JPH09512308A - サーメットおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、硬質物質の割合９５〜７５質量％、およびＣｏ結合剤および／またはＮｉ結合剤５〜２５質量％を有し、その際硬質物質相が立方晶のＢ１結晶構造を有する炭窒化物からなり、Ｔｉ３０〜６０質量％、Ｗ５〜２５質量％、Ｔａ５〜１５質量％、このうち７０質量％までがＮｂに置き換えることが可能であり、Ｍｏ０〜１２質量％、Ｖ０〜５質量％、Ｃｒ０〜２質量％、Ｈｆおよび／またはＺｒ０〜１質量％を含有し、炭窒化物相内の（Ｃ＋Ｈ）含有率が＞８０モル％であり、窒素の割合Ｎ／（Ｃ＋Ｎ）が０.１５〜０.７であり、かつ結合剤相内にＡｌおよび／または金属のＷ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｖおよび／またはＣｒが２質量％以内で溶解しているサーメットに関する。測定面積＞（０.５×０.５）ｍｍ²上のエネルギー分散方式微量分析によって測定可能な、０.０１〜３μｍの針入深さによって決定される表面層内において、下に存在するサーメットコア領域に対するＣｏ結合剤および／またはＮｉ結合剤含有量が＜３０質量％、Ｔｉ含有量が１１０〜１３０質量％、およびＷ、Ｔａの含有量、ならびに場合によるＭｏ、Ｎｂ、Ｖおよび／またはＣｒの割合の和が、下に存在するコア領域に対して７０〜１００質量％であるか、または前記表面層にコア領域に対するＴｉ含有量が１００〜１２０％およびＷ、Ｔａ、ならびに場合によりＭｏ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｒの含有量の和が８０質量％〜１１０質量％で、Ｃｏ結合剤および／またはＮｉ結合剤含有量＜９０質量％が存在する。

Description

【発明の詳細な説明】 サーメットおよびその製造方法 本発明は、硬質物質成分の割合が９５〜７５質量％、および残りとしてコバル トおよび／またはニッケルからなる結合剤５〜２５質量％を有し、その際硬質物 質相が立方晶のＢ１結晶構造を有する炭窒化物からなり、Ｔｉ３０〜６０質量％ 、Ｗ５〜２５質量％、Ｔａ５〜１５質量％、このうち７０質量％までがＮｂに置 き換えることが可能であり、Ｍｏ０〜１２質量％、Ｖ０〜５質量％、Ｃｒ０〜２ 質量％、Ｈｆおよび／またはＺｒ０〜１質量％を含有し、炭窒化物相内の（Ｃ＋ Ｈ）含有率が＞８０モル％であり、窒素の割合Ｎ／（Ｃ＋Ｎ）が０.１５〜０.７ であり、かつ結合剤相内に２％までＡｌおよび／または金属のＷ、Ｔｉ、Ｍｏ、 Ｖおよび／またはＣｒが溶解しているサーメットに関する。硬質物質相は実質的 にコア／シェル構造を有する。 本発明はさらに、相応する構成要素を含有する出発混合物の混合、粉砕、造粒 およびプレス、そして続く焼結による、かかるサーメットの製造方法に関する。 ヨーロッパ特許公開第０３４４４２１（Ａ１）号明細書にはサーメットが提案 されており、該サーメットは０.０５ｍｍの針入深さを有するコアに対して、サ ーメットコア内の硬質物質相の平均粒度の０.８〜１.２倍に相当する表面層内の 硬質物質相の平均粒度を有するか、または同じ針入深さでサーメットコアの平均 結合剤含有量の０.７〜１.２倍に相当する結合剤相を有している、または前述の 針入深さにおける硬度がサーメットコアの平均硬度の０.９５〜１.１倍であるサ ーメットを提案している。かかるサーメットの製造には出発混合物を、粉砕、混 合および予備プレスした後焼結させる。その際第１段階で１３００℃まで、また はそれ以下で真空下または不活性ガス下で焼結させ、第２段階で１３００℃以上 で０.１〜２０トルの窒素圧で焼結させ、かつその際窒素圧を上昇する温度とと もに上げる必要がある。冷却も同様に窒素の存在下で実施される。 ヨーロッパ特許第０３６８３３６（Ｂ１）号明細書には、最大硬度を有する領 域が基体表面から５μｍ〜５０μｍの深さに存在し、かつ基体表面が最大硬度の ２０〜９０％を有する、硬質表面層を有するサーメット基体が記載されている。 このサーメットを製造するには、予備プレスした混合物を、はじめに真空下での １１００℃への温度上昇で、続いて窒素雰囲気下での１１００℃から１４００〜 １５００℃の温度範囲への温度上昇で処理し、かつ最後に真空下で焼結させる。 ヨーロッパ特許第０３７４３５８（Ｂ１）号明細書には、結合剤相７〜２０重 量％、およびＴｉ３５〜５ ９重量％、Ｗ９〜２９重量％、Ｍｏ０.４〜３.５重量％、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖおよび ジルコニウムの金属のうち少なくとも１つの金属４〜２４重量％、Ｎ₂５.５〜９ .５重量％、およびＣ４.５〜１２重量％を有する炭化チタン、窒化チタンおよび ／または炭窒化チタンからなる、硬質相を有するサーメットの製造方法が記載さ れている。該方法では、調製した、混合、乾燥および予備プレスした質量を、温 度を真空中で１３５０℃に上げ、その際窒素雰囲気を１３５０℃で１トルに調整 し、窒素部分圧力を１３５０℃から焼結温度までの温度上昇とともに次第に高め 、その際窒素雰囲気を焼結温度で５トルに調整するように焼結する。 ヨーロッパ特許第０４９２０５９（Ａ３）号明細書には、１ｍｍ以上の針入深 さにおける硬度がサーメット内部より高く、その際０.５〜３μｍの層厚さ内の 結合剤含有量はコア基体に対して最小限に抑えることが可能であるサーメット成 形体が記載されている。該サーメットは、チタンの炭化物、窒化物、酸化物およ びホウ化物、およびＡｌ₂Ｏ₃からなる、厚さ０.５〜２０μｍの硬質物質被覆を 有するべきである。かかる成形体を製造するには、未処理製品を真空下でまず１ １００℃〜１４００℃の温度に加熱し、引き続いて窒素ガスを、圧力が窒素分圧 が５〜１０トルにあり、それによって基体表面が脱窒素されるまで導入する。焼 結および引き続いての冷却は、非酸化雰囲気下、例 えば真空または不活性ガス雰囲気下で実施する。引き続き、該成形体にＣＶＤま たはＰＶＤによって被覆する。 高靭性のサーメットを製造するために、ヨーロッパ特許公開第０４９９２２３ （Ａ１）号明細書は、１０μｍの厚さの表面近くの層内の結合剤の相対的濃度を サーメットコア内の結合剤の平均含有量の５〜５０％に、その下に存在する針入 深さが１０μｍ〜１００μｍの層では結合剤含有量をサーメットコアに対して７ ０〜１００％に調整を提案し、その際表面に３０ｋｇｆ／ｍｍ²以上の圧応力が 生じる。このために使用される方法では、焼結を５〜３０トルの一定の圧力を有 する窒素ガス下で、および冷却を真空下で１０〜２０℃／分の冷却率で実施する 。 それに対して、ヨーロッパ特許第０５１５３４０（Ａ３）号明細書は、結合剤 が、濃縮された表面に近い領域を有するサーメットを記載している。 ヨーロッパ特許公開第０５１９８９５（Ａ１）号明細書は、３層の周辺領域を 有するサーメットを開示しており、該サーメットにおいては５０μｍの深さまで の第１の層はＴｉＮ富裕に、針入深さ５０〜１５０μｍの第２の層は結合剤富裕 に、そして１５０〜４００μｍの第３の層はサーメットコア内部に対して結合剤 分が少なく形成されている。このために、焼結体をＮ₂および／またはＮＨ₃から なる、場合によりＣＨ₄ 、ＣＯ、ＣＯ₂と組み合わせた雰囲気内で１１００℃〜１３５０℃で大気圧下ま たは１.１バール以上の圧力下で１〜２５時間処理する。 従来の技術から公知のサーメットは、表面に、斑点状外観から判別可能な種々 の結合剤含有量を有しているか、または結合剤が焼結物基板に付着する傾向を示 し、このことはそれと結び付いた反応のために接触領域内で組成の変化を惹起す る。