JPH095041A - シート厚み測定装置 - Google Patents
シート厚み測定装置Info
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- JPH095041A JPH095041A JP17665095A JP17665095A JPH095041A JP H095041 A JPH095041 A JP H095041A JP 17665095 A JP17665095 A JP 17665095A JP 17665095 A JP17665095 A JP 17665095A JP H095041 A JPH095041 A JP H095041A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 シートの表面を損傷したりすることなくシー
トの波打ちを矯正し、シート厚み測定位置近傍において
シートを略フラットな状態に保持してシート厚みを正確
に測定することが可能なシート厚み測定装置を提供す
る。 【構成】 シート３を浮上させて搬送するフローティン
グプレート７の上面の、エアを吹出す領域を複数に分割
し、そのうちの少なくとも一部の領域についてエア吹出
し量を調整できるようにして、光学式厚みセンサによる
シート厚み測定位置Ｐを略フラットな状態で通過させ
る。また、シート３を送り出すシート供給部（押出成形
機）４とシート厚み測定位置Ｐとの間に、シート３に対
して非粘着性の表面を有し、かつ、周速度がシート３の
走行速度と同じか又はそれより遅い速度となるような回
転数でシート３と接して回転し、シート３の波打ちを矯
正するローラ１５を配設する。
トの波打ちを矯正し、シート厚み測定位置近傍において
シートを略フラットな状態に保持してシート厚みを正確
に測定することが可能なシート厚み測定装置を提供す
る。 【構成】 シート３を浮上させて搬送するフローティン
グプレート７の上面の、エアを吹出す領域を複数に分割
し、そのうちの少なくとも一部の領域についてエア吹出
し量を調整できるようにして、光学式厚みセンサによる
シート厚み測定位置Ｐを略フラットな状態で通過させ
る。また、シート３を送り出すシート供給部（押出成形
機）４とシート厚み測定位置Ｐとの間に、シート３に対
して非粘着性の表面を有し、かつ、周速度がシート３の
走行速度と同じか又はそれより遅い速度となるような回
転数でシート３と接して回転し、シート３の波打ちを矯
正するローラ１５を配設する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シート厚み測定装置に
関し、詳しくは、押出成形後のセラミックグリーンシー
トなどのように、部分的に波打ち（変形）があるような
シートの厚みを正確に測定するためのシート厚み測定装
置に関する。
関し、詳しくは、押出成形後のセラミックグリーンシー
トなどのように、部分的に波打ち（変形）があるような
シートの厚みを正確に測定するためのシート厚み測定装
置に関する。
【０００２】
【関連技術及び発明が解決しようとする課題】押出成形
によりセラミックワークを製造するにあたっては、押出
成形機によりセラミックグリーンシートを成形し、これ
を乾燥炉に送って乾燥した後、シート厚みが所定の範囲
にある部分についてシート打抜きを行い、セラミックワ
ークを得る方法が用いられる場合がある。
によりセラミックワークを製造するにあたっては、押出
成形機によりセラミックグリーンシートを成形し、これ
を乾燥炉に送って乾燥した後、シート厚みが所定の範囲
にある部分についてシート打抜きを行い、セラミックワ
ークを得る方法が用いられる場合がある。
【０００３】そして、上記の押出成形により、安定した
品質のセラミックワークを得ようとすると、セラミック
グリーンシートの厚みを一定に保つことが必要になり、
そのためには、押出成形直後のセラミックグリーンシー
トの厚みを正確に測定することが必要になる。
品質のセラミックワークを得ようとすると、セラミック
グリーンシートの厚みを一定に保つことが必要になり、
そのためには、押出成形直後のセラミックグリーンシー
トの厚みを正確に測定することが必要になる。
【０００４】ところで、セラミックグリーンシートの厚
みを測定する方法の一つとして、レーザーセンサを用い
た光学式厚み測定方法がある。この方法は、図４に示す
ように、セラミックグリーンシート５３の上下両面側に
センサヘッド５１，５２を所定距離Ｌだけ離して配設
し、上側のセンサヘッド５１からセラミックグリーンシ
ート５３の上面までの距離Ｌ1を測定するとともに、下
側のセンサヘッド５２からセラミックグリーンシート５
３の下面までの距離Ｌ2を測定し、Ｌ，Ｌ1，Ｌ2からＴ
