JPH0942832A - 加熱乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄液中に混入した水分による乾燥品質の低
下をなくした加熱乾燥装置を提供する。 【解決手段】 導入した被乾燥物３を減圧下で溶剤の蒸
気により乾燥する乾燥槽１と、この乾燥槽１に連結し乾
燥槽１内に溶剤蒸気を供給する溶剤蒸発槽４と、乾燥槽
１内を減圧する液封ポンプ６と、乾燥槽１内に供給され
た溶剤蒸気を液化して回収する冷却器７又は凝縮タンク
１４と、溶剤中に混入した水を分離して除去する水分除
去装置８と、装置内への水分の混入を低減する除湿装置
１０とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は金属、ガラス、プラ
スチック等の被乾燥物を導入して、溶剤の蒸気により減
圧下で加熱乾燥する加熱乾燥装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】溶剤の蒸気を用いて被乾燥物を乾燥する
従来技術として、先に本出願人が出願した特願平７−２
９６７８号に記載の手段がある。特願平７−２９６７８
号に記載の加熱乾燥装置は、導入した被乾燥物を減圧下
で溶剤の蒸気により洗浄及び乾燥処理する乾燥槽と、こ
の乾燥槽を減圧する減圧手段と、この乾燥槽の下方にバ
ルブを介して連結された溶剤蒸発槽と、この乾燥槽内に
供給された溶剤の蒸気を凝縮・液化する冷却回路を内蔵
した冷却器と、この冷却器で液化された溶剤を回収する
冷却回路を内蔵したタンクとを備えている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】特願平７−２９６７８
号に記載の装置は、装置稼働中に種々の理由で洗浄液中
に水分が混入する不具合を有していた。第一に、乾燥槽
内に被乾燥物を導入する際に外気中に含まれる水分が乾
燥槽内に持ち込まれる。第二に、減圧されていた乾燥槽
を大気圧に復帰させるために、乾燥槽に外気を導入する
際に外気中に含まれている水分が乾燥槽内に持ち込まれ
る。

【０００４】これらの水分は、冷却器内やタンク内の冷
却回路の表面で冷却されることにより凝縮して液化し、
その結果、洗浄液中に水が混入することになる。洗浄液
中に混入した水は、溶剤蒸発槽で溶剤と共に加熱されて
蒸気化し、乾燥槽中で被乾燥物に付着する。これらの被
乾燥物に付着した水は、溶剤に比べて蒸発潜熱が大きい
ために乾燥が遅く、また、表面張力が大きいために凝縮
してウォーターマークと呼ばれる乾燥シミを発生させる
不具合を発生させる。

【０００５】本発明は上記従来技術の不具合に着目して
なされたものであり、請求項１に係わる発明の目的は、
洗浄液に混入した水の除去手段を有する加熱乾燥装置を
提供することである。また、請求項２に係わる発明の目
的は、装置内への水分の混入を低減する手段を有する加
熱乾燥装置を提供するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係わる発明
は、導入した被乾燥物を洗浄及び乾燥処理する乾燥槽
と、前記乾燥槽に連結し乾燥槽内に溶剤蒸気を供給する
蒸気供給手段と、前記乾燥槽内を減圧する減圧手段とを
有し、前記被乾燥物を減圧下で蒸気洗浄及び真空乾燥す
る加熱乾燥装置において、前記溶剤中に混入した水を分
離して除去する水分離手段を設けたものである。

【０００７】請求項２に係わる発明は、導入した被乾燥
物を洗浄及び乾燥処理する乾燥槽と、前記乾燥槽に連結
し乾燥槽内に溶剤蒸気を供給する蒸気供給手段と、前記
乾燥槽内を減圧する減圧手段とを有し、前記被乾燥物を
減圧下で蒸気洗浄及び真空乾燥する加熱乾燥装置におい
て、装置内への水分の混入を防止する水分混入防止手段
を設けたものである。