従来の技術から公知のサーメットのさらなる欠点は、部分的に高い表面荒さ 、ならびに表面内の結合剤含有量が増大した際の該表面に施される摩耗保護剤層 との悪い付着である。表面のニッケルの割合が高まれば、まずＣＶＤ被覆は全く 不可能となる。列記した欠点は、特に切削加工用のカッター挿入物としてのサー メットの使用に当てはまる。 従って、本発明の課題は、冒頭で述べたサーメットを、表面近くの領域の調整 によって、それが未被覆でまたは１層または多層被覆を有して使用されるかどう かには関係なく、切削作業に充分に好適であるように改善することにある。 前記課題は、請求項１に記載のサーメットによって解決される。従って、請求 項１に定義された非常に薄いシェル領域を除くと、該サーメットは均質な構造で 存在する。このことは硬質物質相のコア／シェル構造の存在を除外するものでは ない。 前記課題はさらに請求項２に記載のサーメットによって解決される。 本発明の実施態様は従属請求項３から９に記載してある。 前記の表面層の下に存在するコア領域は、最低でも実質的に１つのコア／シェ ル構造を有する硬質物質相を有する。それに対して、表面層の硬質物質相はもっ ぱら均質であるかまたはコア特有のコア／シェル構造で、場合によっては部分的 に存在していてもよい。 本発明のもう１つの実施態様によれば、該サーメットは、表面層の直ぐ下の最 低５０μｍ、最大６００μｍの深さまで、ＩＳＯ４５０５に基づく多孔度≦Ａ０ ２および＜Ｂ０２を有する帯域を有し、かつその下に＜Ａ８および＜Ｂ０４のコ アを有している。 特にサーメットを切削作業に使用する際、さらに有利には低い表面荒さはＲ_T ≦６μｍまたはＲ_Z≦５となる。有利には表面範囲内の硬度ＨＶ３０は一定であ る。 択一的な実施態様によれば、サーメットは０.０１〜３μｍの深さを有する表 面層に、Ｃｏおよび／またはＮｉ結合剤含有量＜９０質量％を有し、その際コア 領域に対するＴｉ含有量は１００〜１２０％であり、かつＷ、Ｔａならびに場合 によってはＭｏ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｒの含有量の和は８０〜１００質量％である。 サーメットは１つまたは複数の、チタンの炭化物ま たは窒化物および／またはＡｌ₂Ｏ₃からなる、有利にはＣＶＤ方法によって施さ れた摩耗保護層を有していてもよい。 記載のサーメットは請求項１０に記載の方法によって製造される。該方法によ れば、請求項１または３から８に特定した構成要素を含有する混合物を粉砕し、 造粒しかつ予備プレスし、引き続き有利にはグラファイト熱伝導体を有する焼結 炉内で焼結する。プレス後、未処理製品をまず結合剤相の溶融温度まで真空下で 圧力≦１０^-1ミリバールで加熱し、引き続きさらに１４５０〜１５３０℃の焼結 温度まで加熱し、そこで該温度を０.２〜２時間保持し、そして引き続いて成形 体を１２００℃まで冷却する。最後の加熱、恒温および冷却は、Ｎ₂／（Ｎ₂＋Ｃ Ｏ）比０.１〜０.９を有するＮ₂およびＣＯからなる混合気内で、平均値の１０ 〜８０％の平均圧力下で変化させて周期時間４０〜２４０秒間、有利には４０〜 １８０秒間実施される。Ｎ₂／（Ｎ₂＋ＣＯ）比は方程式： る窒素の比の質量％である］によって決定され、引き続き完全に焼結した成形体 を不活性ガス、例えばアルゴン、窒素下で、または真空雰囲気下で冷却する。 平均圧力は一次関数的関係： ［式中、ｙは平均圧力（ミリバール）であり、ｘは結合剤含有量を質量％で表し たものである］によって決定される。このことは、５質量％の結合剤含有量に対 して６ミリバール±０.６ミリバールの圧力を圧力平均値として意味し、また２ ５質量％では圧力２０ミリバール±２ミリバールを意味している。 