JPH0943139A - オンライン偏光計 - Google Patents
オンライン偏光計Info
- Publication number
- JPH0943139A JPH0943139A JP19327095A JP19327095A JPH0943139A JP H0943139 A JPH0943139 A JP H0943139A JP 19327095 A JP19327095 A JP 19327095A JP 19327095 A JP19327095 A JP 19327095A JP H0943139 A JPH0943139 A JP H0943139A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarization
- inspection light
- polarizer
- light
- analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】精度の高い複屈折検査を可能にする。
【解決手段】測定対象Ｓを挟んで対向配置された一対の
コリメータレンズ２Ａ，２Ｂと、偏光方位を一にしてコ
リメータレンズ２Ａ，２Ｂの共役点それぞれに配置され
た偏光子７および検光子８からなり、かつ検出偏光方位
毎に設けられた偏光光学系３と、検査光を偏光子７を介
して測定対象Ｓに供給する光源４と、光源４と偏光子７
との間に設けられて、検査光が測定対象Ｓ上で焦点を結
ぶように作用するコンデンサレンズ５とを有して、検査
光を測定対象Ｓ上の同一領域Ａを通過させるようにし
た。
コリメータレンズ２Ａ，２Ｂと、偏光方位を一にしてコ
リメータレンズ２Ａ，２Ｂの共役点それぞれに配置され
た偏光子７および検光子８からなり、かつ検出偏光方位
毎に設けられた偏光光学系３と、検査光を偏光子７を介
して測定対象Ｓに供給する光源４と、光源４と偏光子７
との間に設けられて、検査光が測定対象Ｓ上で焦点を結
ぶように作用するコンデンサレンズ５とを有して、検査
光を測定対象Ｓ上の同一領域Ａを通過させるようにし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、写真フィルムとい
った光学的用途に用いられるプラスチックフィルムとか
プラスチック板に複屈折が生じたかどうか、また、複屈
折の程度はどのようなものであるかを測定する際に用い
られるオンライン偏光計に関する。
った光学的用途に用いられるプラスチックフィルムとか
プラスチック板に複屈折が生じたかどうか、また、複屈
折の程度はどのようなものであるかを測定する際に用い
られるオンライン偏光計に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、写真フィルムといった光学的用
途に用いられるプラスチックフィルムとかプラスチック
板（以下、プラスチック薄材と称す）においては光学的
に異方性があるかどうかを検査する必要がある。そのた
め、これらプラスチック薄材に発生する複屈折の程度を
測定することによって光学的異方性を検査していた。こ
のような複屈折の測定においては従来から図２に示すオ
ンライン偏光計５０が用いられていた。
途に用いられるプラスチックフィルムとかプラスチック
板（以下、プラスチック薄材と称す）においては光学的
に異方性があるかどうかを検査する必要がある。そのた
め、これらプラスチック薄材に発生する複屈折の程度を
測定することによって光学的異方性を検査していた。こ
のような複屈折の測定においては従来から図２に示すオ
ンライン偏光計５０が用いられていた。
【０００３】従来のオンライン偏光計５０は、光源５１
と、コンデンサレンズ５２と、偏光光学系５３と、検出
器５４とを備えている。コンデンサレンズ５２は光源５
１で発生させた検査光を平行光に変換して偏光光学系５
３に与えている。偏光光学系５３は検出偏光方位毎に複
数（図では２系）設けられている。各偏光光学系５３は
偏光方位を一にした偏光子５５および検光子５６からな
っており、これら偏光子５５および検光子５６は測定対
象（例えば、プラスチック薄材）Ｓを挟んで対向配置さ
れている。検出器５４は検光子５６を透過した検査光を
測定している。
と、コンデンサレンズ５２と、偏光光学系５３と、検出
器５４とを備えている。コンデンサレンズ５２は光源５
１で発生させた検査光を平行光に変換して偏光光学系５
３に与えている。偏光光学系５３は検出偏光方位毎に複
数（図では２系）設けられている。各偏光光学系５３は
偏光方位を一にした偏光子５５および検光子５６からな
っており、これら偏光子５５および検光子５６は測定対
象（例えば、プラスチック薄材）Ｓを挟んで対向配置さ
れている。検出器５４は検光子５６を透過した検査光を
測定している。
【０００４】このように構成された従来のオンライン偏
光計５０は、次のようにして測定対象Ｓの複屈折を測定
している。すなわち、光源５１が発した検査光をコンデ
ンサレンズ５２を介して各偏光光学系５３の偏光子５５