【０００８】図１は本発明の概略を説明するために、関
連する構成と共に例示した概念図であり、１は蒸気によ
る洗浄及び乾燥処理を行う乾燥槽であり、開閉扉２によ
り密閉可能に構成されている。この乾燥槽１には、チャ
ンバー、オートクレープ等の操作性が容易なものを使用
できる。乾燥槽１の材質としては、耐熱性、耐久性、ア
ウトガスが少ないという観点から金属が好ましく、更
に、耐薬品性、耐腐食性の観点からは、ステンレス合
金、アルミニウム合金が好ましい。なお、かかる材質は
後述する他の部材に対しても同様に通用することができ
る。この乾燥槽１で処理できる被乾燥物３としては、例
えば、レンズ、平板、プリズム等の光学部品や枠、リュ
−ズ、ネジ、製品本体等の機械部品の他、金属部品、プ
ラスチック部品、メッキ部品、塗装部品、実装基板やリ
ードフレーム等の電子部品、ウエハー等の半導体部品な
どの各種のものがあり、特に乾燥シミ等の残存が許され
ない精密洗浄を要求される部品に適用できる。

【０００９】乾燥槽１の下方には蒸気供給手段としての
溶剤蒸発槽４を連設し、バルブ５を動作して乾燥槽１へ
の溶剤蒸気の供給状態を制御可能に構成する。バルブ５
には、時間当たりの蒸気供給量が多いバタフライバルブ
を用いることが好ましい。一方、乾燥槽１の上方には配
管を介して乾燥槽１内の減圧手段としての液封ポンプ６
を連設する。液封ポンプ６は、乾燥処理に使用する溶剤
で内部を満たし、羽根の回転で形成される還流に気体を
連続的に吸引し、排気、圧縮を行うことで真空ポンプに
なるものである。

【００１０】請求項１に記載の発明は、上記の要部構成
に加えて、液封ポンプ６の作動溶剤の循環管路中に水分
離手段としての水分除去装置８を設けて構成される。水
分除去装置８は、例えば、比重差分離槽、吸着分離槽、
油水分離フィルター、濾過膜、あるいは、その組み合わ
せより構成でき、濾過膜としては中空糸濾過膜の使用が
好ましい。

【００１１】水分除去装置８を設けることにより、溶剤
中に混入した水分を分離しでき、溶剤を再生することが
できる。例えば、比重差分離槽を用いた場合には、水と
溶剤の比重差により溶剤中の水分を分離する。吸着分離
槽を用いた場合には、分子ふるいや吸着剤により溶剤中
の水分のみを選択的に吸着することにより溶剤中の水分
を分離する。油水分離フィルターを用いた場合には、溶
剤中の水分の凝縮を利用して溶剤中の水分を分離する。
濾過膜、好ましくは中空糸濾過膜を用いた場合には、溶
剤分子と水分子との大きさの違いを利用して溶剤中の水
分を分離する。

【００１２】また、請求項２に記載の発明は、上記の要
部構成に加えて、減圧した乾燥槽１を大気圧に戻すため
のリーク弁９に連設し水分混入防止手段である除湿装置
１０を設けて構成される。除湿装置１０は、例えば、ド
ライエアフィルタ、ホットガスヒーター、エアコンディ
ショナー、分子ふるいや吸着剤を充填したもの、あるい
は、その組み合わせより構成できる。

【００１３】除湿装置１０を設けることにより、リーク
弁９を開けた時に乾燥槽１への水分の混入を防止でき
る。例えば、ドライエアフィルターを用いた場合には、
高分子濾過膜や中空糸濾過膜の選択的透過性により大気
中の水分を除去する。ホットガスヒーターを用いた場合
には、ガスの加熱燃焼や加熱による昇華により大気中の
水分を除去する。エアコンデショナーを用いた場合に
は、気体の断熱圧縮や熱交換により大気中の水分を冷却
して除去する。さらに、分子ふるいや吸着剤を用いた場
合には、大気中の水分を吸着して除去する。除湿装置１
０をリーク弁９に連設した理由は、溶剤蒸気で加熱した
後に減圧して乾燥させた被乾燥物は、溶剤の蒸発潜熱を
奪われて温度低下しており、その後に導入された大気中
に存在する水分が容易に被乾燥物の表面で結露するため
である。除湿装置の設置場所は、乾燥槽１のリーク弁９
に限定されず、他の大気導入部位に併設してもよい。

