JPH0936197A - 生産管理方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 安価でかつ生産ラインのスペースを有効活用
し、さらに被処理物の先入れ先出しを実現する生産管理
方法および装置を提供する。 【構成】 半導体ウェハ１の生産進度を管理する進度管
理部と、前記進度管理部と接続されかつ前記進度管理部
に格納された生産進度情報を表示するパソコン３と、半
導体ウェハ１が収容された収容ケース４を保管しかつパ
ソコン３と接続されたシーケンサ５を備えた保管棚６
と、半導体ウェハ１のロット番号７をパソコン３に入力
するバーコードリーダ８とからなり、保管棚６には、収
容ケース４の有無を検知するセンサ９とセンサ９による
検知情報を示す表示ＬＥＤ１０とが設置され、シーケン
サ５がセンサ９と表示ＬＥＤ１０とを制御することによ
り、収容ケース４の入出庫制御を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被処理物の生産管理技
術に関し、特に半導体ウェハの製造工程における生産管
理方法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】以下に説明する技術は、本発明を研究、
完成するに際し、本発明者によって検討されたものであ
り、その概要は次のとおりである。

【０００３】自動天井搬送車などの自動搬送設備（以
降、自動搬送システムと呼ぶ）が導入されていない生産
ラインでは、作業台が製品（例えば、半導体ウェハなど
の被処理物を収容した収容ケース）置き場として用いら
れることがあり、その場合、前記製品が仕掛かり工程毎
に区分して載置され、所定の時間毎に整理するなどの工
夫をしてロット保管している。

【０００４】また、生産ラインによっては、ファンなど
を備えた保管棚を導入してロット保管を行うこともあ
る。

【０００５】さらに、被処理物、例えば、半導体ウェハ
の生産進行管理は、マグネット盤を用いて、各工程毎に
どの品種のどのロットが仕掛かっているのかを把握して
いる。

【０００６】また、被処理物の生産進度を管理する生産
進度管理方式（以降、生産進度管理システムと呼ぶ）が
導入されている生産ラインでは、それらの仕掛かりロッ
トを一覧表示するなど様々な管理機能を駆使して進行管
理を行っている。

【０００７】なお、工場内において自動化が進んだ生産
ラインでは、自動ストッカが適用されており、前記生産
進度管理システムと連動した生産管理方式が確立されて
いる。

【０００８】さらに、前記生産ラインでは、各ロット毎
の目標進行に対する遅延度管理、品種・工程による同一
条件製品のグループ管理を自動化して生産進行管理を行
っている。

【０００９】ここで、半導体ウェハの製造工程における
自動搬送システムを用いた生産管理については、例え
ば、株式会社工業調査会発行「超ＬＳＩ製造・試験装置
ガイドブック＜１９９５年版＞」電子材料１１月号別
冊、１９９４年１１月２５日発行、１４１〜１４５頁に
記載されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した技
術において、古い生産ラインでは自動搬送システムの様
な大掛かりなシステムを構築することは不可能である。
しかし、生産進行管理を行うことは、生産進度管理シス
テムが導入された生産ラインを見て判る様にその効果は
大きく、自動搬送システムの構築できない生産ラインへ
の生産進度管理システムの適用が必要とされる。

【００１１】ここで、古い生産ラインにそのまま生産進
度管理システムを導入すると、リスト上の管理は可能で
あるが、作業者へのハード的なサポート、つまり、保管
棚などを用いた生産進度管理では無いため、管理が難し
くなる。

【００１２】すなわち、リスト上で優先度の高いロット
がある場合、そのロット自体が生産ラインのどこに置か
れているか判らず、ロット検索の作業ロスが大きくなる
という問題がある。

【００１３】そこで、本発明の目的は、安価でかつ生産
ラインのスペースを有効活用し、さらに被処理物の先入
れ先出しを実現する生産管理方法および装置を提供する
ことにある。

【００１４】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１６】すなわち、本発明の生産管理方法は、半導
体ウェハなどの被処理物が収容された収容ケースのロッ
ト番号を、前記被処理物の生産進度を管理する進度管理
部と接続された端末部に入力し、前記ロット番号を入力
した収容ケースを保管棚に保管し、前記端末部と接続さ
れかつ前記保管棚に設けられたシーケンサによって、前
記被処理物の入出庫制御を行い、前記進度管理部に格納
された前記被処理物のロット単位の生産進度情報を前記
端末部に表示することにより、前記保管棚に保管された
前記被処理物の在庫情報をロット単位で管理するもので
ある。

【００１７】また、本発明の生産管理方法における前記
被処理物の入出庫制御は、前記保管棚に設けられた検知
手段によって前記収容ケースの有無を検知し、前記収容
ケースの有無などの検知情報に基づいて前記保管棚に設
けられた表示手段が点灯または点滅するものである。

【００１８】さらに、本発明の生産管理方法は、前記保
管棚に設置されたファンによって空気を導入し、導入後
の空気をフィルタを通して前記保管棚のケース収容部に
供給するものである。

【００１９】なお、本発明の生産管理方法は、前記端末
部において前記生産進度情報を表示する際に、処理優先
度の高いロット順に並べ替えてロット単位のリスト形式
で表示するものである。

【００２０】また、本発明の生産管理装置は、半導体ウ
ェハなどの被処理物をロット単位で生産進度を管理する
進度管理部と、前記進度管理部と接続されかつ前記進度
管理部に格納された前記被処理物のロット単位の生産進
度情報を表示する端末部と、前記被処理物が収容された
収容ケースを保管しかつ前記端末部と接続されたシーケ
ンサを備えた保管棚と、前記収容ケースのロット番号を
前記端末部に入力する入力手段とを有し、前記保管棚
に、前記収容ケースの有無を検知する検知手段と、前記
検知手段による検知情報を示す表示手段とが設置され、
前記検知手段および前記表示手段がそれぞれ前記シーケ
ンサと接続されているものである。

【００２１】さらに、本発明の生産管理装置は、前記保
管棚に、外部から空気を導入して前記保管棚のケース収
容部に前記空気を供給するファンと、前記空気を前記ケ
ース収容部に供給する直前に通過させるフィルタとが設
置されているものである。

【００２２】なお、本発明の生産管理装置は、前記ケー
ス収容部に前記収容ケースを載置する際の位置決め手段
が設けられているものである。

【００２３】

【作用】上記した手段によれば、保管棚に、収容ケース
の有無を検知する検知手段と、検知手段による検知情報
を示す表示手段とが設置され、かつ検知手段および表示
手段がそれぞれシーケンサと接続され、さらに、シーケ
ンサが端末部と接続されていることにより、検知手段お
よび表示手段をシーケンサによって制御することができ
る。

【００２４】その結果、端末部を用いて被処理物の入出
庫管理を行うことができる。

【００２５】また、端末部が進度管理部に接続されてい
るため、保管棚に保管された被処理物の在庫情報をロッ
ト単位で自動管理することができる。

【００２６】したがって、処理順序を正確に判断できる
ことにより、処理時間の短縮またはばらつきを低減する
ことができる。

【００２７】その結果、保管棚による安価な被処理物の
ロット単位の管理を実現することができる。

【００２８】さらに、在庫情報をロット単位で自動管理
し、かつ処理順序を正確に判断できることにより、保管
棚に保管された被処理物の先入れ先出しを可能にするこ
とができる。

【００２９】なお、端末部が保管棚および進度管理部と
接続されていることにより、被処理物の検索速度を向上
させることができ、管理作業全体の効率を向上させるこ
とができる。

【００３０】また、保管棚に、外部から空気を導入して
収容ケースのケース収容部に空気を供給するファンと、
前記空気をケース収容部に供給する直前に通過させるフ
ィルタとが設置されていることにより、保管棚内の雰囲
気をクリーンにすることができる。

【００３１】その結果、作業者が通る通路などであって
も保管棚を配置することが可能になり、クリーン度の高
い作業エリアとして生産ラインのスペースを有効活用す
ることができる。

【００３２】また、端末部が進度管理部と接続されてい
ることにより、端末部において被処理物の在庫情報を検
索することができ、その結果、被処理物のロット番号、
品名、仕掛かり工程、限定装置もしくは前工程完成時刻
遅延度などの種々の条件を作業者へ提供することが可能
になる。

【００３３】さらに、保管棚のケース収容部に収容ケー
スを載置する際の位置決め手段が設けられていることに
より、ケース収容部に収容ケースを精度良く載置するこ
とができ、その結果、保管棚における入出庫管理を高精
度に行うことができる。

