JPH0938787A

JPH0938787A - 光走査異常検出回路および光走査装置

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Publication number: JPH0938787A
Application number: JP7192032A
Authority: JP
Inventors: Hiroyasu Hasebe; 洋泰長谷部
Original assignee: Keyence Corp
Current assignee: Keyence Corp
Priority date: 1995-07-27
Filing date: 1995-07-27
Publication date: 1997-02-10

Abstract

(57)【要約】【課題】ガルバノ鏡を用いた光走査装置の光走査異常
を検出することができる光走査異常検出回路およびそれ
を用いた光走査装置を提供することである。【解決手段】スキャナ駆動回路７ａおよびスキャナ８
ａ間のノードｎ１と接地電位との間に抵抗Ｒ１を接続す
る。コンパレータ２１はノードｎ１の電圧ＶＡを負の基
準電位と比較して判定信号ＣＰ１を出力し、コンパレー
タ２２はノードｎ１の電圧ＶＡを正の基準電位と比較し
て判定信号ＣＰ２を出力する。ＯＲゲート２３は、判定
信号ＣＰ１，ＣＰ２を受け、検出信号ＤＰ１を出力す
る。ＣＰＵは、検出信号ＤＰ１に基づいてレーザ制御回
路にイネーブル信号を与える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光走査装置の光走
査異常検出回路およびそれを用いた光走査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、レーザ光を用いて対象物に加
工を行うために種々のレーザ加工装置が用いられてい
る。例えば、レーザ加工装置の一種であるレーザ刻印装
置では、レーザ光を用いて対象物に文字やマークを刻印
する。

【０００３】このようなレーザ加工装置には、ガルバノ
鏡を用いた光走査機構を有するものがある。ガルバノ鏡
とは、ガルバノメータの回転軸に鏡を取り付けたもので
ある。ガルバノメータは、通常のモータと同様にコイル
および回転軸を有し、その回転軸がコイルに与える電流
の値に比例した角度だけ回動するものである。したがっ
て、ガルバノメータに正弦波状の電流を与えると、その
回転軸は往復回転（振動）運動を行う。ガルバノメータ
の回転軸の先端に鏡を取り付け、その鏡にレーザ光等の
光を照射することにより、その反射光を対象物に走査さ
せることができる。

【０００４】このようなガルバノ鏡が角度センサを内蔵
している場合には、角度センサの角度検出信号に基づい
てガルバノ鏡をフィードバック制御する。すなわち、Ｃ
ＰＵ（中央演算処理装置）から出力される走査角度信号
と角度センサから出力される角度検出信号とを比較し、
それらが一致するようにガルバノ鏡を駆動する。それに
より、正確な光走査を行うことができる。また、ガルバ
ノ鏡が角度センサを内蔵しない場合には、外部にＰＳＤ
（位置検出素子）等の光位置検出器を配置し、その光位
置検出器から出力される位置検出信号に基づいてガルバ
ノ鏡をフィードバック制御することにより、正確な光走
査を行うことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガルバ
ノ鏡のコイル等が断線すると、ガルバノ鏡の回転軸が回
転せず、ＣＰＵから出力される走査角度信号と角度検出
信号とが所定の時間を経過しても一致しない。このよう
な場合、光の走査が行われず、光が対象物の一点に照射
されることになる。この状態が続くと、対象物が加熱
し、事故につながるおそれがある。

【０００６】なお、ポリゴンミラーを用いて周期的に光
を対象物に走査させる光走査機構では、光走査光の一部
を受光し、その光の周期が所定の周期となっているか否
かを判別することにより光走査異常を検出する技術が提
案されている。しかし、ガルバノ鏡を用いたレーザ加工
装置では、光の走査が一定の周期で行われないので、周
期的な光走査機構における上記の技術を適用することは
できない。

【０００７】本発明の目的は、ガルバノ鏡を用いた光走
査装置の光走査異常を検出することができる光走査異常
検出回路およびそれを用いた光走査装置を提供すること
である。

【０００８】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る光走査異常検出回路は、鏡が取り付けられた
回転軸およびコイルを有するガルバノ鏡により対象物に
光を走査させる光走査装置に用いられる光走査異常検出
回路であって、ガルバノ鏡のコイルに電流を供給するた
めの接続点の電圧を検出する電圧検出手段と、電圧検出
手段により検出された電圧を所定の電圧と比較する比較
手段と、比較手段の比較結果に基づいて光走査異常が発
生したか否かを判定する判定手段とを備える。