【００１４】以上の構成に加え、必要に応じて以下の構
成が付加される。乾燥槽１と液封ポンプ６とを連結する
管路には、乾燥槽１内に供給された溶剤蒸気の回収手段
としての冷却器７が設けることができる。冷却器７は内
部に冷却回路を有し、その表面で液化するものであり、
コンデンサー、ガスクーラー、アフタークーラー等が適
用できる。その結果、溶剤蒸気を液化して回収し、溶剤
使用料を低減できる。また、液封ポンプ６の作動流体と
しての溶剤温度を下げることにより、減圧能力を高める
ことができる。

【００１５】また、乾燥槽１の内部には加熱と冷却とを
切り換える温調部材１１を設けることができる。この温
調部材１１としては、ステンレス等からなるフレキシブ
ル配管をコイル状とし、スチームと冷却水とを交互に切
り換えて供給して、乾燥槽１内の加熱または冷却を行
う。温調部材１１を冷却することにより、溶剤排出時の
液化を促進でき、その結果、真空乾燥のための吸引時間
を短縮できる。逆に、温調部材１１を加熱することによ
り被乾燥物に対する溶剤蒸気による熱供給が効率的に行
われるので乾燥時間を短縮できる。

【００１６】また、乾燥槽１の下部にはバルブ１２を介
して凝縮液の回収タンク１３を連設することができる。
回収タンク１３は、被乾燥物３や温調部材１１の表面で
凝縮した溶剤を回収し、溶剤を溶剤蒸発槽４に戻すもの
である。その結果、溶剤蒸発槽４からの蒸気供給を停止
しバルブ５を閉じた後でも乾燥槽１内の凝縮液を回収で
き、最終乾燥時の乾燥時間を短縮できる。

【００１７】また、液封ポンプ６の作動溶剤の循環管路
中には凝縮タンク１４を設けることもできる。凝縮タン
ク１４は、デミスター、グットロール、ラヒシリング等
の充填材と冷却回路とを内在して構成され、冷却器７で
液化できなかった溶剤蒸気を凝縮させて回収する。さら
に、液封ポンプ６の吸引口の前部にガスエゼクタ１５を
設けると共に、前記ガスエゼクタ１５の駆動ガス口を凝
縮タンク１４の上部に連結した配管を設けることができ
る。凝縮タンク１４による溶剤蒸気の冷却液化は大気圧
下で行うため、凝縮タンク１４内の蒸気濃度は、凝縮タ
ンク内の温度と大気圧下でのその使用している溶剤の飽
和蒸気圧に依存する。つまり、閉容器中にある飽和気体
を冷却すると気体は凝縮液化するが、蒸気の圧力が、閉
容器中の温度における飽和蒸気圧に達すると、それ以上
の凝縮は起こらず、液体と蒸気は平衡状態になる。その
結果、凝縮タンク１４内に溶剤蒸気が幾分残留すること
となり、凝縮タンク１４の排気口はそのまま大気開放で
あるから、そこから溶剤蒸気の一部が装置外部へ流出し
溶剤が消耗する。上記の配管を設けることにより液封ポ
ンプ６の運転中はガスエゼクタ１５が駆動し、凝縮タン
ク１４の排気口から凝縮液化されきれなかった溶剤蒸気
を液封ポンプ６の吸引口に吸引し、凝縮タンク１４から
の溶剤蒸気の流出を低減できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】図２は本発明の第１の実施形態を
示したものである。この加熱乾燥装置は耐薬品性、耐腐
食性の高いステンレス合金であるＳＵＳ３０４により形
成されている。内容積約４０リットルの密閉可能なチャ
ンバー１０１の内部には載置台１０２が設けてあり、被
乾燥物１０３を導入することができるようになってい
る。チャンバー１０１の側方にはリークバルブ１０４が
設けてあり、リークバルブ１０４には、除湿装置１０５
が連設している。除湿装置１０５は筒体中に分子ふるい
吸着剤であるシリカゲルを５００グラムから１０００グ
ラム程度充填したものである。チャンバー１０１の下方
には、バタフライバルブ１０６を介して溶剤蒸発槽であ
るリボイラー１０７を連設する。リボイラー１０７には
ボイラ１０８からのスチームの供給を受ける加熱コイル
１０９を内蔵しており、内容量は約３０リットルで、洗
浄液１１０を約２０リットル貯留してある。チャンバー
１０１とリボイラー１０７とを結ぶ管路内には、リボイ
ラー１０７内の洗浄液１１０が突沸したときに飛沫が被
乾燥物１０３に到達してシミになることを防止するため
の充填物であるグットロール１１１を設けている。

