JPH093664A - エッチング液再生コントロール方法及び装置 - Google Patents
エッチング液再生コントロール方法及び装置Info
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- JPH093664A JPH093664A JP15023995A JP15023995A JPH093664A JP H093664 A JPH093664 A JP H093664A JP 15023995 A JP15023995 A JP 15023995A JP 15023995 A JP15023995 A JP 15023995A JP H093664 A JPH093664 A JP H093664A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】エッチング液を安価に再生しかつ液組成を一定
にコントロールする。 【構成】エッチング液を酸化還元電位計８、比重計１
３、ｐＨ１５でそれぞれ測定する。測定酸化還元電位が
設定値になるように、塩素ガス供給手段２１でエッチン
グ液タンク６に塩素ガスを供給してエッチング液５を再
生する。比重が設定値になるように水供給手段２２でタ
ンク６に水を供給し、かつ測定ｐＨが設定値になるよう
に塩酸供給手段２３でタンク６に塩酸を供給して、液組
成をコントロールする。さらに、鉄−ニッケルを主成分
とする被エッチング材２の投入量から、エッチング能力
のない塩化ニッケル量を換算し、換算量分に応じた新エ
ッチング液１７をタンク６に供給してエッチング量を確
保する。
にコントロールする。 【構成】エッチング液を酸化還元電位計８、比重計１
３、ｐＨ１５でそれぞれ測定する。測定酸化還元電位が
設定値になるように、塩素ガス供給手段２１でエッチン
グ液タンク６に塩素ガスを供給してエッチング液５を再
生する。比重が設定値になるように水供給手段２２でタ
ンク６に水を供給し、かつ測定ｐＨが設定値になるよう
に塩酸供給手段２３でタンク６に塩酸を供給して、液組
成をコントロールする。さらに、鉄−ニッケルを主成分
とする被エッチング材２の投入量から、エッチング能力
のない塩化ニッケル量を換算し、換算量分に応じた新エ
ッチング液１７をタンク６に供給してエッチング量を確
保する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、劣化したエッチング液
に塩素ガスを供給して再生し、さらに水、塩酸を供給し
てエッチング液の組成を一定にコントロールするエッチ
ング液再生コントロール方法及び装置に関するものであ
る。
に塩素ガスを供給して再生し、さらに水、塩酸を供給し
てエッチング液の組成を一定にコントロールするエッチ
ング液再生コントロール方法及び装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般にエッチングシステムは、図３に示
すように、材料吸着装置１によって運ばれて来る被エッ
チング材２にスプレー３からエッチング液を噴射して被
エッチング材２をエッチングするエッチング装置４、エ
ッチング液５を貯めるエッチング液タンク６、タンク６
からエッチング液５をエッチング装置４に供給する輸送
ポンプ７、エッチング装置４内の使用済みエッチング液
の酸化還元電位（ＯＲＰ）を測定するＯＲＰ計８から主
に構成される。
すように、材料吸着装置１によって運ばれて来る被エッ
チング材２にスプレー３からエッチング液を噴射して被
エッチング材２をエッチングするエッチング装置４、エ
ッチング液５を貯めるエッチング液タンク６、タンク６
からエッチング液５をエッチング装置４に供給する輸送
ポンプ７、エッチング装置４内の使用済みエッチング液
の酸化還元電位（ＯＲＰ）を測定するＯＲＰ計８から主
に構成される。
【０００３】エッチング液５は、通常、塩化第二鉄溶液
が使用され、輸送ポンプ７によってエッチング装置４に
供給され、ここで被エッチング材料２をエッチングす
る。使用済みのエッチング液はエッチング液タンク６に
戻されるが、そのエッチング液は、ＯＲＰ計８によって
その劣化状態が監視される。劣化状態がある段階までい
ったら、エッチング液を新液と交換する。
が使用され、輸送ポンプ７によってエッチング装置４に
供給され、ここで被エッチング材料２をエッチングす
る。使用済みのエッチング液はエッチング液タンク６に