【０００９】第２の発明に係る光走査異常検出回路は、
第１の発明に係る光走査異常検出回路の構成において、
判定手段が、電圧検出手段により検出された電圧が所定
の電圧よりも高い状態が所定の時間続いた場合に光走査
異常を示す異常検出信号を出力するものである。

【００１０】第３の発明に係る光走査異常検出回路は、
第１または第２の発明に係る光走査異常検出回路の構成
において、ガルバノ鏡が、コイルと直列に接続される電
流検知手段をさらに含み、電圧検出手段が、電流を供給
するための接続点の電圧を検出する第１の電圧検出手段
およびコイルと電流検知手段との間の接続点の電圧を検
出する第２の電圧検出手段を含むものである。

【００１１】電圧検出手段を抵抗により構成する場合に
は、抵抗のインピーダンスがガルバノ鏡のコイルのイン
ピーダンスよりも高くなるように抵抗の値を設定する。
ガルバノ鏡のコイルの断線等による光走査異常が発生す
ると、コイルに電流を供給するための接続点の電圧が所
定の電圧よりも上昇する。第１〜第３の発明に係る光走
査異常検出回路においては、電圧検出手段によりコイル
に電流を供給するための接続点の電圧が検出され、検出
された電圧が比較手段により所定の電圧と比較される。
そして、比較手段の比較結果に基づいて判定手段により
光走査異常が発生したか否かが判定される。

【００１２】このようにして、光走査異常の有無が検出
されるので、検出結果に基づいて発光を停止させたり、
ユーザに警報を発することにより光走査異常による事故
を防止することができる。

【００１３】特に、第２の発明に係る光走査異常検出回
路においては、電圧検出手段により検出された電圧が所
定の電圧よりも高い状態が所定の時間続くと判定手段に
より光走査異常を示す異常検出信号が出力される。それ
により、コイルの断線等によるガルバノ鏡の光走査異常
を確実に検出することができる。

【００１４】また、第３の発明に係る光走査異常検出回
路においては、第１の電圧検出手段により電流を供給す
るための接続点の電圧が検出され、第２の電圧検出手段
によりコイルと電流検知手段との間の接続点の電圧が検
出される。それにより、コイルの断線および電流検知手
段の遮断を検出することができる。

【００１５】第４の発明に係る光走査装置は、鏡が取り
付けられた回転軸およびコイルを有するガルバノ鏡によ
り対象物に光を走査する光走査手段と、ガルバノ鏡のコ
イルに電流を供給する電流供給手段と、第１、第２また
は第３の発明に係る光走査異常検出回路とを備えたもの
である。

【００１６】第５の発明に係る光走査装置は、第４の発
明に係る光走査装置の構成において、ガルバノ鏡の回転
軸の回転角を指定する制御信号を出力する制御信号出力
手段と、ガルバノ鏡の回転軸の回転角に対応する検出信
号を出力する検出信号出力手段と、制御信号出力手段か
ら出力される制御信号と検出信号出力手段から出力され
る検出信号との差を算出する演算手段とをさらに備え、
電流供給手段が演算手段の出力信号に応じた電流をガル
バノ鏡のコイルに供給するものである。

【００１７】第４および第５の発明に係る光走査装置に
おいては、電流供給手段によりガルバノ鏡に電流が供給
され、その電流に応じて光走査手段により対象物に光が
走査される。そして、第１、第２または第３の発明に係
る光走査異常検出回路によりガルバノ鏡のコイルの断線
等による光走査異常が検出される。それにより、光走査
異常による事故を防止することができる。

【００１８】特に、第５の発明に係る光走査装置におい
ては、制御信号出力手段から出力される制御信号と検出
信号出力手段から出力される検出信号との差が算出さ
れ、その差に応じた電流がガルバノ鏡のコイルに供給さ
れる。それにより、ガルバノ鏡の回転軸の回転角を正確
に制御することができる。

【００１９】第６の発明に係るレーザ加工装置は、対象
物にレーザ光を照射して対象物を加工するレーザ加工装
置であって、第４または第５の発明に係る光走査装置を
備えたものである。

【００２０】第６の発明に係るレーザ加工装置において
は、第４または第５の発明に係る光走査装置が用いられ
ているので、ガルバノ鏡のコイルの断線等による光走査
異常が検出される。それにより、光走査異常による事故
を防止することができる。

