JPH09506977A - 電気化学センサおよびその製造方法 - Google Patents

電気化学センサおよびその製造方法

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JPH09506977A JP8512242A JP51224296A JPH09506977A JP H09506977 A JPH09506977 A JP H09506977A JP 8512242 A JP8512242 A JP 8512242A JP 51224296 A JP51224296 A JP 51224296A JP H09506977 A JPH09506977 A JP H09506977A
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Abstract

(57)【要約】 本発明は、センサ素子を有し、該センサ素子が金属製ケーシング内にシールされて挿入されおり、前記センサ素子とケーシングの間に少なくとも1つのシール部材が配置されている、ガスの酸素含量を測定するための、特に内燃機関の排気ガス中の酸素含量を測定するための電気化学センサに関する。該電気化学的センサは、シール部材(30)が微粒子状もしくは粉末状材料からなり、その体積が無負荷状態ではセンサ素子(22)とケーシング(12)の間のシール間隙(74)よりも大きいように構成されており、かつシール部材を大体積でセンサ素子(22)およびケーシング(12)のシール領域の間に挿入し、かつシール部材をセンサ素子(22)とケーシング(12)の接合の際に圧縮することにより製造される。

Description

【発明の詳細な説明】 電気化学センサおよびその製造方法 本発明は、ガスの酸素含量を測定するための、特に請求項1の上位概念に記載 の内燃機関の排気ガス中の酸素含量を測定するための電気化学センサおよびその 製造方法に関する。 従来の技術 冒頭に記載の形式の電気化学センサは公知である。これらのセンサは、例えば 、固体電解質が密閉された管として金属ケーシング内に密に固定されたセンサ素 子を形成するいわゆるフィンガー構造で構成されている。フィンガー型センサの 場合には、無電位形と電位結合形センサとで区別される。電位結合形センサの場 合には、センサ素子の外側の外側電極の導電体は導電性パッキンシングによって ケーシングと接触されている。無電位形センサの場合には、電極は直接制御装置 と接続されているので、ケーシングとの電気接触は行われない。センサ素子とケ ーシングとの間のシールは両者の場合も実現されねばならない。 ドイツ国特許出願公開第2504206号明細書から無電位形センサが公知で あり、この場合には固体のセンサ素子と金属ケーシングとの間の気密の電気絶縁 された結合を行う、酸化アルミニウムAl23>90 %を有する焼結コランダムからなる複数の電気絶縁セラミックパッキンリングが 使用される。このようなパッキンリングは極めて高価でありかつ3つのパッキン リングでの多重のシールのためにまた比較的危険率が高い。 さらに、米国特許第5,228,975号明細書から、センサ素子が付加的内管 に配置されておりかつこの内管がケーシングに対してパッキンリングおよび無機 シール材料によりシールされていることにより、センサ素子とケーシングとの間 のシールが達成されるセンサが公知である。該センサ素子のための貫通管はセラ ミックリングおよび同様に無機シール材料により付加的にシールされていてもよ い。 発明の効果 それに対して、請求項1に記載の特徴を有する本発明によるセンサは、簡単に センサ素子とケーシングの間のガスおよび熱安定性のシールが達成可能であると いう利点を提供する。シール部材が微粒子状ないしは粉末状の材料、有利には被 覆された黒鉛粒子からなり、その体積が無荷重状態でセンサ素子とケーシングの 間のシール間隙よりも大きいことにより、簡単に、このシール部材をセンサ素子 とケーシングの間の適当な位置に挿入することが可能であり、一方該シール部材 の最終的形成はケーシングをセンサ素子と接合する際に初めて生じる。接合中に 初めてシール部材が最終的 に形成されることにより、シール部材のケーシングもしくはセンサ素子のシール 面への最適な適合が行われる。このことにより、センサ素子および/またはケー シングの表面粗さもしくは表面起伏または場合により非丸み性の補償が可能にな る。該シール部材は接合過程でセンサ素子とケーシングの間の平面状のシールを 形成するので、確実なガスおよび温度密なシールが行われる。 さらに、本発明による方法によれば簡単に、センサをセンサ素子とケーシング の間のシールも含めて自動化された製造のために適当な方法で製造することが可 能である。シール部材が大体積でセンサ素子とケーシングのシール領域に挿入さ れ、かつシール部材がセンサ素子とケーシングの接合の際に圧縮されることによ り、極めて有利にいずれにせよ必要なケーシングとセンサ素子の接合工程をシー ル部材の形成のために利用することができる。既製の緻密なかつ機械的に安定な シール部材を使用しないので、センサ素子および/またはケーシングのシール領 域の許容差に著しく高い精度を設定する必要がない。それというのも、万一存在 する許容差偏差は接合中に初めて形成されるシール部材によって直ちに補償され るからである。 