JPH093646A - プラズマ中において部材を熱処理する際の電流密度の制御方法及び装置 - Google Patents
プラズマ中において部材を熱処理する際の電流密度の制御方法及び装置Info
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- JPH093646A JPH093646A JP8159203A JP15920396A JPH093646A JP H093646 A JPH093646 A JP H093646A JP 8159203 A JP8159203 A JP 8159203A JP 15920396 A JP15920396 A JP 15920396A JP H093646 A JPH093646 A JP H093646A
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- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 既知の表面積ＦHEを有する補助電極を用いて
プラズマ内で熱処理する際に熱処理される部材（以下単
に部材という）を流れる電流密度を制御する方法、及び
この方法を実施する装置を課題とする。 【解決手段】 補助電極を使用してプラズマ内で熱処理
する際に部材を流れる電流密度を制御する方法と装置に
関するものである。予めチャージ表面積ＦCHを計算せず
に、適正な電流密度の値を得ることができるようにする
ために、第１の処理ステップにおいて中性のプラズマ内
で補助電極９を用いて炉１内の全電流ＩGと補助電極９
の上方の電流ＩHEが測定し、これらの値と補助電極９の
既知の表面積ＦHEから未知のチャージ表面積ＦCHを計算
する。次に補助電極９がスイッチ１２を介してプラズマ
発生器５から分離されて、中性のガスプラズマを物質
（コーティング材）を伝達するプラズマとする。次に、
計算されたチャージ表面積ＦCHと所望の電流密度目標値
Ｊsollから制御器１５を介して電流測定装置１４で制御
すべき目標全電流強さＩGsollを計算する。
プラズマ内で熱処理する際に熱処理される部材（以下単
に部材という）を流れる電流密度を制御する方法、及び
この方法を実施する装置を課題とする。 【解決手段】 補助電極を使用してプラズマ内で熱処理
する際に部材を流れる電流密度を制御する方法と装置に
関するものである。予めチャージ表面積ＦCHを計算せず
に、適正な電流密度の値を得ることができるようにする
ために、第１の処理ステップにおいて中性のプラズマ内
で補助電極９を用いて炉１内の全電流ＩGと補助電極９
の上方の電流ＩHEが測定し、これらの値と補助電極９の
既知の表面積ＦHEから未知のチャージ表面積ＦCHを計算
する。次に補助電極９がスイッチ１２を介してプラズマ
発生器５から分離されて、中性のガスプラズマを物質
（コーティング材）を伝達するプラズマとする。次に、
計算されたチャージ表面積ＦCHと所望の電流密度目標値
Ｊsollから制御器１５を介して電流測定装置１４で制御
すべき目標全電流強さＩGsollを計算する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、既知の表面積ＦHE
を有する補助電極を用いてプラズマ内で熱処理する際に
熱処理される部材（以下単に部材という）を流れる電流
密度を制御する方法に関するものである。本発明はさら
にこの方法を実施する装置に関する。
を有する補助電極を用いてプラズマ内で熱処理する際に
熱処理される部材（以下単に部材という）を流れる電流
密度を制御する方法に関するものである。本発明はさら
にこの方法を実施する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】スイス特許公報ＣＨ−ＰＳ４７５３６６
号からは、強電流グロー放電の電気的特性を監視する方
法が知られている。この公知の方法においては監視の結
果、グロー放電が回避すべき、部材に損傷を与えるアー
ク放電に変化したことが明らかになった場合に、供給電
圧または装置全体がオフにされる。
号からは、強電流グロー放電の電気的特性を監視する方
法が知られている。この公知の方法においては監視の結