【００２１】第７の発明に係る検出装置は、対象物に光
を照射してその反射光の受光状態により対象物の変位ま
たは有無を検出する検出装置であって、第４または第５
の発明に係る光走査装置を備えたものである。

【００２２】第７の発明に係る検出装置においては、第
４または第５の発明に係る光走査装置が用いられている
ので、ガルバノ鏡のコイルの断線等による光走査異常が
検出される。それにより、光走査異常による事故を防止
することができる。

【００２３】第８の発明に係るバーコード読取装置は、
バーコードに光を照射してその反射光の受光状態により
バーコード情報を読取るバーコード読取装置であって、
第４または第５の発明に係る光走査装置を備えたもので
ある。

【００２４】第８の発明に係るバーコード読取装置にお
いては、第４または第５の発明に係る光走査装置が用い
られているので、ガルバノ鏡のコイルの断線等による光
走査異常が検出される。それにより、光走査異常による
事故を防止することができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例によるレ
ーザ刻印装置の構成を示すブロック図である。また、図
２は同実施例のレーザ刻印装置のレーザ光走査機構の斜
視図である。

【００２６】図１において、ＣＰＵ（中央演算処理装
置）１は、レーザ制御回路２ａ，２ｂおよびスキャナ制
御回路３ａ，３ｂを制御する。レーザ制御回路２ａは、
ＣＰＵ１からの指令に基づいてレーザ駆動回路４ａを制
御する。また、レーザ制御回路２ｂは、ＣＰＵ１からの
指令に基づいてレーザ駆動回路４ｂを制御する。レーザ
駆動回路４ａは、レーザ制御回路２ａの制御に従ってＣ
Ｏ₂レーザ装置５を駆動する。それにより、ＣＯ₂レー
ザ装置５から加工用のレーザ光が出射される。また、レ
ーザ駆動回路４ｂは、レーザ制御回路２ｂの制御に従っ
て半導体レーザ装置６を駆動する。それにより、半導体
レーザ装置６からガイド用の可視レーザ光が出射され
る。

【００２７】一方、スキャナ制御回路３ａは、ＣＰＵ１
からの指令に従ってスキャナ駆動回路７ａを制御し、ス
キャナ制御回路３ｂは、ＣＰＵ１からの指令に従ってス
キャナ駆動回路７ｂを制御する。スキャナ駆動回路７ａ
は、ガルバノ鏡からなるＸ軸回動用のスキャナ８ａを駆
動し、スキャナ駆動回路７ｂは、ガルバノ鏡からなるＹ
軸回動用のスキャナ８ｂを駆動する。それにより、スキ
ャナ８ａ，８ｂの鏡８０ａ，８０ｂがそれぞれＸ軸およ
びＹ軸を中心として回動する。

【００２８】特に、本実施例のレーザ刻印装置には、ス
キャナ８ａ，８ｂの走査異常を検出するための光走査異
常検出回路２０ａ，２０ｂが設けられている。これらの
光走査異常検出回路２０ａ，２０ｂは、検出信号ＤＴ
１，ＤＴ２をＣＰＵ１にそれぞれ出力する。ＣＰＵ１
は、検出信号ＤＴ１，ＤＴ２に基づいてスキャナ８ａ，
８ｂの走査異常の有無を判定し、その判定結果をイネー
ブル信号ＥＮとしてレーザ制御回路２ａ，２ｂに与え
る。

【００２９】レーザ制御回路２ａ，２ｂはＣＰＵ１から
与えられるイネーブル信号ＥＮが“Ｈ”レベルのとき
に、レーザ駆動回路４ａ，４ｂによりＣＯ₂レーザ装置
５および半導体レーザ装置６を駆動させ、イネーブル信
号ＥＮが“Ｌ”レベルのときに、ＣＯ₂レーザ装置５お
よび半導体レーザ装置６をオフさせる。

【００３０】図２に示すように、ＣＯ₂レーザ装置５か
ら出射された加工用のレーザ光は、ビーム拡張器１６お
よびレンズ１０を通してスキャナ８ａの鏡８０ａで反射
され、その反射光がスキャナ８ｂの鏡８０ｂでさらに反
射される。鏡８０ｂからの反射光は窓１７を通して対象
物１１に走査される。また、半導体レーザ装置６から出
射されたガイド用の可視レーザ光は反射鏡９により反射
された後、加工用のレーザ光と同一の光路で対象物１１
に走査される。それにより、対象物１１上での加工用の
レーザ光の照射位置をガイド用の可視レーザ光により認
識することができる。

