JPH095039A - シート厚み測定装置 - Google Patents
シート厚み測定装置Info
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- JPH095039A JPH095039A JP17664795A JP17664795A JPH095039A JP H095039 A JPH095039 A JP H095039A JP 17664795 A JP17664795 A JP 17664795A JP 17664795 A JP17664795 A JP 17664795A JP H095039 A JPH095039 A JP H095039A
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- gas blowing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 波打ちのあるようなシートについても、シー
トの表面を損傷したりすることなく正確に厚みを測定で
きるようにする。 【構成】 気体吹付手段５の気体吹出部１３，１６か
ら、シート厚み測定箇所付近の両面に気体を略均一に吹
き付けることにより、光学式センサ４に対してシート３
を所定の位置に保持するとともに、厚み測定に悪影響を
与える波打ちなどのシート３の変形を矯正して、シート
厚みを正確に測定できるようにする。また、気体吹付手
段５の気体吹出部１３，１６に多孔質材料を用いる。さ
らに、気体吹付手段５の、シート３に接近する部分の角
部及び／又は稜線部に丸みを持たせるとともに、シート
３に接触したときにシート３を損傷させないようにシー
ト３から加わる力に応じて気体吹付手段５を逃がす気体
吹付手段退避機構２３を設ける。
トの表面を損傷したりすることなく正確に厚みを測定で
きるようにする。 【構成】 気体吹付手段５の気体吹出部１３，１６か
ら、シート厚み測定箇所付近の両面に気体を略均一に吹
き付けることにより、光学式センサ４に対してシート３
を所定の位置に保持するとともに、厚み測定に悪影響を
与える波打ちなどのシート３の変形を矯正して、シート
厚みを正確に測定できるようにする。また、気体吹付手
段５の気体吹出部１３，１６に多孔質材料を用いる。さ
らに、気体吹付手段５の、シート３に接近する部分の角
部及び／又は稜線部に丸みを持たせるとともに、シート
３に接触したときにシート３を損傷させないようにシー
ト３から加わる力に応じて気体吹付手段５を逃がす気体
吹付手段退避機構２３を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シート厚み測定装置に
関し、詳しくは、例えば、セラミックグリーンシートな
どのように、部分的に波打ちなどの変形があるようなシ
ートの厚みを正確に測定するためのシート厚み測定装置
に関する。
関し、詳しくは、例えば、セラミックグリーンシートな
どのように、部分的に波打ちなどの変形があるようなシ
ートの厚みを正確に測定するためのシート厚み測定装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】押出成
形によりセラミックワークを製造するにあたっては、通
常、押出成形機によりセラミックグリーンシートを成形
し、これを乾燥炉に送って乾燥した後、シート厚みを測
定し、その測定値が所定の範囲にある部分についてシー
ト打抜きを行い、セラミックワークを得る方法が用いら
れている。
形によりセラミックワークを製造するにあたっては、通
常、押出成形機によりセラミックグリーンシートを成形
し、これを乾燥炉に送って乾燥した後、シート厚みを測
定し、その測定値が所定の範囲にある部分についてシー
ト打抜きを行い、セラミックワークを得る方法が用いら
れている。
【０００３】ところで、上記の押出成形により、安定し
た品質のセラミックワークを得るためには、セラミック
グリーンシートの厚み（シート厚み）を一定に保つこと
が必要になる。そこで、シート厚みが所定の範囲にある
ことを確認するために、シート打抜き前にシート厚みの
測定を行っている。
た品質のセラミックワークを得るためには、セラミック
グリーンシートの厚み（シート厚み）を一定に保つこと
が必要になる。そこで、シート厚みが所定の範囲にある
ことを確認するために、シート打抜き前にシート厚みの
測定を行っている。
【０００４】このシート厚みの測定方法の一つとして、
