KR950009329A - 배향막 평가 장치 - Google Patents

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Abstract

배향막 평가 장치와 러빙 처리 장치는 액정 배향막에 대한 배향능을 실제제조 공정중에도 고감도 및 고정확도로 양적으로 측정할 수 있고 배향 상태를 정확하게 제어하여 안정한 제조 상태를 획득하고 생산성 및 양품률의 향상을 가져올 수 있다. 배향막 평가 장치는 적외광을 사출하는 적외광을 배향막의 배향 방향에 평행 및 직교 방향으로 편광항 그 편광된 적외광을 배향막에 조사하는 편광부, 배향막상에 반사된 적외광을 검출하는 검출부 및 검출부에 의해 검출된 적외광으로부터 배향막의 평광 방향에 대한 흡광도 차를 구하여 배향막의 배향등을 평가하는 평가부를 포함한다.

Description

배향막 평가 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 배향막 평가 장치를 예시한 블록도
제2도는 액정 배향막의 구조를 예시한 도면.

Claims (10)

  1. 적외광을 사출하는 사출 수단과, 상기 사출 수단으로부터 사출된 적외광을 배향막의 배향 방향에 평행 및 직교하는 방향으로 편광하여 그 편광된 적외광을 배향막에 조사하는 편광수단과;배향막 상에 반사된 적외광을 검출하는 검출 수단과;상기 검출 수단에 의해 검출된 적외광으로부터 배향막의 편광 방향에서의 흡광도의 차리를 구하여 배향막의 편향능을 평가하는 평가 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 평가 장치.
  2. 적외광을 러빙 처리된 배향막 시료에 조사하는 수단과;배향막 시료의 러빙 방향과 배향막 시료의 표면에 법선 방향에 의해 형성된 평면에 평행한 편광 상태의 적외광을 배향막의 특성 흡수 파장에서 시료 표면에 법선 방향으로부터 여러 각도로 입사하는 측정수단과;상기 측정 수단을 통해 투과된 적외광을 검출하는 검출 수단과;상기 검출 수단으로부터 획득된 여러 각도의 투과광의 차에 기초하여 배향막을 평가하는 평사 수간을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 배향막 평가 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 적외광 사출 수단은 소망하는 각도로의 복수의 적외광원을 포함하고, 상기 검출 수단은 복수의 적외광원에 해당하는 복수의 검출기를 포함하여 복수의 적외광 입사각에서 동시에 측정을 수행하는 것을 특징으로 하는 액정 배향막 평가 장치.
  4. 제2항에 있어서, 단일의 적외광원과 단일의 검출 수단을 포함하며, 상기 측정 수단은 사출된 적외광을 2개의 서로 다른 관경로로 분할하는 하프 미러와;각각 서로 대향하여 배치되고, 상기 분할된 광경로를 각각 반사하여 2개의 반사된 적외광들이 배향막 시료의 배향막상의 일점에서 교차되게 하는 제1미러 세트와;각각 서로 대향하여 배치되고, 배향막 시료를 통해 투과된 분할된 적외광을 반사하는 제2미러 세트와, 상기 제2미러 세트에 의해 반사된 2개의 분할된 적외광이 입사되고, 그 2개의 적외광들이 검출기(9)에 교대로 도달되게 하는 교대 수단을 구비하는 미러 초퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 배향막 평가 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 검출 수단으로 부터의 검출 신호는 신호 처리 시스템에 의해 상기 미러 초파와 동기처리되는 것을 특징으로 하는 액정 배향막 평가장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 미러 초퍼는 로크-인 증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 배향막 평가장치.
  7. 기판상에 형성된 고분자 배향막의 표면에서 단일 방향으로 분자를 배향하는 러빙 처리 장치에 있어서, 단일 방향으로 고분자 배향막의 표면을 러빙하는 러빙 수단과;상기 러빙 수단에 의해 러빙 처리된 고분자 배향막의 표면 온도를 검출하는 검출 수단과: 상기 검출 수단에 의해 검출된 고분자 배향막의 표면 온도에 응답하여 러빙조건을 변경하는 제어 순단을 포함하고, 상기 제어 수단을 러빙 처리될 영역에 고분자막의 온도를 고분자 배향막을 구성하는 고분자 재료에 대한 유리 전이 온도 이상 및 유리 전이 온도로부터 60°이내의 범위로 설정하는 것을 특징으로 하는 러빙 처리 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 편광 수단은 2개의 직선 편광 직외광이 배향막 기판에서 투명 전극 패턴의 대칭축에 대칭인 2개의 각을 이루게 하는 좌표 시프팅 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 배향막 평가 장치.
  9. 제1항에 있어서, 입사측 또는 반사측에서 상기 배향막에 마스킹 패턴이 삽입되는 것을 특징으로 하는 배향막 평가 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 검출 수단은 러빙 동작 전후에 획득된 흡광도차를 저장하는 메모리 수단을 포함하고, 상기 평가 수단은 러빙 동작전에 획득된 흡광도차를 러빙 동작후에 획득된 흡광 도차에서 차감하여 배향막기판상에 제공된 패턴에 의해 발생된 이방성 백그라운드를 제거하는 차감 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 평가 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940023134A 1993-09-13 1994-09-13 배향막 평가 장치 KR0171637B1 (ko)

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