【００３１】再び図１において、ＣＰＵ１には、設定入
力装置１２、入出力インタフェース１３、記憶部１４お
よび通信部１５が接続されている。設定入力装置１２
は、ＣＰＵ１に文字の種類、文字の大きさ、文字の位置
等の設定情報を入力する。入出力インタフェース１３
は、外部からＣＯ₂レーザ装置５および半導体レーザ装
置６を制御する場合に用いられる。

【００３２】記憶部１４は、ＲＯＭ（リードオンリメモ
リ）およびＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）からな
り、ＣＰＵ１の動作を規定するためのプログラムおよび
設定情報入力部１２により入力された設定情報等の各種
データを記憶する。ＣＰＵ１は、記憶部１４に記憶され
た設定情報に基づいてレーザ制御回路２ａ，２ｂおよび
スキャナ制御回路３ａ，３ｂに指令を与える。通信部１
５は、パーソナルコンピュータ等の外部機器から設定情
報を入力するために用いられる。

【００３３】本実施例では、スキャナ８ａ，８ｂが光走
査手段を構成し、スキャナ駆動回路７ａ，７ｂが電流供
給手段を構成し、ＣＰＵ１が判定手段を構成する。ま
た、イネーブル信号ＥＮが異常検出信号に相当する。

【００３４】図３は図２に示されるスキャナ制御回路３
ａ、スキャナ駆動回路７ａ、スキャナ８ａおよび光走査
異常検出回路２０ａの詳細な構成を示す回路図である。
なお、スキャナ制御回路３ｂ、スキャナ駆動回路７ｂ、
スキャナ８ｂおよび光走査異常検出回路２０ｂの構成も
図３に示す構成と同様である。

【００３５】スキャナ制御回路３ａは、信号出力回路３
１、加算器３２およびディジタルアナログコンバータ
（以下、Ｄ／Ａコンバータと呼ぶ）３３を含む。一方、
スキャナ８ａは、コイル８２、回転軸（図示せず）およ
び鏡８０ａ（図２参照）を有し、角度センサ８３を内蔵
する。ヒューズ８１がノードｎ１，ｎ２間に接続され、
コイル８２はノードｎ２，ｎ３間に接続されている。ヒ
ューズ８１およびコイル８２は低インピーダンスを有す
る。ノードｎ３は接地されている。

【００３６】信号出力回路３１は、ＣＰＵ１からの指令
に基づいて走査角度信号ＳＡを出力する。一方、角度セ
ンサ８３は、スキャナ８ａの回転軸の回転角度を検出
し、角度検出信号ＡＤを出力する。加算器３２は、信号
出力回路３１からの走査角度信号ＳＡと角度センサ８３
からの角度検出信号ＡＤとの差を演算し、その演算結果
をディジタル制御信号としてＤ／Ａコンバータ３３に与
える。Ｄ／Ａコンバータ３１はディジタル制御信号をア
ナログ制御信号に変換し、スキャナ駆動回路７ａに与え
る。

【００３７】スキャナ駆動回路７ａは、アナログ制御信
号に応答してノードｎ１に駆動電流を出力する。それに
より、ヒューズ８１を介してコイル８２に電流が流れ、
回転軸とともに鏡８０ａが回動する。

【００３８】光走査異常検出回路２０ａは、抵抗Ｒ１、
コンパレータ２１，２２およびＯＲゲート２３を含む。
抵抗Ｒ１は高抵抗値を有し、ノードｎ１と接地電位との
間に接続されている。コンパレータ２１はノードｎ１の
電圧ＶＡを直流電源Ｅ１により与えられる負の基準電位
−ｅ１と比較し、比較結果を示す判定信号ＣＰ１を出力
する。コンパレータ２２はノードｎ１の電圧ＶＡを直流
電源Ｅ２により与えられる正の基準電位ｅ１と比較し、
比較結果を示す判定信号ＣＰ２を出力する。コンパレー
タ２１，２２からの判定信号ＣＰ１，ＣＰ２はＯＲゲー
ト２３の入力端子に与えられ、ＯＲゲート２３の出力端
子から検出信号ＤＴ１が出力される。