＝Ｌ−Ｌ1−Ｌ2としてシート厚みＴを求めるものであ
る。
みを測定する方法の一つとして、レーザーセンサを用い
た光学式厚み測定方法がある。この方法は、図４に示す
ように、セラミックグリーンシート５３の上下両面側に
センサヘッド５１，５２を所定距離Ｌだけ離して配設
し、上側のセンサヘッド５１からセラミックグリーンシ
ート５３の上面までの距離Ｌ1を測定するとともに、下
側のセンサヘッド５２からセラミックグリーンシート５
３の下面までの距離Ｌ2を測定し、Ｌ，Ｌ1，Ｌ2からＴ
＝Ｌ−Ｌ1−Ｌ2としてシート厚みＴを求めるものであ
る。
【０００５】そして、押出成形後のセラミックグリーン
シートの厚みを測定するためのシート厚み測定装置にも
この原理を応用したものがあり、本願の出願人も先に図
５に概略構成を示すようなシート厚み測定装置を出願し
ている（特願平６−１５９３５０号）。
シートの厚みを測定するためのシート厚み測定装置にも
この原理を応用したものがあり、本願の出願人も先に図
５に概略構成を示すようなシート厚み測定装置を出願し
ている（特願平６−１５９３５０号）。
【０００６】このシート厚み測定装置は、セラミックグ
リーンシート５３を供給する押出成形機５４と乾燥炉コ
ンベア５５の間に配設された、矢印Ａの方向（水平方
向）に移動するＣ字型のセンサベース５６と、センサベ
ース５６に取り付けられた、セラミックグリーンシート
５３の上下両面側に位置するセンサヘッド５１，５２
と、上面側からエアを吹き出してセラミックグリーンシ
ート５３をその上面から浮上させて搬送するフローティ
ングプレート５７とを備えて構成されている。そして、
このシート厚み測定装置においては、セラミックグリー
ンシート５３が、フローティングプレート５７上を浮上
して搬送されるため、表面が粘着性を有しかつ外部から
の応力によって損傷しやすいセラミックグリーンシート
などの厚みを精度よく測定することができるという特徴
を有している。
リーンシート５３を供給する押出成形機５４と乾燥炉コ
ンベア５５の間に配設された、矢印Ａの方向（水平方
向）に移動するＣ字型のセンサベース５６と、センサベ
ース５６に取り付けられた、セラミックグリーンシート
５３の上下両面側に位置するセンサヘッド５１，５２
と、上面側からエアを吹き出してセラミックグリーンシ
ート５３をその上面から浮上させて搬送するフローティ
ングプレート５７とを備えて構成されている。そして、
このシート厚み測定装置においては、セラミックグリー
ンシート５３が、フローティングプレート５７上を浮上
して搬送されるため、表面が粘着性を有しかつ外部から
の応力によって損傷しやすいセラミックグリーンシート
などの厚みを精度よく測定することができるという特徴
を有している。
【０００７】ところで、上記のフローティングプレート
５７は、例えば図６に示すように、エア投入口５８を備
えた、内部に一つのエアチャンバー５９が形成される中
空のプレート本体６０と、全面からエアを均一に吹き出
すことができるように多孔質材料（例えば焼結金属）か
らなるエアフロート板６１を備えて構成されており、そ
の中央部には、センサビームを通過させるためのスリッ
ト６２が形成されている。
５７は、例えば図６に示すように、エア投入口５８を備
えた、内部に一つのエアチャンバー５９が形成される中
空のプレート本体６０と、全面からエアを均一に吹き出
すことができるように多孔質材料（例えば焼結金属）か
らなるエアフロート板６１を備えて構成されており、そ
の中央部には、センサビームを通過させるためのスリッ
ト６２が形成されている。
【０００８】しかし、例えばセラミックグリーンシート
５３の厚みが小さい場合などにおいては、押出成形直後
からシート幅方向端部や中央部などに波打ちが生じるこ
とが多く、また、フローティングプレート５７から吹き
出されるエアによってもセラミックグリーンシート５３
の中央部やその周囲などに波打ちが生じ、シート厚みを
正確に測定することができない場合が生じる。すなわ
ち、セラミックグリーンシート５３に波打ちがあると、
図７に示すように、シート厚みの真値Ｔに対して、Ｔ'
（＝Ｔ／COSθ）が測定値となるため、Ｔ（１／COSθ−
１）なる誤差が発生することになる。
５３の厚みが小さい場合などにおいては、押出成形直後
からシート幅方向端部や中央部などに波打ちが生じるこ
とが多く、また、フローティングプレート５７から吹き
出されるエアによってもセラミックグリーンシート５３
の中央部やその周囲などに波打ちが生じ、シート厚みを
正確に測定することができない場合が生じる。すなわ
ち、セラミックグリーンシート５３に波打ちがあると、
図７に示すように、シート厚みの真値Ｔに対して、Ｔ'
（＝Ｔ／COSθ）が測定値となるため、Ｔ（１／COSθ−
