RU2718139C1 - Установка для определения качества оптических элементов - Google Patents

Установка для определения качества оптических элементов Download PDF

Info

Publication number
RU2718139C1
RU2718139C1 RU2019123049A RU2019123049A RU2718139C1 RU 2718139 C1 RU2718139 C1 RU 2718139C1 RU 2019123049 A RU2019123049 A RU 2019123049A RU 2019123049 A RU2019123049 A RU 2019123049A RU 2718139 C1 RU2718139 C1 RU 2718139C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sample
optical
laser
crystal
electric field
Prior art date
Application number
RU2019123049A
Other languages
English (en)
Inventor
Виталий Иванович Быков
Константин Петрович Мельник
Станислав Михайлович Шандаров
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР)
Priority to RU2019123049A priority Critical patent/RU2718139C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2718139C1 publication Critical patent/RU2718139C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении оптических приборов на основе оптических кристаллов. Заявленная установка по определению степени дефектности оптических элементов методом лазерной интерферометрии включает в себя гелий-неоновый лазер, коллиматор, интерферометр Маха-Цандера, в одно из плеч которого установлен исследуемый образец. При этом держатель образца представляет собой цанговый зажим из диэлектрического материла, позволяющий поворачивать образец вокруг оси, совпадающей с лазерным лучом, проходящим через образец, а также подавать напряжение на противоположные грани образца с целью выявления дефектов, чувствительных к направлению поляризации света и приложенному электрическому полю. Технический результат - определение внутренних и внешних оптических неоднородностей кристаллов, в том числе дефектов чувствительных как к поляризации света, так и к внешнему электрическому полю. 2 ил.

Description

Изобретение относится к области оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении оптических приборов на основе оптических кристаллов.
Известны установки по определению качества оптических элементов, изготовленных на основе оптических кристаллов. Например: установка для исследования неоднородностей кристаллов, основанная на теневом методе обнаружения дефектов (метод Теплера), позволяющем обнаружить оптические неоднородности в прозрачных средах и дефекты отражающих поверхностей [1].
Наиболее близким к изобретению (прототипом) является установка, использующая интерференционную методику исследований неоднородностей кристалла [2]. Принцип ее действия заключается в том, что зондирующий пучок, проходящий через кристалл, фиксирует информацию об имеющихся в кристалле неоднородностях в виде искажений фазового фронта, которая затем отображается в картине интерференции с невозмущенным пучком. В тех местах кристалла, где неоднородности коэффициента преломления сильнее, фазовый фронт луча искажен больше и в соответствующем месте интерференционной картины полосы будут либо сильнее искривлены, либо сильнее сгущены. Поэтому по расстояниям между интерференционными полосами или по их искривлению можно рассчитать разность показателя преломления кристалла в точках, соответствующих наблюдаемым полосам.
Установки по измерению неоднородностей кристаллов [1, 2] позволяют определять неоднородности кристаллов, оптических элементов и других прозрачных тел, но при этом не позволяют определять тип дефектов и разграничивать внутренние и внешние дефекты.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является определение внутренних и внешних оптических неоднородностей кристаллов, в том числе дефектов, чувствительных как к поляризации света, так и к внешнему электрическому полю.
Результат обеспечивает установка на основе интерферометра Маха-Цандера следующим образом.
1. С помощью коллиматора лазерный луч расширяется до необходимого размера.
2. Кристалл помещается в специальный держатель, находящийся в одном из плеч интерферометра Маха-Цандера.
3. Прикладывается внешнее электрическое поля к противоположным сторонам кристалла и (или) кристалл поворачивается вокруг оси, совпадающей с направлением зондирующего луча
4. С помощью цифровой фотокамеры, веб-камеры или экрана наблюдается интерференционная картина.
Установка отличается от прототипа тем, что:
Во-первых, в данной установке на кристалл подается напряжение ортогонально направлению распространения лазерного луча. Во-вторых, благодаря держателю образца имеется возможность поворачивать кристалл вокруг оси лазерного луча. Прикладываемое электрическое поле дает возможность определить дефекты, чувствительные к нему, а поворот кристалла соответственно позволяет определять дефекты, зависящие от направления колебаний вектора светового поля в кристалле. В результате установка позволяет не только определять дефекты кристаллов, но и классифицировать их типы.
Данная установка показана на фиг. 1, где: 1 - гелий-неоновый лазер (λ=0,6328 мкм); 2 - коллиматор; 3 - интерферометр Маха-Цандера; 4 и 11 - непрозрачные зеркала; 5 - кристалл, 6 - источник высокого напряжения; 7 - цанговый держатель кристалла; 8 и 12 - полупрозрачные зеркала; 9 - цифровая фотокамера; 10 - компьютер.
Установка работает следующим образом. Луч гелий-неонового лазера 1 с длиной волны λ=632,8 нм проходит сквозь коллиматор 2 и расширяется до необходимого размера, делится полупрозрачным зеркалом 12 на опорный и сигнальный лучи. Опорный луч отражается от непрозрачного зеркала 11 и попадает на полупрозрачное зеркало 8. Сигнальный луч, отражаясь от непрозрачного зеркала 4, проходит сквозь кристалл и интерферирует с опорным лучом после прохождения через полупрозрачное зеркало 8. Образец по форме представляет собой прямоугольный параллелепипед. Его ориентируют таким образом, чтобы ось вращения кристалла совпадала с центром просветленной грани, через которую проходит лазерный луч, а к двум другим противолежащим граням подведены электроды. Приложенное электрическое поле вызывает движение дефектов, что приводит к изменениям в интерференционной картине. Эти изменения также могут быть чувствительными к направлению колебаний вектора светового поля. Интерференционная картина попадает на цифровую фотокамеру 9 и фиксируется компьютером 10.
На фиг. 2 представлена конструкция цангового держателя образца. Здесь 13 - поворотное кольцо; 14 - цанговый зажим; 15 - электроды; 16 - кристалл, 17 - стойка.
Список использованных источников
1. Васильев Л. А., Теневые методы, М., 1968.
2. Зверев Г.М., Голяев Ю.Д. Лазеры на кристаллах и их применение, М., 1994