レーザーセンサを用いた光学式厚み測定方法がある。こ
の方法は、図４に示すように、セラミックグリーンシー
ト５３の上下両面側にセンサヘッド５１，５２を所定距
離Ｌだけ離して配設し、上側のセンサヘッド５１からセ
ラミックグリーンシート５３（被測定物）の上面までの
距離Ｌ1を測定するとともに、下側のセンサヘッド５２
からセラミックグリーンシート５３の下面までの距離Ｌ
2を測定し、Ｌ，Ｌ1，Ｌ2からＴ＝Ｌ−Ｌ1−Ｌ2として
シート厚みＴを求めるものである。
レーザーセンサを用いた光学式厚み測定方法がある。こ
の方法は、図４に示すように、セラミックグリーンシー
ト５３の上下両面側にセンサヘッド５１，５２を所定距
離Ｌだけ離して配設し、上側のセンサヘッド５１からセ
ラミックグリーンシート５３（被測定物）の上面までの
距離Ｌ1を測定するとともに、下側のセンサヘッド５２
からセラミックグリーンシート５３の下面までの距離Ｌ
2を測定し、Ｌ，Ｌ1，Ｌ2からＴ＝Ｌ−Ｌ1−Ｌ2として
シート厚みＴを求めるものである。
【０００５】ところで、上記の光学式厚み測定方法によ
れば、被測定物であるセラミックグリーンシート５３の
測定ポイントが同一であれば、セラミックグリーンシー
ト５３の位置が、センサヘッド５１，５２のいずれか一
方の側（図４の矢印Ｂで示す光軸方向）にずれてもシー
ト厚みを正確に測定することができるはずであるが、実
際には、セラミックグリーンシート５３の光軸方向への
ずれによりシート厚みの測定値にばらつきが生じる。な
お、図４は、セラミックグリーンシート５３がセンサヘ
ッド５１の方向にずれた状態を示している。
れば、被測定物であるセラミックグリーンシート５３の
測定ポイントが同一であれば、セラミックグリーンシー
ト５３の位置が、センサヘッド５１，５２のいずれか一
方の側（図４の矢印Ｂで示す光軸方向）にずれてもシー
ト厚みを正確に測定することができるはずであるが、実
際には、セラミックグリーンシート５３の光軸方向への
ずれによりシート厚みの測定値にばらつきが生じる。な
お、図４は、セラミックグリーンシート５３がセンサヘ
ッド５１の方向にずれた状態を示している。
【０００６】また、図５に示すように、セラミックグリ
ーンシート５３に波打ちがある場合には、シート厚みの
真値Ｔに対して、Ｔ'（＝Ｔ／COSθ）が測定値となるた
め、Ｔ（１／COSθ−１）なる誤差が発生する。
ーンシート５３に波打ちがある場合には、シート厚みの
真値Ｔに対して、Ｔ'（＝Ｔ／COSθ）が測定値となるた
め、Ｔ（１／COSθ−１）なる誤差が発生する。
【０００７】そして、これらの測定値のばらつきや誤差
によって、シート厚みの測定値の信頼性が小さくなる結
果、セラミックワークの品質の低下を招くという問題点
がある。
によって、シート厚みの測定値の信頼性が小さくなる結
果、セラミックワークの品質の低下を招くという問題点
がある。
【０００８】また、上記のシートの波打ちを矯正するた
めに、セラミックグリーンシートを押圧板などの押圧手
段を用いてテーブルなどに機械的に押圧することも考え
られるが、セラミックグリーンシートに押圧手段を接触
させて押圧した場合、セラミックグリーンシートの表面
が損傷し、品質上の問題点が発生する場合がある。
めに、セラミックグリーンシートを押圧板などの押圧手
段を用いてテーブルなどに機械的に押圧することも考え
られるが、セラミックグリーンシートに押圧手段を接触
させて押圧した場合、セラミックグリーンシートの表面
が損傷し、品質上の問題点が発生する場合がある。
【０００９】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、シートの表面を損傷したりすることなく、シートと
光学式センサとの位置関係を所定の範囲に保持するとと
もに、シートの波打ちを矯正して、シート厚みを正確に
測定することが可能なシート厚み測定装置を提供するこ
とを目的とする。
り、シートの表面を損傷したりすることなく、シートと
光学式センサとの位置関係を所定の範囲に保持するとと
もに、シートの波打ちを矯正して、シート厚みを正確に
測定することが可能なシート厚み測定装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のシート厚み測定装置は、シートに光線をあ
てることにより、シートに接触することなくシート厚み
を検出する光学式センサと、前記光学式センサに対して
シートを所定の位置に保持するとともに、厚み測定に悪