本発明の有利な実施態様によれば、シール部材をばら材料としてセンサ素子ま たはケーシングのシール領域の少なくとも一方に接合前に被覆する、この場合被 覆方法としては好ましくは周知のかつ実証された技術、例えばフレーム溶射、プ ラズマ溶射、ロール塗布または類似の技術を使用することができる。接合工程で 容易に変形することができる予備プレス成形したパッキンリングを使用すること もできる。従って、総じて簡単に製造され、確実にシールする方法が提供される 。特に有利には、センサ素子とケーシングの間の常に確実なシールにより後での センサのシール度試験がもはや不必要であるかまたはこの試験を著しく軽減する ことができる。さらにその上、接合の際に初めてシール部材が形成されることに より種々のセンサにおいて種々のシール部材の備蓄が不必要になるという利点が 提供される。そこで、本発明によるシール部材は、例えば均等に電位結合形また は無電位形センサに使用することができる。 本発明の別の有利な実施態様は、請求項2以降に記載の構成要件から明らかで ある。 図面 次に本発明を添付図面を参照して実施例で詳細に説明する。図中、 第1図は、電気化学的センサの断面図、 第2図は、電位結合形センサのシール領域の拡大図、および 第3図は、無電位形センサのシール領域の拡大図である。 実施例の説明 第1図には、断面図において全体的に10で示されたセンサが示されている。 該センサ10は金属製ケーシング12を有し、該ケーシングはその外側に、図示 されてない測定ガス管に固定するために6面体かぎ14およびねじ山16を有す る。ケーシング12はスリーブ状に形成されかつ貫通孔18を有する。該貫通孔 18は段状に形成されかつシール座20を形成する。ケーシング12の貫通孔1 8内にセンサ素子22が案内されている。該センサ素子22は膨らんだ形のヘッ ド24を有し、該ヘッドはリング状肩26を形成する。センサ素子22とケーシ ング12の間に、一方ではシール座20、他方ではリング状肩26によって形成 されるシール領域28が生じる。該シール領域28内部のシール座20とリング 状肩26の間にシール部材30が配置されている。シール領域28の具体的構造 は第2図および第3図に示されている。 さらに、センサ10の一般的構造を第1図につき説明する。第1図に示された センサ10は無電位形に配置されたセンサ素子22を有し、この場合原理的構造 は同様に電位結合形に配置されたセンサ素子22にも当てはまる。無電位もしく は電位結合形に配置されたセンサ素子22の間の相違は、第2図および第3図に つき説明するので、一般的構造は両者の実施変態に当てはまる。 該センサ素子22は、この実施例では有利に特に内燃機関における排気ガス中 の酸素の酸素分圧を測定するために使用される自体公知の酸素ゾンデである。該 センサ素子22は管状固体電解質32を有し、該電解質の測定ガス側の末端区分 は底部34によって閉鎖されている。固体電解質32の測定ガスに曝される外側 面に、層状の通気性の測定電極36が配置されている。該外画面の向かい側の、 固体電解質32の内側面に基準ガス、例えば空気に曝される通気性かつ同様に層 状の基準電極38が配置されている。測定電極36は導体路40を介して第1の 電極接点42と接続されている。測定電極36の上および部分的に導体路40の 上に、多孔性の保護層44が施されている。基準電極38は第2の導体路46を 介して第2の電極接点48と接続されている。電極接点42と48はそれぞれ固 体電解質32の解放端部から形成された端面50上にある。導体路40および4 6は有利にはセルメット層として構成されかつセンサ素子22と同時焼結されて いる。 測定ガス側でケーシング12の貫通孔18から突出したセンサ素子22は間隔 をもって保護管52により包囲されており、該保護管は測定ガスの出入りのため に開口54を有する。該保護管52は、ケーシング12の測定ガス側の端部に保 持されている、例えば溝56内に嵌合されている。センサ素子22の内部58に は、例えば棒状加熟素子60が充填されている。加熱素子60は、図示されてい ないリード線では熱電圧源に接続されかつ測定ガスから離れて錠止されている。 第1の電極接点48の上に第1の接触部材62および第2の電極接点42の上 に第2の接触部材64が位置する。これらの接触部材62および64は、それら が管状加熱素子60に接触しかつ測定電極リード線66および基準電極リード線 68と接触するように成形されている。リード線66および68は図示されてい ない接続ケーブルと接触されかつ外側に向かって測定または制御装置に導かれて いる。 さらに、ケーシング12の貫通孔18内に絶縁スリーブ70が挿入されており 、該絶縁スリーブは有利にはセラミック材料からなる。図示されていない機械的 手段ににより、絶縁スリーブ70は接触部材62および64に押圧され、それに より電極接点42および48に対する電気的接続が実現される。 絶縁スリーブ70に貫通孔18の長手方向(図面には矢印72で示されている )に作用する力を負荷することにより、センサ素子22のリング状肩26はケー シング12のシール座20に対して押圧される。この場合、シール座20とリン グ状肩26の間に配置されたシール部材30は同様に押込み圧72の負荷を受け かつこの場合さらに説明する形式でガス、水および燃料不透過性のシールを形成 する。 