【００１９】チャンバー１０１の上方には、バルブ１１
２と冷却器であるコンデンサー１１３とを介して液封ポ
ンプ（型番２５ＳＫＤ５−１５、二国機械工業（株）
製）１１４を接続し、チャンバー１０１内を減圧可能に
構成する。コンデンサー１１３の内部には冷却回路であ
るチラー管１１５を設け、チャンバー１０１から排出さ
れる溶剤蒸気を冷却し、凝縮液化を行う。チャンバー１
０１の下方はバルブ１１６を介し液封ポンプ１１４の吸
引口１１４ａと接続する。チャンバー１０１の内部には
加熱状態、冷却状態を切り換える温調コイル１１７を設
け、バルブ１１８ａ、１１８ｂ、１１９ａ、１１９ｂの
開閉を制御することにより、このコイル１１７に対して
スチームと冷却水を切り換え自在に供給する。チャンバ
ー１０１の下部には、このチャンバー１０１の内部に蓄
積した凝縮液の回収タンク１２０を設ける。回収タンク
１２０は内容積５リットル程度で、その上方をチャンバ
ー１０１の下方とバルブ１２１を介して接続すると共
に、その下方をバルブ１２２を介してリボイラー１０７
の上方と接続する。また、回収タンク１２０の上方は、
バルブ１２３を介して液封ポンプ１１４の吸引口１１４
ａと連結される。同様に、リボイラー１０７の上方は、
バルブ１２４を介して液封ポンプ１１４の吸引口１１４
ａと連結される。

【００２０】液封ポンプ１１４の排気口１１４ｂはデミ
スターやグットロール等の充填物１２５と冷却回路であ
るチラー管１２６とを内在させた凝縮タンクとしての機
能を有するデミスタータンク１２７と、水分除去装置で
ある比重差分離槽１２８とを介して、封液タンク１２９
と接続する。比重差分離槽１２８は、内部を二つの仕切
１３０、１３１で区切った三槽構成で、内容量２０リッ
トル程度であり、仕切１３０はデミスタータンク１２７
の底面よりも低くすることにより、デミスタータンク１
２７内の洗浄液１１０を自然落下で比重差分離槽１２８
に送液する。また、仕切１３１は封液タンク１２９の上
面よりも低く設けてある。封液タンク１２９は、内容積
２０リットル程度で洗浄液１１０を１０リットル程度貯
溜してある。液封ポンプ１１４は配管１３２により封液
タンク１２９と連結されており、洗浄液１１０が液封ポ
ンプ１１４、デミスタータンク１２７、比重差分離槽１
２８及び封液タンク１２９を循環可能に構成されてい
る。液封ポンプ１１４は作動流体の液温が低いほど減圧
能力が高くなる。そのために封液タンク１２９の内部に
は冷却回路であるチラー管１３３を配設する。

【００２１】コンデンサー１１３と液封ポンプ１１４と
の間の管路中にはガスエゼクタ（型番２５ＮＥＩ、二国
機械工業（株）製）１３４を設置し、ガスエゼクタ１３
４の駆動ガス入口１３４ａはデミスタータンク１２７の
上部に配管で連結されている。１３５はガスクーラーで
あり、液封ポンプ１１４の駆動で加圧状態になるデミス
タータンク１２７内の圧力を下げるためのものであり、
内部に冷却回路であるチラー管１３６を設けて冷却水で
冷却可能に構成してある。