影響を与えるシートの変形を矯正するために、シート厚
み測定箇所付近の両面に気体を略均一に吹き付ける気体
吹付手段とを具備することを特徴としている。
に、本発明のシート厚み測定装置は、シートに光線をあ
てることにより、シートに接触することなくシート厚み
を検出する光学式センサと、前記光学式センサに対して
シートを所定の位置に保持するとともに、厚み測定に悪
影響を与えるシートの変形を矯正するために、シート厚
み測定箇所付近の両面に気体を略均一に吹き付ける気体
吹付手段とを具備することを特徴としている。
【００１１】また、前記気体吹付手段の気体吹出部に多
孔質材料が用いられていることを特徴としている。
孔質材料が用いられていることを特徴としている。
【００１２】さらに、本発明のシート厚み測定装置は、
前記気体吹付手段がシートに接触したときにシートを損
傷させないようにシートから加わる力に応じて前記気体
吹付手段を逃がすとともに、シートとの接触がなくなっ
たときに所定の位置に復帰させる気体吹付手段退避機構
を具備するとともに、前記気体吹付手段のシートに接近
する部分の角部及び／又は稜線部に丸みを持たせたこと
を特徴としている。
前記気体吹付手段がシートに接触したときにシートを損
傷させないようにシートから加わる力に応じて前記気体
吹付手段を逃がすとともに、シートとの接触がなくなっ
たときに所定の位置に復帰させる気体吹付手段退避機構
を具備するとともに、前記気体吹付手段のシートに接近
する部分の角部及び／又は稜線部に丸みを持たせたこと
を特徴としている。
【００１３】また、前記気体吹付手段の、シート両面側
に配設された気体吹出部間の距離を可変としたことを特
徴としている。
に配設された気体吹出部間の距離を可変としたことを特
徴としている。
【００１４】
【作用】気体吹付手段の気体吹出部から、シート厚み測
定箇所付近の両面に気体を略均一に吹き付けることによ
り、光学式センサに対してシートが所定の位置に保持さ
れるとともに、厚み測定に悪影響を与える波打ちなどの
シートの変形が矯正され、シート厚みを正確に測定する
ことができるようになる。
定箇所付近の両面に気体を略均一に吹き付けることによ
り、光学式センサに対してシートが所定の位置に保持さ
れるとともに、厚み測定に悪影響を与える波打ちなどの
シートの変形が矯正され、シート厚みを正確に測定する
ことができるようになる。
【００１５】なお、本発明のシート厚み測定装置におい
ては、通常、気体として空気を用いることが経済的に有
利であるが、非酸化性の気体を用いる必要がある場合な
どにおいては、窒素ガスなどの他の気体を用いることも
可能である。なお、シートに吹き付ける気体の量（シー
トの単位面積当たりの気体の量）は、一般的にはシート
の両面においてほぼ同等であることが望ましいが、より
望ましくは、シートの重量、シートへの気体吹付位置、
シートの変形の状態などを考慮して適宜気体吹付量を定
めるべきである。
ては、通常、気体として空気を用いることが経済的に有
利であるが、非酸化性の気体を用いる必要がある場合な
どにおいては、窒素ガスなどの他の気体を用いることも
可能である。なお、シートに吹き付ける気体の量（シー
トの単位面積当たりの気体の量）は、一般的にはシート
の両面においてほぼ同等であることが望ましいが、より
望ましくは、シートの重量、シートへの気体吹付位置、
シートの変形の状態などを考慮して適宜気体吹付量を定
めるべきである。
【００１６】また、前記気体吹付手段の気体吹出部に多
孔質材料を用いることにより、気体を容易かつ確実に、
均一に吹出すことが可能になり、本発明をより実効あら
しめることが可能になる。なお、多孔質材料としては、
焼結金属や粒状樹脂を半溶融させて固着させた多孔質樹
脂などが例示されるが、これらに限られるものではなく
他の多孔質材料を用いることも可能である。
孔質材料を用いることにより、気体を容易かつ確実に、
均一に吹出すことが可能になり、本発明をより実効あら
しめることが可能になる。なお、多孔質材料としては、
焼結金属や粒状樹脂を半溶融させて固着させた多孔質樹
脂などが例示されるが、これらに限られるものではなく
他の多孔質材料を用いることも可能である。
【００１７】さらに、前記気体吹付手段の、シートに接
近する部分の角部及び／又は稜線部に丸みを持たせると
ともに、シートに接触したときにシートを損傷させない
ようにシートから加わる力に応じて気体吹付手段を逃が
す気体吹付手段退避機構を設けることにより、シートと