【００３４】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００３５】図１（ａ),（ｂ),（ｃ）は本発明による生
産管理装置の構造の一実施例を示す図であり、（ａ) は
保管棚の斜視図、（ｂ) は（ａ) におけるＡ部の部分拡
大斜視図、（ｃ) は（ｂ) に示す検知手段の拡大部分断
面図、図２は本発明による生産管理装置の構造の一実施
例を示す構成概念図、図３は本発明による生産管理方法
における入庫作業の手順の一実施例を示すフローチャー
ト、図４は本発明による生産管理方法における出庫作業
の手順の一実施例を示すフローチャート、図５は本発明
による生産管理装置の端末部に表示されるリストの一実
施例を示す概念図である。

【００３６】本実施例の生産管理装置は、半導体製造工
場などにおいて、被処理物の一例である半導体ウェハ１
をロット単位で管理する装置であり、図１，２を用いて
その構成について説明すると、半導体ウェハ１の生産進
度を管理する進度管理部２と、進度管理部２と接続され
かつ進度管理部２に格納された半導体ウェハ１のロット
単位の生産進度情報を表示する端末部であるパーソナル
コンピュータ（以降、パソコンと略す）３と、半導体ウ
ェハ１が収容された収容ケース４を保管しかつパソコン
３と接続されたシーケンサ５を備えた保管棚６と、半導
体ウェハ１のロット番号７をパソコン３に入力する入力
手段であるバーコードリーダ８とからなるものである。

【００３７】さらに、保管棚６には、収容ケース４の有
無を検知する検知手段であるセンサ９と、センサ９によ
る検知情報を示す表示手段である表示ＬＥＤ１０とが設
置され、センサ９および表示ＬＥＤ１０がそれぞれシー
ケンサ５と接続されている。

【００３８】なお、バーコードリーダ８は、収容ケース
４に取り付けられたロット番号７を表すバーコードを読
み取るものである。

【００３９】また、保管棚６には、外部１１から空気１
２を導入して保管棚６のケース収容部６ａに空気１２を
供給するファンであるシロッコファン１３と、空気１２
をケース収容部６ａに供給する直前に通過させるＵＬＰ
Ａ（Ultra Low PenetrationAir-filter) フィルタ１４
とが設置されている。

【００４０】さらに、保管棚６のケース収容部６ａに
は、収容ケース４を載置する際の位置決め手段である突
起部６ｂが収容ケース４の幅とほぼ同間隔で複数個設け
られている。

【００４１】ここで、進度管理部２は、半導体ウェハ１
に関して、各工程毎にどの品種のどのロットの半導体ウ
ェハ１が仕掛かっているかなどのロット単位の生産進度
情報を管理するとともに半導体ウェハ１の在庫管理を行
うものである。

【００４２】また、シロッコファン１３は、外部１１か
ら空気１２を導入するものであり、導入した空気１２を
ケース収容部６ａ奥の全面に渡って設置されたＵＬＰＡ
フィルタ１４に通過せさ、その後、洗浄した空気１２を
ケース収容部６ａに供給する。その結果、ケース収容部
６ａ付近を除塵することができる。

【００４３】さらに、シーケンサ５には、検知手段であ
るセンサ９と、表示手段である表示ＬＥＤ１０および警
告ＬＥＤ１５が配線、すなわち接続されており、シーケ
ンサ５とパソコン３とによっても保管棚６における在庫
管理が行われる。

【００４４】ここで、センサ９は、例えば、反射式のフ
ォトセンサであり、収容ケース４の位置決め手段である
突起部６ｂに案内されて収容ケース４がケース収容部６
ａに載置されると、センサ９からシーケンサ５にＯＮ信
号が送られる。

【００４５】なお、シーケンサ５は生産ラインのパソコ
ン３と端末接続用ケーブルなどによって接続されてい
る。

【００４６】また、パソコン３による在庫管理は、例え
ば、１秒間隔でシーケンサ５に状態変化を間い合わせる
形式で行われ、ほぼリアルタイムな在庫管理を実現す
る。

【００４７】ここで、パソコン３においては、前記状態
変化のあった箇所に対して、どのような状態からどのよ
うな状態へ変化したのかを監視しており、それに合わせ
て表示ＬＥＤ１０および警告ＬＥＤ１５の動作指示をシ
ーケンサ５に送信する。