果、グロー放電が回避すべき、部材に損傷を与えるアー
ク放電に変化したことが明らかになった場合に、供給電
圧または装置全体がオフにされる。
【０００３】この方法は、部材と補助電極を流れる放電
電流の比が部材並びに補助電極の面積の比と等しい間は
アーク放電は発生しないという原理に基づいている。グ
ロー放電からアーク放電へ変化する場合に該当する放電
電流が上昇し、従って電流比が変化するので、この公知
の装置はこの電流比の変化を利用して、供給電圧ないし
は装置全体をオフにすることによってアーク放電の発生
を克服している。
電流の比が部材並びに補助電極の面積の比と等しい間は
アーク放電は発生しないという原理に基づいている。グ
ロー放電からアーク放電へ変化する場合に該当する放電
電流が上昇し、従って電流比が変化するので、この公知
の装置はこの電流比の変化を利用して、供給電圧ないし
は装置全体をオフにすることによってアーク放電の発生
を克服している。
【０００４】しかし、ガス−イオン表面処理ないしはプ
ラズマ表面処理の場合には発生する表面特性は部材の表
面における放電電流の電流密度によって著しく決定され
るので、不均一な放電ないしアーク放電に対する保護の
他に、処理すべき部材を流れる電流密度を測定して制御
することが必要である。部材を流れる放電電流を測定し
て制御することは容易であるが、部材を流れる電流密度
を求めることは困難である。
ラズマ表面処理の場合には発生する表面特性は部材の表
面における放電電流の電流密度によって著しく決定され
るので、不均一な放電ないしアーク放電に対する保護の
他に、処理すべき部材を流れる電流密度を測定して制御
することが必要である。部材を流れる放電電流を測定し
て制御することは容易であるが、部材を流れる電流密度
を求めることは困難である。
【０００５】というのは電流密度を求めるためには、放
電電流が実際に有効となる部材表面積を求めなければな
らないからである。特に複雑な形状の部品の場合にはチ
ャージ表面積を求めることは極めて煩雑である。
電電流が実際に有効となる部材表面積を求めなければな
らないからである。特に複雑な形状の部品の場合にはチ
ャージ表面積を求めることは極めて煩雑である。
【０００６】ドイツ特許公報ＤＥ−ＰＳ３５０４９３６
号からは、部材を流れる放電電流を制御する装置が知ら
れており、ここでは炉室内に処理すべき部材と並んで補
助電極が配置されている。毎回チャージの表面積を算出
し、あるいは正確に測らずに済むようにするために、こ
の公知の装置においては炉内の、従って部材チャージと
補助電極を流れる電流密度が測定されて、補助電極の既
知の表面積並びに別に測定された補助電極を流れる電流
からチャージ表面積が計算される。
号からは、部材を流れる放電電流を制御する装置が知ら
れており、ここでは炉室内に処理すべき部材と並んで補
助電極が配置されている。毎回チャージの表面積を算出
し、あるいは正確に測らずに済むようにするために、こ
の公知の装置においては炉内の、従って部材チャージと
補助電極を流れる電流密度が測定されて、補助電極の既
知の表面積並びに別に測定された補助電極を流れる電流
からチャージ表面積が計算される。
【０００７】炉内の全電流密度のこの測定は、プラズマ
コーティングプロセス全体の間連続的に実施される。し
かし実際にこの試みを追跡した場合に、補助電極は一定
の電流を制御するが、処理サイクルの間のチャージを流
れる放電電流は理論的推定に対して変化することが明ら
かにされている。
コーティングプロセス全体の間連続的に実施される。し
かし実際にこの試みを追跡した場合に、補助電極は一定
の電流を制御するが、処理サイクルの間のチャージを流
れる放電電流は理論的推定に対して変化することが明ら
かにされている。
【０００８】追試験の結果、プラズマコーティングプロ
セスの間に補助電極の表面積が変化することが明らかに
され、これは例えば煤の堆積によって生じる可能性があ
る。チャージ表面積のこの変化は、炉内の全電流密度を
測定するために、全プラズマコーティングプロセスの間
補助電極をオンにしたままにしておかなければならない
ことによってもたらされる。
セスの間に補助電極の表面積が変化することが明らかに
され、これは例えば煤の堆積によって生じる可能性があ
る。チャージ表面積のこの変化は、炉内の全電流密度を
測定するために、全プラズマコーティングプロセスの間
補助電極をオンにしたままにしておかなければならない
ことによってもたらされる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の課題
は、熱処理される部材を流れる流密度を簡単かつ再現可
能に制御することを可能にする方法を提供することであ
る。さらに本発明の課題は、この方法を実施する装置を
提供することである。
は、熱処理される部材を流れる流密度を簡単かつ再現可
能に制御することを可能にする方法を提供することであ
る。さらに本発明の課題は、この方法を実施する装置を
提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によるこの課題の
方法の解決は、下記の工程を備えていることを特徴とす
る。 ａ）熱処理炉内で、中性ガスを用いてプラズマを発生さ
せ、 ｂ）炉内の全電流ＩGと補助電極を流れる電流ＩHEを測
定し、 ｃ）次の式に従ってチャージ表面積ＦCHを計算し： Ｆch＝ＩG・ＦHE／ＩHE−ＦHE ｄ）補助電極をオフにし、 ｅ）物質を伝達するプラズマを発生させ、 ｆ）所望の電流密度目標値Ｊsollを制御するために調節
すべき全電流ＩGsollを次に式に従って計算し： ＩGsoll＝Ｆch・Ｊsoll ｇ）炉内の全電流ＩG を測定して、ＩG をＩGsoll に制
御する。
方法の解決は、下記の工程を備えていることを特徴とす
る。 ａ）熱処理炉内で、中性ガスを用いてプラズマを発生さ
せ、 ｂ）炉内の全電流ＩGと補助電極を流れる電流ＩHEを測
定し、 ｃ）次の式に従ってチャージ表面積ＦCHを計算し： Ｆch＝ＩG・ＦHE／ＩHE−ＦHE ｄ）補助電極をオフにし、 ｅ）物質を伝達するプラズマを発生させ、 ｆ）所望の電流密度目標値Ｊsollを制御するために調節
すべき全電流ＩGsollを次に式に従って計算し： ＩGsoll＝Ｆch・Ｊsoll ｇ）炉内の全電流ＩG を測定して、ＩG をＩGsoll に制
御する。
【００１１】本発明の方法においては、補助電極には短
い期間のみ、そして物質を伝達しないプラズマが存在す
る場合だけ、炉内の全電流を測定するために電圧が供給
される。後述の物質（プラズマによりコーティングする
物質）を伝達するプラズマ内での表面処理プロセスにお
いては、補助電極はドイツ特許公報ＤＥ−ＰＳ３５０４
９３６号に示す方法とは異なり、オフにされたままであ
って、従って、プラズマプロセスの間にその表面積は変
化されない。
い期間のみ、そして物質を伝達しないプラズマが存在す
る場合だけ、炉内の全電流を測定するために電圧が供給
される。後述の物質（プラズマによりコーティングする
物質）を伝達するプラズマ内での表面処理プロセスにお
いては、補助電極はドイツ特許公報ＤＥ−ＰＳ３５０４
９３６号に示す方法とは異なり、オフにされたままであ
って、従って、プラズマプロセスの間にその表面積は変
化されない。
【００１２】従ってこの本発明による方法においては、
チャージ表面積ＦCHの計算後補助電極をオンにしないで
も、炉内の全電流ＩGを測定して追制御するだけで電流
密度を制御することが可能になる。
チャージ表面積ＦCHの計算後補助電極をオンにしないで
も、炉内の全電流ＩGを測定して追制御するだけで電流
密度を制御することが可能になる。
【００１３】すなわち物質を伝達しないプラズマを発生
させる中性のガスとして、本発明の好ましい実施形態に
おいてはアルゴン、ネオン、ヘリウムまたは水素が使用
される。これらのガスはそれによって発生されるプラズ
マがチャージないし補助電極の表面と相互作用すること
がなく、従って誤りのない再現可能な測定を可能にする
という特徴を有する。
させる中性のガスとして、本発明の好ましい実施形態に
おいてはアルゴン、ネオン、ヘリウムまたは水素が使用
される。これらのガスはそれによって発生されるプラズ
マがチャージないし補助電極の表面と相互作用すること
がなく、従って誤りのない再現可能な測定を可能にする
という特徴を有する。
【００１４】物質を伝達するプラズマを発生させるため