の接触が生じた場合のシートの損傷を確実に防止して信
頼性を向上させることが可能になる。
近する部分の角部及び／又は稜線部に丸みを持たせると
ともに、シートに接触したときにシートを損傷させない
ようにシートから加わる力に応じて気体吹付手段を逃が
す気体吹付手段退避機構を設けることにより、シートと
の接触が生じた場合のシートの損傷を確実に防止して信
頼性を向上させることが可能になる。
【００１８】また、前記気体吹付手段の、シート両面側
に配設された気体吹出部間の距離を可変とすることによ
り、シート厚み（設計値）の変化に対応することが可能
になり、一つの装置で種々のシートの厚み測定に対応す
ることが可能になる。
に配設された気体吹出部間の距離を可変とすることによ
り、シート厚み（設計値）の変化に対応することが可能
になり、一つの装置で種々のシートの厚み測定に対応す
ることが可能になる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。図１は本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装
置の概略構成を示す斜視図、図２はその要部を示す断面
図である。
る。図１は本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装
置の概略構成を示す斜視図、図２はその要部を示す断面
図である。
【００２０】なお、この実施例では、押出成形機から押
し出された後、乾燥炉において乾燥されたセラミックグ
リーンシートの厚みを測定するためのシート厚み測定装
置を例にとって説明する。
し出された後、乾燥炉において乾燥されたセラミックグ
リーンシートの厚みを測定するためのシート厚み測定装
置を例にとって説明する。
【００２１】この実施例のシート厚み測定装置は、図１
に示すように、セラミックグリーンシート３の厚みを非
接触で測定するためのシート厚み測定装置であり、セラ
ミックグリーンシート３の上面側に配設されたセンサヘ
ッド１及び下面側に配設されたセンサヘッド２を備えて
なる光学式センサ（レーザーセンサ）４と、セラミック
グリーンシート３の厚み測定箇所付近の両面に気体を略
均一に吹き付ける気体吹付手段５と、シート送りローラ
６により所定の速度（例えば１００mm／秒程度）で送ら
れるセラミックグリーンシート３がその上を走行するシ
ート走行ベース７と、センサヘッド１，２を保持するＣ
型のセンサベース８とを備えて構成されている。
に示すように、セラミックグリーンシート３の厚みを非
接触で測定するためのシート厚み測定装置であり、セラ
ミックグリーンシート３の上面側に配設されたセンサヘ
ッド１及び下面側に配設されたセンサヘッド２を備えて
なる光学式センサ（レーザーセンサ）４と、セラミック
グリーンシート３の厚み測定箇所付近の両面に気体を略
均一に吹き付ける気体吹付手段５と、シート送りローラ
６により所定の速度（例えば１００mm／秒程度）で送ら
れるセラミックグリーンシート３がその上を走行するシ
ート走行ベース７と、センサヘッド１，２を保持するＣ
型のセンサベース８とを備えて構成されている。
【００２２】また、気体吹付手段５は、セラミックグリ
ーンシート３の上面側に配設された第１の気体吹付手段
９と、下面側に配設された第２の気体吹付手段１０とを
備えて構成されている。第１の気体吹付手段９は、内部
にエアチャンバー１１が形成された本体１２と、気体
（この実施例では空気）が吹出す平面形状が円形の気体
吹出部１３とを備え、継手１９を介して空気を供給する
ことができるように構成されており、第２の気体吹付手
段１０は、シート走行ベース７と一体に形成されてお
り、内部にエアチャンバー１４が形成された本体１５
と、気体（この実施例では空気）が吹出す気体吹出部１
６とを備え、継手２０を介して空気を供給することがで
きるように構成されている。そして、上記気体吹出部１
３及び１６は、気体を均一に吹き出すことができるよう
に焼結金属を用いて形成されている。なお、この実施例
のシート厚み測定装置においては、第１及び第２の気体
吹付手段９，１０からの空気の吹出量（セラミックグリ
ーンシート３の単位面積当たりの吹出量）が同じになる
ように構成されている。
ーンシート３の上面側に配設された第１の気体吹付手段
９と、下面側に配設された第２の気体吹付手段１０とを
備えて構成されている。第１の気体吹付手段９は、内部