戻されるが、そのエッチング液は、ＯＲＰ計８によって
その劣化状態が監視される。劣化状態がある段階までい
ったら、エッチング液を新液と交換する。
【０００４】しかし、エッチング液が劣化する度に新液
と交換していたら経済性が非常に悪い。そこで、劣化し
たエッチング液を再生する必要がある。従来この劣化し
たエッチング液を再生するには、(1) 塩素ボンベから塩
素ガスを注入して再生する方法、(2) 特殊な再生液、例
えば塩素酸塩（塩素酸ナトリウム（ＮａＣｌＯ3 ）、塩
素酸カリウム（ＫＣｌＯ3 ）など）を注入して劣化した
エッチング液を再生する方法、(3) 使い込んだエッチン
グ液に新しいエッチング液を補充する方法などがある。
と交換していたら経済性が非常に悪い。そこで、劣化し
たエッチング液を再生する必要がある。従来この劣化し
たエッチング液を再生するには、(1) 塩素ボンベから塩
素ガスを注入して再生する方法、(2) 特殊な再生液、例
えば塩素酸塩（塩素酸ナトリウム（ＮａＣｌＯ3 ）、塩
素酸カリウム（ＫＣｌＯ3 ）など）を注入して劣化した
エッチング液を再生する方法、(3) 使い込んだエッチン
グ液に新しいエッチング液を補充する方法などがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、再生方法とし
て(2) の方法は特殊な再生液を使うため(1) の方法に比
して非常に高価である。また、(1) 、(2) の方法は共に
劣化した液を再生するのみで液組成のコントロールまで
は不可能である。また、(3) の方法は、一時的には液が
更新されるが、一定の液組成にするまでには至らない。
て(2) の方法は特殊な再生液を使うため(1) の方法に比
して非常に高価である。また、(1) 、(2) の方法は共に
劣化した液を再生するのみで液組成のコントロールまで
は不可能である。また、(3) の方法は、一時的には液が
更新されるが、一定の液組成にするまでには至らない。
【０００６】このように従来の方法では、いずれも液組
成を一定にコントロールすることができないため、エッ
チング製品の品質にバラツキが発生したり、エッチング
不良が発生していた。また、エッチング液が時間と共に
変化するのでエッチング速度の調整が非常に困難であっ
た。
成を一定にコントロールすることができないため、エッ
チング製品の品質にバラツキが発生したり、エッチング
不良が発生していた。また、エッチング液が時間と共に
変化するのでエッチング速度の調整が非常に困難であっ
た。
【０００７】本発明の目的は、前記した従来技術の欠点
を解消し、エッチング液を安価に再生するとともに液組
成を一定にコントロールすることができ、それによりエ
ッチング製品の品質のバラツキやエッチング不良をなく
し、しかもエッチング速度の調整が容易なエッチング液
再生コントロール方法及び装置を提供することにある。
を解消し、エッチング液を安価に再生するとともに液組
成を一定にコントロールすることができ、それによりエ
ッチング製品の品質のバラツキやエッチング不良をなく
し、しかもエッチング速度の調整が容易なエッチング液
再生コントロール方法及び装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のエッチング液再
生コントロール方法は、塩化第二鉄水溶液をエッチング
液とするエッチング液再生コントロール方法において、
エッチング液の酸化還元電位、比重、ｐＨをそれぞれ測
定し、測定酸化還元電位が設定酸化還元電位となるよう
にエッチング液に塩素ガスを供給してエッチング液を再
生し、測定比重が設定比重となるように水をエッチング
液に供給するとともに、測定ｐＨが設定ｐＨとなるよう
に塩酸をエッチング液に供給して液組成をコントロール
するようにしたようにしたものである。
生コントロール方法は、塩化第二鉄水溶液をエッチング
液とするエッチング液再生コントロール方法において、
エッチング液の酸化還元電位、比重、ｐＨをそれぞれ測
定し、測定酸化還元電位が設定酸化還元電位となるよう
にエッチング液に塩素ガスを供給してエッチング液を再
生し、測定比重が設定比重となるように水をエッチング
液に供給するとともに、測定ｐＨが設定ｐＨとなるよう
に塩酸をエッチング液に供給して液組成をコントロール
するようにしたようにしたものである。
【０００９】この場合、さらに鉄−ニッケルを主成分と
する被エッチング材の投入量から、エッチングにより生