に、本発明の好ましい実施形態によれば、窒化ガス、滲
炭ガスまたはホウ化ガスが使用される。
に、本発明の好ましい実施形態によれば、窒化ガス、滲
炭ガスまたはホウ化ガスが使用される。
【００１５】本発明による装置は、炉内の全電流ＩGが
電流測定装置を介して測定可能であって、全電流ＩGを
測定する電流測定装置と補助電極との間に補助電極を流
れる電流ＩHEを測定する電流測定装置と補助電極をオフ
にするスイッチが接続されていることを特徴としてい
る。
電流測定装置を介して測定可能であって、全電流ＩGを
測定する電流測定装置と補助電極との間に補助電極を流
れる電流ＩHEを測定する電流測定装置と補助電極をオフ
にするスイッチが接続されていることを特徴としてい
る。
【００１６】電圧源と補助電極との間に接続されたスイ
ッチによって、補助電極に短時間だけ、すなわち中性の
プラズマ内で全電流ＩGを測定するために電圧を供給す
ることができる。次にスイッチにより補助電極が再びオ
フにされて、それによって、プラズマプロセスの間補助
電極の表面積の変化が発生しないことが保証される。
ッチによって、補助電極に短時間だけ、すなわち中性の
プラズマ内で全電流ＩGを測定するために電圧を供給す
ることができる。次にスイッチにより補助電極が再びオ
フにされて、それによって、プラズマプロセスの間補助
電極の表面積の変化が発生しないことが保証される。
【００１７】本発明の好ましい実施形態においては、全
電流ＩGを測定する電流測定装置は制御器と接続されて
おり、制御器を介して計算された値ＩGsollを測定され
た値ＩGを用いて調節することができる。他の詳細と利
点は以下の図面の説明から明らかであり、図面には本発
明により形成された、電流密度を制御する装置の実施例
が概略的に図示されている。
電流ＩGを測定する電流測定装置は制御器と接続されて
おり、制御器を介して計算された値ＩGsollを測定され
た値ＩGを用いて調節することができる。他の詳細と利
点は以下の図面の説明から明らかであり、図面には本発
明により形成された、電流密度を制御する装置の実施例
が概略的に図示されている。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１に示す装置は大体において、
炉室２を包囲する取り外し可能な炉フード３及び炉室２
の排気を行う真空ポンプ４を有する炉１と、炉室２内に
プラズマを発生させる高圧源としてのプラズマ発生器５
とから形成される。
炉室２を包囲する取り外し可能な炉フード３及び炉室２
の排気を行う真空ポンプ４を有する炉１と、炉室２内に
プラズマを発生させる高圧源としてのプラズマ発生器５
とから形成される。
【００１９】炉室２の充填並びに排出を行うために、点
線で示すように炉フード３はガイドレール６に沿って上
方へ移動することができる。炉室２内には部材チャージ
８を収容するためのチャージ支持体７と補助電極９が配
置されている。プラズマ発生器５として用いられる高圧
源は導線１０を介してチャージ支持体７と接続されてい
る。
線で示すように炉フード３はガイドレール６に沿って上
方へ移動することができる。炉室２内には部材チャージ
８を収容するためのチャージ支持体７と補助電極９が配
置されている。プラズマ発生器５として用いられる高圧
源は導線１０を介してチャージ支持体７と接続されてい
る。
【００２０】導線１０からは、補助電極９と接続された
導線１１が分岐している。補助電極９へ通じる導線１１
内にスイッチ１２と補助電極９を流れる電流ＩHEを測定
する電流測定装置１３が配置されている。
導線１１が分岐している。補助電極９へ通じる導線１１
内にスイッチ１２と補助電極９を流れる電流ＩHEを測定
する電流測定装置１３が配置されている。
【００２１】炉１内の全電流ＩGを測定するために、プ
ラズマ発生器５から見て、導線１１の分岐前の導線１０
に炉内の全電流ＩGを測定する電流測定装置１４が組み
込まれている。電流測定装置１４で測定された全流ＩG
の強さを計算された全電流目標値ＩGsollに制御するこ
とができるようにするために、電流測定装置１４は電流
制御器１５と接続されている。上述の装置の作業方法
を、実施例を用いて以下で詳細に説明する。
