JPH095041A - シート厚み測定装置 - Google Patents

シート厚み測定装置

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JPH095041A
JPH095041A JP17665095A JP17665095A JPH095041A JP H095041 A JPH095041 A JP H095041A JP 17665095 A JP17665095 A JP 17665095A JP 17665095 A JP17665095 A JP 17665095A JP H095041 A JPH095041 A JP H095041A
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JP
Japan
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sheet
thickness
thickness measuring
ceramic green
sheet thickness
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Withdrawn
Application number
JP17665095A
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English (en)
Inventor
Shinya Hashimoto
慎也 橋本
Kazuhiko Uchiumi
和彦 内海
Tatsuya Osaki
達也 大崎
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH095041A publication Critical patent/JPH095041A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 シートの表面を損傷したりすることなくシー
トの波打ちを矯正し、シート厚み測定位置近傍において
シートを略フラットな状態に保持してシート厚みを正確
に測定することが可能なシート厚み測定装置を提供す
る。 【構成】 シート3を浮上させて搬送するフローティン
グプレート7の上面の、エアを吹出す領域を複数に分割
し、そのうちの少なくとも一部の領域についてエア吹出
し量を調整できるようにして、光学式厚みセンサによる
シート厚み測定位置Pを略フラットな状態で通過させ
る。また、シート3を送り出すシート供給部(押出成形
機)4とシート厚み測定位置Pとの間に、シート3に対
して非粘着性の表面を有し、かつ、周速度がシート3の
走行速度と同じか又はそれより遅い速度となるような回
転数でシート3と接して回転し、シート3の波打ちを矯
正するローラ15を配設する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、シート厚み測定装置に
関し、詳しくは、押出成形後のセラミックグリーンシー
トなどのように、部分的に波打ち(変形)があるような
シートの厚みを正確に測定するためのシート厚み測定装
置に関する。
【0002】
【関連技術及び発明が解決しようとする課題】押出成形
によりセラミックワークを製造するにあたっては、押出
成形機によりセラミックグリーンシートを成形し、これ
を乾燥炉に送って乾燥した後、シート厚みが所定の範囲
にある部分についてシート打抜きを行い、セラミックワ
ークを得る方法が用いられる場合がある。
【0003】そして、上記の押出成形により、安定した
品質のセラミックワークを得ようとすると、セラミック
グリーンシートの厚みを一定に保つことが必要になり、
そのためには、押出成形直後のセラミックグリーンシー
トの厚みを正確に測定することが必要になる。
【0004】ところで、セラミックグリーンシートの厚
みを測定する方法の一つとして、レーザーセンサを用い
た光学式厚み測定方法がある。この方法は、図4に示す
ように、セラミックグリーンシート53の上下両面側に
センサヘッド51,52を所定距離Lだけ離して配設
し、上側のセンサヘッド51からセラミックグリーンシ
ート53の上面までの距離L1を測定するとともに、下
側のセンサヘッド52からセラミックグリーンシート5
3の下面までの距離L2を測定し、L,L1,L2からT
=L−L1−L2としてシート厚みTを求めるものであ
る。
【0005】そして、押出成形後のセラミックグリーン
シートの厚みを測定するためのシート厚み測定装置にも
この原理を応用したものがあり、本願の出願人も先に図
5に概略構成を示すようなシート厚み測定装置を出願し
ている(特願平6−159350号)。
【0006】このシート厚み測定装置は、セラミックグ
リーンシート53を供給する押出成形機54と乾燥炉コ
ンベア55の間に配設された、矢印Aの方向(水平方