に与える。偏光光学系５３では与えられた検査光を偏光
子５５で所定の偏光方位に偏光させたうえで、測定対象
Ｓに投射する。測定対象Ｓに投射された偏光検査光は測
定対象Ｓを透過したのち検光子５６に達し、ここで、所
定の偏光方位（偏光子５５と同一の偏光方位）の検査光
だけが検光子５６を通過して検出器５６に達する。検出
器５６は入力した検査光の強さに応じた信号レベルの検
出信号を出力する。
光計５０は、次のようにして測定対象Ｓの複屈折を測定
している。すなわち、光源５１が発した検査光をコンデ
ンサレンズ５２を介して各偏光光学系５３の偏光子５５
に与える。偏光光学系５３では与えられた検査光を偏光
子５５で所定の偏光方位に偏光させたうえで、測定対象
Ｓに投射する。測定対象Ｓに投射された偏光検査光は測
定対象Ｓを透過したのち検光子５６に達し、ここで、所
定の偏光方位（偏光子５５と同一の偏光方位）の検査光
だけが検光子５６を通過して検出器５６に達する。検出
器５６は入力した検査光の強さに応じた信号レベルの検
出信号を出力する。
【０００５】オンライン偏光計５０は、各偏光光学系５
３に対応して設けられた検出器５４の検出信号を比較す
ることで、検査光が偏光方位によってどの程度測定対象
Ｓを透過するかを測定しており、さらには、その測定結
果から、測定対象Ｓの複屈折の程度を検査している。
３に対応して設けられた検出器５４の検出信号を比較す
ることで、検査光が偏光方位によってどの程度測定対象
Ｓを透過するかを測定しており、さらには、その測定結
果から、測定対象Ｓの複屈折の程度を検査している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された従来のオンライン偏光計５０には、各検
出器５４の検出信号が測定対象Ｓの同一領域を通過した
検査光を基にした信号ではなく、別々の領域を通過した
検査光を基にした検出信号とならざるを得ず、そのため
に精度の高い複屈折検査が行えないという問題があっ
た。
うに構成された従来のオンライン偏光計５０には、各検
出器５４の検出信号が測定対象Ｓの同一領域を通過した
検査光を基にした信号ではなく、別々の領域を通過した
検査光を基にした検出信号とならざるを得ず、そのため
に精度の高い複屈折検査が行えないという問題があっ
た。
【０００７】すなわち、各偏光光学系５３は、測定対象
Ｓを挟んで対向配置された偏光子５５と検光子５６とか
らなっており、これら偏光子５５、検光子５６は測定対
象Ｓに対して直交する方向に沿って対向配置されてい
る。そのため、各偏光光学系５３を同一の光軸上に沿っ
て配置することができずに、別々の光軸に沿って配置し
ていた。
Ｓを挟んで対向配置された偏光子５５と検光子５６とか
らなっており、これら偏光子５５、検光子５６は測定対
象Ｓに対して直交する方向に沿って対向配置されてい
る。そのため、各偏光光学系５３を同一の光軸上に沿っ
て配置することができずに、別々の光軸に沿って配置し
ていた。
【０００８】このような理由により、各検出器５４には
測定対象Ｓ上の別々の領域を通過した偏光検査光が入射
せざるを得ず、これでは、検出器５４の検出信号を基に
した複屈折検査を精度の高いものとすることができなか
った。
測定対象Ｓ上の別々の領域を通過した偏光検査光が入射
せざるを得ず、これでは、検出器５４の検出信号を基に
した複屈折検査を精度の高いものとすることができなか
った。
【０００９】したがって、本発明においては、精度の高
い複屈折検査を行うことのできるオンライン偏光計を提
供することを目的としている。
い複屈折検査を行うことのできるオンライン偏光計を提
供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明においては、測定対象を挟んで対向配
置された一対のコリメータレンズと、偏光方位を一にし
て前記コリメータレンズの共役点それぞれに配置された
偏光子および検光子からなり、かつ検出偏光方位毎に設
けられた偏光光学系と、検査光を前記偏光子を介して測
定対象に供給する光源と、前記光源と前記偏光子との間
に設けられて、検査光が測定対象上で焦点を結ぶように
作用するコンデンサレンズとを有することに特徴を有し
ている。
るために、本発明においては、測定対象を挟んで対向配
置された一対のコリメータレンズと、偏光方位を一にし
て前記コリメータレンズの共役点それぞれに配置された
偏光子および検光子からなり、かつ検出偏光方位毎に設
けられた偏光光学系と、検査光を前記偏光子を介して測
定対象に供給する光源と、前記光源と前記偏光子との間
に設けられて、検査光が測定対象上で焦点を結ぶように
作用するコンデンサレンズとを有することに特徴を有し
ている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
１を参照して詳細に説明する。
１を参照して詳細に説明する。
【００１２】このオンライン偏光計１は、一対のコリメ
ータレンズ２Ａ，２Ｂと、偏光光学系３と、光源４と、