図2には、電位結合形に配置されたセンサ素子14を有するセンサ10のシー ル領域28が示され、一方第3図には無電位形で配置されたセンサ素子14を有 するシール領域28が示されている。異なった構造にもかかわらず、第1図にお けると同じ部分を説明するために同じ参照番号が付されている。 第2図に示された実施例においては、リング状肩26の領域内のセンサ素子2 2が示されている。センサ素子22に導体路40が配置されており、該導体路は 測定電極36を電極接点42と接続する。ケーシング12の領域内で、導体路1 4は貫通孔18の内壁に接触するので、導体路40とケーシング12の間に導電 性結合が生じる。ケーシング12とセンサ素子22の間の、シール座20および リング状肩26の領域の間にシール間隙74が設けられており、該シール間隙は 貫通孔18の方向に軸方向長さを有する。 この間隙74には、シール部材30が挿入されている。この場合には、シール 部材30は、センサ素子22が押込み力72によってケーシング12と接合され る前に、挿入される。この場合、シール部材30は例えばニッケル被覆を備えた 黒鉛粒子の個々のばら材料76からなる。これらは専ら図式的に示されている。 ばら材料76は、センサ素子22を挿入する前に例えばセンサ素子22のリング 状肩26の領域に、周知の方法、例えばフレーム溶射、プラズマ溶射、ロール塗 布、刷毛塗布または類似の技術により被覆されている。この場合、被覆されたば ら材料76の層厚さはリング状間隙74の後での軸方向の長さよりも大きい。 同時に押込み圧72を負荷しながらケーシング12内にセンサ素子22を挿入 することにより、ばら材料76はケーシング12シール座20に対して押圧され るので、ばら材料76は圧縮もしくは緻密化される。 ばら材料76のこの圧縮により、ニッケル被覆された黒鉛粒子78は、ガス、蒸 気および/または液密並びに温度安定性であるような結合を形成する。特に、こ の結合は開口54を経て保護官2に浸入する、燃料混合物を含有することもある 熱ガスに対して不透過性であるので、排気ガス側と排気ガスから離れた側との間 センサ素子22の絶対的シールが行われる。 ばら材料76の圧縮過程で、シール座20もしくはリング状肩26、場合によ りその上に配設された導体路40の場合により存在する非平坦性は補償されるの で、微細粗さおよび/または起伏性も補償することができる。従って、圧縮され たばら材料76から生じるシール部材30は所定の輪郭に問題なく適合する。そ れというのも、あらゆる任意の輪郭に適合することにより、輪郭、この場合はシ ール座20およびリング状肩26の表面起伏はシール部材30によりプレス過程 で型どられるからである。 もう1つの実施例によれば、ばら材料76はセンサ 素子22の挿入の前に既に予備プレス成形されていてもよい。このことは例えば ばら材料を施す際に行うことができるので、センサ素子22への付着強度が改善 される。さらに、ばら材料76の代わりに、押込み力により変形される予備プレ ス成形したパッキンリングを使用することも可能である。この場合、予備プレス 成形されたパッキンリングの軸方向の長さは、同様にリング状肩26の後からの 軸方向の長さより大きい。 第3図には、無電位形で配置されたセンサ素子22におけるシール領域28が 示されており、この場合には個々の図示された部分は第1図に示されたセンサ1 0に対応させるべきである。第2図と同じ部分には、同じ参照番号が付されてお り、再度説明しない。この場合には、シール部材30のほかに、導体路40とケ ーシング12の間に絶縁層80が設けられている。絶縁層80は導体路40の間 、ひいてはセンサ素子22とケーシング12の間の電気絶縁を保証するので、こ れは無電位形に配置されている。該絶縁層80は、第1図に示されているように 、センサ素子22の全長に亙って、該センサ素子をケーシングの内部に位置する ように、設けられていてもよい。しかしながら、第3図に示されているよに、絶 縁層80はシール領域28に亙るだけ延びていてもよい。絶縁層80は、例えば プラズマ溶射されたマグネシウムスピネルまたは釉薬(これは同時焼結されてい てもよい)からなっていて もよい。絶縁層80の材料は、特に、センサ素子22とケーシング12を接合す る際の押込み力に耐えかつシール部材30へのばら材料の既に述べた圧縮を援助 するように選定されている。 総括すれば、場合により予備プレス成形されたおよび/または予備焼結された ばら材料76簡単に施すことによりあらゆる任意のセンサ素子22をケーシング 12内に無電位形でもまた電位結合形でも配置することができ、この際センサ素 子22とケーシング12の間の絶対的ガスおよび熱安定性のシールが行われるこ とは明らかである。従って、センサの特殊な構成のための相応して形成されたパ ッキンリングおよび類似のものの備蓄が不必要である。ばら材料76を施すため の方法は、センサ素子22の製造方法と相溶性であり、ひいては製造過程で直ち に組立てることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アントン ハンス ドイツ連邦共和国 71640 ルートヴィヒ スブルク ロートボイムレ シュトラーセ 21

