JP4076642B2 - シート厚み計測装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、合成樹脂シート、非導電性シート、導電性シート、フイルム等の製造工程でその厚みをリアルタイム方式で計測し、目標厚みとなるように製造工程を手動調節或いは自動制御する場合等に使用されるシート厚み計測装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、合成樹脂フィルムやシートの製造工程では、製造されるシートの厚みを計測して目標値から外れると補正させるようにしている。
【0003】
一方、シートの製造工程では、シートから発散される輻射熱によって計測装置の本体フレームに温度差が発生し、本体フレームに不均一な歪を生じ、計測精度を低下させる問題があった。
【0004】
この問題を解決するために本発明者は、先に、特開平9−159438号を提案し、特許第2756544号として特許を受けている。
【0005】
上記提案のものは、シートを通過させるべき開口部を有する枠状の本体フレームと、先端にシート厚み計測センサを有し、接近離隔手段により通過するシートの上下面にシート厚み計測センサを接近離隔可能に支持した上下一対の計測ヘッドと、上下一対の計測ヘッドをシートの通過方向に直交する幅方向に同調移動させる移動機構とを具備し、予め、ソフト処理により計測ヘッドを厚み較正用マスターゲージに当接させて計測基準ゲージ値を確認させ、かつ、計測ヘッドを空動作させ、0点の確認及び0点の確認姿勢でシート幅方向のうねりや平坦度等のデータを得てこれをシート幅方向の基準データとし、その後のシート厚みの計測において実測された計測データを上記基準データで修正してシート厚みの実測値とし、シート厚みの計測中、定期的ないし適宜時点で計測ヘッドを厚み較正用マスターゲージ及び0点に移動させて計測基準ゲージ値及び0点を較正させ、かつ、これらの較正値から上記シート幅方向の基準データを修正させ、これで以後の計測データを比較修正させるようになしたものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記提案のものは、シート厚み計測センサとして接触式のものを使用していたため、良好な結果が得られていた。
【0007】
ところが、上記提案のものを、シート厚み計測センサとしてエア等の非接触式のものに適用した場合、当該装置固有の誤差マップの作成ができない。
【0008】
また、シート計測動作中、厚み較正用マスターゲージを本体フレームの片側にだけしか設けていないため、他方では較正動作を行わせることができず、本体フレームの両側における熱膨張・収縮量に差があった場合、これを検出して補正させることができないという欠点があった。
【0009】
本発明は、上記の問題点を解決するシート厚み計測装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、シートを通過させるべき開口部を有する枠状の本体フレームと、先端に非接触式のシート厚み計測センサを有し、上下に対向設置され、接近離隔手段により通過するシート面に前記シート厚み計測センサを上下から相互に接近離隔可能に支持した計測ヘッドと、計測ヘッドをシートの通過方向に直交する幅方向に移動させる移動機構と、計測ヘッドの移動範囲の両端付近に配置される厚み較正用マスターゲージと、シートの幅方向の誤差マップ作成時にシートの通過位置に配置され、それ以外のときには退避除去可能とされると共に前記上下の計測ヘッドのいずれか一方に設置された誤差マップ作成用マスターゲージと、計測ヘッド及び移動機構に所定の動作を行わせるための動作プログラムの設定制御部とを具備させ、予め、設定した動作プログラムにより前記シート厚み計測センサを誤差マップ作成用マスターゲージに上下から相互接近させた姿勢で前記計測ヘッドを移動させてシート幅方向のうねりや平坦度等の当該装置固有の誤差マップを作製させ、かつ、前記シート厚み計測センサを厚み較正用マスターゲージに上下から相互接近させて計測基準ゲージ値を確認させ、その後のシート厚みの計測において実測された計測データを上記誤差マップで修正してシート厚みの実測値とし、シート厚みの計測中、定期的ないし適宜時点で、計測ヘッドを移動範囲の両端付近の厚み較正用マスターゲージ位置に移動させて前記シート厚み計測センサを上下から相互接近させて前記厚み較正用マスターゲージを計測し、両側での計測値の差が許容値以上であれば計測基準ゲージ値を較正させ、かつ、この較正値から上記シート幅方向の誤差マップを修正させ、これで以後の計測データを比較修正させるようになし、前記厚み較正用マスターゲージを退避可能とし、前記誤差マップを作成する際に、前記シート厚み計測センサを誤差マップ作成用マスターゲージに上下から相互接近させた姿勢で前記計測ヘッドを前記移動範囲の一端から他端まで、誤差マップ作成用マスターゲージで厚み較正用マスターゲージを押圧退避させつつ移動させるものである。
【0011】
本発明は上記構成としたから、接触計測を避ける必要があるシート等に対して、非接触式のシート厚み計測センサを適用して当該装置固有の誤差マップの作成ができ、かつ、シート計測動作中、定期的ないし適宜時点で、本体フレームの両側付近に設置した厚み較正用マスターゲージの位置に計測ヘッドを移動させて計測基準ゲージ値の確認を行わせ、必要であれば計測基準ゲージ値を較正させ、また、この計測基準ゲージ値の較正時には、本体フレームの両側における熱膨張・収縮量の差を演算させ、この差に基いて誤差マップを補正させる。即ち、本体フレームのシート幅方向両側での温度変化に伴う熱膨張・収縮の差から本体フレームの中間各位置での差を比例的に演算させ、これに基いて誤差マップを補正させるのである。このように、誤差マップ自体もシート計測動作中の温度変化を考慮した補正が行えるため、接触計測を避ける必要があるシート等に対しても高精度の厚み計測を行うことができる。なお、両側の厚み較正用マスターゲージは、必ずしも同じ厚みにしなくてもよく、このようにすることによって、厚み較正用マスターゲージの製作が容易となる。
【0012】
特に、エア式のシート厚み計測センサを採用すると、センサから噴射されるエアによって、シートからの輻射熱によるセンサ部への影響を軽減することができ、しかも、計測位置において、センサから噴射されるエアによってシートを上下から非接触で保持させることができ、シートのバタツキを防止して正確なシート厚みの計測ができる。
【0013】
また、本発明は、誤差マップ作成用マスターゲージを、上下の計測ヘッドの何れか一方に、スイングアーム機構を介して、誤差マップ作成時にはシートの通過位置に配置し、それ以外のときにはシートの通過位置から退避可能に設置したものである。これにより、誤差マップ作成時、作業者が手動で、或いは、適宜のアクチュエータにより、自動的に誤差マップ作成位置(シート通過位置)に取出して位置決めクランプさせることができ、作業能率を向上させることができる。特に、自動化すれば、誤差マップ作成用マスターゲージと厚み較正用マスターゲージとを兼用させることができ、これによって、厚み較正用マスターゲージの設置を省略することができる。
【0014】
さらに本発明は、シート厚み計測センサが接触式である場合にも適用でき、取り扱うシートの特性や条件等に応じてセンサを取替えることにより、あらゆるシートへの適用が可能となる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図1〜図3を参照して説明する。図1は本発明装置の全体の概略正面図、図2は概略側面図、図3は本発明で使用する非接触式のシート厚み計測センサの一例を示す要部概略縦断側面図、図4は厚み較正用マスターゲージ及び誤差マップ作成用マスターゲージの構成例を示す要部概略正面図、図5の(A)は誤差マップ作成時の計測ヘッド及び計測センサの動作プログラム線図、(B)(C)はシート厚み計測動作中における計測ヘッド及び計測センサの連続及びピッチ送り時の動作プログラム線図である。
【0016】