成されるエッチング能力のない塩化ニッケル量を換算
し、この換算量分に応じた新エッチング液をエッチング
液に補充するようにしてもよい。
する被エッチング材の投入量から、エッチングにより生
成されるエッチング能力のない塩化ニッケル量を換算
し、この換算量分に応じた新エッチング液をエッチング
液に補充するようにしてもよい。
【００１０】また、これらの場合、設定ＯＲＰを５９０
〜６２０mV、設定比重を１．４５〜１．４６、設定ｐＨ
を−０．０５〜−０．１５とすることが好ましい。この
ように上限と下限を決めたのは次の理由による。ＯＲＰ
は５９０mVより小さいとエッチング性（エッチングファ
クタ）が悪くなり、サイドエッチ等の寸法不良が発生
し、６２０mVより大きいと再生剤の使用量が多くなり不
経済でコストアップとなるからである。比重は１．４５
より小さいとエッチング性が悪くなり不良が発生し、
１．４６より大きいとエッチング速度低下により生産性
が悪くなるからである。ｐＨは−０．０５より小さいと
エッチング面が荒れるためサイドエッチ等の不良が発生
し、−０．１５より大きいと溶解成分が沈殿しノズル詰
まり等の不良が発生し生産性が低下するからである。
〜６２０mV、設定比重を１．４５〜１．４６、設定ｐＨ
を−０．０５〜−０．１５とすることが好ましい。この
ように上限と下限を決めたのは次の理由による。ＯＲＰ
は５９０mVより小さいとエッチング性（エッチングファ
クタ）が悪くなり、サイドエッチ等の寸法不良が発生
し、６２０mVより大きいと再生剤の使用量が多くなり不
経済でコストアップとなるからである。比重は１．４５
より小さいとエッチング性が悪くなり不良が発生し、
１．４６より大きいとエッチング速度低下により生産性
が悪くなるからである。ｐＨは−０．０５より小さいと
エッチング面が荒れるためサイドエッチ等の不良が発生
し、−０．１５より大きいと溶解成分が沈殿しノズル詰
まり等の不良が発生し生産性が低下するからである。
【００１１】また、本発明のエッチング液再生コントロ
ール装置は、エッチング液タンクより塩化第二鉄水溶液
からなるエッチング液をエッチング装置に供給し、使用
済みエッチング液をエッチング液タンクに戻すようにし
たエッチング再生コントロール装置において、塩化第二
鉄水溶液からなるエッチング液の酸化還元電位を測定す
る酸化還元電位計と、エッチング液の比重を測定する比
重計と、エッチング液のｐＨを測定するｐＨ計と、酸化
還元電位計の測定値が設定酸化還元電位となるようにエ
ッチング液タンクに塩素ガスを供給する塩素ガス供給手
段と、比重計の測定値が設定比重となるようにエッチン
グ液タンクに水を供給する水供給手段と、ｐＨ計の測定
値が設定ｐＨとなるようにエッチング液タンクに塩酸を
供給する塩酸供給手段とを備えたものである。
ール装置は、エッチング液タンクより塩化第二鉄水溶液
からなるエッチング液をエッチング装置に供給し、使用
済みエッチング液をエッチング液タンクに戻すようにし
たエッチング再生コントロール装置において、塩化第二
鉄水溶液からなるエッチング液の酸化還元電位を測定す
る酸化還元電位計と、エッチング液の比重を測定する比
重計と、エッチング液のｐＨを測定するｐＨ計と、酸化
還元電位計の測定値が設定酸化還元電位となるようにエ
ッチング液タンクに塩素ガスを供給する塩素ガス供給手
段と、比重計の測定値が設定比重となるようにエッチン
グ液タンクに水を供給する水供給手段と、ｐＨ計の測定
値が設定ｐＨとなるようにエッチング液タンクに塩酸を
供給する塩酸供給手段とを備えたものである。
【００１２】この場合において、さらに鉄−ニッケルを
主成分とする被エッチング材の投入量から、エッチング
により生成されるエッチング能力のない塩化ニッケル量
を換算する演算手段と、換算量分に応じた新エッチング
液をエッチング液タンクに補充する新エッチング液供給
手段とを設けるようにしてもよい。
主成分とする被エッチング材の投入量から、エッチング
により生成されるエッチング能力のない塩化ニッケル量
を換算する演算手段と、換算量分に応じた新エッチング
液をエッチング液タンクに補充する新エッチング液供給
手段とを設けるようにしてもよい。
【００１３】
【作用】鉄−ニッケルを主成分とする被エッチング材を
塩化第二鉄からなるエッチング液でエッチングすると、
塩化第一鉄とエッチング能力のない塩化ニッケルが生成
される。この劣化したエッチング液に予め設定した酸化