向)に移動するC字型のセンサベース56と、センサベ
ース56に取り付けられた、セラミックグリーンシート
53の上下両面側に位置するセンサヘッド51,52
と、上面側からエアを吹き出してセラミックグリーンシ
ート53をその上面から浮上させて搬送するフローティ
ングプレート57とを備えて構成されている。そして、
このシート厚み測定装置においては、セラミックグリー
ンシート53が、フローティングプレート57上を浮上
して搬送されるため、表面が粘着性を有しかつ外部から
の応力によって損傷しやすいセラミックグリーンシート
などの厚みを精度よく測定することができるという特徴
を有している。
【0007】ところで、上記のフローティングプレート
57は、例えば図6に示すように、エア投入口58を備
えた、内部に一つのエアチャンバー59が形成される中
空のプレート本体60と、全面からエアを均一に吹き出
すことができるように多孔質材料(例えば焼結金属)か
らなるエアフロート板61を備えて構成されており、そ
の中央部には、センサビームを通過させるためのスリッ
ト62が形成されている。
【0008】しかし、例えばセラミックグリーンシート
53の厚みが小さい場合などにおいては、押出成形直後
からシート幅方向端部や中央部などに波打ちが生じるこ
とが多く、また、フローティングプレート57から吹き
出されるエアによってもセラミックグリーンシート53
の中央部やその周囲などに波打ちが生じ、シート厚みを
正確に測定することができない場合が生じる。すなわ
ち、セラミックグリーンシート53に波打ちがあると、
図7に示すように、シート厚みの真値Tに対して、T'
(=T/COSθ)が測定値となるため、T(1/COSθ−
1)なる誤差が発生することになる。
【0009】また、上記のシートの波打ちを矯正するた
めに、セラミックグリーンシートを押圧板などの押圧手
段を用いてテーブルなどに機械的に押圧することも考え
られるが、セラミックグリーンシートに押圧手段を接触
させて押圧した場合、セラミックグリーンシートの表面
が損傷し、品質上の問題点が発生する場合がある。
【0010】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、シートの表面を損傷したりすることなくシートの波
打ちを矯正し、シート厚み測定位置近傍においてシート
を略フラットな状態に保持してシート厚みを正確に測定
することが可能なシート厚み測定装置を提供することを
目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のシート厚み測定装置は、フローティングプ
レート上をその表面から浮上した状態で搬送されるシー
トの厚みを光学式に測定するシート厚み測定装置であっ
て、前記フローティングプレート上を搬送されるシート
に光線をあてることにより、シートに接触することなく
シート厚みを検出する光学式厚みセンサと、上面のエア
を吹出す領域が複数に分割され、かつ、前記複数に分割
された領域の少なくとも一部の領域についてエア吹出し
量を調整することができるように構成された、シートを
その上面から浮上させて搬送し、前記光学式厚みセンサ
によるシート厚み測定位置を略フラットな状態で通過さ
せるフローティングプレートとを具備することを特徴と
している。
【0012】また、シートを送り出すシート供給部とシ
ート厚み測定位置との間に配設された、シートに対して
非粘着性の表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速
度と同じか又はそれより遅い速度となるような回転数で
シートと接して回転し、シートの波打ちを矯正するロー
ラを具備することを特徴としている。
【0013】
【作用】フローティングプレートの上面のエアを吹出す
複数の領域のうちの少なくとも一部の領域からのエア吹
出し量を調整することにより、シート厚み測定位置近傍
においてシートを略フラットな状態で浮上させて搬送す
ることが可能になる。したがって、光学式厚みセンサに
よりシート厚みを正確に測定することができるようにな
る。
【0014】また、シートを送り出すシート供給部とシ
ート厚み測定位置との間に、シートに対して非粘着性の
表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速度と同じか
又はそれより遅い速度となるような回転数でシートと接
して回転するローラを配設することにより、シート厚み
測定位置より手前でシートの波打ちなどの変形をあらか
じめ軽減しておくことが可能になるとともに、シートを
略フラットな状態でフローティングプレートから浮上さ
せて搬送することが可能になる。その結果、光学式厚み
センサによりシートの厚みをより正確に測定することが
できるようになる。
【0015】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。図1は本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装