【００４８】これにより、シーケンサ５が表示ＬＥＤ１
０または警告ＬＥＤ１５の動作を制御し、表示ＬＥＤ１
０または警告ＬＥＤ１５を点灯、点滅または消灯させ
る。

【００４９】次に、本実施例の生産管理方法について説
明する。

【００５０】まず、半導体ウェハ１が収容された収容ケ
ース４の仮置き台への仮置き１６を行う。

【００５１】その後、収容ケース４に設けられたバーコ
ードをバーコードリーダ８によって読み取り、収容ケー
ス４に収容された半導体ウェハ１のロット番号７のパソ
コン３への入力であるバーコード入力１７を行う。

【００５２】これにより、パソコン３にロット番号７を
認識させ、さらに、パソコン３を介して進度管理部２に
ロット番号７を認識させる。

【００５３】その後、収容ケース４の保管棚６への入庫
であるロット入庫１８を行って、収容ケース４を保管棚
６のケース収容部６ａに載置する。

【００５４】ここで、ロット番号７のバーコード入力１
７を行った後、パソコン３を介してシーケンサ５が収容
ケース４の入庫を認識すると、正常入庫として受け付
け、シーケンサ５が表示ＬＥＤ１０を点灯させる（ただ
し、表示ＬＥＤ１０を所定時間点滅させてもよい）。

【００５５】つまり、センサ９が収容ケース４の存在を
検知すると、その検知情報に基づいてシーケンサ５が表
示ＬＥＤ１０を点灯させる。

【００５６】なお、ロット番号７のバーコード入力１７
を行わないで入庫した場合、異常入庫として表示手段で
ある警告ＬＥＤ１５を点滅させ、作業者に対して正規の
手順で入庫作業を行うように警告する。

【００５７】さらに、ロット番号７のバーコード入力１
７を行った後、収容ケース４がロット入庫されなかった
場合は、例えば、６０秒間のタイマー監視により、バー
コード入力１７を無効とする。

【００５８】その後、入力されたロット番号７に基づい
て、進度管理部２に格納された半導体ウェハ１の生産進
度情報をパソコン３上にロットリスト１９として表示す
る。

【００５９】この時、パソコン３において前記生産進度
情報を表示する際に、処理優先度の高いロット順に並べ
替えてロットリスト１９に示すようなロット単位のリス
ト形式で表示する。

【００６０】なお、作業者は、ロットリスト１９を見る
ことにより、半導体ウェハ１の仕掛かりロットを把握す
ることができる。さらに、ロットリスト１９は保管棚６
内の在庫情報を知るだけでなく、工程指定、品種指定、
工程・品種指定、限定装置指定（処理を行うに当たり使
用した装置の指定）など作業者の要望に合わせた検索を
行うことができる。

【００６１】また、検索条件の指定は、例えば、予め用
意したバーコードシート（検索条件が組み込まれたも
の）を用いて、前記検索条件を指定することにより、前
記検索条件と合致したロットだけロットリスト１９上に
表示する。

【００６２】これにより、作業者はバーコード指定リス
ト表示２０を行う。

【００６３】この時、前記したように、優先度の高いロ
ットを探し出しやすい様、ロットリスト１９はいくつか
のルールにより、半導体ウェハ１のロットをソートして
表示する。

【００６４】例えば、１つのソートルールとして、遅延
度順ソートがある。これは、基準工完に対して遅れの大
きいロット順に半導体ウェハ１のロットをソートするも
のである。

【００６５】また、他のソートルールとして、工程ソー
トがある。これは、検索時に、検索モードの工程の箇所
に何も入力しないでロットリスト１９を表示させること
によって、全てのロットを各工程ごとにまとめた状態に
ソートするものである。

【００６６】その後、作業者はロットリスト１９上で、
次に着工する所定のロット番号７、すなわち処理ロット
番号を選択して、他の半導体ウェハ１の出庫指示を掛け
るロット出庫指示２１を行う。

【００６７】その結果、保管棚６から出庫指示の掛かっ
た収容ケース４の出庫であるロット取り出し２２を行
う。

【００６８】ここで、出庫する際には、パソコン３上で
カーソルを出庫したいロットに合わせる（出庫したいロ
ットを選択する）ことによって、出庫指示をかけること
ができ、これにより、前記処理ロット番号の半導体ウェ
ハ１を収容した収容ケース４の載置箇所（つまり、保管
棚６のケース収容部６ａにおいて、前記処理ロット番号
の半導体ウェハ１を収容した収容ケース４が載置されて
いる箇所）の表示ＬＥＤ１０が、点灯から点滅に変化す
る。