にエアチャンバー１１が形成された本体１２と、気体
（この実施例では空気）が吹出す平面形状が円形の気体
吹出部１３とを備え、継手１９を介して空気を供給する
ことができるように構成されており、第２の気体吹付手
段１０は、シート走行ベース７と一体に形成されてお
り、内部にエアチャンバー１４が形成された本体１５
と、気体（この実施例では空気）が吹出す気体吹出部１
６とを備え、継手２０を介して空気を供給することがで
きるように構成されている。そして、上記気体吹出部１
３及び１６は、気体を均一に吹き出すことができるよう
に焼結金属を用いて形成されている。なお、この実施例
のシート厚み測定装置においては、第１及び第２の気体
吹付手段９，１０からの空気の吹出量（セラミックグリ
ーンシート３の単位面積当たりの吹出量）が同じになる
ように構成されている。
【００２３】さらに、第１の気体吹付手段９を構成する
気体吹出部１３のセラミックグリーンシート３に接近す
る部分の稜線部（角部）には、セラミックグリーンシー
ト３と接触した場合にもセラミックグリーンシート３を
損傷しないように所定のＲが付けられており、丸みを帯
びた形状となっている。
気体吹出部１３のセラミックグリーンシート３に接近す
る部分の稜線部（角部）には、セラミックグリーンシー
ト３と接触した場合にもセラミックグリーンシート３を
損傷しないように所定のＲが付けられており、丸みを帯
びた形状となっている。
【００２４】さらに、第１の気体吹付手段９には、セラ
ミックグリーンシート３に接触したときにセラミックグ
リーンシート３を損傷させないようにするための気体吹
付手段退避機構２３を備えており、この気体吹付手段退
避機構２３は、ロッド２１及びばね２２から構成されて
いる。すなわち、第１の気体吹付手段９は、ロッド２１
及びばね２２を介してセンサーベース８に取り付けられ
ており、セラミックグリーンシート３に接触したときに
セラミックグリーンシート３を損傷させないように、セ
ラミックグリーンシート３から加わる力に応じてばね２
２が縮んで第１の気体吹付手段９を逃がすとともに、セ
ラミックグリーンシート３との接触がなくなったときに
ばね２２が伸長して第１の気体吹付手段９を所定の位置
に復帰させることができるように構成されている。
ミックグリーンシート３に接触したときにセラミックグ
リーンシート３を損傷させないようにするための気体吹
付手段退避機構２３を備えており、この気体吹付手段退
避機構２３は、ロッド２１及びばね２２から構成されて
いる。すなわち、第１の気体吹付手段９は、ロッド２１
及びばね２２を介してセンサーベース８に取り付けられ
ており、セラミックグリーンシート３に接触したときに
セラミックグリーンシート３を損傷させないように、セ
ラミックグリーンシート３から加わる力に応じてばね２
２が縮んで第１の気体吹付手段９を逃がすとともに、セ
ラミックグリーンシート３との接触がなくなったときに
ばね２２が伸長して第１の気体吹付手段９を所定の位置
に復帰させることができるように構成されている。
【００２５】また、上記第１及び第２の気体吹付手段９
及び１０の中央部には、レーザー光線を通過させるため
の長穴１７，１８が形成されている。図３に第１の気体
吹付手段９の要部の正面図(ａ)及び底面図(ｂ)を示す。
及び１０の中央部には、レーザー光線を通過させるため
の長穴１７，１８が形成されている。図３に第１の気体
吹付手段９の要部の正面図(ａ)及び底面図(ｂ)を示す。
【００２６】さらに、この実施例のシート厚み測定装置
においては、シート厚み（設計値）に対応して、セラミ
ックグリーンシート３の両面側に配設された気体吹出部
１３，１６の間の距離Ｓを変化させることができるよう
に構成されている。この実施例では、気体吹出部１３，
１６の間の距離Ｓを変化させるための機構として、ロッ
ド２１上部をねじ形状とし、ロック用のナットを回転さ
せることにより、気体吹出部１３を上下させる機構を用
いている。但し、気体吹出部１３，１６の間の距離Ｓを
変化させるための機構は、これに限られるものではな
く、保持ベースをマイクロメータ付ステージに取り付け
るなどの種々の機構を用いることが可能である。
においては、シート厚み（設計値）に対応して、セラミ
ックグリーンシート３の両面側に配設された気体吹出部
１３，１６の間の距離Ｓを変化させることができるよう
に構成されている。この実施例では、気体吹出部１３，
１６の間の距離Ｓを変化させるための機構として、ロッ
ド２１上部をねじ形状とし、ロック用のナットを回転さ