１）なる誤差が発生することになる。
【０００９】また、上記のシートの波打ちを矯正するた
めに、セラミックグリーンシートを押圧板などの押圧手
段を用いてテーブルなどに機械的に押圧することも考え
られるが、セラミックグリーンシートに押圧手段を接触
させて押圧した場合、セラミックグリーンシートの表面
が損傷し、品質上の問題点が発生する場合がある。
めに、セラミックグリーンシートを押圧板などの押圧手
段を用いてテーブルなどに機械的に押圧することも考え
られるが、セラミックグリーンシートに押圧手段を接触
させて押圧した場合、セラミックグリーンシートの表面
が損傷し、品質上の問題点が発生する場合がある。
【００１０】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、シートの表面を損傷したりすることなくシートの波
打ちを矯正し、シート厚み測定位置近傍においてシート
を略フラットな状態に保持してシート厚みを正確に測定
することが可能なシート厚み測定装置を提供することを
目的とする。
り、シートの表面を損傷したりすることなくシートの波
打ちを矯正し、シート厚み測定位置近傍においてシート
を略フラットな状態に保持してシート厚みを正確に測定
することが可能なシート厚み測定装置を提供することを
目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のシート厚み測定装置は、フローティングプ
レート上をその表面から浮上した状態で搬送されるシー
トの厚みを光学式に測定するシート厚み測定装置であっ
て、前記フローティングプレート上を搬送されるシート
に光線をあてることにより、シートに接触することなく
シート厚みを検出する光学式厚みセンサと、上面のエア
を吹出す領域が複数に分割され、かつ、前記複数に分割
された領域の少なくとも一部の領域についてエア吹出し
量を調整することができるように構成された、シートを
その上面から浮上させて搬送し、前記光学式厚みセンサ
によるシート厚み測定位置を略フラットな状態で通過さ
せるフローティングプレートとを具備することを特徴と
している。
に、本発明のシート厚み測定装置は、フローティングプ
レート上をその表面から浮上した状態で搬送されるシー
トの厚みを光学式に測定するシート厚み測定装置であっ
て、前記フローティングプレート上を搬送されるシート
に光線をあてることにより、シートに接触することなく
シート厚みを検出する光学式厚みセンサと、上面のエア
を吹出す領域が複数に分割され、かつ、前記複数に分割
された領域の少なくとも一部の領域についてエア吹出し
量を調整することができるように構成された、シートを
その上面から浮上させて搬送し、前記光学式厚みセンサ
によるシート厚み測定位置を略フラットな状態で通過さ
せるフローティングプレートとを具備することを特徴と
している。
【００１２】また、シートを送り出すシート供給部とシ
ート厚み測定位置との間に配設された、シートに対して
非粘着性の表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速
度と同じか又はそれより遅い速度となるような回転数で
シートと接して回転し、シートの波打ちを矯正するロー
ラを具備することを特徴としている。
ート厚み測定位置との間に配設された、シートに対して
非粘着性の表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速
度と同じか又はそれより遅い速度となるような回転数で
シートと接して回転し、シートの波打ちを矯正するロー
ラを具備することを特徴としている。
【００１３】
【作用】フローティングプレートの上面のエアを吹出す
複数の領域のうちの少なくとも一部の領域からのエア吹
出し量を調整することにより、シート厚み測定位置近傍
においてシートを略フラットな状態で浮上させて搬送す
ることが可能になる。したがって、光学式厚みセンサに
よりシート厚みを正確に測定することができるようにな
る。
複数の領域のうちの少なくとも一部の領域からのエア吹
出し量を調整することにより、シート厚み測定位置近傍
においてシートを略フラットな状態で浮上させて搬送す
ることが可能になる。したがって、光学式厚みセンサに
よりシート厚みを正確に測定することができるようにな
る。
【００１４】また、シートを送り出すシート供給部とシ
ート厚み測定位置との間に、シートに対して非粘着性の
表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速度と同じか
又はそれより遅い速度となるような回転数でシートと接
して回転するローラを配設することにより、シート厚み
測定位置より手前でシートの波打ちなどの変形をあらか