前記のプロセス制御は、圧力平均値は結合剤相の融点からの加熱、焼結および １２００℃までの冷却の全経過を通して一定に保たれるが、圧力のかかる圧力平 均値は周期的に、特に同一形状の偏移によるより高い値およびより低い値に変動 するものと理解されるべきである。変動振幅は正弦状であってものこぎり波状で あってもよいし、またはそこから派生した形状を有していてもよい。従来の方法 から公知の圧力処理とは異なり、上記の圧力変動のみが、前記形式の薄い均一な 表面層影響を及ぼす。 請求項２から４、または６から８のサーメットの製造実施の変種によれば、焼 結された成形体は焼結後アルゴン下で焼結温度近くでおよび圧力３０バール以上 でホットアイソスタチック成形することができる。後続のホットアイソスタチッ ク成形を経ずに製造された成形体は最大３μｍ以下の針入深さの表面層で３０質 量％未満のかなり減少された結合剤含有量を示すが、引き続きホットアイソスタ チック成形された成形体は 、部分的により高い結合剤含有量を有するが、しかし該含量はまだサーメット／ コア内の結合剤含有量に対して９０％以下である。 第１の実施態様において、サーメット成形体は焼結されただけである。焼結の 際の気体雰囲気の調整は図１および２から明らかである。図面において、 図１は、サーメット内の比Ｎ／（Ｃ＋Ｎ）と混合気内のＮ₂／（Ｎ₂＋ＣＯ）含 有量の調整との間の直線的関係、および 図２は、出発混合物内もしくはサーメット内の結合金属含有量に対する平均圧 力の調整の依存性を示している。 ト内の相対的窒素含有量を示している。つまり比Ｎ／ 整を示している。限界値はサーメット／窒素含有量から０.１５〜０.７に定めら れる。その際の混合気の調整は０.１〜０.９に対応する。その間にある全ての値 は、それぞれグラフで示した図から理解可能である。その際、上または下へのそ れぞれ１０％の変動が許容される。それに応じたことが、ｙ座標のｙが平均圧力 をバールで、ｘ座標が結合剤含有量ｘを質量％で示す図２の表示に当てはまる。 結合剤含有量２５質量％の際は、調整すべき平均圧力は２０ミリバール、結合剤 含有量５質量％の際には６ミリバールである。この際 、ここでも平均値の偏移は１０％まで許容される。その際、一定の圧力平均値だ け、焼結炉内で調整された圧力は、詳細にはそれぞれ上下へ交互に１０％以上変 動する。 本発明の第１の実施例においては、以下の出発混合物から出発した（表示は質 量％）。 粉末粒径は１〜２μｍであった。このことから窒素含有量３.４質量％および 炭素含有量９.３質量％が得られるので、比Ｎ／（Ｎ＋Ｃ）＝０.２７となる。全 結合剤含有量は１３.４質量％である。出発混合物を従来の技術から公知のよう に、粉砕し、混合しかつ予備プレスした。 引き続き以下の処理工程を適用した： １．５００℃まで脱ろう。 ２．５００℃から１３００℃まで真空下で、加熱速度４００℃／ｈで加熱。 ３．１３００℃から１４８０℃までＮ₂およびＣＯからなる混合気下で加熱、 その際比はＮ₂／（Ｎ₂＋ＣＯ）＝０.２７であった。該焼結温度が達成された後 、該温度および後述の圧力処理を１時間保持し、引き続き焼結体を１４８０℃か ら１２００℃まで冷却速 度２５０℃／ｈで冷却した。１３００℃から１４８０℃への加熱、温度の恒温、 および続く冷却は平均圧力１０ミリバールで実施した。その際圧力は周期的に、 周期時間１５０秒で３ミリバール上下の値（１３ミリバールおよび７ミリバール ）に変動した。 ４．最後の処理工程としてアルゴン下でのさらなる冷却を続けた。 比較体においても同一の処理工程１、２および４を実施したが、工程３はＣＯ を注入せずまた調整されたＮ₂圧力を２０ミリバールで一定にするという条件付 きで実施した。 焼結後の表面層の分析において、以下の値が確認された： ホットアイソタクチックプレス成形後の表面層の相応する分析は以下の値をも たらした： 他の値は全て例１に同じ。 