せることにより、気体吹出部１３を上下させる機構を用
いている。但し、気体吹出部１３，１６の間の距離Ｓを
変化させるための機構は、これに限られるものではな
く、保持ベースをマイクロメータ付ステージに取り付け
るなどの種々の機構を用いることが可能である。
【００２７】次に、上記のように構成されたシート厚み
測定装置を用いてシート走行ベース７上を走行するセラ
ミックグリーンシート３の厚みを測定する場合の動作に
ついて説明する。
測定装置を用いてシート走行ベース７上を走行するセラ
ミックグリーンシート３の厚みを測定する場合の動作に
ついて説明する。
【００２８】第１及び第２の気体吹付手段９，１０の間
を走行するセラミックグリーンシート３の上下両面に同
量の空気が吹き付けられると、セラミックグリーンシー
ト３に波打ち（図２のＡで示す部分）などの変形がある
場合にも、第１及び第２の気体吹付手段９，１０の間を
通過する際に、厚み測定箇所（測定ポイント）において
その波打ちが矯正され、セラミックグリーンシート３が
平坦になるとともに、光軸方向（図２の矢印Ｂで示す方
向）についての位置ずれの発生が抑制、防止される。
を走行するセラミックグリーンシート３の上下両面に同
量の空気が吹き付けられると、セラミックグリーンシー
ト３に波打ち（図２のＡで示す部分）などの変形がある
場合にも、第１及び第２の気体吹付手段９，１０の間を
通過する際に、厚み測定箇所（測定ポイント）において
その波打ちが矯正され、セラミックグリーンシート３が
平坦になるとともに、光軸方向（図２の矢印Ｂで示す方
向）についての位置ずれの発生が抑制、防止される。
【００２９】その結果、セラミックグリーンシート３の
上下両面側に所定距離Ｌだけ離して配設されたセンサヘ
ッド１，２により、上側のセンサヘッド１からセラミッ
クグリーンシート３の上面までの距離Ｌ1と、下側のセ
ンサヘッド２からセラミックグリーンシート３の下面ま
での距離Ｌ2を正しく測定することが可能になり、セラ
ミックグリーンシート３の正確な厚みＴ（Ｔ＝Ｌ−Ｌ1
−Ｌ2）を求めることが可能になる。
上下両面側に所定距離Ｌだけ離して配設されたセンサヘ
ッド１，２により、上側のセンサヘッド１からセラミッ
クグリーンシート３の上面までの距離Ｌ1と、下側のセ
ンサヘッド２からセラミックグリーンシート３の下面ま
での距離Ｌ2を正しく測定することが可能になり、セラ
ミックグリーンシート３の正確な厚みＴ（Ｔ＝Ｌ−Ｌ1
−Ｌ2）を求めることが可能になる。
【００３０】したがって、セラミックグリーンシート３
に局部的に波打ちなどの変形があるような場合にも、セ
ラミックグリーンシート３の厚みを正確に測定すること
ができる。
に局部的に波打ちなどの変形があるような場合にも、セ
ラミックグリーンシート３の厚みを正確に測定すること
ができる。
【００３１】さらに、第１の気体吹付手段９の、セラミ
ックグリーンシート３に接近する部分の稜線部に丸みを
持たせるとともに、セラミックグリーンシート３に接触
したときに第１の気体吹付手段９を上方に逃がすための
気体吹付手段退避機構２３を有しているので、セラミッ
クグリーンシート３の波打ちなどの変形が、第１及び第
２の気体吹付手段９，１０間の隙間より大きいような場
合にも、セラミックグリーンシート３を損傷することな
く、正確なシート厚みを測定することができる。
ックグリーンシート３に接近する部分の稜線部に丸みを
持たせるとともに、セラミックグリーンシート３に接触
したときに第１の気体吹付手段９を上方に逃がすための
気体吹付手段退避機構２３を有しているので、セラミッ
クグリーンシート３の波打ちなどの変形が、第１及び第
２の気体吹付手段９，１０間の隙間より大きいような場
合にも、セラミックグリーンシート３を損傷することな
く、正確なシート厚みを測定することができる。
【００３２】なお、上記実施例では、光学式センサ４と
してレーザーセンサを用いた場合について説明したが、
他の光学式センサを用いることも可能である。
してレーザーセンサを用いた場合について説明したが、
他の光学式センサを用いることも可能である。
【００３３】また、上記実施例では、第２の気体吹付手
段１０をシート走行ベース７と一体に形成した場合につ
いて説明したが、これをシート走行ベース７と別に形成
することも可能である。
段１０をシート走行ベース７と一体に形成した場合につ
いて説明したが、これをシート走行ベース７と別に形成
することも可能である。