コンデンサレンズ５と、検出器６とを備えている。
ータレンズ２Ａ，２Ｂと、偏光光学系３と、光源４と、
コンデンサレンズ５と、検出器６とを備えている。
【００１３】コリメータレンズ２Ａ、２Ｂは測定対象Ｓ
（例えばプラスチック薄材）を挟んで対向配置されてい
る。
（例えばプラスチック薄材）を挟んで対向配置されてい
る。
【００１４】偏光光学系３は偏光方位を一にした偏光子
７と検光子８との対からなっており、これら偏光子７と
検光子８とはコリメータレンズ２Ａ，２Ｂに対して共役
となる点にそれぞれ配置されている。このように構成さ
れた偏光光学系３が検出偏光方位毎に複数（図１では２
系）設けられている。
７と検光子８との対からなっており、これら偏光子７と
検光子８とはコリメータレンズ２Ａ，２Ｂに対して共役
となる点にそれぞれ配置されている。このように構成さ
れた偏光光学系３が検出偏光方位毎に複数（図１では２
系）設けられている。
【００１５】光源４はキセノンランプ、水銀灯、ハロゲ
ンランプ等からなっており、測定対象Ｓに対して偏光子
６より外側位置に配置されている。コンデンサレンズ５
は光源４と偏光子７との間に配置されており、光源４が
発した検査光を測定対象Ｓに向かって集光させて測定対
象Ｓ上で焦点Ｆを結ぶように作用している。
ンランプ等からなっており、測定対象Ｓに対して偏光子
６より外側位置に配置されている。コンデンサレンズ５
は光源４と偏光子７との間に配置されており、光源４が
発した検査光を測定対象Ｓに向かって集光させて測定対
象Ｓ上で焦点Ｆを結ぶように作用している。
【００１６】検出器６は検光子８が通過させた検査光の
光強度を測定するセンサであって各偏光光学系３に対応
して設けられている。このように構成された検出器６は
測定対象Ｓに対して検光子８より外側に配置されてい
る。
光強度を測定するセンサであって各偏光光学系３に対応
して設けられている。このように構成された検出器６は
測定対象Ｓに対して検光子８より外側に配置されてい
る。
【００１７】次に、このオンライン偏光計１を用いた検
出対象Ｓの複屈折の測定を説明する。
出対象Ｓの複屈折の測定を説明する。
【００１８】光源４から放射された検査光はコンデンサ
レンズ５で集光されたのち、各偏光子７に達する。各偏
光子７は互いに異なる検出偏光方位を有しており、各偏
光子７に達した検査光は偏光子７それぞれの検出偏光方
位を有する検査光だけが透過する。
レンズ５で集光されたのち、各偏光子７に達する。各偏
光子７は互いに異なる検出偏光方位を有しており、各偏
光子７に達した検査光は偏光子７それぞれの検出偏光方
位を有する検査光だけが透過する。
【００１９】各偏光子７を透過した偏光検査光は、コリ
メータレンズ２Ａに達する。各偏光子７はコリメータレ
ンズ２Ａに対して共役となる位置に配置されているの
で、コリメータレンズ２Ａに達した偏光検査光は平行光
となって測定対象Ｓに投射される。このとき、コンデン
サレンズ５は偏光検査光を測定対象Ｓ上で焦点Ｆを結ぶ
ように作用するので、各偏光子７を透過した偏光検査光
は、測定対象Ｓ上において焦点Ｆを中心とした同一の領
域Ａに投射されることになる。
メータレンズ２Ａに達する。各偏光子７はコリメータレ
ンズ２Ａに対して共役となる位置に配置されているの
で、コリメータレンズ２Ａに達した偏光検査光は平行光
となって測定対象Ｓに投射される。このとき、コンデン
サレンズ５は偏光検査光を測定対象Ｓ上で焦点Ｆを結ぶ
ように作用するので、各偏光子７を透過した偏光検査光
は、測定対象Ｓ上において焦点Ｆを中心とした同一の領
域Ａに投射されることになる。
【００２０】測定対象Ｓ上の同一領域Ａに投射された各
偏光検査光は測定対象Ｓを透過した後、コリメータレン
ズ２Ｂに達し、このコリメータレンズ２Ｂを通過するこ
とで集光される。コリメータレンズ２Ｂで集光された各
偏光検査光は、コリメータレンズ２Ｂに対して共役とな
る点に配置された検光子６の位置で集光してそれぞれの
検光子６に入射する。各検光子６は対応する偏光子７と
の同一の偏光方位を有しているので、各検光子８に入射
した光は、偏光子７と同一の偏光方位を有する光である
偏光検査光のみが透過されて、それ以外の偏光方位を有
するノイズ光が除去される。
偏光検査光は測定対象Ｓを透過した後、コリメータレン
ズ２Ｂに達し、このコリメータレンズ２Ｂを通過するこ
とで集光される。コリメータレンズ２Ｂで集光された各
偏光検査光は、コリメータレンズ２Ｂに対して共役とな
る点に配置された検光子６の位置で集光してそれぞれの
検光子６に入射する。各検光子６は対応する偏光子７と
の同一の偏光方位を有しているので、各検光子８に入射
した光は、偏光子７と同一の偏光方位を有する光である
偏光検査光のみが透過されて、それ以外の偏光方位を有
するノイズ光が除去される。
【００２１】検光子８によってノイズ光を除去された偏
光検査光は対応する検出器６に入射される。検出器６は
入射された偏光検査光の光強度に応じた検出信号を発生
させる。各検出器６の検出信号は、後段の信号処理回路