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.センサ素子を有し、該センサ素子が金属製ケーシング内にシールされて挿 入されおり、前記センサ素子とケーシングの間に少なくとも1つのシール部材が 配置されている、ガスの酸素含量を測定するため、特に内燃機関の排気ガス中の 酸素濃度を測定するための電気化学的センサにおいて、シール部材(30)が微 粒子状もしくは粉末状材料からなり、その体積が無負荷状態ではセンサ素子(2 2)とケーシング(12)の間のシール間隙(74)よりも大きいことを特徴と する、電気化学的センサ。 2.シール部材(30)が被覆黒鉛粒子(78)からなる、請求項1記載のセ ンサ。 3.シール部材(30)が被覆黒鉛流組成物(78)のばら材料(76)とし て挿入可能である、請求項1または2記載のセンサ。 4.シール部材(30)が予備プレス成形したばら材料(76)として挿入可 能である、請求項1から3までのいずれか1項記載のセンサ。 5.シール部材(30)が予備焼結したばら材料(76)として挿入可能であ る、請求項1から4までのいずれか1項記載のセンサ。 6.黒鉛粒子(78)が熱ガス腐食に対して抵抗性を有する被覆を有する、請 求項1から5までのいずれ か1項記載のセンサ。 7.被覆がニッケル被覆またはニッケル合金被覆である、請求項1から6まで のいずれか1項記載のセンサ。 8.シール部材(30)が変形可能なプレス成形体、例えば予備プレス成形し たパッキンリングである、請求項1記載のセンサ。 9.ケーシング内にシール状態で配置されたセンサ素子を有する、特に請求項 1記載の電気化学的センサを製造する方法において、シール部材を大体積でセン サ素子とケーシングのシール領域の間に挿入し、かつシール部材をセンサ素子と ケーシングの接合の際に圧縮することを特徴とする、電気化学的センサの製造方 法。 10.シール部材をばら材料としてセンサ素子またはケーシングのシール領域の 少なくとも一方に接合前に施す、請求項9記載の方法。 11.ばら材料をセンサ素子を製造するための製造に適合した方法で施す、請求 項9または10記載の方法。 12.ばら材料をフレーム溶射、プラズマ溶射、ロール塗布、刷毛塗布または類 似した技術で施す、請求項9から11までのいずれか1項記載の方法。 13.ばら材料をセンサ素子とケーシングの接合前に予備プレス成形する、請求 項9から12までのいずれ か1項記載の方法。 14.ばら材料をセンサ素子とケーシングの接合前に予備焼結する、請求項9か ら13までのいずれか1項記載の方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11153571A (ja) * 1997-11-20 1999-06-08 Denso Corp 酸素センサ素子
JP2000081411A (ja) * 1998-09-04 2000-03-21 Denso Corp 酸素センサ素子
JP2005326396A (ja) * 2004-04-15 2005-11-24 Denso Corp ガスセンサ