【００３４】また、上記実施例では、セラミックグリー
ンシートの厚みを測定する場合について説明したが、本
発明は、これに限られるものではなく、セラミックグリ
ーンシート以外のシートの厚みを測定する場合にも適用
することが可能である。
ンシートの厚みを測定する場合について説明したが、本
発明は、これに限られるものではなく、セラミックグリ
ーンシート以外のシートの厚みを測定する場合にも適用
することが可能である。
【００３５】本発明は、さらにその他の点においても上
記実施例に限定されるものではなく、気体吹付手段の具
体的な構成や各部の形状、気体吹付位置、気体吹出部の
構造やそれを構成する多孔質材料の種類、気体吹付手段
退避機構の構成、シート両面側に配設された気体吹出部
間の距離を変えるための機構などに関し、発明の要旨の
範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能で
ある。
記実施例に限定されるものではなく、気体吹付手段の具
体的な構成や各部の形状、気体吹付位置、気体吹出部の
構造やそれを構成する多孔質材料の種類、気体吹付手段
退避機構の構成、シート両面側に配設された気体吹出部
間の距離を変えるための機構などに関し、発明の要旨の
範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能で
ある。
【００３６】
【発明の効果】上述のように、本発明のシート厚み測定
装置は、気体吹付手段により、シート厚み測定箇所付近
の両面に気体を略均一に吹き付けるようにしているの
で、光学式センサに対してシートを所定の位置に保持す
るとともに、厚み測定に悪影響を与えるシートの変形を
矯正することが可能になり、光学式センサを用いて、シ
ートの表面を損傷したりすることなく、シート厚みを正
確に測定することができる。
装置は、気体吹付手段により、シート厚み測定箇所付近
の両面に気体を略均一に吹き付けるようにしているの
で、光学式センサに対してシートを所定の位置に保持す
るとともに、厚み測定に悪影響を与えるシートの変形を
矯正することが可能になり、光学式センサを用いて、シ
ートの表面を損傷したりすることなく、シート厚みを正
確に測定することができる。
【００３７】また、気体吹付手段の気体吹出部に多孔質
材料を用いることにより、気体を容易かつ確実に、均一
に吹出すことが可能になり、本発明をより実効あらしめ
ることが可能になる。
材料を用いることにより、気体を容易かつ確実に、均一
に吹出すことが可能になり、本発明をより実効あらしめ
ることが可能になる。
【００３８】さらに、気体吹付手段の、シートに接近す
る部分の角部及び／又は稜線部に丸みを持たせるととも
に、シートに接触したときにシートを損傷させないよう
にシートから加わる力に応じて気体吹付手段を逃がす吹
付手段退避機構を設けることにより、シートとの接触が
生じた場合のシートの損傷を確実に防止して信頼性を向
上させることができる。
る部分の角部及び／又は稜線部に丸みを持たせるととも
に、シートに接触したときにシートを損傷させないよう
にシートから加わる力に応じて気体吹付手段を逃がす吹
付手段退避機構を設けることにより、シートとの接触が
生じた場合のシートの損傷を確実に防止して信頼性を向
上させることができる。
【００３９】また、前記気体吹付手段の、シート両面側
に配設された気体吹出部間の距離を可変とすることによ
り、シート厚み（設計値）の変化に対応することが可能
になり、一つの装置で種々のシートの厚み測定に対応す
ることが可能になり、経済性を向上させることができ
る。
に配設された気体吹出部間の距離を可変とすることによ
り、シート厚み（設計値）の変化に対応することが可能
になり、一つの装置で種々のシートの厚み測定に対応す
ることが可能になり、経済性を向上させることができ
る。
【図１】本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装置
の概略構成を示す斜視図である。
の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装置
の要部を示す断面図である。
の要部を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施例にかかるシート厚み測定装置
を構成する第１の気体吹付手段の要部を示す図であり、
（ａ）は正面図、(ｂ)は底面図である。
を構成する第１の気体吹付手段の要部を示す図であり、