じめ軽減しておくことが可能になるとともに、シートを
略フラットな状態でフローティングプレートから浮上さ
せて搬送することが可能になる。その結果、光学式厚み
センサによりシートの厚みをより正確に測定することが
できるようになる。
ート厚み測定位置との間に、シートに対して非粘着性の
表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速度と同じか
又はそれより遅い速度となるような回転数でシートと接
して回転するローラを配設することにより、シート厚み
測定位置より手前でシートの波打ちなどの変形をあらか
じめ軽減しておくことが可能になるとともに、シートを
略フラットな状態でフローティングプレートから浮上さ
せて搬送することが可能になる。その結果、光学式厚み
センサによりシートの厚みをより正確に測定することが
できるようになる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。図１は本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装
置の概略構成を示す斜視図、図２は該シート厚み測定装
置に用いられているフローティングプレートの構造を示
す斜視図、図３はその断面図である。
る。図１は本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装
置の概略構成を示す斜視図、図２は該シート厚み測定装
置に用いられているフローティングプレートの構造を示
す斜視図、図３はその断面図である。
【００１６】この実施例のシート厚み測定装置は、図４
に示すように、セラミックグリーンシート３の上下両面
側にセンサヘッド１，２を所定距離Ｌだけ離して配設
し、上側のセンサヘッド１からセラミックグリーンシー
ト３の上面までの距離Ｌ1を測定するとともに、下側の
センサヘッド２からセラミックグリーンシート３の下面
までの距離Ｌ2を測定し、Ｌ，Ｌ1，Ｌ2からＴ＝Ｌ−Ｌ1
−Ｌ2としてシート厚みＴを求める方式のものである。
に示すように、セラミックグリーンシート３の上下両面
側にセンサヘッド１，２を所定距離Ｌだけ離して配設
し、上側のセンサヘッド１からセラミックグリーンシー
ト３の上面までの距離Ｌ1を測定するとともに、下側の
センサヘッド２からセラミックグリーンシート３の下面
までの距離Ｌ2を測定し、Ｌ，Ｌ1，Ｌ2からＴ＝Ｌ−Ｌ1
−Ｌ2としてシート厚みＴを求める方式のものである。
【００１７】そして、このシート厚み測定装置は、図１
に示すように、セラミックグリーンシート３を供給する
押出成形機（シート供給部）４と乾燥炉コンベア５の間
に配設された、矢印Ａ方向（水平方向）に移動するＣ字
型のセンサベース６と、センサベース６に取り付けられ
た、セラミックグリーンシート３の上下両面側に位置す
るセンサヘッド１，２と、上面側からエアを吹き出して
セラミックグリーンシート３をその上面から浮上させて
搬送するフローティングプレート７とを備えて構成され
ている。
に示すように、セラミックグリーンシート３を供給する
押出成形機（シート供給部）４と乾燥炉コンベア５の間
に配設された、矢印Ａ方向（水平方向）に移動するＣ字
型のセンサベース６と、センサベース６に取り付けられ
た、セラミックグリーンシート３の上下両面側に位置す
るセンサヘッド１，２と、上面側からエアを吹き出して
セラミックグリーンシート３をその上面から浮上させて
搬送するフローティングプレート７とを備えて構成され
ている。
【００１８】そして、フローティングプレート７は、図
２及び図３に示すように、複数のエアチャンバー９が形
成されるように内部が仕切１２により複数の領域に仕切
られ、かつ、各領域（エアチャンバー）９にエア投入口
８が配設された、中空のプレート本体１０と、全面から
エアを吹き出すことができるように多孔質材料（この実
施例では焼結金属）から形成されたエアフロート板１１
を備えて構成されており、シート厚み測定位置Ｐとなる
中央部には、センサビームを通過させるためのスリット
１８（図２）が形成されている。なお、この実施例にお
いて、仕切１２は仕切用板材１２ａをシール性及び接着
性を有するシール・接着材（ゴム系材料や弾力性を有す
る接着剤など）１２ｂによりプレート本体１０の底面及
び側面に接着、固定することにより形成されている。但
し、各エアチャンバー９を形成するための仕切１２は、
プレート本体１０と一体に形成することも可能である。
２及び図３に示すように、複数のエアチャンバー９が形
成されるように内部が仕切１２により複数の領域に仕切
られ、かつ、各領域（エアチャンバー）９にエア投入口
８が配設された、中空のプレート本体１０と、全面から