図1及び図2において、1は本体フレーム、2はシート厚み計測センサ、3は計測ヘッド、4は移動機構、5は厚み較正用マスターゲージ、6は誤差マップ作成用マスターゲージ、7は動作プログラムの設定制御部、8は本体フレーム1を支持する基台である。
【0017】
本体フレーム1は、シートaを通過させるべき開口部1aを有する枠状をなし、この枠状をなす本体フレーム1を中空パイプ部材、例えば、丸形、楕円形、角形パイプ部材等(図面は角形パイプ部材の場合を例示)により中空部内が相互に連通して枠状の通風循環路1bを形成するように構成し、この通風循環路1b内にファン1cを適宜数設置する(図1は左右対称位置に2個設置した場合を示す)。このファン1cは、モータを一体に有するものを使用し、このモータを含めて全体を上記通風循環路1b内に設置し、外部に設けたスイッチ(図示省略)でON、OFF操作可能とする。
【0018】
シート厚み計測センサ2は、エアー式、レーザー反射型、超音波反射型、静電容量型、磁気感応型等の非接触式のものを使用するものであって、その一例として、エアー式を図3に示しており、同図においてその構成を説明すると、圧力エア供給源2aから圧力調整器2b’を介して供給されたエアをシートaの上方から計測点に向けて噴出するエアノズル2cをシリンダ2d内に挿入されたピストン2eのロッド2fに連結し、エアノズル2cの背圧P1をシリンダ2d内のピストン2eの下部室に作用させ、ピストン2eの上部室には圧力エア供給源2aから圧力調整器2bを介して供給されたエア圧P2を作用させ、P1とP2とがバランスするところでロッド2fの位置が決まり、このロッド2fの変位をリニアゲージ2gで計測することにより、シートaの厚みを計測するものである。なお、2つの圧力調整器2b、2b’の設定圧力は、2b<2b’とされる。この場合、シートaの厚みが増加すると、エアノズル2cとシートaとの隙間が減少して背圧P1が上昇し、ピストン2eを押し上げ、また、シートaの厚みが減少すると、エアノズル2cとシートaとの隙間が増大して背圧P1が低下し、ピストン2eを下げるため、リニアゲージ2gでロッド2fの変位を検出してシートaの厚みの変化を計測するのである。なお、上記リニアゲージ2gに代えて他の変位計測手段を採用してもよい。このシート厚み計測センサ2は、シートaの上下に対向して設置されるものである。
【0019】
即ち、シート厚み計測センサ2は、計測ヘッド3の先端にシートaに向けてエアシリンダ等の接近離隔手段3aを介して接近離隔可能に支持されている。
【0020】
移動機構4は、計測ヘッド3をシートaの通過方向に直交する幅方向に移動させるためのもので、計測ヘッド3を移動可能に支持するために本体フレーム1に幅方向に沿って設置されたスライドガイド4aと、計測ヘッド3に幅方向の移動を付与するためスライドガイド4aに平行にして本体フレーム1に回転可能に支持されたボールねじ4bと、このボールねじ4bを正逆制御回転させるために本体フレーム1の一端に設置されたパルスモータ又はサーボモータ4cと、ボールねじ4bの回転量を検出して動作プログラムの設定制御部7へフィードバックし、計測ヘッド3の移動量及び位置を演算させるために本体フレーム1の他端に設置されたロータリーエンコーダ4dとで構成されている。この移動機構4は、シートaの通過位置に対して、本体フレーム1の上下に対向して設置してあり、上下のボールねじ4bは、同調して正逆回転するように、適宜の同調回転機構(図示省略)例えば、タイミングベルト・プーリーにより連結されるものである。
【0021】
厚み較正用マスターゲージ5は、計測ヘッド3の移動範囲の両端付近の本体フレーム1に配置されるもので、計測基準ゲージ値を与えるために厚みを精密に製作され、両側のものは、同一の厚みとされるのが好ましいが、異なる厚みに製作されてもよい。その場合、それぞれのゲージ厚さをパラメータとして動作プログラムの設定制御部7に設定登録しておく(このようにすれば、左右で同一厚みのゲージを作製する場合よりも、ゲージの製作が容易になる。)。この厚み較正用マスターゲージ5は、計測基準ゲージ値の確認時及び較正時に利用するものである。
【0022】