（ａ）は正面図、(ｂ)は底面図である。
【図４】レーザーセンサを用いた光学式厚み測定方法を
説明する図である。
説明する図である。
【図５】従来の光学式厚み測定方法において、シート
（セラミックグリーンシート）に波打ちがある場合の誤
差の発生を説明する図である。
（セラミックグリーンシート）に波打ちがある場合の誤
差の発生を説明する図である。
１ 上側のセンサヘッド ２ 下側のセンサヘッド ３ セラミックグリーンシート ４ 光学式センサ（レーザーセンサ） ５ 気体吹付手段 ６ シート送りローラ ７ シート走行ベース ８ センサベース ９ 第１の気体吹付手段 １０ 第２の気体吹付手段 １１ 第１の気体吹付手段のエアチャンバー １２ 第１の気体吹付手段の本体 １３ 第１の気体吹付手段の気体吹出部 １４ 第２の気体吹付手段のエアチャンバー １５ 第２の気体吹付手段の本体 １６ 第２の気体吹付手段の気体吹出部 １７，１８ 長穴 １９，２０ 継手 ２１ ロッド ２２ ばね ２３ 気体吹付手段退避機構
Claims (4)
- 【請求項１】 シートに接触することなくシート厚みを
検出する光学式センサと、 前記光学式センサに対してシートを所定の位置に保持す
るとともに、厚み測定に悪影響を与えるシートの変形を
矯正するために、シート厚み測定箇所付近の両面に気体
を略均一に吹き付ける気体吹付手段とを具備することを
特徴とするシート厚み測定装置。 - 【請求項２】 前記気体吹付手段の気体吹出部に多孔質
材料が用いられていることを特徴とする請求項１記載の
シート厚み測定装置。 - 【請求項３】 前記気体吹付手段がシートに接触したと
きにシートを損傷させないようにシートから加わる力に
応じて前記気体吹付手段を逃がすとともに、シートとの
接触がなくなったときに所定の位置に復帰させる気体吹
付手段退避機構を具備するとともに、前記気体吹付手段
のシートに接近する部分の角部及び／又は稜線部に丸み
を持たせたことを特徴とする請求項１又は２記載のシー
ト厚み測定装置。 - 【請求項４】 前記気体吹付手段の、シート両面側に配
設された気体吹出部間の距離を可変としたことを特徴と
する請求項１，２又は３記載のシート厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17664795A JPH095039A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | シート厚み測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17664795A JPH095039A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | シート厚み測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH095039A true JPH095039A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=16017243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17664795A Withdrawn JPH095039A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | シート厚み測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH095039A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019002918A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | ユニパルス株式会社 | 厚み測定装置 |
-
1995
- 1995-06-19 JP JP17664795A patent/JPH095039A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019002918A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | ユニパルス株式会社 | 厚み測定装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |