JP3333237B2 - ガルバニ電池タイプの酸素分析計およびこの分析計の制御方法 - Google Patents

ガルバニ電池タイプの酸素分析計およびこの分析計の制御方法

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義朗 松本
義康 田中
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、微量の酸素を含むガス
の酸素分析に適する酸素分析計に関する。本発明におい
て、微量の酸素とは濃度1ppm以下程度の量の酸素を
いう。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】半導体の大規模集積化
および超精密加工化が進み、その製造工程の中で、雰囲
気ガス中の酸素濃度をppbレベルからサブppbレベ
ルまで監視することが必要となってきた。かかる精密測
定においては、従来なんら問題なく使用されてきた酸素
分析計でも種々の問題が生じ、改良が求められた。
【0003】たとえば、ガルバニ電池タイプの酸素分析
計において、検出器内の電解液中の溶存酸素の濃度が一
時的に増加することによって、測定誤差が発生すること
がわかった。従って本発明は、かかる原因による測定誤
差の発生を防止することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0004】本発明における酸素分析計はガルバニ電池
タイプのものであり、検出器内部に特定の濃度範囲の水
溶液(電解液)を有していて、供給ガス中の酸素と電解
液中の水が化学反応して、それによって電解液中の電極
間に電流が流れることを利用して酸素濃度を測定する。
検出器には測定ガス、ゼロガスおよびゲイン用ガスを供
給可能であり、供給ガスは弁等の手段により切り替える
ことができる。本明細書において特記されていない部分
については、公知のガルバニ電池タイプの酸素分析計の
各種部品および手段を適用することができる。
【0005】本発明の第一の態様は、微量の酸素を含む
ガスの酸素分析に適する酸素分析計の制御方法であっ
て、酸素分析計が検出器の液面検知器、およびこれと連
動する水タンク出口弁を有し、液面が所定レベルより低
くなった時に所定レベルまで自動的に水を検出器に補給
することを特徴とする制御方法である。
【0006】測定中に検出器の電解液から水分が徐々に
蒸発するために、検出器中の電解液面は徐々に低下す
る。これを放置すると、電極が電解液と接触しなくな
り、検出器が正常に動作しなくなる。そのため、長期間
の測定においては途中で水を補給する必要がある。本発
明にかかる酸素分析計においては、水の補給に際して人
為的なミス(補給し忘れ、補給し過ぎる等)を防止する
とともに、夜間など無人の場合においても適宜水を補給
して最適な分析条件を保証するために自動的に水を補給
する分析計を提供するものである。
【0007】本発明の第二の態様は、微量の酸素を含む
ガスの酸素分析に適する酸素分析計であって、水タンク
内の水と測定ガス、検出器からの排出ガス、または酸素
非含有ガスを接触させ、水タンク内の水の溶存酸素を除
去することができる配管を有することを特徴とする。
【0008】かかる構成において、水タンク内に測定ガ
ス、検出器からの排出ガスまたは酸素非含有ガスを導入
し、バブリングなどの手段によりタンク内の水とガスと
を接触させ、水中の溶存酸素を除去する。
【0009】本発明の第三の態様は、上記第一の態様の
酸素分析計の制御方法において、水タンクから検出器へ
の水供給配管酸素非透過性材料としたものである。
【0010】酸素非透過性材料としては金属が好まし
い。酸素分析計においては、その構造上配管ラインが複
雑になる。そのため従来は加工が容易な樹脂で配管がつ
くられていたが、樹脂は酸素を透過させる。しかし加工
技術の向上により、従来は加工が比較的困難であった金
属等の配管を使用することが可能となった。
【0011】上の第二および第三の態様も、補給される
水に含まれる溶存酸素のために測定結果が影響を受ける
ことを防止することを目的とする。すなわち、タンク内
の水に含まれる溶存酸素の除去と、水供給配管を通して
の空気中の酸素の溶解の防止により、タンクから検出器
に補給される水には酸素が溶存していないようにする。
微量の酸素分析の場合には検出器に補給される水に含ま
れる酸素によっても分析結果が影響を受けるのである。
【0012】図1に、本発明にかかる分析計の一例を示
す。検出器には液面検出センサーが設けられ、これと連
動するバルブが水タンクから検出器に水を供給する配管
の途中に設けられている。点線で示されたラインはそれ
ぞれ、測定ガス、検出器からの排出ガス、酸素非含有ガ
スの水タンクへの供給ラインを表す。
【図面の簡単な説明】
【図1】検出器への水の自動補給装置と検出器からの排
出ガス等で水タンクをパージする装置を有する本発明の
酸素分析計の概略図である。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 27/404 G01N 1/00 101

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 微量の酸素を含むガスの酸素分析に適す
    ガルバニ電池タイプの酸素分析計の制御方法であっ
    て、酸素分析計が検出器の液面検知器、およびこれと連
    動する水タンク出口弁を有し、液面が所定レベルより低
    くなった時に所定レベルまで自動的に水を検出器に補給
    することを特徴とする制御方法。
  2. 【請求項2】 水タンクから検出器への水供給配管が酸
    素非透過性材料で作られていることを特徴とする請求項
    1に記載の酸素分析計の制御方法
  3. 【請求項3】 微量の酸素を含むガスの酸素分析に適す
    ガルバニ電池タイプの酸素分析計であって、水タンク
    内の水と測定ガス、検出器からの排出ガス、または酸素
    非含有ガスを接触させ、水タンク内の水の溶存酸素を除
    去することができる配管を有することを特徴とする酸素
    分析計。
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