誤差マップ作成用マスターゲージ6は、所定の厚みに均一に製作され、その厚みを動作プログラムの設定制御部7に設定登録しておくもので、シートaの幅方向の誤差マップ作成時にシートaの通過位置に取出して配置され、シート厚みの計測動作中はシートaとの干渉をさけるために退避除去可能とされるものである。図4はその設置例である。
【0023】
図4は厚み較正用マスターゲージ5を本体フレーム1の両側の支持部材1e、1eに突出退入可能に支持させ、常時、内蔵スプリング(図示省略)により、突出させておき、誤差マップ作成時に誤差マップ作成用マスターゲージ6の接近によって退入させるようにしたものである。そして、誤差マップ作成用マスターゲージ6は、上側の計測ヘッド3にスイングアーム機構6aによって枢軸6bを中心として回動可能に吊下げ支持させ、誤差マップ作成時には、シートaの通過位置(誤差マップ作成位置)にクランプ保持させ、計測ヘッド3と一体的にシートaの幅方向に移動させるようにし、それ以外の時(シートaの厚み計測時等)には上方に回動退避させてクランプさせ、シートaの厚みの計測に支障が生じないように構成している。なお、下側の計測ヘッド3にスイングアーム機構6aを介して誤差マップ作成用マスターゲージ6を支持させてもよい。
【0024】
動作プログラムの設定制御部7は、計測ヘッド3及び移動機構4に設定された動作プログラム通りに所定の動作を行わせるためのもので、その動作プログラムは、予め、設定可能に構成される。この動作プログラムは、誤差マップ作成プログラムやシート厚みの計測動作プログラム、計測基準ゲージ値確認動作プログラム等である。
【0025】
本体フレーム1は基台8の上に取付けられ、この基台8はキャスタ8aにより移動可能とされ、適宜の位置で下方に出し入れ可能とされるねじ式の固定脚(図示省略) 等により位置決め固定される。
【0026】
本発明の実施例装置は以上の構成からなり、次に、動作を説明する。先ず、動作プログラムの設定制御部7に予め設定登録された誤差マップの作成用動作プログラムを選択指定することにより、上下の計測ヘッド3、3及びシート厚み計測センサ2、2を図5の(A)に示す動作線(1)のように動作させて誤差マップを作成させる。即ち、先ず、計測ヘッド3、3を原点位置側の厚み較正用マスターゲージ5の位置まで移動させ、その位置でシート厚みセンサ2、2を上下から誤差マップ作成用マスターゲージ6に相互接近させて原点側での計測基準ゲージ値を計測させて位置データ(原点位置座標値)と共に設定制御部7に記憶させ、続いてその姿勢のままで移動機構4、4により計測ヘッド3、3を移動範囲の他端まで移動させ、その間、適当間隔、例えば、等ピッチ毎にシート厚み計測センサ2、2の計測値を位置データ(ロータリーエンコーダ4dより得られる原点からの位置座標値)と共にサンプリング記憶させて誤差マップを作成させる。これにより、シート幅方向のうねりや平坦度等の当該装置固有の誤差マップが作製できたことになる。また、誤差マップ作成用マスターゲージ6をシートの通過位置から退避除去させた後、計測ヘッド3、3を両側の厚み較正用マスターゲージ5の位置まで移動させ、その位置でシート厚みセンサ2、2を上下から厚み較正用マスターゲージ5に相互接近させて両側での計測基準ゲージ値を計測させて位置データと共に設定制御部7に記憶させる。
【0027】
次に、シートaを図2に例示するようにガイドローラ9及び送りローラ10を介して本体フレーム1の開口部1aを通過する状態に設定し、シートaの厚みの測定準備を行う。そして、動作プログラムの設定制御部7のシート厚み計測動作プログラムを選択指定し、シートaの厚みの計測動作を図5の(B)の動作線(1)’(2)’(3)’のように連続的に計測動作させ、又は、図5の(C)の動作線(1)”(2)”(3)”のように断続的に計測動作させる。
【0028】
上記シート厚みの計測において実測された計測データを前記誤差マップで修正してシート厚みの実測値として記録し、CRTディスプレイ装置にグラフ表示及びデジタル表示させる。この実測値データは適宜プリントアウト可能とされる。そして、このシート厚みの実測値が、目標値を超えるとシートの成形スリット等の間隔を調整させる信号を出させたり、ブザー等で作業者に報知させることになる。