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19624494A1 (de) * 1996-06-19 1998-01-02 Sick Ag Sensoranordnung
CN1301403C (zh) * 2004-08-02 2007-02-21 天津港保税区鑫利达石油技术发展有限公司 探头构造及多点气体检测装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2215873A6 (ja) * 1973-01-30 1974-08-23 Bosch Gmbh Robert
DE2504206C3 (de) * 1975-02-01 1981-10-01 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Elektrochemischer Meßfühler für die Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Abgasen, insbesondere in Abgasen von Verbrennungsmotoren
US4088555A (en) * 1975-10-09 1978-05-09 Nissan Motor Company, Limited Oxygen sensor particularly for use in exhaust system of automotive engine
DE3206903A1 (de) * 1982-02-26 1983-09-15 Bosch Gmbh Robert Gassensor, insbesondere fuer abgase von brennkraftmaschinen
JPS60183857U (ja) * 1984-05-07 1985-12-06 株式会社デンソー 酸素濃度検出器
JPH02146362U (ja) * 1989-05-15 1990-12-12
JP2708915B2 (ja) * 1989-11-25 1998-02-04 日本特殊陶業株式会社 ガス検出センサ
DE4318789A1 (de) * 1993-06-05 1994-12-08 Bosch Gmbh Robert Dichtung für ein Sensorelement eines Gassensors

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11153571A (ja) * 1997-11-20 1999-06-08 Denso Corp 酸素センサ素子
JP2000081411A (ja) * 1998-09-04 2000-03-21 Denso Corp 酸素センサ素子
JP2005326396A (ja) * 2004-04-15 2005-11-24 Denso Corp ガスセンサ

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Publication number Publication date
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DE4435885A1 (de) 1996-04-11
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KR960706071A (ko) 1996-11-08
EP0733202A1 (de) 1996-09-25

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