（図示省略）に入力されて、互いに比較される。そし
て、各検出器６の検出信号レベルがそれぞれ同一である
場合は、偏光検査光の偏光方位を違わせても、測定対象
Ｓを透過する光量に変化がなく、したがって、測定対象
Ｓに複屈折が発生していないと判断する。一方、各検出
器６の検出信号レベルが不揃いである場合は、偏光検査
光の偏光方位によって測定対象Ｓを透過する光量が変化
しており、したがって、測定対象Ｓに複屈折が発生して
いると判断する。さらには、複屈折の程度を検出信号の
不揃いの具合によって判断する。
光検査光は対応する検出器６に入射される。検出器６は
入射された偏光検査光の光強度に応じた検出信号を発生
させる。各検出器６の検出信号は、後段の信号処理回路
（図示省略）に入力されて、互いに比較される。そし
て、各検出器６の検出信号レベルがそれぞれ同一である
場合は、偏光検査光の偏光方位を違わせても、測定対象
Ｓを透過する光量に変化がなく、したがって、測定対象
Ｓに複屈折が発生していないと判断する。一方、各検出
器６の検出信号レベルが不揃いである場合は、偏光検査
光の偏光方位によって測定対象Ｓを透過する光量が変化
しており、したがって、測定対象Ｓに複屈折が発生して
いると判断する。さらには、複屈折の程度を検出信号の
不揃いの具合によって判断する。
【００２２】このような複屈折の判断を行うに際して、
このオンライン偏光計１では、測定対象Ｓ上の同一領域
Ａを透過した偏光検出光を基にした検出信号の信号レベ
ルを比較しており、そのために測定精度が高いものとな
っている。
このオンライン偏光計１では、測定対象Ｓ上の同一領域
Ａを透過した偏光検出光を基にした検出信号の信号レベ
ルを比較しており、そのために測定精度が高いものとな
っている。
【００２３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、各検出偏
光方位毎に設けた検査光を測定対象上の同一領域を通過
させることができるようになった。そのため、同一領域
を通過した検査光に基づいた測定対象の複屈折の程度を
検査できるようになって、その分、検査精度が向上し
た。
光方位毎に設けた検査光を測定対象上の同一領域を通過
させることができるようになった。そのため、同一領域
を通過した検査光に基づいた測定対象の複屈折の程度を
検査できるようになって、その分、検査精度が向上し
た。
【図１】本発明の一実施の形態に係るオンライン偏光計
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図２】従来例のオンライン偏光計の構成を示す図であ
る。
る。
２Ａ、２Ｂ コリメータレンズ ３ 偏光光学系 ４ 光源 ５ コンデンサレンズ ７ 偏光子 ８ 検光子 Ｓ 測定対象
Claims (1)
- 【請求項１】 測定対象を挟んで対向配置された一対の
コリメータレンズと、 偏光方位を一にして前記コリメータレンズの共役点それ
ぞれに配置された偏光子および検光子からなり、かつ検
出偏光方位毎に設けられた偏光光学系と、 検査光を前記偏光子を介して測定対象に供給する光源
と、 前記光源と前記偏光子との間に設けられて、検査光が測
定対象上で焦点を結ぶように作用するコンデンサレンズ
とを有することを特徴とするオンライン偏光計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19327095A JPH0943139A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | オンライン偏光計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19327095A JPH0943139A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | オンライン偏光計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943139A true JPH0943139A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16305152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19327095A Pending JPH0943139A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | オンライン偏光計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0943139A (ja) |
-
1995
- 1995-07-28 JP JP19327095A patent/JPH0943139A/ja active Pending
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