【００２２】封液タンク１２９の下方とリボイラー１０
７の上方とはバルブ１３７を介して配管で連結してあ
り、リボイラー１０７の洗浄液１１０の液量が減少した
場合には、封液タンク１２９からリボイラー１０７に水
分が除去された洗浄液１１０を供給可能に構成してい
る。チャンバー１０１内に設けた温調コイル１１７や、
コンデンサー１１３、デミスタータンク１２７、封液タ
ンク１２９及びガスクーラー１３５の内部に設けたチラ
ー管には、一方から冷却水を供給し他方より排水するた
めの冷却配管で連結している。

【００２３】上記の構成の加熱乾燥装置において、リボ
イラー１０７、封液タンク１２９、比重差分離槽１２
８、液封ポンプ１１４及びこれらを連結する配管に洗浄
液兼乾燥液（以下、洗浄液という）を満たす。洗浄液に
は、沸点１４０℃、比重０．８のシリコーン系溶剤を主
成分とする商品名「ＥＥ−３１１０（オリンパス光学工
業（株）製）」を用いる。バルブ１１２及びバタフライ
バルブ１０６は開、他の各バルブは閉とする。液封ポン
プ１１４を運転し、チャンバー１０１とリボイラー１０
７を３６０Ｔｏｒｒ程度に減圧する。液封ポンプ１１４
の排気流量は毎分５００リットル程度である。バルブ１
１２及びバタフライバルブ１０６を閉じ、リークバルブ
１０４を開いてチャンバー１０１内を大気圧にする。外
気の導入は、除湿装置１０５を介して行われ、除湿装置
１０５の内部に充填されたシリカゲルは装置外部から導
入される空気中の水分を吸着し、装置内に水分が混入す
るのを防止するように働く。

【００２４】次に、リボイラー１０７の加熱コイル１０
９にボイラ１０８からスチームを供給して１３０℃程度
に洗浄液を加熱し蒸気を発生させる。この時リボイラー
１０７の圧力は５６０〜６１０Ｔｏｒｒ程度になった。
一方、バルブ１１９ａと１１９ｂを閉じ、バルブ１１８
ａと１１８ｂを開いてチャンバー１０１の内部の温調コ
イル１１７にもボイラ１０８からスチームを供給し、リ
ボイラー１０７と同等の温度である１３０℃程度にチャ
ンバー１０１及びその内部を予備加熱する。予備加熱す
ることにより、チャンバー１０１内に洗浄液１１０の蒸
気を供給する際に、洗浄液１１０の蒸気がチャンバー１
０１の内壁面や載置台１０２の表面で結露して潜熱を奪
われることがない。これにより洗浄液１１０の蒸気は後
にチャンバー１０１内に導入する被乾燥物１０３のみに
効率的に熱供給するように作用する。

【００２５】以上で運転準備が終了する。次に、図示し
ない扉を開けてチャンバー１０１内の載置台１０２に、
洗浄液１１０と同じ液で前洗浄したニッケル製の３０×
２００ｍｍ、厚さ１ｍｍの積層状態にした５００枚のリ
ードフレームを被乾燥物１０３として導入する。扉を占
めた後、バルブ１１２及び１２３を開き、液封ポンプ１
１４を駆動し、チャンバー１０１の内部及び回収タンク
１２０の内部を４６０〜５１０Ｔｏｒｒ程度に減圧す
る。この真空度はリボイラー１０７の内部圧力よりも５
０〜１００Ｔｏｒｒ程度低い圧力である。ここで回収タ
ンク１２０の減圧はチャンバー１０１の減圧及び蒸気の
送入と並行しても行うことができ、これによりタクトタ
イムとサイクルタイムを短縮できる。

【００２６】バルブ１１２を閉じ、バタフライバルブ１
０６を開いてチャンバー１０１に洗浄液１１０の蒸気を
供給して蒸気洗浄を開始する。被乾燥物１０３はこの蒸
気により加熱され、蒸発潜熱を奪われた蒸気は凝縮して
液化する。この蒸気の供給を３０〜９０秒行った後、バ
タフライバルブ１０６を閉じて蒸気の供給を停止する。