エアを吹き出すことができるように多孔質材料（この実
施例では焼結金属）から形成されたエアフロート板１１
を備えて構成されており、シート厚み測定位置Ｐとなる
中央部には、センサビームを通過させるためのスリット
１８（図２）が形成されている。なお、この実施例にお
いて、仕切１２は仕切用板材１２ａをシール性及び接着
性を有するシール・接着材（ゴム系材料や弾力性を有す
る接着剤など）１２ｂによりプレート本体１０の底面及
び側面に接着、固定することにより形成されている。但
し、各エアチャンバー９を形成するための仕切１２は、
プレート本体１０と一体に形成することも可能である。
【００１９】このフローティングプレート７において
は、上述のように仕切１２により内部が仕切られて複数
のエアチャンバー９が形成されており、それにともなっ
て、エアフロート板１１の上面のエアを吹出す領域もエ
アチャンバー９の領域に対応して複数に分割されてい
る。
は、上述のように仕切１２により内部が仕切られて複数
のエアチャンバー９が形成されており、それにともなっ
て、エアフロート板１１の上面のエアを吹出す領域もエ
アチャンバー９の領域に対応して複数に分割されてい
る。
【００２０】さらに、各エアチャンバー９に配設された
各エア投入口８には、継手１３を介してエア配管１４が
接続されており、各エア配管１４には、各エアチャンバ
ー９へのエア供給量を調整することができるようにレギ
ュレータ（図示せず）が配設されている。これにより、
フローティングプレート７の上面の、エアを吹出す複数
の領域のそれぞれについてエア吹出し量を調整すること
が可能になる。
各エア投入口８には、継手１３を介してエア配管１４が
接続されており、各エア配管１４には、各エアチャンバ
ー９へのエア供給量を調整することができるようにレギ
ュレータ（図示せず）が配設されている。これにより、
フローティングプレート７の上面の、エアを吹出す複数
の領域のそれぞれについてエア吹出し量を調整すること
が可能になる。
【００２１】また、この実施例のシート厚み測定装置に
おいては、セラミックグリーンシート３を送り出す押出
成形機４とシート厚み測定位置Ｐとの間に、セラミック
グリーンシート３に対して粘着性のないアラミド繊維を
用い、これをメリヤス織にして円筒状に形成したカバー
１５ａをローラ本体１５ｂに施してなるローラ１５が配
設されている。そして、このローラ１５は、カップリン
グ１６を介してモータ１７に接続されており、その周速
度がセラミックグリーンシート３の走行速度と同じか又
はそれより遅い速度となるような回転数でセラミックグ
リーンシート３と接して回転するように構成されてい
る。
おいては、セラミックグリーンシート３を送り出す押出
成形機４とシート厚み測定位置Ｐとの間に、セラミック
グリーンシート３に対して粘着性のないアラミド繊維を
用い、これをメリヤス織にして円筒状に形成したカバー
１５ａをローラ本体１５ｂに施してなるローラ１５が配
設されている。そして、このローラ１５は、カップリン
グ１６を介してモータ１７に接続されており、その周速
度がセラミックグリーンシート３の走行速度と同じか又
はそれより遅い速度となるような回転数でセラミックグ
リーンシート３と接して回転するように構成されてい
る。
【００２２】上記のように構成されたシート厚み測定装
置においては、フローティングプレート７の上面の、エ
アを吹出す複数の領域からのエア吹出し量を調整するこ
とにより、シート厚み測定位置Ｐの近傍においてセラミ
ックグリーンシート３を略フラットな状態でフローティ
ングプレート７から浮上させて搬送することが可能にな
る。その結果、光学式厚みセンサによりセラミックグリ
ーンシート３の厚みを正確に測定することができる。
置においては、フローティングプレート７の上面の、エ
アを吹出す複数の領域からのエア吹出し量を調整するこ
とにより、シート厚み測定位置Ｐの近傍においてセラミ
ックグリーンシート３を略フラットな状態でフローティ
ングプレート７から浮上させて搬送することが可能にな
る。その結果、光学式厚みセンサによりセラミックグリ
ーンシート３の厚みを正確に測定することができる。
【００２３】また、押出成形機４とシート厚み測定位置
Ｐとの間に、セラミックグリーンシート３に対して粘着
性のないアラミド繊維をメリヤス織にして円筒状に形成
したカバー１５ａを施したローラ１５を配設し、周速度
がセラミックグリーンシート３の走行速度と同じか又は
それより遅くなるような回転速度で、セラミックグリー
ンシート３と接して回転させるようにしているので、シ
ート厚み測定位置Ｐより手前の波打ち矯正部Ｑでセラミ
ックグリーンシート３の波打ちなどの変形をあらかじめ
軽減、除去しておくことが可能になるため、シート厚み