【００３９】本実施例では、抵抗Ｒ１が電圧検出手段を
構成し、コンパレータ２１，２２が比較手段を構成し、
ＣＰＵ１が判定手段を構成する。また、ヒューズ８１が
電流検知手段を構成し、信号出力回路３１が制御信号出
力手段を構成し、角度センサ８３が検出信号出力手段を
構成し、加算器３２が演算手段を構成する。なお、加算
器３２の代わりに減算器を用いてもよい。

【００４０】次に、図４の信号波形図を参照しながら図
３の光走査異常検出回路２０ａの動作を説明する。な
お、光走査異常検出回路２０ｂの動作も、光走査異常検
出回路２０ａの動作と同様である。

【００４１】スキャナ８ａの正常時には、ノードｎ１の
電圧ＶＡが０Ｖを中心として最大振れ幅１５Ｖで正およ
び負に振動している。電圧ＶＡが負の基準電位−ｅ１よ
りも低くなると、コンパレータ２１から出力される判定
信号ＣＰ１が“Ｈ”レベルに立ち上がり、ＯＲゲート２
３から出力される検出信号ＤＴ１も“Ｈ”レベルに立ち
上がる。また、電圧ＶＡが正の基準電位ｅ１よりも高く
なると、コンパレータ２２から出力される判定信号ＣＰ
２が“Ｈ”レベルに立ち上がり、ＯＲゲート２３から出
力される検出信号ＤＴ１も“Ｈ”レベルに立ち上がる。

【００４２】ヒューズ８１またはコイル８２の断線時に
は、抵抗Ｒ１が高抵抗値を有するので、ノードｎ１の電
圧ＶＡが例えば＋２５Ｖまたは−２５Ｖまで上昇する。
電圧ＶＡが＋２５Ｖまで上昇して基準電位ｅ１よりも高
くなった場合、コンパレータ２２から出力される判定信
号ＣＰ２が“Ｈ”レベルとなり、ＯＲゲート２３から出
力される検出信号ＤＴ１が“Ｈ”レベルとなる。

【００４３】検出信号ＤＴ１が“Ｈ”レベルとなってい
る時間が所定時間Ｔを越えたか否かに基づいてスキャナ
８ａの走査異常が発生したか否かが判定される。検出信
号ＤＴ１が“Ｈ”レベルになってから所定時間Ｔが経過
すると、スキャナ８ａの走査異常が発生したものと判定
され、イネーブル信号ＥＮが“Ｌ”レベルに立ち下げら
れる。これにより、図１のレーザ制御回路２ａ，２ｂは
レーザ駆動回路４ａ，４ｂによるＣＯ₂レーザ装置５お
よび半導体レーザ装置６の駆動を停止させる。

【００４４】図５はタイマおよびソフトウエアによるス
キャナ８ａの走査異常の判定方法を示すフローチャート
である。なお、スキャナ８ｂの走査異常の判定方法も、
スキャナ８ａの走査異常の判定方法と同様である。

【００４５】タイマ（図示せず）は一定時間ごとに図１
のＣＰＵ１に割り込みを行う。ＣＰＵ１は、タイマから
の割り込みがあると（ステップＳ１）、検出信号ＤＴ１
が“Ｈ”レベルか否かを判別する（ステップＳ２）。検
出信号ＤＴ１が“Ｈ”レベルの場合には、エラー回数に
１を加える（ステップＳ３）。そして、エラー回数が５
に達したか否かを判別する（ステップＳ４）。

【００４６】エラー回数が５に達すると、スキャナ８ａ
の走査異常が発生したものと判定し、スキャナ８ａの走
査異常時の処理を行う（ステップＳ５）。すなわち、イ
ネーブル信号ＥＮを“Ｌ”レベルに立ち下げてＣＯ₂レ
ーザ装置５および半導体レーザ装置６の発光を停止さ
る。その後、通常の処理に戻る（ステップＳ６）。

【００４７】ステップＳ４でエラー回数が５に達してい
ない場合には、通常の処理に戻る（ステップＳ６）。一
方、ステップＳ２で検出信号ＤＴ１が“Ｈ”レベルとな
っていない場合には、エラー回数を０に設定し（ステッ
プＳ７）、通常の処理に戻る（ステップＳ６）。