還元電位となるように塩素ガスを供給すると、塩化第一
鉄は塩化第二鉄に再生される。さらに予め設定した比重
となるように水を、予め設定したｐＨとなるように塩酸
をそれぞれエッチング液に供給すると、単なるエッチン
グ液再生に止まらずエッチング液の組成を一定にコント
ロールできる。
塩化第二鉄からなるエッチング液でエッチングすると、
塩化第一鉄とエッチング能力のない塩化ニッケルが生成
される。この劣化したエッチング液に予め設定した酸化
還元電位となるように塩素ガスを供給すると、塩化第一
鉄は塩化第二鉄に再生される。さらに予め設定した比重
となるように水を、予め設定したｐＨとなるように塩酸
をそれぞれエッチング液に供給すると、単なるエッチン
グ液再生に止まらずエッチング液の組成を一定にコント
ロールできる。
【００１４】また、さらに塩化ニッケル分の換算量分に
応じたの新エッチング液をエッチング液に補充するよう
にすると、エッチング量を一定量に保つことができる。
応じたの新エッチング液をエッチング液に補充するよう
にすると、エッチング量を一定量に保つことができる。
【００１５】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。図１は本
実施例のエッチング液再生コントロール装置の構成を示
す。本装置は、従来のエッチング装置４、エッチング液
タンク６、輸送ポンプ７、ＯＲＰ計８からなるシステム
に、次のものを追設したものである。
実施例のエッチング液再生コントロール装置の構成を示
す。本装置は、従来のエッチング装置４、エッチング液
タンク６、輸送ポンプ７、ＯＲＰ計８からなるシステム
に、次のものを追設したものである。
【００１６】エッチング液再生のための塩素ガス供給手
段２１は、液の劣化度を計るＯＲＰ計８の測定結果に基
づき、予め設定したＯＲＰを保つように、エッチング液
タンク６に塩素ガスを供給する。そのために、塩素ガス
ボンベ９が、ＯＲＰ計８の出力によって注入量が制御さ
れる塩素ガス注入装置１０に接続され、注入装置１０で
制御された塩素ガスをエジェクタ１１に注入し、ここで
エッチング液タンク６からポンプ１２で汲み上げたエッ
チング液と混合してタンク６内に供給するようにしてあ
る。
段２１は、液の劣化度を計るＯＲＰ計８の測定結果に基
づき、予め設定したＯＲＰを保つように、エッチング液
タンク６に塩素ガスを供給する。そのために、塩素ガス
ボンベ９が、ＯＲＰ計８の出力によって注入量が制御さ
れる塩素ガス注入装置１０に接続され、注入装置１０で
制御された塩素ガスをエジェクタ１１に注入し、ここで
エッチング液タンク６からポンプ１２で汲み上げたエッ
チング液と混合してタンク６内に供給するようにしてあ
る。
【００１７】水供給手段２２は、エッチング装置４内の
使用済みエッチング液の濃度を比重から測定する比重計
１３の測定結果に基づき、予め設定した比重を保つよう
に、タンク６内のエッチング液５に純水を供給する。そ
のために、比重計１３の出力によって純水ポンプ１４の
供給量を制御するようにしてある。比重計には、浮子式
または超音波式等の一般計器を使用することができる。
使用済みエッチング液の濃度を比重から測定する比重計
１３の測定結果に基づき、予め設定した比重を保つよう
に、タンク６内のエッチング液５に純水を供給する。そ
のために、比重計１３の出力によって純水ポンプ１４の
供給量を制御するようにしてある。比重計には、浮子式
または超音波式等の一般計器を使用することができる。
【００１８】塩酸供給手段２３は、エッチング装置４内
の使用済みエッチング液の遊離塩酸をｐＨから測定する
ｐＨ計１５の測定結果に基づき、予め設定したｐＨを保
つように、タンク６内のエッチング液５に塩酸を供給す
る。そのために、ｐＨ計１５の出力によって塩酸ポンプ
１６の供給量を制御するようにしてある。ｐＨ計は、通
常の計器ではなく、負の値まで測定できる装置を使用す
る。
の使用済みエッチング液の遊離塩酸をｐＨから測定する
ｐＨ計１５の測定結果に基づき、予め設定したｐＨを保
つように、タンク６内のエッチング液５に塩酸を供給す
る。そのために、ｐＨ計１５の出力によって塩酸ポンプ
１６の供給量を制御するようにしてある。ｐＨ計は、通
常の計器ではなく、負の値まで測定できる装置を使用す
る。
【００１９】新エッチング液補充手段２９は、後述する
演算手段１９の換算結果に基づき、予め設定したエッチ
ング量を確保するように、塩化ニッケル量分に応じた新