【0029】
そして、上記シート厚みの計測中、定期的(例えば、一定時間毎に、或いは、毎回とか複数回に1回など)ないし適宜時点で、計測ヘッド3を移動範囲の両端付近の厚み較正用マスターゲージ5、5位置に移動させて上下から相互接近させて本体フレーム1の両側での計測基準ゲージ値を計測させ、両側の計測値から本体フレーム1の左右両側での熱膨張差等に伴う傾きを演算させ、その演算値が許容値以上となれば、計測基準ゲージ値の較正を行わせ、かつ、誤差マップを比例的に修正させ、これで以後のシートaの厚み計測データを比較修正させるようになすものである。なお、上記計測基準ゲージ値の較正は、必要とする計測精度以上の差が両側で生じた場合に行わせるものである。
【0030】
上記実施例は、本体フレーム1を中空パイプ部材で構成し、ファンにより内部の循環通風路の空気を循環させて各部均一な温度分布にした場合を例示しているが、本発明の装置は、このような構成を持たないものにも適用できる。さらに、本発明の装置は、シート厚み計測センサ2を、接触式のものに置換して適用してもよい。また、誤差マップ作成用マスターゲージ6のスイングアーム機構6aをエアシリンダやロータリーソレノイド等のアクチュエータで自動的に、誤差マップ作成位置(シート通過位置)と退避位置とに位置決め移動可能に構成することによって、誤差マップ作成用マスターゲージ6を厚み較正用マスターゲージ5に兼用させることが可能となり、これによって、厚み較正用マスターゲージ5の設置を省略することができる。
【0031】
【発明の効果】
本発明によれば、接触計測を避ける必要があるシート等に対して、非接触式のシート厚み計測センサを適用して当該装置固有の誤差マップの作成ができ、かつ、シート計測動作中、定期的ないし適宜時点で、本体フレームの両側付近に設置した厚み較正用マスターゲージの位置に計測ヘッドを移動させて計測基準ゲージ値の確認を行わせ、必要であれば計測基準ゲージ値を較正させ、また、この計測基準ゲージ値の較正時には、本体フレームの両側における熱膨張・収縮量の差を演算させ、この差に基いて誤差マップを補正させる。即ち、本体フレームのシート幅方向両側での温度変化に伴う熱膨張・収縮の差から本体フレームの中間各位置での差を比例的に演算させ、これに基いて誤差マップを補正させるのである。このように、誤差マップ自体もシート計測動作中の温度変化を考慮した補正が行えるため、接触計測を避ける必要があるシート等に対しても高精度の厚み計測を行うことができる。勿論、上記以外のシートの厚み計測にも適用することができる。なお、両側の厚み較正用マスターゲージは、必ずしも同じ厚みにしなくてもよく、該ゲージの製作が容易となる。
【0032】
特に、エア式のシート厚み計測センサを採用すると、センサから噴射されるエアによって、シートからの輻射熱によるセンサ部への影響を軽減することができ、しかも、計測位置において、センサから噴射されるエアによってシートを上下から非接触で保持させることができ、シートのバタツキを防止して正確なシート厚みの計測ができる。
【0033】
また、本発明は、誤差マップ作成用マスターゲージを、上下の計測ヘッドの何れか一方に、スイングアーム機構を介して、誤差マップ作成時にはシートの通過位置に配置し、それ以外のときにはシートの通過位置から退避可能に設置したものである。これにより、誤差マップ作成時、作業者が手動で、或いは、適宜のアクチュエータにより、自動的に誤差マップ作成位置(シート通過位置)に取出して位置決めクランプさせることができ、作業能率を向上させることができる。特に、自動化すれば、誤差マップ作成用マスターゲージと厚み較正用マスターゲージとを兼用させることができ、これによって、厚み較正用マスターゲージの設置を省略することができる。
【0034】
さらに本発明は、シート厚み計測センサが接触式である場合にも適用でき、取り扱うシートの特性や条件等に応じてセンサを取替えることにより、あらゆるシートへの適用が可能となる。