置の概略構成を示す斜視図、図2は該シート厚み測定装
置に用いられているフローティングプレートの構造を示
す斜視図、図3はその断面図である。
【0016】この実施例のシート厚み測定装置は、図4
に示すように、セラミックグリーンシート3の上下両面
側にセンサヘッド1,2を所定距離Lだけ離して配設
し、上側のセンサヘッド1からセラミックグリーンシー
ト3の上面までの距離L1を測定するとともに、下側の
センサヘッド2からセラミックグリーンシート3の下面
までの距離L2を測定し、L,L1,L2からT=L−L1
−L2としてシート厚みTを求める方式のものである。
【0017】そして、このシート厚み測定装置は、図1
に示すように、セラミックグリーンシート3を供給する
押出成形機(シート供給部)4と乾燥炉コンベア5の間
に配設された、矢印A方向(水平方向)に移動するC字
型のセンサベース6と、センサベース6に取り付けられ
た、セラミックグリーンシート3の上下両面側に位置す
るセンサヘッド1,2と、上面側からエアを吹き出して
セラミックグリーンシート3をその上面から浮上させて
搬送するフローティングプレート7とを備えて構成され
ている。
【0018】そして、フローティングプレート7は、図
2及び図3に示すように、複数のエアチャンバー9が形
成されるように内部が仕切12により複数の領域に仕切
られ、かつ、各領域(エアチャンバー)9にエア投入口
8が配設された、中空のプレート本体10と、全面から
エアを吹き出すことができるように多孔質材料(この実
施例では焼結金属)から形成されたエアフロート板11
を備えて構成されており、シート厚み測定位置Pとなる
中央部には、センサビームを通過させるためのスリット
18(図2)が形成されている。なお、この実施例にお
いて、仕切12は仕切用板材12aをシール性及び接着
性を有するシール・接着材(ゴム系材料や弾力性を有す
る接着剤など)12bによりプレート本体10の底面及
び側面に接着、固定することにより形成されている。但
し、各エアチャンバー9を形成するための仕切12は、
プレート本体10と一体に形成することも可能である。
【0019】このフローティングプレート7において
は、上述のように仕切12により内部が仕切られて複数
のエアチャンバー9が形成されており、それにともなっ
て、エアフロート板11の上面のエアを吹出す領域もエ
アチャンバー9の領域に対応して複数に分割されてい
る。
【0020】さらに、各エアチャンバー9に配設された
各エア投入口8には、継手13を介してエア配管14が
接続されており、各エア配管14には、各エアチャンバ
ー9へのエア供給量を調整することができるようにレギ
ュレータ(図示せず)が配設されている。これにより、
フローティングプレート7の上面の、エアを吹出す複数
の領域のそれぞれについてエア吹出し量を調整すること
が可能になる。
【0021】また、この実施例のシート厚み測定装置に
おいては、セラミックグリーンシート3を送り出す押出
成形機4とシート厚み測定位置Pとの間に、セラミック
グリーンシート3に対して粘着性のないアラミド繊維を
用い、これをメリヤス織にして円筒状に形成したカバー
15aをローラ本体15bに施してなるローラ15が配
設されている。そして、このローラ15は、カップリン
グ16を介してモータ17に接続されており、その周速
度がセラミックグリーンシート3の走行速度と同じか又
はそれより遅い速度となるような回転数でセラミックグ
リーンシート3と接して回転するように構成されてい
る。
【0022】上記のように構成されたシート厚み測定装
置においては、フローティングプレート7の上面の、エ
アを吹出す複数の領域からのエア吹出し量を調整するこ
とにより、シート厚み測定位置Pの近傍においてセラミ
ックグリーンシート3を略フラットな状態でフローティ
ングプレート7から浮上させて搬送することが可能にな
る。その結果、光学式厚みセンサによりセラミックグリ
ーンシート3の厚みを正確に測定することができる。
【0023】また、押出成形機4とシート厚み測定位置
Pとの間に、セラミックグリーンシート3に対して粘着
性のないアラミド繊維をメリヤス織にして円筒状に形成
したカバー15aを施したローラ15を配設し、周速度
がセラミックグリーンシート3の走行速度と同じか又は
それより遅くなるような回転速度で、セラミックグリー
ンシート3と接して回転させるようにしているので、シ
ート厚み測定位置Pより手前の波打ち矯正部Qでセラミ
ックグリーンシート3の波打ちなどの変形をあらかじめ
軽減、除去しておくことが可能になるため、シート厚み
をより正確に測定することができるようになる。さら
に、カバー15aを構成するアラミド繊維のけば立ちの
間にエア層が形成されることにより、ローラ15の表面
にはっ水性が付与されるとともに、繊維成分の良好な吸