エッチング液１７をタンク６内のエッチング液５に補充
する。そのために、鉄−ニッケルを主成分とする被エッ
チング材２の投入量から、エッチングにより生成される
エッチング能力のない塩化ニッケル量を換算する演算手
段１９を設け、その換算結果に基づいて、新エッチング
液補充タンク１８からポンプ２０で新エッチング液１７
をエッチング液タンク６内に一定量供給できるようにし
てある。
演算手段１９の換算結果に基づき、予め設定したエッチ
ング量を確保するように、塩化ニッケル量分に応じた新
エッチング液１７をタンク６内のエッチング液５に補充
する。そのために、鉄−ニッケルを主成分とする被エッ
チング材２の投入量から、エッチングにより生成される
エッチング能力のない塩化ニッケル量を換算する演算手
段１９を設け、その換算結果に基づいて、新エッチング
液補充タンク１８からポンプ２０で新エッチング液１７
をエッチング液タンク６内に一定量供給できるようにし
てある。
【００２０】その他に、エッチング液タンク６からオー
バーフローするエッチング液を受けるオーバーフロータ
ンク２４と、エッチング液タンク６のガスを送風機２５
により吸引して、ガス中の有害ガスなどをＮａＯＨ溶液
で除去するスクラバ２６とが設けられる。なお、２７、
２８は流量計である。
バーフローするエッチング液を受けるオーバーフロータ
ンク２４と、エッチング液タンク６のガスを送風機２５
により吸引して、ガス中の有害ガスなどをＮａＯＨ溶液
で除去するスクラバ２６とが設けられる。なお、２７、
２８は流量計である。
【００２１】さて、上記したような構成のエッチング液
再生コントロール装置によって、エッチング液を再生
し、その組成を一定にコントロールするには、まず、エ
ッチング装置４内の使用済みエッチング液のＯＲＰの設
定値を５９０〜６２０mV、比重の設定値を１．４５〜
１．４６、ｐＨの設定値を−０．０５〜−０．１５にそ
れぞれ設定しておく。次に、使用済みエッチング液のＯ
ＲＰをＯＲＰ計８で、比重を比重計１３で、ｐＨをｐＨ
計１５でそれぞれ常時測定する。
再生コントロール装置によって、エッチング液を再生
し、その組成を一定にコントロールするには、まず、エ
ッチング装置４内の使用済みエッチング液のＯＲＰの設
定値を５９０〜６２０mV、比重の設定値を１．４５〜
１．４６、ｐＨの設定値を−０．０５〜−０．１５にそ
れぞれ設定しておく。次に、使用済みエッチング液のＯ
ＲＰをＯＲＰ計８で、比重を比重計１３で、ｐＨをｐＨ
計１５でそれぞれ常時測定する。
【００２２】そして、ＯＲＰ測定値が設定値を外れた
ら、塩素ガスボンベ９から塩素ガス注入装置１０を介し
てエッチング液タンク６に塩素ガスを供給して、ＯＲＰ
を設定値に保つようにする。これによりエッチング液が
再生される。また、比重測定値が設定値を外れたら、エ
ッチング液タンク６に純水を供給して比重を設定値に保
つようにする。また、ｐＨ測定値が設定値を外れたら、
エッチング液タンク６に塩酸を供給してｐＨを設定値に
保つようにする。このようにして、エッチング液５の組
成が一定になるようにコントロールする。
ら、塩素ガスボンベ９から塩素ガス注入装置１０を介し
てエッチング液タンク６に塩素ガスを供給して、ＯＲＰ
を設定値に保つようにする。これによりエッチング液が
再生される。また、比重測定値が設定値を外れたら、エ
ッチング液タンク６に純水を供給して比重を設定値に保
つようにする。また、ｐＨ測定値が設定値を外れたら、
エッチング液タンク６に塩酸を供給してｐＨを設定値に
保つようにする。このようにして、エッチング液５の組
成が一定になるようにコントロールする。
【００２３】さらに、鉄−ニッケルを主成分とする被エ
ッチング材２の投入量から、演算手段１９でエッチング
により生成されるエッチング能力のない塩化ニッケル量
を換算し、塩化ニッケル換算量分に応じた新エッチング
液１７を新エッチング液補充タンク１８からエッチング
液タンク６に補充して、一定量のエッチング液を常に保
つようにする。
ッチング材２の投入量から、演算手段１９でエッチング
により生成されるエッチング能力のない塩化ニッケル量
を換算し、塩化ニッケル換算量分に応じた新エッチング
液１７を新エッチング液補充タンク１８からエッチング
液タンク６に補充して、一定量のエッチング液を常に保
つようにする。
【００２４】このようにエッチング液を再生し、コント
ロールする本実施例によるエッチング液再生コントロー
ル装置の導入前後の液組成の状況は、図２に示すよう
に、導入前はＯＲＰ、比重、ｐＨは作業日数と共に変化
しているが、導入後はＯＲＰ、比重、ｐＨ共ほぼ一定に
なることが分かる。したがって、本実施例によるエッチ
ング液再生コントロール装置を導入することにより、再
生したエッチング液を長時間安定して使用でき、エッチ
ング液の使用量も大幅に低減できる。また、長時間使用
してもエッチング製品の歩留りは低下せず、エッチング
製品の寸法精度も良好に維持される。
ロールする本実施例によるエッチング液再生コントロー
ル装置の導入前後の液組成の状況は、図２に示すよう
に、導入前はＯＲＰ、比重、ｐＨは作業日数と共に変化
しているが、導入後はＯＲＰ、比重、ｐＨ共ほぼ一定に
なることが分かる。したがって、本実施例によるエッチ
ング液再生コントロール装置を導入することにより、再
生したエッチング液を長時間安定して使用でき、エッチ
ング液の使用量も大幅に低減できる。また、長時間使用
してもエッチング製品の歩留りは低下せず、エッチング
製品の寸法精度も良好に維持される。
【００２５】上述したエッチング液再生コントロール装
置を用いて、０．１５mm厚の４２アロイ（４２％Ｎｉ−
残りＦｅ）材を用いて１６０ピンリードフレームをエッ
チング成形した結果、深さ方向のエッチング量ｄとサイ
ドエッチ量Ｓとの比ｄ／Ｓであるエッチファクタは２．
５以上になり、サイドエッチもなく、製品外観が良好
で、リードの欠けやピンホールのないリードフレームを
製造することができた。
置を用いて、０．１５mm厚の４２アロイ（４２％Ｎｉ−
残りＦｅ）材を用いて１６０ピンリードフレームをエッ
チング成形した結果、深さ方向のエッチング量ｄとサイ
ドエッチ量Ｓとの比ｄ／Ｓであるエッチファクタは２．
５以上になり、サイドエッチもなく、製品外観が良好
で、リードの欠けやピンホールのないリードフレームを
製造することができた。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、塩素ガスを使用してエ
ッチング液を再生するため安価であり、またエッチング
液の測定比重、測定ｐＨに基づき水、塩酸をエッチング
液に供給して液組成を一定にするようにしたので、エッ
チング製品の品質のバラツキやエッチング不良をなく
し、しかもエッチング速度の調整が容易となる。
ッチング液を再生するため安価であり、またエッチング
液の測定比重、測定ｐＨに基づき水、塩酸をエッチング
液に供給して液組成を一定にするようにしたので、エッ
チング製品の品質のバラツキやエッチング不良をなく
し、しかもエッチング速度の調整が容易となる。
【００２７】特に、被エッチング材の投入量に換算した
塩化ニッケル量分に応じた新エッチング液を補充する場
合には、エッチング液交換頻度がより長くなるので、作
業効率が大幅に向上し、液使用コストを大幅に低減でき
る。
塩化ニッケル量分に応じた新エッチング液を補充する場
合には、エッチング液交換頻度がより長くなるので、作
業効率が大幅に向上し、液使用コストを大幅に低減でき
る。
【図１】本発明の実施例によるエッチング液再生コント
ロール装置の構成図である。
ロール装置の構成図である。
【図２】本実施例の装置導入前後の液組成状況を示す説
明図である。
明図である。
【図３】従来例のエッチングシステムの構成図である。
４ エッチング装置 ５ エッチング液 ６ エッチング液タンク ８ 酸化還元電位（ＯＲＰ）計 ９ 塩素ガスボンベ １３ 比重計 １４ 純水ポンプ １５ ｐＨ計 １６ 塩酸ポンプ １８ 新エッチング液補充タンク ２１ 塩素ガス供給手段 ２２ 水供給手段 ２３ 塩酸供給手段 ２９ 新エッチング補充手段
Claims (5)
- 【請求項１】塩化第二鉄水溶液をエッチング液とするエ
ッチング液再生コントロール方法において、エッチング
液の酸化還元電位、比重、ｐＨをそれぞれ測定し、測定
酸化還元電位が設定酸化還元電位となるようにエッチン
グ液に塩素ガスを供給してエッチング液を再生し、測定
比重が設定比重となるように水をエッチング液に供給す
るとともに、測定ｐＨが設定ｐＨとなるように塩酸をエ
ッチング液に供給して液組成をコントロールするように
したことを特徴とするエッチング液再生コントロール方
法。 - 【請求項２】請求項１に記載のエッチング液再生コント
ロール方法において、さらに鉄−ニッケルを主成分とす
る被エッチング材の投入量から、エッチングにより生成
されるエッチング能力のない塩化ニッケル量を換算し、
この換算量分に応じた新エッチング液をエッチング液に
補充するようにしたエッチング液再生コントロール方
法。 - 【請求項３】請求項１または２に記載のエッチング液再
生コントロール方法において、設定酸化還元電位を５９
０〜６２０mV、設定比重を１．４５〜１．４６、設定ｐ
Ｈを−０．０５〜−０．１５としたエッチング液再生コ
ントロール方法。 - 【請求項４】エッチング液タンクより塩化第二鉄水溶液
からなるエッチング液をエッチング装置に供給し、使用
済みエッチング液をエッチング液タンクに戻すようにし
たエッチング再生コントロール装置において、エッチン
グ液の酸化還元電位を測定する酸化還元電位計と、エッ
チング液の比重を測定する比重計と、エッチング液のｐ
Ｈを測定するｐＨ計と、酸化還元電位計の測定値が設定
酸化還元電位となるようにエッチング液タンクに塩素ガ
スを供給する塩素ガス供給手段と、比重計の測定値が設
定比重となるようにエッチング液タンクに水を供給する
水供給手段と、ｐＨ計の測定値が設定ｐＨとなるように
エッチング液タンクに塩酸を供給する塩酸供給手段とを
備えたことを特徴とするエッチング液再生コントロール
装置。 - 【請求項５】請求項４に記載のエッチング液再生コント
ロール装置において、さらに、鉄−ニッケルを主成分と
する被エッチング材の投入量から、エッチングにより生
成されるエッチング能力のない塩化ニッケル量を換算す
る演算手段と、換算量分に応じた新エッチング液をエッ
チング液タンクに補充する新エッチング液補充手段とを
備えたエッチング液再生コントロール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023995A JPH093664A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | エッチング液再生コントロール方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023995A JPH093664A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | エッチング液再生コントロール方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH093664A true JPH093664A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=15492610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15023995A Pending JPH093664A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | エッチング液再生コントロール方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH093664A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012180548A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 酸洗処理方法及び酸洗処理装置 |
| CN111885839A (zh) * | 2020-09-01 | 2020-11-03 | 陈圆圆 | 一种集成电路板加工用蚀刻机 |
-
1995
- 1995-06-16 JP JP15023995A patent/JPH093664A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012180548A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 酸洗処理方法及び酸洗処理装置 |
| CN111885839A (zh) * | 2020-09-01 | 2020-11-03 | 陈圆圆 | 一种集成电路板加工用蚀刻机 |
| CN111885839B (zh) * | 2020-09-01 | 2021-11-26 | 宏华胜精密电子(烟台)有限公司 | 一种集成电路板加工用蚀刻机 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020924 |