【0035】
特に、エア式のシート厚み計測センサを採用すると、センサから噴射されるエアによって、シートからの輻射熱によるセンサ部への影響を軽減することができ、しかも、計測位置において、センサから噴射されるエアによってシートを上下から非接触で保持させることができ、シートのバタツキを防止して正確なシート厚みの計測ができる。
【0036】
また、本発明は、シート厚み計測センサが接触式である場合にも適用でき、取り扱うシートの特性や条件等に応じてセンサを取替えることにより、あらゆるシートへの適用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明装置の全体の概略正面図。
【図2】 本発明装置の全体の概略側面図。
【図3】 本発明で使用する非接触式のシート厚み計測センサの一例を示す要部概略縦断側面図。
【図4】 厚み較正用マスターゲージ及び誤差マップ作成用マスターゲージの構成例を示す要部概略正面図。
【図5】 (A)は誤差マップ作成時の計測ヘッド及び計測センサの動作プログラム線図、(B)(C)はシート厚み計測動作中における計測ヘッド及び計測センサの連続及びピッチ送り時の動作プログラム線図。
【符号の説明】
a シート
1 本体フレーム
2 シート厚み計測センサ
3 計測ヘッド
4 移動機構
5 厚み較正用マスターゲージ
6 誤差マップ作成用マスターゲージ
7 動作プログラムの設定制御部
8 基台
Claims (3)
- シートを通過させるべき開口部を有する枠状の本体フレームと、
先端に非接触式のシート厚み計測センサを有し、上下に対向設置され、接近離隔手段により通過するシート面に前記シート厚み計測センサを上下から相互に接近離隔可能に支持した計測ヘッドと、
計測ヘッドをシートの通過方向に直交する幅方向に移動させる移動機構と、
計測ヘッドの移動範囲の両端付近に配置される厚み較正用マスターゲージと、
シートの幅方向の誤差マップ作成時にシートの通過位置に配置され、それ以外のときには退避除去可能とされると共に前記上下の計測ヘッドのいずれか一方に設置された誤差マップ作成用マスターゲージと、
計測ヘッド及び移動機構に所定の動作を行わせるための動作プログラムの設定制御部とを具備させ、
予め、設定した動作プログラムにより前記シート厚み計測センサを誤差マップ作成用マスターゲージに上下から相互接近させた姿勢で前記計測ヘッドを移動させてシート幅方向のうねりや平坦度等の当該装置固有の誤差マップを作製させ、かつ、前記シート厚み計測センサを厚み較正用マスターゲージに上下から相互接近させて計測基準ゲージ値を確認させ、その後のシート厚みの計測において実測された計測データを上記誤差マップで修正してシート厚みの実測値とし、
シート厚みの計測中、定期的ないし適宜時点で、計測ヘッドを移動範囲の両端付近の厚み較正用マスターゲージ位置に移動させて前記シート厚み計測センサを上下から相互接近させて前記厚み較正用マスターゲージを計測し、両側での計測値の差が許容値以上であれば計測基準ゲージ値を較正させ、かつ、この較正値から上記シート幅方向の誤差マップを修正させ、これで以後の計測データを比較修正させるようになし、
前記厚み較正用マスターゲージを退避可能とし、
前記誤差マップを作成する際に、前記シート厚み計測センサを誤差マップ作成用マスターゲージに上下から相互接近させた姿勢で前記計測ヘッドを前記移動範囲の一端から他端まで、誤差マップ作成用マスターゲージで厚み較正用マスターゲージを押圧退避させつつ移動させることを特徴とするシート厚み計測装置。 - 誤差マップ作成用マスターゲージを、上下の計測ヘッドの何れか一方に、スイングアーム機構を介して、誤差マップ作成時にはシートの通過位置に配置し、それ以外のときにはシートの通過位置から退避可能に設置したことを特徴とする請求項1記載のシート厚み計測装置。
- シート厚み計測センサが接触式であることを特徴とする請求項1又は2に記載のシート厚み計測装置。
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