をより正確に測定することができるようになる。さら
に、カバー１５ａを構成するアラミド繊維のけば立ちの
間にエア層が形成されることにより、ローラ１５の表面
にはっ水性が付与されるとともに、繊維成分の良好な吸
水性により常に安定した表面状態を保つことが可能にな
り、セラミックグリーンシート３を略フラットな状態で
フローティングプレート７から浮上させて搬送すること
が可能になる。その結果、セラミックグリーンシートの
厚みをより正確に測定することができる。
Ｐとの間に、セラミックグリーンシート３に対して粘着
性のないアラミド繊維をメリヤス織にして円筒状に形成
したカバー１５ａを施したローラ１５を配設し、周速度
がセラミックグリーンシート３の走行速度と同じか又は
それより遅くなるような回転速度で、セラミックグリー
ンシート３と接して回転させるようにしているので、シ
ート厚み測定位置Ｐより手前の波打ち矯正部Ｑでセラミ
ックグリーンシート３の波打ちなどの変形をあらかじめ
軽減、除去しておくことが可能になるため、シート厚み
をより正確に測定することができるようになる。さら
に、カバー１５ａを構成するアラミド繊維のけば立ちの
間にエア層が形成されることにより、ローラ１５の表面
にはっ水性が付与されるとともに、繊維成分の良好な吸
水性により常に安定した表面状態を保つことが可能にな
り、セラミックグリーンシート３を略フラットな状態で
フローティングプレート７から浮上させて搬送すること
が可能になる。その結果、セラミックグリーンシートの
厚みをより正確に測定することができる。
【００２４】なお、上記実施例では、ローラ１５を設け
た場合について説明したが、本発明のシート厚み測定装
置においては、上記ローラ１５を設けなくても、上述の
基本的な効果を得ることが可能である。
た場合について説明したが、本発明のシート厚み測定装
置においては、上記ローラ１５を設けなくても、上述の
基本的な効果を得ることが可能である。
【００２５】なお、上記実施例では、焼結金属からなる
エアフロート板を用いてフローティングプレートを構成
した場合について説明したが、エアフロート板はこれに
限られるものではなく、メッシュスクリーンやパンチン
グ板などを用いることも可能である。
エアフロート板を用いてフローティングプレートを構成
した場合について説明したが、エアフロート板はこれに
限られるものではなく、メッシュスクリーンやパンチン
グ板などを用いることも可能である。
【００２６】また、上記実施例では、アラミド繊維をメ
リヤス織にしたローラカバー１５ａを用いた場合につい
て説明したが、ローラカバー１５ａを構成する材料はこ
れに限られるものではなく、シートに対して粘着性のな
い種々の材料を用いることが可能である。
リヤス織にしたローラカバー１５ａを用いた場合につい
て説明したが、ローラカバー１５ａを構成する材料はこ
れに限られるものではなく、シートに対して粘着性のな
い種々の材料を用いることが可能である。
【００２７】また、上記実施例では、光学式センサとし
てレーザーセンサを用いた場合について説明したが、他
の光学式センサを用いることも可能である。
てレーザーセンサを用いた場合について説明したが、他
の光学式センサを用いることも可能である。
【００２８】また、上記実施例では、セラミックグリー
ンシートの厚みを測定する場合について説明したが、本
発明は、これに限られるものではなく、部分的に波打ち
などの変形があるような種々のシートの厚みを測定する
場合にも適用することが可能であり、その場合にも上記
実施例の場合と同様の効果を得ることができる。
ンシートの厚みを測定する場合について説明したが、本
発明は、これに限られるものではなく、部分的に波打ち
などの変形があるような種々のシートの厚みを測定する
場合にも適用することが可能であり、その場合にも上記
実施例の場合と同様の効果を得ることができる。
【００２９】本発明は、さらにその他の点においても上
記実施例に限定されるものではなく、フローティングプ
レートの構造や形状、複数の領域の少なくとも一部の領
域についてエア吹出し量を調整するための具体的な構
成、シートの搬送速度とローラの回転速度との関係など
に関し、発明の要旨の範囲内において種々の応用、変形
を加えることが可能である。
記実施例に限定されるものではなく、フローティングプ
レートの構造や形状、複数の領域の少なくとも一部の領
域についてエア吹出し量を調整するための具体的な構
成、シートの搬送速度とローラの回転速度との関係など
に関し、発明の要旨の範囲内において種々の応用、変形
を加えることが可能である。
【００３０】
【発明の効果】上述のように、本発明のシート厚み測定
装置は、フローティングプレートの上面のエアを吹出す
複数の領域のうちの少なくとも一部の領域からのエア吹