【００２７】次に、バルブ１１８ａおよび１１８ｂを閉
じ、バルブ１１９ａ及び１１９ｂを開けてチャンバー１
０１の内部の温調コイル１１７に冷却水を供給し、チャ
ンバー１０１の内部に残留する蒸気の液化を促進する。
これにより後述する真空乾燥を、短時間に効果的に完了
させることが可能となる。バルブ１２３を閉じ、バルブ
１２１を開いて、回収タンク１２０へチャンバー１０１
の底部に溜まった凝縮液を引き出した後、バルブ１２１
を閉じる。次に、バルブ１１２を開いて、液封ポンプ１
１４を駆動し、チャンバー１０１の内部を２０Ｔｏｒｒ
程度まで減圧して、被乾燥物１０３に付着した洗浄液１
１０の液滴を真空乾燥させる。

【００２８】コンデンサー１１３は洗浄液１１０の蒸気
を冷却して液化し、液封ポンプ１１４の作動流体として
の洗浄液の温度上昇を防止し、減圧効果の低下を抑制す
る。液封ポンプ１１４の排気口１１４ｂから排出される
コンデンサー１１３で液化しきれなかった洗浄液１１０
の蒸気はデミスタータンク１２７により再度液化が促さ
れ、液化してデミスタータンク１２７の底に溜まった洗
浄液１１０は比重差分離槽１２８を経由した後に封液タ
ンク１２９へ回収される。比重差分離槽１２８では、第
一の仕切１３０で仕切られた槽で洗浄液１１０と水とが
比重差で分離し、水１３８は槽の底に蓄積される。蓄積
された水１３８は、適宜装置外に排出する。

【００２９】液封ポンプ１１４の運転中はガスエゼクタ
１３４が駆動し、デミスタータンク１２７の上部からデ
ミスタータンク１２７で凝縮・液化しきれなかった洗浄
液の蒸気を液封ポンプ１１４の吸引口１１４ａへ吸引す
る。本実施形態では、液封ポンプ１１４の吸い込み量は
０．２０〜０．５２立方メートル／分であり、吸い込み
圧力は６０〜５６０Ｔｏｒｒ程度で、ガスエゼクタ１３
４の吸い込み量は０．１３〜０．２１立方メートル／分
であり、吸い込み圧力は２５〜７０Ｔｏｒｒ程度であ
る。ガスエゼクタ１３４はデミスタータンク１２７から
の洗浄液１１０の蒸気の漏れ出しを防止し、且つ液封ポ
ンプ１１４に回収するように働く。また、デミスタータ
ンク１２７の排気口の大気との連通はガスクーラー１３
５を介して行われ、ガスクーラー１３５のチラー管１３
６の冷却水により洗浄液１１０の蒸気を凝縮・液化して
漏れ出しを防止するように働く。

【００３０】チャンバー１０１の減圧と並行して、バル
ブ１２２及び１２４を開けて回収タンク１２０内の凝縮
液をリボイラー１０７へ移送する。また、リボイラー１
０７内の洗浄液１１０の液量が減少した場合には、バル
ブ１３７を開いて封液タンク１２９内の洗浄液１１０を
リボイラー１０７に移送して補充する。バルブ１１２、
１２２、１２４を閉じ、リークバルブ１０４を開けて、
チャンバー１０１内を大気圧に戻し、被乾燥物１０３を
取り出して一連の洗浄・乾燥工程を終了する。

【００３１】第一の実施形態によれば以下の効果が確認
された。比重差分離槽１２８は、デミスタータンク１２
７で凝縮・液化した洗浄液１１０を比重差により洗浄液
と水とに分離するように働き、被乾燥物の乾燥に供する
洗浄液中の水分を飽和値である２００ｐｐｍ程度まで低
下することができた。以上の効果を原理を交えて解説す
る。加熱乾燥機を繰り返し運転していると装置内の洗浄
液に水分が混入してくる。洗浄液は２００ｐｐｍ程度ま
では水を溶かし込めるため、混入してくる水分量が２０
０ｐｐｍ迄は洗浄液に目に見えた変化はない。ここで、
混入してくる水分量が２００ｐｐｍを超えてくると洗浄
液と水は分離してしまう。しかし、装置内の洗浄液は絶
えず循環、攪拌されているために、従来は水を分離する
ことができずに、水分が飽和値以上に混入してしまった
洗浄液は白濁してしまうという現象を呈していた。この
ように不均化された洗浄液を用いて被乾燥物の乾燥を行
うと乾燥シミが生じる等の問題が発生した。