ラズマ発生器５から見て、導線１１の分岐前の導線１０
に炉内の全電流ＩGを測定する電流測定装置１４が組み
込まれている。電流測定装置１４で測定された全流ＩG
の強さを計算された全電流目標値ＩGsollに制御するこ
とができるようにするために、電流測定装置１４は電流
制御器１５と接続されている。上述の装置の作業方法
を、実施例を用いて以下で詳細に説明する。
【００２２】
【実施例】６７２個の小さいピニオンからなる未知の表
面積のチャージが炉１の炉室２内へ装入された。それに
続いて炉１が真空ポンプ４を介して排気されて、８５０
°に加熱された。温度はチャージ全体にわたって温度が
均衡するまで一定に維持された。
面積のチャージが炉１の炉室２内へ装入された。それに
続いて炉１が真空ポンプ４を介して排気されて、８５０
°に加熱された。温度はチャージ全体にわたって温度が
均衡するまで一定に維持された。
【００２３】一定の温度に達した後に炉に水素ガスが供
給され、６ｍｂａｒの圧力に制御された。スイッチ１２
を閉じた後、すなわち導線１０と１１を介して補助電極
９がプラズマ発生器５と接続された後に、５６０Ｖの直
流電圧を印加することによって炉室２内にある水素ガス
によって中性の、すなわち物質を伝達しないプラズマが
発生された。
給され、６ｍｂａｒの圧力に制御された。スイッチ１２
を閉じた後、すなわち導線１０と１１を介して補助電極
９がプラズマ発生器５と接続された後に、５６０Ｖの直
流電圧を印加することによって炉室２内にある水素ガス
によって中性の、すなわち物質を伝達しないプラズマが
発生された。
【００２４】電流測定装置１４において２７０００ｍＡ
の炉１内の全電流強さＩGを測定することができた。同
時に補助電極９を流れる電流を測定する電流測定装置１
３は９１ｍＡの値を表示した。これら測定された値と補
助電極９の既知の表面積ＦHE５７７ｃｍ2 に基づいて次
の式に従って計算する。
の炉１内の全電流強さＩGを測定することができた。同
時に補助電極９を流れる電流を測定する電流測定装置１
３は９１ｍＡの値を表示した。これら測定された値と補
助電極９の既知の表面積ＦHE５７７ｃｍ2 に基づいて次
の式に従って計算する。
【００２５】ＩHE／ＦHE＝ＩG／（ＦCH＋ＦHE） 上述の式から未知のチャージ表面積ＦCHを次のように解
くことができた。 ＦCH＝ＩG・ＦHE／ＩHE−ＦHE
くことができた。 ＦCH＝ＩG・ＦHE／ＩHE−ＦHE
【００２６】３つの既知の値、すなわち測定された電流
の強さＩGとＩHE並びに補助電極９の既知の表面積ＦHE
に基づいて、未知のチャージ表面積ＦCHについて１７０
６２０ｃｍ2 の値が得られた。プラズマプロセスのため
の既知の電流密度目標値、Ｊsollは０．６５ｍＡ／ｃｍ
2 であった。
の強さＩGとＩHE並びに補助電極９の既知の表面積ＦHE
に基づいて、未知のチャージ表面積ＦCHについて１７０
６２０ｃｍ2 の値が得られた。プラズマプロセスのため
の既知の電流密度目標値、Ｊsollは０．６５ｍＡ／ｃｍ
2 であった。
【００２７】中性プラズマ内の全電流強さＩGを測定し
た後に、スイッチ１２が開放されて、それによって補助
電極９がプラズマ発生器５から分離された。次に部材チ
ャージ８が最終温度に加熱されて、中性ガスプラズマが
物質を伝達するプラズマ、すなわち滲炭するプラズマに
とって代わられた。
た後に、スイッチ１２が開放されて、それによって補助
電極９がプラズマ発生器５から分離された。次に部材チ
ャージ８が最終温度に加熱されて、中性ガスプラズマが
物質を伝達するプラズマ、すなわち滲炭するプラズマに
とって代わられた。
【００２８】予め設定された０．６５ｍＡ／ｃｍ2 の電
流密度目標値Ｊsollに制御することができるようにする
ために、この値が求められたチャージ面積ＦCHで乗算さ
れて、そこから新しい制御量としての全電流ＩGsoll が
次の式に従って求められた： ＩGsoll ＝Ｊsoll・ＦCH
流密度目標値Ｊsollに制御することができるようにする
ために、この値が求められたチャージ面積ＦCHで乗算さ
れて、そこから新しい制御量としての全電流ＩGsoll が
次の式に従って求められた： ＩGsoll ＝Ｊsoll・ＦCH
