JPH02228512A - 固体表面の高精度レーザ計測方法及び装置 - Google Patents
固体表面の高精度レーザ計測方法及び装置Info
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- JPH02228512A JPH02228512A JP1049616A JP4961689A JPH02228512A JP H02228512 A JPH02228512 A JP H02228512A JP 1049616 A JP1049616 A JP 1049616A JP 4961689 A JP4961689 A JP 4961689A JP H02228512 A JPH02228512 A JP H02228512A
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- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 title abstract description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004556 laser interferometry Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、固体表面の高精度レーザ計測方法及び装置に
間するものである。
間するものである。
[従来の技術]
各種の工業あるいは科学の分野において課題となってい
る加工表面の計測法には、従来9機械的粗さ計で計測す
る方法、レーザ干渉計で計測する方法等がある0機械的
祖ざMfでは、接触式であるため、試料の表面にきすを
つけると同時に、精密な計測が不可能であった。また、
レーザ干渉計を用いて、形状・粗さを精密に非接触で測
定する方法は多く開発されているが、得られる情報は光
学的形状・粗さであって真の幾何学的形状・粗さでなく
1表面の状態に依存するため、これらの方法は、より高
度な計測への応用が不可能である。
る加工表面の計測法には、従来9機械的粗さ計で計測す
る方法、レーザ干渉計で計測する方法等がある0機械的
祖ざMfでは、接触式であるため、試料の表面にきすを
つけると同時に、精密な計測が不可能であった。また、
レーザ干渉計を用いて、形状・粗さを精密に非接触で測
定する方法は多く開発されているが、得られる情報は光
学的形状・粗さであって真の幾何学的形状・粗さでなく
1表面の状態に依存するため、これらの方法は、より高
度な計測への応用が不可能である。
[発明が解決しようとする問題点コ
レーザ干渉計で計測する方法は2表面の計測が高分解能
化し、ナノメートルの領域に達しているが、金属のよう
な導体の表面においては、光がわずかであるが浸透する
ために、レーザ干渉計で測定された値はその表面の幾何
学的形状を示さない。
化し、ナノメートルの領域に達しているが、金属のよう
な導体の表面においては、光がわずかであるが浸透する
ために、レーザ干渉計で測定された値はその表面の幾何
学的形状を示さない。
このため、レーザ干渉計測においては、被測定固体表面
に異種の材料で皮膜を蒸着したり、または。
に異種の材料で皮膜を蒸着したり、または。
被測定固体表面に異種の材質の物体を光学接触させて、
被測定固体表面と異種の物体の表面における光の浸透深
さの差を光学的に測定することによって、固体表面にお
ける光の浸透深さを求めていたので、+J1定精度が悪
かった。
被測定固体表面と異種の物体の表面における光の浸透深
さの差を光学的に測定することによって、固体表面にお
ける光の浸透深さを求めていたので、+J1定精度が悪
かった。
このように、従来のレーザ干渉計測は2分解能が高いに
もかかわらず、その有朋性が制限されている。この計測
技術が高分解能の特長を十分に発揮することができれば
、レーザ干渉計測の有用性は多大である。
もかかわらず、その有朋性が制限されている。この計測
技術が高分解能の特長を十分に発揮することができれば
、レーザ干渉計測の有用性は多大である。
[問題点を解決するための手段]
本発明は、レーザ光を光源として用い2分割して、一方
のレーザ光は被測定物体の表面を照射いもう一方のレー
ザ光は参照光として参照鏡を照射し、これらからの反射
光が干渉し被測定物体の表面の光学的形状を測定すると
ともに、被測定物体の照射光だけの光強度を利用する変
位計測法によって被測定物体の表面の光学的形状を測定
することによって、これらの測定値の比較から被測定物
体の表面の幾何学的形状を精密に求める方法で前記問題
点を解決した。
のレーザ光は被測定物体の表面を照射いもう一方のレー
ザ光は参照光として参照鏡を照射し、これらからの反射
光が干渉し被測定物体の表面の光学的形状を測定すると
ともに、被測定物体の照射光だけの光強度を利用する変
位計測法によって被測定物体の表面の光学的形状を測定
することによって、これらの測定値の比較から被測定物
体の表面の幾何学的形状を精密に求める方法で前記問題
点を解決した。
Cla明の実施例コ
光波干渉を利用して測定される寸法の光学的測定値は媒
質の屈折率が位相屈折率であるのに対い光の強度を利用
して測定される寸法の光学的測定値は群圧折率である。
質の屈折率が位相屈折率であるのに対い光の強度を利用
して測定される寸法の光学的測定値は群圧折率である。
これらの原理を利用して。
被測定物体の媒質の群・位相屈折率の定数を知フて9表
面における光の浸透深さを求め、正しい幾何学的粗さ・
形状を決定することができる。いま。
面における光の浸透深さを求め、正しい幾何学的粗さ・
形状を決定することができる。いま。
第1図に示すように、光の浸透深さをdとすると。
光波干渉計による寸法の光学的測定値は。
1+=nd
で与えられ、光強度による方法では。
1、=n、d
で与えられるので、これらの式から。
d=19−A(1゜−1+ )
が導かれる。ここで。
A= (no −1) / (nll−n+)であり、
一定である。従って+ 1+ と】1を精密に測定す
ることによって、dの値が精度よく求められる。
一定である。従って+ 1+ と】1を精密に測定す
ることによって、dの値が精度よく求められる。
第2図は2本発明の実施例の構成図であり、入射光1(
周波数;fl とh )がビームスプリッタ2を経た後
、偏光プリズム3に入射い 2闇波光は偏光状態が直交
しているので、それらの方向を分離されて、一方のプロ
ーブ光IOは被測定面である固体表面8に向い、もう一
方の参照光9は参照鏡7に向かう、これらの反射光が反
射鏡6を経て偏光子13を通った後干渉し、干渉計測さ
れる。この場合+ flとf2とによるビート信号が
形成され9表面の形状に従ってビート信号の位相が変化
するσで、ヘテロダイン法によって光学的形状が高い分
解能で測定される。もう一方のブ°ローブ光10は、被
測定表面のみを照射する光波として、偏光子12によっ
て単独で検出されレンズの焦点の位置からずれることに
よって像パターンが変化することを利用して、4分割形
のセンサによってずれ(変位量)を精密に測定する強度
法によって変位の信号を得て、アクチュエータ4に入射
され、被測定表面とレンズの距離が一定になるように制
御される。この結果、干渉計測による値のみが実際に測
定される。この場合アクチュエータ4を用いないで変位
情報を得て、前述の干渉計による値とを比較してもよい
。
周波数;fl とh )がビームスプリッタ2を経た後
、偏光プリズム3に入射い 2闇波光は偏光状態が直交
しているので、それらの方向を分離されて、一方のプロ