【００４８】このように、検出信号ＤＴ１が“Ｈ”レベ
ルに立ち上がってからタイマの割り込みが連続して５回
あると、イネーブル信号ＥＮが“Ｌ”レベルに立ち下が
り、ＣＯ₂レーザ装置５および半導体レーザ装置６がオ
フにされる。この場合、所定時間Ｔはタイマの５回の割
り込みに相当する。

【００４９】図６はスキャナ８ａの走査異常の判定方法
の他の例を示すブロック図である。また、図７は図６に
おける各部の信号波形図である。光走査異常検出回路２
０ａから出力される検出信号ＤＴ１は、カウンタ２４の
イネーブル端子およびリセット回路２５に与えられる。
リセット回路２５は、カウンタ２４のリセット端子にリ
セット信号ＲＳを与える。カウンタ２４のクロック端子
にはクロック信号ＣＫが与えられる。カウンタ２４から
出力されるオーバーフロー信号ＯＦは図１のＣＰＵ１に
与えられる。この場合、カウンタ２４、リセット回路２
５およびＣＰＵ１が判定手段を構成する。

【００５０】検出信号ＤＴ１が“Ｈ”レベルに立ち上が
ると、リセット回路２５がリセット信号ＲＳを立ち下げ
る。それにより、カウンタ２４が、クロック信号ＣＫの
パルスのカウントを開始し、カウント値が所定の値を越
えるとオーバーフロー信号ＯＦを“Ｈ”レベルに立ち上
げる。

【００５１】ＣＰＵ１は、オーバーフロー信号ＯＦの立
ち上がりに応答してイネーブル信号ＥＮを“Ｌ”レベル
に立ち下げる。この場合、リセット信号ＲＳの立ち下が
りからオーバーフロー信号ＯＦの立ち上がりまでの時間
が所定時間Ｔに相当する。

【００５２】図８は光走査異常検出回路の他の例を示す
回路図である。図８の例では、ノードｎ１と接地電位と
の間に高抵抗値を有する抵抗Ｒ１が接続されるととも
に、ノードｎ２と接地電位との間にも高抵抗値を有する
抵抗Ｒ２が接続されている。図８の例では、抵抗Ｒ１が
第１の電圧検出手段を検出し、抵抗Ｒ２が第２の電圧検
出手段を構成する。

【００５３】ヒューズ８１が断線すると、ノードｎ１の
電圧ＶＡが上昇し、ノードｎ２の電圧ＶＢは０Ｖに低下
する。一方、コイル８２が断線すると、ノードｎ１の電
圧ＶＡおよびノードｎ２の電圧ＶＢが共に上昇する。

【００５４】したがって、ノードｎ１の電圧ＶＡおよび
ノードｎ２の電圧ＶＢを、それぞれ図３の光走査異常検
出回路２０ａの場合と同様に、コンパレータ（図示せ
ず）を用いて正の基準電位ｅ１および負の基準電位−ｅ
１と比較することにより、ヒューズ８１が断線したか、
あるいはコイル８２が断線したかを検出することができ
る。

【００５５】なお、上記実施例では、スキャナ８ａ，８
ｂの走査異常時にＣＯ₂レーザ装置５および半導体レー
ザ装置６をオフにしているが、スキャナ８ａ，８ｂの走
査異常時にＣＯ₂レーザ装置５および半導体レーザ装置
６を点滅させて出力を下げてもよく、あるいはＣＯ₂レ
ーザ装置５のみをオフにし、半導体レーザ装置６を点滅
させてもよい。

【００５６】また、スキャナ８ａ，８ｂの走査異常が検
出された場合に、液晶表示器等の表示装置、ブザー等の
音源を用いてユーザーに警報を与えてもよい。あるい
は、図１の通信部１５を通して外部機器に走査異常を示
す信号を伝送してもよい。さらに、走査異常時に、所定
の可視レーザ素子、発光ダイオード（ＬＥＤ）等の発光
素子を点灯させてもよい。

【００５７】また、上記実施例では、スキャナ８ａ，８
ｂの走査異常の判定のためにタイマおよびＣＰＵ１ある
いはカウンタ２４を用いているが、積分器等のアナログ
回路を用いてもよい。

【００５８】さらに、上記実施例では、スキャナ８ａ，
８ｂが角度センサ８３を内蔵している場合を説明した
が、スキャナ８ａ，８ｂが角度センサ８３を内蔵しない
場合には、ＰＳＤ等の光位置検出器を外付けしてもよ
い。

