JPH0989682A - 熱電対の構造 - Google Patents

熱電対の構造

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JPH0989682A
JPH0989682A JP7269062A JP26906295A JPH0989682A JP H0989682 A JPH0989682 A JP H0989682A JP 7269062 A JP7269062 A JP 7269062A JP 26906295 A JP26906295 A JP 26906295A JP H0989682 A JPH0989682 A JP H0989682A
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英男 河村
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、耐熱性で耐熱ショック性の熱電対
の構造を提供する。 【解決手段】 この熱電対の構造は、耐熱性で耐熱ショ
ック性のセラミックスから成る保護パイプ1、保護パイ
プ1内に隔置して一端から他端へ長手方向に延びる種類
の異なる一対の線材2,3、保護パイプ1の先端部に形
成された感温部4を構成する蓋部材7、及び保護パイプ
1内に充填されたSi3 4 とTiNから成る混合粉末
から成る充填部材9から構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、高温高精度の熱電対
の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の熱電対は、高温度の液体や気体の
温度を正確に計測するため開発されている。熱電対は、
300℃〜1400℃の温度範囲の温度を計測するた
め、各種の測定材を適合させている。熱電対の素線は、
酸化性又は還元性の雰囲気に対して弱い場合が多く、一
般的には素線を保護パイプに入れて使用されている。
【0003】また、従来の熱電対を収容する保護管とし
ては、次のような材料を用いて作製されている。即ち、
従来の保護管は、BN(耐熱温度:1000℃)、磁器
(耐熱温度:1400℃)、アルミナ(耐熱温度:16
00℃)、高クロム鋼(耐熱温度:1050℃)、アラ
ンダム(耐熱温度:1400℃)等の各種の保護管が使
用されている。このような保護管で作製されている熱電
対は、耐熱温度まで使用すると、1回の測定で破損し、
再度使用できなくなるので、通常、温度測定として60
0℃〜800℃程度、高温としても1000℃程度の温
度雰囲気で使用されているのが現状である。
【0004】また、Si3 4 を保護パイプに構成した
熱電対は、例えば、特開昭55−121972号公報、
特開昭61−246636号公報、特開平2−2173
61号公報に開示されたものがある。
【0005】特開昭55−121972号公報に開示さ
れた気密化窒化珪素焼結体は、熱電対の保護管に適用で
き、反応焼結法で生成された限定量の嵩比重を持つSi
3 4 焼結体を加湿N2 雰囲気で特定の露点になるよう
に加湿し、1250〜1500℃で加熱処理して表面を
気密化したものである。
【0006】また、特開昭61−246636号公報に
開示された溶鋼連続測温用保護管は、熱電対の保護管と
して使用でき、反応焼結窒化ケイ素から成る保護管とア
ルミナ内管との間にAlN粉を充填し、AlN粉の上部
にアルミナウールを更に充填した保護管を作ったもので
あり、溶鋼による侵食速度が低減され、長時間の溶鋼温
度の測定を可能にしたものである。
【0007】更に、特開平2−217361号公報に開
示された反応焼結窒化ケイ素セラミックスは、熱電対の
保護管として使用でき、Si粉末を成形した成形体を、
2雰囲気中で1200〜1600℃程度で反応焼結さ
せたものである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
熱電対を保護する保護管は、実際には、1000℃以上
の温度では保護管には相当の損傷が発生する。そのた
め、従来の熱電対は、高温炉や溶湯の温度の測定には困
難性があるのが現状である。例えば、熱電対を細い径の
パイプ形状に構成した場合に、熱電対を保護する保護管
の強度、保護管内の充填材の密度を適正に調整するため
に、製造上の問題が存在する。また、BNで保護管を作
製した熱電対は、O2 の存在下では酸化するため、炉内
のO2 を排気してから使用しているのが現状である。
【0009】また、熱電対を保護管内に配置した構造に