【００３２】なお、実験的には以下のようにその効果を
確認した。装置内の洗浄液の総量は約３０リットル程度
であるので１回の操作により外部から１ｃｃの水分が堆
積すると仮定すると、３００回の操作で水が１％混入す
ることになる。あるいは偶発的に３００ｃｃの水が装置
内に混入しても同じ状況となる。よって、この状況を想
定し、装置内に強制的に水３００ｃｃを混入し、装置内
の洗浄液の白濁を確認した。そして、装置を１時間程度
通常運転した。比重差分離槽１２８にて水分は、比重差
により洗浄液から分離沈降させ、装置内の洗浄液を再度
確認したところ白濁は認められなかった。また、１時間
程度経過後の洗浄液を三菱化成（株）製の電量滴定式水
分測定装置ＣＡ−０６型を用いてカール・フィッシャー
法にて滴定したところ水分の含有量は２００ｐｐｍ程度
であった。

【００３３】また、除湿装置１０５は、被乾燥物をチャ
ンバー１０１から取り出すためにリークバルブ１０４を
開けて導入される大気中の水分による結露を防止でき、
乾燥シミの発生を低減できた。さらに、デミスタータン
ク１２７の上部の空気をガスエジェクタ１３４を介して
還流させると共に、ガスクーラー１３５を設置すること
により、デミスタータンク１２７から排出される排気ガ
ス中の洗浄液ガス濃度を平均３００ｐｐｍに低減するこ
とができた。従来は常時３０００ｐｐｍだったので、約
１０分の１に低減できたことになる。

【００３４】図３は本発明の第二の実施形態を示したも
のである。第一の実施形態の比重差分離槽１２８を循環
ポンプ１４０と油水分離フィルター装置（型式：ユーテ
ックＴＫ−０７ 旭化成工業（株）製）１４１との組み
合わせとした。他の構成は第一の実施形態と同一である
ので説明を省略する。循環ポンプ１４０としては流量２
リットル以上程度のものを用いた。

【００３５】液封ポンプ１１４の排出口１１４ｂから排
出される洗浄液１１０の蒸気はデミスタータンク１２７
により凝縮・液化され循環ポンプ１４０により油水分離
フィルター装置１４１に圧送される。油水分離フィルタ
ー装置１４１では、その内部のフィルター１４２により
洗浄液に混入した微小粒子状の水分を捕捉・凝集・粗大
化し比重分離を促進されて除去される。水分が除去され
た洗浄液は封液タンク１２９に入り、チラー管１３４で
冷却された後に液封ポンプ１１４の作動流体として使用
される。

【００３６】第二の実施形態によっても、被乾燥物の乾
燥に供する洗浄液中の水分を飽和値である２００ｐｐｍ
程度まで低減することができた。図４は本発明の第三の
実施形態を示したものである。第一の実施形態の比重差
分離槽１２８の第二の仕切１３１で形成される槽の下流
側に水を吸着するポアサイズ０．３ｎｍのモレキュラシ
ーブス１４３を充填する。モレキュラシーブス１４３と
は、分子サイズの細孔により種々の分子をその大きさに
ふるい分ける作用を持つゼオライトやシリカライト等で
構成される吸着物質である。他の構成は第一の実施形態
と同一であるので説明を省略する。

【００３７】第三の実施形態によれば、洗浄液中の水分
を飽和値である２００ｐｐｍよりも小さい値である２０
ｐｐｍ程度まで低下することができた。第四の実施形態
は、第一の実施形態のシリカゲルを充填した除湿装置１
０５をドライエアフィルターに代替したものである。ド
ライエアフィルターとしてオリオン精機（株）製のファ
インドライヤＭＤ７５−Ｆを用いた。他の構成は第一の
実施形態と同一であるので説明を省略する。