本発明の別の例においては、以下の出発混合物から出発した（表示は質量％） ： 粉末粒径は１〜２μｍであった。このことから窒素含有量６.１質量％および 炭素含有量７.２質量％が得られるので、比Ｎ／（Ｎ＋Ｃ）＝０.４６となる。全 結合剤含有量は１６.９質量％である。出発混合物を従来の技術から公知のよう に、粉砕し、混合しかつ予備プレスした。 引き続き以下の処理工程を適用した。 １．５００℃まで脱ろう。 ２．５００℃から１３２０℃まで真空下で、加熱速度４００℃／ｈで加熱。 ３．１３２０℃から１４８０℃までＮ₂およびＣＯからなる混合気下で加熱、 その際比はＮ₂／（Ｎ₂＋ＣＯ）＝０.５４であった。該焼結温度が達成された後 、該温度および後述の圧力処理を１時間保持し、引き続き焼結体を１４８０℃か ら１２００℃まで冷却速度２５０℃／ｈで冷却した。１３２０℃から１４８０℃ への加熱、温度の恒温、および続く冷却は平均圧力１５ミリバールで実施した。 その際圧力は周期的に、周期時間１２０秒で５ミリバール上下の値（２０ミリバ ールおよび１０ミリバール）に変動した。 ４．最後の処理工程としてアルゴン下でのさらなる冷却を続けた。 比較体においても同一の処理工程１、２および４を実施したが、工程３はＣＯ を注入せずまた調整されたＮ₂圧力を２０ミリバールで一定にするという条件付 きで実施した。 焼結後の表面層の分析において、以下の値が確認された： ホットアイソスタチックプレス成形後の表面層の相応する分析は以下の値をも たらした： 他の値は全て例３に同じ。 上記実施例によって製造したサーメットにつき以下の切削調査を行った：

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＣＮ，ＪＰ，ＵＳ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．硬質物質の割合９５〜７５質量％、およびＣｏ結合剤および／またはＮｉ 結合剤５〜２５質量％を有し、その際硬質物質相が立方晶のＢ１結晶構造を有す る炭窒化物からなり、Ｔｉ３０〜６０質量％、Ｗ５〜２５質量％、Ｔａ５〜１５ 質量％、このうち７０質量％までがＮｂに置き換えることが可能であり、Ｍｏ０ 〜１２質量％、Ｖ０〜５質量％、Ｃｒ０〜２質量％、Ｈｆおよび／またはＺｒ０ 〜１質量％を含有し、炭窒化物相内の（Ｃ＋Ｎ）含有量が＞８０モル％であり、 窒素の割合Ｎ／（Ｃ＋Ｎ）が０.１５〜０.７であり、かつ結合剤相内にＡｌ２質 量％以内を含有しているか、および／または金属のＷ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｖおよび／ またはＣｒが溶解しているサーメットにおいて、測定面積＞（０.５×０.５）ｍ ｍ²上のエネルギー分散方式微量分析によって測定可能である、０.０１〜３μｍ の針入深さによって決定される表面層内においてのみ、 １．下に存在するサーメット／コア領域に対するＣｏ結合剤および／または Ｎｉ結合剤含有量≦３０質量％、 ２．下に存在するサーメット／コア領域に相応するＴｉ含有量１１０〜１３ ０質量％ を有し、その際それぞれ一方はサーメット／コア内に かつ他方は表面層内に、同程度の結合金属分布が存在し、 ３．Ｗ、Ｔａの含有量、ならびに場合によるＭｏ、Ｎｂ、Ｖおよび／または Ｃｒの割合の和が、０.０１〜３μｍの厚さの表面層内で、下に存在するサーメ ット／コア領域に対して７０〜１００質量％であることを特徴とする、サーメッ ト。 ２．硬質物質の割合９５〜７５質量％、およびＣｏ結合剤および／またはＮｉ 結合剤５〜２５質量％を有し、その際硬質物質相が立方晶のＢ１結晶構造を有す る炭窒化物からなり、Ｔｉ３０〜６０質量％、Ｗ５〜２５質量％、Ｔａ５〜１５ 質量％、このうち７０質量％までがＮｂに置き換えることが可能であり、Ｍｏ０ 〜１２質量％、Ｖ０〜５質量％、Ｃｒ０〜２質量％、Ｈｆおよび／またはＺｒ０ 〜１質量％を含有し、炭窒化物相内の（Ｃ＋Ｎ）含有量が＞８０モル％であり、 窒素の割合Ｎ／（Ｃ＋Ｎ）が０.