ついて、保護管を反応焼結の窒化ケイ素を用いて作製し
た場合でも、保護管内には一端から他端へ長手方向に延
びる種類の異なる一対の線材を配置するが、保護管内に
充填させる充填部材として適正な材料を選定しないと、
保護管内面と充填部材との間に隙間が発生し、線材が保
護管内に存在するO2 と酸化して断線したり、或いは熱
ショックを受けて破損するという問題がある。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決することであり、Si3 4 やSiCのような耐
熱性のセラミックスで保護パイプを形成し、タングステ
ン(W)−レニウム(Re)合金、又は白金(Pt)−
ロジウム(Rh)から熱電対素線を作製し、熱電対素線
の外側にTiN等を合成させて保護パイプ内に熱電対素
線を封じ込めることにより、耐熱性で耐熱ショック性に
優れ、耐久性に富んだ熱電対の構造を提供することであ
る。
【0011】この発明は、耐熱性のセラミックスから成
る保護パイプ、該保護パイプ内に隔置して一端から他端
へ長手方向に延びる種類の異なる一対の導体線材、前記
保護パイプの一端部に形成された前記線材の両端を接続
した導体感温部、前記保護パイプの他端部から突出した
前記線材にそれぞれ設けたコネクタ、及び前記保護パイ
プ内に充填されたSi3 4 とTiNとの混合材から成
る充填部材から構成した熱電対の構造に関する。
【0012】また、前記保護パイプはY2 3 ,Al2
3 ,SiO2 を含むSi3 4 から成り、前記保護パ
イプの長手方向に隔置して孔が開けられ、前記孔に侵入
した前記充填部材の表面にはSi3 4 がコーティング
され、コーティング層によって前記孔を通じての前記保
護パイプの内外の通気が防止されている。或いは、前記
保護パイプは、SiCから作製することもできる。前記
保護パイプをSiCで作製した場合には、前記コーティ
ング層もSiCで作製した方が接合や熱膨張係数の点か
らも好ましい。
【0013】また、一方の前記線材はW−5%Reから
成り、他方の前記線材はW−26%Reから成り、前記
線材の何れか一方の外周面にはセラミックス粉末から成
る絶縁層がコーティングされている。また、前記線材は
前記充填部材との間の熱膨張差を吸収するためスパイラ
ル状に曲げられている。
【0014】また、前記保護パイプの端部に形成された
前記感温部は、前記保護パイプの端部を閉鎖する蓋部材
によって構成され、前記蓋部材は前記保護パイプと同一
の材質から作製されている。
【0015】また、前記保護パイプの端部には取付金具
を固定するため、前記保護パイプに形成された前記孔に
露出した前記充填部材にAg−Cu−Ti粉末を塗布し
て前記取付金具と前記充填部材とを固着したものであ
る。即ち、Si3 4 とTiNの混合材は、Ag−Cu
−Tiに良好に拡散し、良好な結合状態を得ることがで
きる。
【0016】前記コネクタ側の端部にはSi3 4 と馴
染み性が良いY2 3 ,Al2 3,SiO2 を含むガ
ラス層を塗布して前記保護パイプの端部が密封されてい
る。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
による熱電対の構造の実施例を説明する。図1はこの発
明による熱電対の構造の一実施例を示す断面図、図2は
図1の熱電対の構造の端部を示す拡大断面図、及び図3
は図1の線A−Aにおける断面図である。
【0018】この熱電対の構造は、主として、耐熱性で
耐腐食性のセラミックスから成る保護パイプ1、保護パ
イプ1内に隔置して一端から他端へ長手方向に延びる種
類の異なる一対の導体線材2,3、保護パイプ1の一端
部に形成された線材2,3の両端を接続した導体感温部
4、保護パイプ1の他端部から突出した線材2,3にそ
れぞれ設けたコネクタ11、及び保護パイプ1内に充填
されたSi3 4 とTiNとの混合材から成る充填部材
9から構成されている。保護パイプ1の先端部には端部
を閉鎖する蓋部材7が固定され、蓋部材7は感温部4を
構成している。保護パイプ1の他端部には、他の部品に
熱電対を取り付けるため取付金具10が固定されてい
る。取付金具10側の突出した線材2,3の端部の取付
部14には、コネクタ11が設けられている。コネクタ
11は、温度測定機器の端子に接続されるように構成さ
れている。線材2,3の取付部14は、絶縁部材12に
よって互いに絶縁されている。
【0019】この熱電対の構造において、保護パイプ1
は、耐熱性、耐腐食性で耐熱ショック性に優れたSi3
4 又はSiC(炭化ケイ素)から作製されている。保
護パイプ1をSi3 4 で作製した場合には、保護パイ