【００３８】チャンバー１０１内への外気の導入はドラ
イエアフィルターを介して行われ、この時、ドライエア
フィルターは装置外部から導入される空気中の水分を中
空糸状の高分子ろ過膜の選択的透過性により除去し、装
置内に水分が混入するのを防止する様に作用する。除湿
原理は、中空糸膜の内側に圧縮空気（湿潤空気）、外側
にパージ空気（乾燥空気）を供給することで、膜の内側
と外側の水蒸気分圧差によって圧縮空気中の水蒸気が膜
を浸透し、浸透した水蒸気は膜の外側からパージ空気と
いっしょに排出され、連続的に除湿がおこなわれるもの
である。

【００３９】第四の実施形態によれば、チャンバー１０
１を大気圧に戻すときの内部に混入する水分量を絶対湿
度で１立方メートル当たり６グラム以下に低減すると共
に安定化することができた。 ［付記］以上詳述したような本発明の上記実施態様によ
れば、洗浄液の消耗を低減することを課題として、以下
のごとき構成を得ることができる。 （１） 導入した被乾燥物を洗浄及び乾燥処理する乾燥
槽と、前記乾燥槽に連結し乾燥槽内に溶剤蒸気を供給す
る蒸気供給手段と、前記乾燥槽内を減圧する減圧手段
と、前記減圧手段から排出される溶剤蒸気を凝縮する冷
却回路を内在する凝縮タンクを有し、前記被乾燥物を減
圧下で蒸気洗浄及び真空乾燥する加熱乾燥装置におい
て、前記乾燥槽と減圧手段とを連結する管路中にガスエ
ゼクタを設け、このガスエゼクタの駆動ガス口と前記凝
縮タンクとを配管で連結したことを特徴とする加熱乾燥
装置。

【００４０】上記の構成によれば、凝縮タンク内で凝縮
・液化されきれなかった溶剤の蒸気を減圧手段で吸入し
て再度凝縮タンクの冷却回路に供給可能となるので、凝
縮タンクからの溶剤の流出を低減できる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、装
置内に水分が混入するのを低減できると共に、装置及び
溶剤内に水分が混入した場合にも分離することを可能と
なるので、水分の混入による洗浄液の劣化を抑止し、常
に高い乾燥品質を保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の概念図である。

【図２】本発明の第一の実施形態に係る加熱乾燥装置を
示す図である。

【図３】本発明の第二の実施形態に係る水分除去装置を
示す図である。

【図４】本発明の第三の実施形態に係る水分除去装置を
示す図である。

【符号の説明】

１ 乾燥槽 ２ 開閉扉 ３ 被乾燥物 ４ 溶剤蒸発槽 ５ バルブ ６ 液封ポンプ ７ 冷却器 ８ 水分除去装置 ９ リーク弁 １０ 除湿装置 １１ 温調部材 １２ バルブ １３ 回収タンク １４ 凝縮タンク １５ ガスエゼクタ

フロントページの続き (72)発明者 鈴木 信夫 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導入した被乾燥物を洗浄及び乾燥処理す
   る乾燥槽と、前記乾燥槽に連結し乾燥槽内に溶剤蒸気を
   供給する蒸気供給手段と、前記乾燥槽内を減圧する減圧
   手段とを有し、前記被乾燥物を減圧下で蒸気洗浄及び真
   空乾燥する加熱乾燥装置において、前記溶剤中に混入し
   た水を分離して除去する水分離手段を具備することを特
   徴とする加熱乾燥装置。
2. 【請求項２】 導入した被乾燥物を洗浄及び乾燥処理す
   る乾燥槽と、前記乾燥槽に連結し乾燥槽内に溶剤蒸気を
   供給する蒸気供給手段と、前記乾燥槽内を減圧する減圧
   手段とを有し、前記被乾燥物を減圧下で蒸気洗浄及び真
   空乾燥する加熱乾燥装置において、装置内への水分の混
   入を防止する水分混入防止手段を具備することを特徴と
   する加熱乾燥装置。