【００６９】したがって、作業者は、表示ＬＥＤ１０が
点滅することにより、前記処理ロット番号の半導体ウェ
ハ１を収容した収容ケース４が載置されている箇所を知
ることができ、そこから収容ケース４を取り出すことが
できる。収容ケース４を取り出すと、シーケンサ５の制
御によって表示ＬＥＤ１０が消灯する。

【００７０】また、出庫指示をかけても所定のロットが
出庫されなかった場合は、例えば、６００秒間のタイマ
ー監視により、その出庫指示を取り消す。

【００７１】なお、出庫指示の掛かっているロットは、
ロットリスト１９における出庫指示済みロット表示欄２
４に表示され、例えば、最大６件までの指示を同時にす
ることができる。

【００７２】その後、取り出した収容ケース４を治具に
載置する製品運搬治具へのセット２３を行う。

【００７３】その結果、シーケンサ５によって、半導体
ウェハ１を収容した収容ケース４のの入出庫制御を行う
ことができる。

【００７４】また、保管棚６には、シロッコファン１３
とＵＬＰＡフィルタ１４とが設置されているため、シロ
ッコファン１３によって外部１１から空気１２を導入
し、導入後の空気１２をＵＬＰＡフィルタ１４を通して
ケース収容部６ａに供給している。

【００７５】次に、本実施例の生産管理方法および装置
によれば、以下のような作用効果が得られる。

【００７６】すなわち、保管棚６に、収容ケース４の有
無を検知するセンサ９と、センサ９による検知情報を示
す表示ＬＥＤ１０とが設置され、かつセンサ９および表
示ＬＥＤ１０がそれぞれシーケンサ５と接続され、さら
に、シーケンサ５がパソコン３と接続されていることに
より、センサ９および表示ＬＥＤ１０をシーケンサ５に
よって制御することができる。

【００７７】その結果、パソコン３を用いて半導体ウェ
ハ１が収容された収容ケース４の入出庫管理を行うこと
ができる。

【００７８】また、パソコン３が進度管理部２に接続さ
れているため、保管棚６に保管された半導体ウェハ１の
在庫情報をロット単位で自動管理することができる。

【００７９】したがって、処理順序を正確に判断できる
ことにより、処理時間の短縮またはばらつきを低減する
ことができる。

【００８０】その結果、保管棚６による半導体ウェハ１
のロット単位の安価な管理を実現することができる。

【００８１】さらに、半導体ウェハ１の在庫情報をロッ
ト単位で自動管理し、かつ処理順序を正確に判断できる
ことにより、保管棚６に保管された半導体ウェハ１のロ
ット単位の着工の優先度を管理することができる。

【００８２】その結果、半導体ウェハ１の先入れ先出し
を可能にすることができる。

【００８３】なお、パソコン３が保管棚６および進度管
理部２と接続されていることにより、ロット単位の半導
体ウェハ１の検索速度を向上することができ、管理作業
全体の効率を向上させることができる。

【００８４】また、保管棚６にシロッコファン１３と、
ＵＬＰＡフィルタ１４とが設置されていることにより、
保管棚６内の雰囲気をクリーンにすることができる。

【００８５】その結果、作業者などが通る通路などであ
っても保管棚６を配置することが可能になり、クリーン
度の高い作業エリアとして生産ラインのスペースを有効
活用することができる。

【００８６】また、パソコン３が進度管理部２と接続さ
れていることにより、パソコン３において半導体ウェハ
１のロット単位の在庫情報を検索することができ、その
結果、半導体ウェハ１のロット番号７、品名、仕掛かり
工程、限定装置もしくは前工程完成時刻遅延度などの種
々の条件を作業者へ提供することが可能になる。

【００８７】さらに、保管棚６のケース収容部６ａに収
容ケース４を載置する際の位置決め手段である突起部６
ｂが設けられていることにより、ケース収容部６ａに収
容ケース４を精度良く載置することができ、その結果、
保管棚６における入出庫管理を高精度に行うことができ
る。

【００８８】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。

【００８９】例えば、前記実施例においては、保管棚に
設置されるフィルタとしてＵＬＰＡフィルタを取り上げ
て説明したが、前記フィルタは、ＨＥＰＡ（High Effic
iency Particulate Air-filter) などの他のフィルタで
あってもよい。