プ1内にSi3 4 とTiN(窒化チタン)から成る混
合材から成る充填部材9を充填する。Si3 4 の保護
パイプ1内にSi3 4 とTiNとの混合材の充填部材
9を配置した場合には、混合材が焼結することによって
無収縮性セラミックスから成る充填部材9を構成し、保
護パイプ1と充填部材9との間に隙間等が発生すること
なく、極めて安定した熱電対の構造を提供することがで
きる。
【0020】この熱電対の構造では、例えば、充填部材
9としては、Si粉末90wt%とTi粉末10wt%
との混合粉末、場合によっては、該混合粉末に若干の窒
化ケイ素粉末を混合した混合粉末を窒化ケイ素の保護パ
イプ1内に充填し、N2 雰囲気で一体焼結する。この
時、SiとTiとの粉末を保護パイプ1に収容して一体
焼結する場合に、保護パイプ1の長手方向に多数の孔1
5を明けておけば、SiとTiとは反応してSi3 4
とTiNとから成る無収縮性セラミックスの複合材がで
きる。即ち、焼結縮みのないSi3 4 とTiNから成
る無収縮性セラミックスの複合材に生成される。次い
で、保護パイプ1の一端に取付金具10及びガラス層1
6を取り付け、他端に蓋部材7に取り付けて熱電対を作
製することができる。焼結後に、孔15はSi3 4
コーティング層17で塞げばよく、複合材は線材2,3
の保護膜を構成することになる。この場合、上記混合粉
末に種類の異なる一対の線材2,3を配置し、N2 雰囲
気で一体焼結して構成することができる。場合によって
は、充填部材9を作製した後に、充填部材9の一端部か
ら他端部へ貫通孔を穿孔し、該貫通孔に種類の異なる一
対の線材2,3に挿通して構成してもよい。
【0021】一方の線材2はW−5%Reから成り、他
方の線材3はW−26%Reから成り、更に、線材2又
は3の何れか一方の外周面にはセラミックス粉末から成
る絶縁層がコーティングされている。線材2,3のリー
ド部材には、Si3 4 粉末を樹脂材や油脂材に溶かし
たペーストから成る絶縁層13がコーティングされてい
る。また、タングステンW線は高融点の材料であり、そ
の熱膨張係数が4.6×10- 6 /Kである。また、S
3 4 の熱膨張係数が3.1×10- 6 /Kであるの
で、Si3 4 とWとは、熱膨張係数が近似しており、
従って、両者の組み合わせによって熱電対を構成する場
合には、熱膨張係数から考慮して好ましいものである。
しかし、充填部材9と線材2,3とはわずかではあるが
熱膨張係数が異なるので、高温時に熱膨張差によって熱
膨張量が変化し、線材2,3が断線することがあるの
で、線材2,3を熱膨張差を吸収できるようにスパイラ
ル状に曲げた形状に構成しておくことが好ましい。
【0022】保護パイプ1は、Y2 3 ,Al2 3
SiO2 を含むSi3 4 から作製されている。保護パ
イプ1の長手方向には、隔置状態に多数の孔15が開け
られ、孔15内に侵入した充填部材9の表面にはSi3
4 のコーティング層17がコーティングされ、コーテ
ィング層17によって孔15を通じての保護パイプ1の
内外の通気が阻止され、保護パイプ1と充填部材9との
隙間或いは充填部材9中にO2 の侵入が防止されてい
る。
【0023】保護パイプ1の端部には、取付金具10を
固定するため、保護パイプ1に形成された孔15に露出
した充填部材9にAg−Cu−Ti粉末の充填材5を塗
布し、取付金具10と充填部材9とが固着されている。
場合によっては、保護パイプ1と取付金具10との嵌合
面において、保護パイプ1の孔15には充填部材9を構
成する充填材5が埋め込まれた状態になり、一体焼結に
よって充填材5が複合材となって保護パイプ1と取付金
具10とを堅固に密着して固着させることができる。コ
ネクタ11側の端部には、Y2 3 ,Al2 3 ,Si
2 を含むガラス層16を塗布して保護パイプ1の端部
が密封されている。
【0024】また、線材2,3としては、W−Reの他
に、白金と白金ロジウムとの組み合わせ、或いはWとW
Mo(Mo:25%)との組み合わせから作製すること
もできる。蓋部材7は、炭化ケイ素SiC或いはSi3
4 から作製されている。蓋部材7がSi3 4 で作製
される場合には、Si3 4 の他にTiN粉を混入し、
無収縮性セラミックスとして構成することが好ましい。
【0025】
【発明の効果】この発明による熱電対の構造は、上記の
ように、セラミックスから成る保護パイプで構成され、
その先端部には窒化ケイ素の蓋部材で密封された導体感
温部が形成されているので、耐熱性で耐腐食性であり、
特に、耐熱ショック性に優れ、溶融金属炉、プラズマ溶