ーブ光IOは被測定面である固体表面8に向い、もう一
方の参照光9は参照鏡7に向かう、これらの反射光が反
射鏡6を経て偏光子13を通った後干渉し、干渉計測さ
れる。この場合+ flとf2とによるビート信号が
形成され9表面の形状に従ってビート信号の位相が変化
するσで、ヘテロダイン法によって光学的形状が高い分
解能で測定される。もう一方のブ°ローブ光10は、被
測定表面のみを照射する光波として、偏光子12によっ
て単独で検出されレンズの焦点の位置からずれることに
よって像パターンが変化することを利用して、4分割形
のセンサによってずれ(変位量)を精密に測定する強度
法によって変位の信号を得て、アクチュエータ4に入射
され、被測定表面とレンズの距離が一定になるように制
御される。この結果、干渉計測による値のみが実際に測
定される。この場合アクチュエータ4を用いないで変位
情報を得て、前述の干渉計による値とを比較してもよい
。
[発明の効果コ
本発明は、物体の表面の幾何学的形状を精密に洞室する
ものである。従って、ナノメートル領域における計測に
おいては、各種の分野にわたって応用が可能である。
ものである。従って、ナノメートル領域における計測に
おいては、各種の分野にわたって応用が可能である。
第1図は、物体の表面における光の反射特性を示す概略
図である。第2図は9本発明の実施例の構成図である。 1・・・・・入射光 2・・・・令ビームスプリッタ 3・・・・・偏光プリズム 4・・◆・・アクチュエータ 5・・・・・レンズ 6・・・・・反射鏡 7・・・・・参照鏡 8・・・・・固体表面 9・・・・・参照光 0・・・・・プローブ光 1・・・・・ビームスブリ・ンタ 2、13・・・・偏光子 4・・・・・単一周波光 5・・・・・ビート信号光 d・・・・・光の浸透深さ 指定代理人
図である。第2図は9本発明の実施例の構成図である。 1・・・・・入射光 2・・・・令ビームスプリッタ 3・・・・・偏光プリズム 4・・◆・・アクチュエータ 5・・・・・レンズ 6・・・・・反射鏡 7・・・・・参照鏡 8・・・・・固体表面 9・・・・・参照光 0・・・・・プローブ光 1・・・・・ビームスブリ・ンタ 2、13・・・・偏光子 4・・・・・単一周波光 5・・・・・ビート信号光 d・・・・・光の浸透深さ 指定代理人
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、レーザ光を光源として用い2分割して、一方のレー
ザ光は被測定物体の表面を照射し、もう一方のレーザ光
は参照光として参照鏡を照射し、これからの反射光が干
渉し被測定物体の表面の光学的形状を測定するとともに
、被測定物体の照射光だけの光強度を利用する変位計測
法によって被測定物体の表面の光学的形状を測定するこ
とによって、これらの測定値の比較から被測定物体の表
面の幾何学的形状を精密に求める方法。 2、2周波レーザ光をビームスプリッタに入射し、さら
に、偏光プリズムに入射して、偏光プリズムにより2周
波レーザ光の方向を分離し、一方のレーザ光はレンズを
通し被測定物体の表面に照射し、もう一方のレーザ光は
参照鏡に照射し、両方の反射光が偏光子を通った後干渉
し、干渉計測される、また、被測定物体の表面のみを照
射するレーザ光は、偏光子によつて単独で検出されレン
ズ等の焦点位置を検出する光強度の変化法によって被測
定物体の表面の光学的計測を行い、これらの測定値の比
較から幾何学的形状を精密に計測する装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1049616A JPH0660814B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 固体表面の高精度レーザ計測方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1049616A JPH0660814B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 固体表面の高精度レーザ計測方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02228512A true JPH02228512A (ja) | 1990-09-11 |
JPH0660814B2 JPH0660814B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=12836167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1049616A Expired - Lifetime JPH0660814B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 固体表面の高精度レーザ計測方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0660814B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003064971A1 (en) * | 2002-01-29 | 2003-08-07 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Method and system for measuring profile of large-area using point diffraction light source based on multilateration |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4051443B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2008-02-27 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光学材料の群屈折率精密計測方法及び装置 |
JP4203831B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2009-01-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光学材料の群屈折率精密計測方法 |
-
1989
- 1989-03-01 JP JP1049616A patent/JPH0660814B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003064971A1 (en) * | 2002-01-29 | 2003-08-07 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Method and system for measuring profile of large-area using point diffraction light source based on multilateration |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0660814B2 (ja) | 1994-08-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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