【００２９】この計算から、電流制御器１５を介して電
流測定装置１４で調節すべき全電流密度の目標値ＩGsol
lについて１１０９０３ｍＡの値が得られた。幾何学的
なチャージ表面積の再計算から、１６７７５８ｃｍ2 の
値が得られ、これは測定誤差が２％より小さく、従って
上述の方法が電流密度を制御するための正確かつ再現可
能な値を準備するのに適していることを意味している。
流測定装置１４で調節すべき全電流密度の目標値ＩGsol
lについて１１０９０３ｍＡの値が得られた。幾何学的
なチャージ表面積の再計算から、１６７７５８ｃｍ2 の
値が得られ、これは測定誤差が２％より小さく、従って
上述の方法が電流密度を制御するための正確かつ再現可
能な値を準備するのに適していることを意味している。
【００３０】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明は、補助電極
を使用してプラズマ内で熱処理する際に部材を流れる電
流密度を制御する方法は、熱処理する部材の表面積を計
算することなく適正なプラズマ電流を設定できる利点が
ある。また、本発明の装置は、上記方法を容易に実施で
きる熱処理炉であり、部材を損傷することなくプラズマ
熱処理を可能にする。
を使用してプラズマ内で熱処理する際に部材を流れる電
流密度を制御する方法は、熱処理する部材の表面積を計
算することなく適正なプラズマ電流を設定できる利点が
ある。また、本発明の装置は、上記方法を容易に実施で
きる熱処理炉であり、部材を損傷することなくプラズマ
熱処理を可能にする。
【図１】本発明装置の実施態様を示す図である。
１ 炉 ２ 炉室 ３ 炉フード ４ 真空ポンプ ５ プラズマ発生器 ６ ガイドレール ７ チャージ支持体 ８ 部材チャージ ９ 補助電極 １０ 導線 １１ 導線 １２ スイッチ １３ 電流測定装置（ＩHE） １４ 電流測定装置（ＩG） １５ 制御器
フロントページの続き (72)発明者 ベルント・エデンホファー ドイツ国、クレベ・47533、ホルダルリン ストラーセ（番地なし)
Claims (5)
- 【請求項１】 熱処理炉内で、既知の表面積ＦHEを有す
る補助電極を用いてプラズマ熱処理する際に部材を流れ
る電流密度を制御する方法において、下記の工程を備え
たことを特徴とする部材を流れる電流密度を制御する方
法。 ａ）前記熱処理炉内で中性ガスを用いてプラズマを発生
させ、 ｂ）前記炉内の全電流ＩG と補助電極を流れる電流ＩHE
を測定し、 ｃ）次の式に従ってチャージ表面積ＦCHを計算し： ＦCH＝ＩG ・ＦHE／ＩHE−ＦHE ｄ）前記補助電極をオフにし、 ｅ）物質を伝達するプラズマを発生させ、 ｆ）所望の電流密度目標値Ｊsollを制御するために調節
すべき全電流ＩGsollを次の式に従って計算し： ＩGsoll ＝ＦCH・Ｊsoll ｇ）炉内の全電流ＩG を測定して、ＩG をＩGsoll に制
御する。 - 【請求項２】 前記中性ガスとしてアルゴン、ネオン、
ヘリウムまたは水素のいずれかを使用することを特徴と
する請求項１に記載の電流密度を制御する方法。 - 【請求項３】 物質を伝達するプラズマを発生させるた
めに、窒化ガス、滲炭ガスまたはホウ化ガスのいずれか
を使用することを特徴とする請求項１に記載の電流密度
を制御する方法。 - 【請求項４】 炉室（２）を備えたプラズマ熱処理炉
（１）と、前記炉室内に配置されたチャージ支持体
（７）と補助電極（９）と、かつ前記チャージ支持体
（７）と補助電極（９）に電圧源を介して同一の極性で
給電可能である熱処理装置において、 前記熱処理炉（１）内の全電流ＩG が電流測定装置（１
４）を介して測定可能であり、かつ前記電流測定装置
（１４）と補助電極（９）との間に補助電極（９）を流
れる電流ＩHEを測定する電流測定装置（１３）と、補助
電極（９）をオフにするスイッチ（１２）が接続されて
いることを特徴とするプラズマ熱処理装置。 - 【請求項５】 前記全電流ＩG を測定する電流測定装置
（１４）が電流制御器（１５）と接続されていることを
特徴とする請求項４に記載のプラズマ熱処理装置。
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