１５〜０.７であり、かつ結合剤相内にＡｌ２質 量％以内を含有しているか、および／または金属のＷ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｖおよび／ またはＣｒが溶解サーメットにおいて、エネルギー分散方式微量分析によって測 定可能な、０.０１〜３μｍの針入深さを有する表面層内のＣｏ結合剤および／ またはＮｉ結合剤含有量が、コア領域に対するＴｉ含有量が１００〜１２０％で 、その下に存在する層に対して＜９０質量％であり、かつＷ、Ｔａ、ならびに場 合によりＭｏ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｒの含有量の和が８０質量％〜１１０質量％である ことを特徴とする、サーメット。 ３．表面層の下に存在するコア領域が少なくとも実質的に、コア／シェル構造 を有する硬質物質相を有する、請求項１または２記載のサーメット。 ４．表面層内に硬質物質成分相がもっぱら均質に存在する、請求項１から３ま でのいずれか１項記載のサーメット。 ５．表面層の直ぐ下から、最低５０μｍ、最大６００μｍの深さまで領域が、 多孔度≦Ａ０２および＜Ｂ０２（ＩＳＯ４５０５に基づく）、およびその下に存 在するコアにおいて＜Ａ０８およびＢ０４を有する、請求項１、３または４まで のいずれか１項記載のサーメット。 ６．成形体が連続多孔度≦Ａ０２および＜Ｂ０２を有する、請求項２、３また は４までのいずれか１項記載のサーメット。 ７．表面荒さＲ_T≦６μｍ、またはＲ_Z≦５μｍを有する、請求項１から６まで のいずれか１項記載のサーメット。 ８．表面領域内の硬度ＨＶ３０が一定である、請求項１から７までのいずれか １項記載のサーメット。 ９．Ｔｉの炭化物または窒化物および／またはＡｌ₂Ｏ₃からなる１層以上の被 覆を、有利にはＣＶＤ方 法によって施されている、請求項１から８までのいずれか１項記載のサーメット 。 １０．相応する構成要素を含有する出発混合物の混合、粉砕、造粒およびプレ ス成形、および引き続いての有利にはグラファイト熱伝導体を有する焼結炉内で の焼結による請求項１または３から９までのいずれか１項記載のサーメットの製 造方法において、結合剤相の融点まで真空下で圧力≦１０^-1ミリバールで加熱し 、結合剤相の溶融温度から焼結温度までさらに加熱し、該焼結温度で０.２〜２ 時間恒温し、および引き続いて１２００℃への冷却、その際さらなる加熱、恒温 および冷却をＮ₂／（Ｎ₂＋ＣＯ）比０.１〜０.９を有するＮ₂およびＣＯからな る混合気内で、平均値の１０％〜８０％の平均圧力下で交互に、４０〜２４０秒 、有利には４０〜１８０秒の周期時間で実施し、その際平均圧力は、一次関数的 関係： ［式中、ｙは平均圧力（ミリバール）であり、ｘは結合剤含有量を質量％で表し たものである］によって決 て決定され、かつ引き続いてアルゴン、窒素のような不活性ガス下または真空下 で冷却することを特徴とする、サーメットの製造方法。 １１．融点周辺（Ｔ_s±８０℃）での加熱の際、窒素を導入して圧力を０.２ミ リバールに調節する、請求項１０記載の製造方法。 １２．プレス成形体をまず真空下で圧力≦０.１ミリバールで１０２０℃に加 熱し、その後１０２０℃から１３７０℃へ加熱する過程で、窒素を導入して圧力 を０.２ミリバールに調節する、請求項１０記載の製造方法。 １３．焼結後にアイソスタチックプレス成形をアルゴン下で焼結温度近くの温 度で、３０バール以上の圧力で実施する、請求項２から４または６から８または １０から１２までのいずれか１項記載のサーメットの製造方法。