Claims (1)

  1. Установка по определению степени дефектности оптических элементов методом лазерной интерферометрии, включающая в себя гелий-неоновый лазер, коллиматор, интерферометр Маха-Цандера, в одно из плеч которого установлен исследуемый образец, отличающаяся тем, что держатель образца представляет собой цанговый зажим из диэлектрического материла, позволяющий поворачивать образец вокруг оси, совпадающей с лазерным лучом, проходящим через образец, а также подавать напряжение на противоположные грани образца с целью выявления дефектов, чувствительных к направлению поляризации света и приложенному электрическому полю.
RU2019123049A 2019-07-17 2019-07-17 Установка для определения качества оптических элементов RU2718139C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019123049A RU2718139C1 (ru) 2019-07-17 2019-07-17 Установка для определения качества оптических элементов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019123049A RU2718139C1 (ru) 2019-07-17 2019-07-17 Установка для определения качества оптических элементов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2718139C1 true RU2718139C1 (ru) 2020-03-30

Family

ID=70156504

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019123049A RU2718139C1 (ru) 2019-07-17 2019-07-17 Установка для определения качества оптических элементов

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2718139C1 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2219490C2 (ru) * 2001-10-01 2003-12-20 Амстиславский Яков Ефимович Учебный интерференционный прибор с кристаллом исландского шпата
US20080043248A1 (en) * 2006-08-18 2008-02-21 Meric Ozcan Photonic crystal sensors using band edge and/or defect mode modulation
US20100290055A1 (en) * 2009-05-13 2010-11-18 Kyong-Hon Kim Systems for measuring electro-optic and thermo-optic coefficients by using interference fringe measurement, and methods of measuring electro-optic and thermo-optic coefficients by using the systems
CN102621110A (zh) * 2012-03-13 2012-08-01 中国科学院上海光学精密机械研究所 电光系数测量装置
RU2604117C1 (ru) * 2015-06-01 2016-12-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) Способ определения электрооптического коэффициента оптических кристаллов с высокой электропроводностью

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2219490C2 (ru) * 2001-10-01 2003-12-20 Амстиславский Яков Ефимович Учебный интерференционный прибор с кристаллом исландского шпата
US20080043248A1 (en) * 2006-08-18 2008-02-21 Meric Ozcan Photonic crystal sensors using band edge and/or defect mode modulation
US20100290055A1 (en) * 2009-05-13 2010-11-18 Kyong-Hon Kim Systems for measuring electro-optic and thermo-optic coefficients by using interference fringe measurement, and methods of measuring electro-optic and thermo-optic coefficients by using the systems
CN102621110A (zh) * 2012-03-13 2012-08-01 中国科学院上海光学精密机械研究所 电光系数测量装置
RU2604117C1 (ru) * 2015-06-01 2016-12-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) Способ определения электрооптического коэффициента оптических кристаллов с высокой электропроводностью

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Мельник К.П. Интерферометр Маха-Цандера для исследования электрооптического эффекта в нелинейных кристаллах [Текст]: доклад/ К.П. Мельник, М.И. Михайлова// Научная сессия ТУСУР-2011. - Томск: В-Спектр. - Ч.1 - С. 286-289. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100917912B1 (ko) 단일 편광자 초점 타원계측기
CN111121644B (zh) 一种基于涡旋光与球面波干涉的微位移测量方法及装置
CN107462149B (zh) 一种相移干涉测量系统及其波片相移方法
CN102829903B (zh) Mems扫描式激光外差干涉仪及其测量玻璃应力的方法
TW201530093A (zh) 厚度線上即時檢測之光學干涉裝置及其方法
KR100958185B1 (ko) 광섬유의 잔류응력 측정장치
US10989524B2 (en) Asymmetric optical interference measurement method and apparatus
RU2718139C1 (ru) Установка для определения качества оптических элементов
KR100453710B1 (ko) 표면 측정장치 및 그 측정방법
JPH11337321A (ja) 位相シフト干渉縞の同時計測方法及び装置
CN2921828Y (zh) 光学成像系统及具有该光学成像系统的光学检测系统
KR100686923B1 (ko) 스펙클패턴 전단간섭법에 있어서 파장판을 이용한 위상천이방법 및 이를 이용한 계측시스템
JPS6024401B2 (ja) 被測定物の物理定数を測定する方法
Siebert et al. Modeling of fiber-coupled confocal and interferometric confocal distance sensors
JP3325078B2 (ja) 非接触三次元形状計測装置
JP4699364B2 (ja) 媒体特性の非侵襲的検出および測定のためのデバイスおよび方法
Wang et al. Rapid one-shot dual-shearing digital shearography using a spatial light modulator
RU2727783C1 (ru) Устройство измерения распределения показателя преломления прозрачных образцов
Trịnh et al. Polarization phase-shifting Newton interferometer without errors caused by polarization crosstalk
Tavassoly A simple method for measuring the refractive index of a plate
JP3496786B2 (ja) 位相物体の測定方法および測定装置
GB646760A (en) Improvements relating to the optical measurement and/or calibration of tubular surfaces
JPH02228512A (ja) 固体表面の高精度レーザ計測方法及び装置
CN204902762U (zh) 反馈式声光调制移相干涉系统
SU1610260A1 (ru) Способ определени профил шероховатости поверхности издели и устройство дл его осуществлени