水性により常に安定した表面状態を保つことが可能にな
り、セラミックグリーンシート3を略フラットな状態で
フローティングプレート7から浮上させて搬送すること
が可能になる。その結果、セラミックグリーンシートの
厚みをより正確に測定することができる。
【0024】なお、上記実施例では、ローラ15を設け
た場合について説明したが、本発明のシート厚み測定装
置においては、上記ローラ15を設けなくても、上述の
基本的な効果を得ることが可能である。
【0025】なお、上記実施例では、焼結金属からなる
エアフロート板を用いてフローティングプレートを構成
した場合について説明したが、エアフロート板はこれに
限られるものではなく、メッシュスクリーンやパンチン
グ板などを用いることも可能である。
【0026】また、上記実施例では、アラミド繊維をメ
リヤス織にしたローラカバー15aを用いた場合につい
て説明したが、ローラカバー15aを構成する材料はこ
れに限られるものではなく、シートに対して粘着性のな
い種々の材料を用いることが可能である。
【0027】また、上記実施例では、光学式センサとし
てレーザーセンサを用いた場合について説明したが、他
の光学式センサを用いることも可能である。
【0028】また、上記実施例では、セラミックグリー
ンシートの厚みを測定する場合について説明したが、本
発明は、これに限られるものではなく、部分的に波打ち
などの変形があるような種々のシートの厚みを測定する
場合にも適用することが可能であり、その場合にも上記
実施例の場合と同様の効果を得ることができる。
【0029】本発明は、さらにその他の点においても上
記実施例に限定されるものではなく、フローティングプ
レートの構造や形状、複数の領域の少なくとも一部の領
域についてエア吹出し量を調整するための具体的な構
成、シートの搬送速度とローラの回転速度との関係など
に関し、発明の要旨の範囲内において種々の応用、変形
を加えることが可能である。
【0030】
【発明の効果】上述のように、本発明のシート厚み測定
装置は、フローティングプレートの上面のエアを吹出す
複数の領域のうちの少なくとも一部の領域からのエア吹
出し量を調整することができるようにしているので、シ
ート厚み測定位置近傍においてシートを略フラットな状
態でフローティングプレートから浮上させて搬送するこ
とが可能になる。したがって、光学式厚みセンサにより
シート厚みを正確に測定することが可能になる。
【0031】また、シートを送り出すシート供給部とシ
ート厚み測定位置との間に、シートに対して非粘着性の
表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速度と同じか
又はそれより遅い速度となるような回転数でシートと接
して回転するローラを配設することにより、シート厚み
測定位置より手前でシートの波打ちなどの変形をあらか
じめ軽減しておくことが可能になるとともに、シートを
略フラットな状態でフローティングプレートから浮上さ
せて搬送することが可能になる。その結果、光学式厚み
センサによりシートの厚みをより正確に測定することが
可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装置
を示す斜視図である。
【図2】本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装置
に用いられているフローティングプレートの構造を示す
斜視図である。
【図3】本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装置
に用いられているフローティングプレートの構造を示す
断面図である。
【図4】レーザーセンサを用いた光学式厚み測定方法を
説明する図である。
【図5】本発明が関連するシート厚み測定装置を示す斜
視図である。
【図6】本発明が関連するシート厚み測定装置に用いら
れているフローティングプレートの構成を示す斜視図で
ある。
【図7】光学式厚み測定方法において、シート(セラミ
ックグリーンシート)に波打ちがある場合の誤差の発生
を説明する図である。
【符号の説明】
1 上側のセンサヘッド 2 下側のセンサヘッド 3 セラミックグリーンシート 4 押出成形機 5 乾燥炉コンベア 6 センサベース 7 フローティングプレート 8 エア投入口 9 エアチャンバー 10 プレート本体 11 エアフロート板 12 仕切 12a 仕切用板材 12b シール・接着材 13 継手 14 エア配管 15 ローラ 15a カバー 15b ローラ本体 16 カップリング 17 モータ 18 スリット P シート厚み測定位置 Q 波打ち矯正部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フローティングプレート上をその表面か
    ら浮上した状態で搬送されるシートの厚みを光学式に測