出し量を調整することができるようにしているので、シ
ート厚み測定位置近傍においてシートを略フラットな状
態でフローティングプレートから浮上させて搬送するこ
とが可能になる。したがって、光学式厚みセンサにより
シート厚みを正確に測定することが可能になる。
装置は、フローティングプレートの上面のエアを吹出す
複数の領域のうちの少なくとも一部の領域からのエア吹
出し量を調整することができるようにしているので、シ
ート厚み測定位置近傍においてシートを略フラットな状
態でフローティングプレートから浮上させて搬送するこ
とが可能になる。したがって、光学式厚みセンサにより
シート厚みを正確に測定することが可能になる。
【００３１】また、シートを送り出すシート供給部とシ
ート厚み測定位置との間に、シートに対して非粘着性の
表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速度と同じか
又はそれより遅い速度となるような回転数でシートと接
して回転するローラを配設することにより、シート厚み
測定位置より手前でシートの波打ちなどの変形をあらか
じめ軽減しておくことが可能になるとともに、シートを
略フラットな状態でフローティングプレートから浮上さ
せて搬送することが可能になる。その結果、光学式厚み
センサによりシートの厚みをより正確に測定することが
可能になる。
ート厚み測定位置との間に、シートに対して非粘着性の
表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速度と同じか
又はそれより遅い速度となるような回転数でシートと接
して回転するローラを配設することにより、シート厚み
測定位置より手前でシートの波打ちなどの変形をあらか
じめ軽減しておくことが可能になるとともに、シートを
略フラットな状態でフローティングプレートから浮上さ
せて搬送することが可能になる。その結果、光学式厚み
センサによりシートの厚みをより正確に測定することが
可能になる。
【図１】本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装置
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装置
に用いられているフローティングプレートの構造を示す
斜視図である。
に用いられているフローティングプレートの構造を示す
斜視図である。
【図３】本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装置
に用いられているフローティングプレートの構造を示す
断面図である。
に用いられているフローティングプレートの構造を示す
断面図である。
【図４】レーザーセンサを用いた光学式厚み測定方法を
説明する図である。
説明する図である。
【図５】本発明が関連するシート厚み測定装置を示す斜
視図である。
視図である。
【図６】本発明が関連するシート厚み測定装置に用いら
れているフローティングプレートの構成を示す斜視図で
ある。
れているフローティングプレートの構成を示す斜視図で
ある。
【図７】光学式厚み測定方法において、シート（セラミ
ックグリーンシート）に波打ちがある場合の誤差の発生
を説明する図である。
ックグリーンシート）に波打ちがある場合の誤差の発生
を説明する図である。
１ 上側のセンサヘッド ２ 下側のセンサヘッド ３ セラミックグリーンシート ４ 押出成形機 ５ 乾燥炉コンベア ６ センサベース ７ フローティングプレート ８ エア投入口 ９ エアチャンバー １０ プレート本体 １１ エアフロート板 １２ 仕切 １２ａ 仕切用板材 １２ｂ シール・接着材 １３ 継手 １４ エア配管 １５ ローラ １５ａ カバー １５ｂ ローラ本体 １６ カップリング １７ モータ １８ スリット Ｐ シート厚み測定位置 Ｑ 波打ち矯正部
Claims (2)
- 【請求項１】 フローティングプレート上をその表面か
ら浮上した状態で搬送されるシートの厚みを光学式に測
定するシート厚み測定装置であって、 前記フローティングプレート上を搬送されるシートに光
線をあてることにより、シートに接触することなくシー
ト厚みを検出する光学式厚みセンサと、 上面のエアを吹出す領域が複数に分割され、かつ、前記
複数に分割された領域の少なくとも一部の領域について
エア吹出し量を調整することができるように構成され
た、シートをその上面から浮上させて搬送し、前記光学
式厚みセンサによるシート厚み測定位置を略フラットな
状態で通過させるフローティングプレートとを具備する
ことを特徴とするシート厚み測定装置。 - 【請求項２】 シートを送り出すシート供給部とシート
厚み測定位置との間に配設された、シートに対して非粘