融炉、電気炉等の高温炉の温度管理、温度測定に適して
いる。前記保護パイプの端部に固定された取付金具は、
絶縁体保護パイプに強固に固定されているので、耐熱性
で耐熱ショック性に優れ、耐久性に富む熱電対を提供で
きる。
【0026】特に、この熱電対の構造では、保護パイプ
内に充填された充填部材は、SiとTiを反応焼結して
できたSi3 4 にTiNとの複合材から構成され、該
充填部材は焼結時に焼結縮みがなく無収縮性セラミック
スを形成し、線材が保護パイプ内で充填部材で強固に保
持され、O2 等のガスが存在しない雰囲気に封入されて
いるので、保護パイプ内に緻密な構造を形成し、保護パ
イプと充填部材との間に隙間を形成することがなく、保
護パイプ内へのO2 等のガスの侵入がなく、線材が酸化
して断線することがない。しかも、線材を充填部材で強
固に保持して保護パイプで保護するので、耐久性に優
れ、温度測定精度が高精度となり、安定した信頼性のあ
る熱電対を提供でき、特に、酸化・還元性の雰囲気中で
高温度を測定するのに適している。
【0027】この熱電対の構造は、耐熱性で耐熱ショッ
ク性に優れているので、反復して使用可能であり、従来
のNB等の材料を用いて作製したものに比較して製造コ
スト、ランニングコスト等を大幅に低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による熱電対の構造の一実施例を示す
断面図である。
【図2】図1の熱電対の構造における端部の一実施例を
示す拡大断面図である。
【図3】図1の線A−Aにおける断面図である。
【図4】図1の熱電対の構造における線材の一部を示す
拡大断面図である。
【符号の説明】
1 保護パイプ 2,3 線材 4 感温部 5 充填材 7 蓋部材 9 充填部材 11 コネクタ 12 絶縁部材 13 被覆層 15 孔 17 コーティング層

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 耐熱性のセラミックスから成る保護パイ
    プ、該保護パイプ内に隔置して一端から他端へ長手方向
    に延びる種類の異なる一対の導体線材、前記保護パイプ
    の一端部に形成された前記線材の両端を接続した導体感
    温部、前記保護パイプの他端部から突出した前記線材に
    それぞれ設けたコネクタ、及び前記保護パイプ内に充填
    されたSi3 4 とTiNとの混合材から成る充填部材
    から構成した熱電対の構造。
  2. 【請求項2】 前記保護パイプはY2 3 ,Al
    2 3 ,SiO2 を含むSi3 4 から成り、前記保護
    パイプの長手方向に隔置して孔が開けられ、前記孔に侵
    入した前記充填部材の表面にはSi3 4 がコーティン
    グされ、コーティング層によって前記孔を通じての前記
    保護パイプの内外の通気が防止されている請求項1に記
    載の熱電対の構造。
  3. 【請求項3】 一方の前記線材はW−5%Reから成
    り、他方の前記線材はW−26%Reから成り、前記線
    材の何れか一方の外周面にはセラミックス粉末から成る
    絶縁層がコーティングされている請求項1又は2に記載
    の熱電対の構造。
  4. 【請求項4】 前記保護パイプの端部に形成された前記
    感温部は、前記保護パイプの端部を閉鎖する蓋部材によ
    って構成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載
    の熱電対の構造。
  5. 【請求項5】 前記保護パイプの端部には取付金具を固
    定するため、前記保護パイプに形成された前記孔に露出
    した前記充填部材にAg−Cu−Ti粉末を塗布して前
    記取付金具と前記充填部材とを固着した請求項1〜4の
    いずれか1項に記載の熱電対の構造。
  6. 【請求項6】 前記コネクタ側の端部にはY2 3 ,A
    2 3 ,SiO2を含むガラス層を塗布して前記保護
    パイプの端部が密封されている請求項1〜5のいずれか
    1項に記載の熱電対の構造。
  7. 【請求項7】 前記保護パイプと前記充填部材のコーテ
    ィング層とはSiCから作製されている請求項1〜6の
    いずれか1項に記載の熱電対の構造。
  8. 【請求項8】 前記線材は熱膨張差を吸収するためスパ
    イラル状に曲げられている請求項1〜7のいずれか1項
    に記載の熱電対の構造。
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