    定するシート厚み測定装置であって、 前記フローティングプレート上を搬送されるシートに光
    線をあてることにより、シートに接触することなくシー
    ト厚みを検出する光学式厚みセンサと、 上面のエアを吹出す領域が複数に分割され、かつ、前記
    複数に分割された領域の少なくとも一部の領域について
    エア吹出し量を調整することができるように構成され
    た、シートをその上面から浮上させて搬送し、前記光学
    式厚みセンサによるシート厚み測定位置を略フラットな
    状態で通過させるフローティングプレートとを具備する
    ことを特徴とするシート厚み測定装置。
  2. 【請求項2】 シートを送り出すシート供給部とシート
    厚み測定位置との間に配設された、シートに対して非粘
    着性の表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速度と
    同じか又はそれより遅い速度となるような回転数でシー
    トと接して回転し、シートの波打ちを矯正するローラを
    具備することを特徴とする請求項1記載のシート厚み測
    定装置。
JP17665095A 1995-06-19 1995-06-19 シート厚み測定装置 Withdrawn JPH095041A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17665095A JPH095041A (ja) 1995-06-19 1995-06-19 シート厚み測定装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP17665095A JPH095041A (ja) 1995-06-19 1995-06-19 シート厚み測定装置

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JPH095041A true JPH095041A (ja) 1997-01-10

Family

ID=16017297

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JP17665095A Withdrawn JPH095041A (ja) 1995-06-19 1995-06-19 シート厚み測定装置

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2317277A3 (en) * 2009-10-30 2011-07-20 NGK Insulators, Ltd. Measuring equipment and method for forming laminated body
CN102506729A (zh) * 2011-10-20 2012-06-20 湖南科技大学 一种薄板厚度激光在线测量装置
JP2013145209A (ja) * 2012-01-16 2013-07-25 Kobe Steel Ltd 連続板厚測定装置、クラウン検査装置及びその検査方法、リップル検査装置及びその検査方法、ならびにクラウン制御装置及びその制御方法
CN115290015A (zh) * 2022-10-08 2022-11-04 临沂荣华文创藤饰股份有限公司 一种用于木制品生产的厚度测量装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2317277A3 (en) * 2009-10-30 2011-07-20 NGK Insulators, Ltd. Measuring equipment and method for forming laminated body
US8359761B2 (en) 2009-10-30 2013-01-29 Ngk Insulators, Ltd. Measuring equipment and method for forming laminated body
CN102506729A (zh) * 2011-10-20 2012-06-20 湖南科技大学 一种薄板厚度激光在线测量装置
JP2013145209A (ja) * 2012-01-16 2013-07-25 Kobe Steel Ltd 連続板厚測定装置、クラウン検査装置及びその検査方法、リップル検査装置及びその検査方法、ならびにクラウン制御装置及びその制御方法
CN115290015A (zh) * 2022-10-08 2022-11-04 临沂荣华文创藤饰股份有限公司 一种用于木制品生产的厚度测量装置
CN115290015B (zh) * 2022-10-08 2023-01-17 临沂荣华文创藤饰股份有限公司 一种用于木制品生产的厚度测量装置

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Effective date: 20020903