着性の表面を有し、かつ、周速度がシートの走行速度と
同じか又はそれより遅い速度となるような回転数でシー
トと接して回転し、シートの波打ちを矯正するローラを
具備することを特徴とする請求項１記載のシート厚み測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17665095A JPH095041A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | シート厚み測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17665095A JPH095041A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | シート厚み測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH095041A true JPH095041A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=16017297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17665095A Withdrawn JPH095041A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | シート厚み測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH095041A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2317277A3 (en) * | 2009-10-30 | 2011-07-20 | NGK Insulators, Ltd. | Measuring equipment and method for forming laminated body |
| CN102506729A (zh) * | 2011-10-20 | 2012-06-20 | 湖南科技大学 | 一种薄板厚度激光在线测量装置 |
| JP2013145209A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Kobe Steel Ltd | 連続板厚測定装置、クラウン検査装置及びその検査方法、リップル検査装置及びその検査方法、ならびにクラウン制御装置及びその制御方法 |
| CN115290015A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-11-04 | 临沂荣华文创藤饰股份有限公司 | 一种用于木制品生产的厚度测量装置 |
-
1995
- 1995-06-19 JP JP17665095A patent/JPH095041A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2317277A3 (en) * | 2009-10-30 | 2011-07-20 | NGK Insulators, Ltd. | Measuring equipment and method for forming laminated body |
| US8359761B2 (en) | 2009-10-30 | 2013-01-29 | Ngk Insulators, Ltd. | Measuring equipment and method for forming laminated body |
| CN102506729A (zh) * | 2011-10-20 | 2012-06-20 | 湖南科技大学 | 一种薄板厚度激光在线测量装置 |
| JP2013145209A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Kobe Steel Ltd | 連続板厚測定装置、クラウン検査装置及びその検査方法、リップル検査装置及びその検査方法、ならびにクラウン制御装置及びその制御方法 |
| CN115290015A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-11-04 | 临沂荣华文创藤饰股份有限公司 | 一种用于木制品生产的厚度测量装置 |
| CN115290015B (zh) * | 2022-10-08 | 2023-01-17 | 临沂荣华文创藤饰股份有限公司 | 一种用于木制品生产的厚度测量装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |