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
JP24428895A 1995-09-22 1995-09-22 平板型マイクロレンズアレイの製造方法及びこの平板型マイクロレンズアレイを用いた液晶表示素子の製造方法 Pending JPH0990360A (ja)

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