【００５９】上記実施例では、本発明をレーザ刻印装置
に適用した場合を説明したが、本発明は、その他のレー
ザ加工装置やレーザ印刷装置にも同様にして適用するこ
とができる。また、本発明は、変位計、光電センサ等の
検出装置、バーコード読取装置など、光走査機構を有す
る種々の装置やセンサに適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるレーザ刻印装置の構
成を示すブロック図である。

【図２】図１のレーザ刻印装置のレーザ光走査機構の斜
視図である。

【図３】図２に示されるスキャナ制御回路、スキャナ駆
動回路、スキャナおよび光走査異常検出回路の詳細な構
成を示す回路図である。

【図４】図３における各部の信号波形図である。

【図５】タイマおよびソフトウエアによるスキャナの走
査異常の判定方法を示すフローチャートである。

【図６】スキャナの走査異常の判定方法の他の例を示す
ブロック図である。

【図７】図６における各部の信号波形図である。

【図８】光走査異常検出回路の他の例を示す回路図であ
る。

【符号の説明】

１ＣＰＵ２ａ，２ｂレーザ制御回路３ａ，３ｂスキャナ制御回路４ａ，４ｂレーザ駆動回路５ＣＯ₂レーザ装置６半導体レーザ装置７ａ，７ｂスキャナ駆動回路８ａ，８ｂスキャナ１１対象物２０ａ，２０ｂ光走査異常検出回路２１，２２コンパレータ２４カウンタ２５リセット回路３１信号出力回路３２加算器８０ａ，８０ｂ鏡８１ヒューズ８２コイル８３角度センサＲ１，Ｒ２抵抗

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】鏡が取り付けられた回転軸およびコイル
を有するガルバノ鏡により対象物に光を走査させる光走
査装置に用いられる光走査異常検出回路であって、前記ガルバノ鏡のコイルに電流を供給するための接続点
の電圧を検出する電圧検出手段と、前記電圧検出手段により検出された電圧を所定の電圧と
比較する比較手段と、前記比較手段の比較結果に基づいて光走査異常が発生し
たか否かを判定する判定手段とを備えたことを特徴とす
る光走査異常検出回路。
【請求項２】前記判定手段は、前記電圧検出手段によ
り検出された電圧が前記所定の電圧よりも高い状態が所
定の時間続いた場合に光走査異常を示す異常検出信号を
出力することを特徴とする請求項１記載の光走査異常検
出回路。
【請求項３】前記ガルバノ鏡は、前記コイルと直列に
接続される電流検知手段をさらに含み、前記電圧検出手段は、電流を供給するための前記接続点
の電圧を検出する第１の電圧検出手段および前記コイル
と前記電流検知手段との間の接続点の電圧を検出する第
２の電圧検出手段を含むことを特徴とする請求項１記載
の光走査異常検出回路。
【請求項４】鏡が取り付けられた回転軸およびコイル
を有するガルバノ鏡により対象物に光を走査する光走査
手段と、前記ガルバノ鏡のコイルに電流を供給する電流供給手段
と、請求項１、２または３に記載の光走査異常検出回路とを
備えたことを特徴とする光走査装置。
【請求項５】前記ガルバノ鏡の回転軸の回動角を指定
する制御信号を出力する制御信号出力手段と、前記ガルバノ鏡の回転軸の回動角に対応する検出信号を
出力する検出信号出力手段と、前記制御信号出力手段から出力される前記制御信号と前
記検出信号出力手段から出力される検出信号との差を算
出する演算手段とをさらに備え、前記電流供給手段は、前記演算手段の出力信号に応じた
電流を前記ガルバノ鏡のコイルに供給することを特徴と
する請求項４記載の光走査装置。
【請求項６】対象物にレーザ光を照射して前記対象物
を加工するレーザ加工装置であって、請求項４または５に記載の光走査装置を備えたことを特
徴とするレーザ加工装置。
【請求項７】対象物に光を照射してその反射光の受光
状態により前記対象物の変位または有無を検出する検出
装置であって、請求項４または５に記載の光走査装置を備えたことを特
徴とする検出装置。
【請求項８】バーコードに光を照射してその反射光の
受光状態によりバーコード情報を読取るバーコード読取
装置であって、請求項４または５に記載の光走査装置を備えたことを特
徴とするバーコード読取装置。