【００９０】さらに、被処理物を入庫する際のロット番
号の入力手段は、バーコード入力に限らず、端末部に設
置されたキーボードによる入力であってもよい。

【００９１】また、保管棚に設置されるファンはシロッ
コファンに限らず、他の軸流式のファンなどであっても
よい。

【００９２】なお、前記実施例による被処理物は半導体
ウェハに限らず、収容ケースなどに収容して保管棚に保
管するものであれば、他の電子部品や機械加工部品など
であってもよい。

【００９３】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００９４】（１）．保管棚に、収容ケースの有無を検
知する検知手段と、検知手段による検知情報を示す表示
手段とが設置され、かつ検知手段および表示手段がそれ
ぞれシーケンサと接続され、さらに、シーケンサが端末
部と接続されていることにより、検知手段および表示手
段をシーケンサによって制御することができる。

【００９５】その結果、端末部を用いて被処理物の入出
庫管理を行うことができる。

【００９６】（２）．端末部が進度管理部に接続されて
いるため、保管棚に保管された被処理物の在庫情報をロ
ット単位で自動管理することができる。したがって、処
理順序を正確に判断できることにより、処理時間の短縮
またはばらつきを低減することができる。その結果、保
管棚による被処理物のロット単位の安価な管理を実現す
ることができる。

【００９７】（３）．在庫情報をロット単位で自動管理
し、かつ処理順序を正確に判断できることにより、保管
棚に保管された被処理物のロット単位の着工の優先度を
管理することができ、その結果、被処理物の先入れ先出
しを実現することができる。

【００９８】（４）．端末部が保管棚および進度管理部
と接続されていることにより、被処理物の検索速度を向
上することができ、管理作業全体の効率を向上させるこ
とができる。

【００９９】（５）．保管棚に、外部から空気を導入し
て収容ケースのケース収容部に空気を供給するファン
と、前記空気をケース収容部に供給する直前に通過させ
るフィルタとが設置されていることにより、保管棚内の
雰囲気をクリーンにすることができる。その結果、作業
者が通る通路などであっても保管棚を配置することが可
能になり、クリーン度の高い作業エリアとして生産ライ
ンのスペースを有効活用することができる。

【０１００】（６）．端末部が進度管理部と接続されて
いることにより、端末部において被処理物の在庫情報を
検索することができ、その結果、被処理物のロット番
号、品名、仕掛かり工程、限定装置もしくは前工程完成
時刻遅延度などの種々の条件を作業者へ提供することが
可能になる。

【０１０１】（７）．保管棚のケース収容部に収容ケー
スを載置する際の位置決め手段が設けられていることに
より、ケース収容部に収容ケースを精度良く載置するこ
とができ、その結果、保管棚における入出庫管理を高精
度に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ),（ｂ),（ｃ）は本発明による生産管理装
置の構造の一実施例を示す図であり、（ａ) は保管棚の
斜視図、（ｂ) は（ａ) におけるＡ部の部分拡大斜視
図、（ｃ) は（ｂ) に示す検知手段の拡大部分断面図で
ある。

【図２】本発明による生産管理装置の構造の一実施例を
示す構成概念図である。

【図３】本発明による生産管理方法における入庫作業の
手順の一実施例を示すフローチャートである。

【図４】本発明による生産管理方法における出庫作業の
手順の一実施例を示すフローチャートである。

【図５】本発明による生産管理装置の端末部に表示され
るリストの一実施例を示す概念図である。

【符号の説明】

１ 半導体ウェハ（被処理物） ２ 進度管理部 ３ パソコン（端末部） ４ 収容ケース ５ シーケンサ ６ 保管棚 ６ａ ケース収容部 ６ｂ 突起部（位置決め手段） ７ ロット番号 ８ バーコードリーダ（入力手段） ９ センサ（検知手段） １０ 表示ＬＥＤ（表示手段） １１ 外部 １２ 空気 １３ シロッコファン（ファン） １４ ＵＬＰＡフィルタ（フィルタ） １５ 警告ＬＥＤ（表示手段） １６ 仮置き台への仮置き １７ バーコード入力 １８ ロット入庫 １９ ロットリスト ２０ バーコード指定リスト表示 ２１ ロット出庫指示 ２２ ロット取り出し ２３ 製品運搬治具へのセット ２４ 出庫指示済みロット表示欄

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウェハなどの被処理物をロット単
   位で管理する生産管理方法であって、 入庫する被処理物のロット番号を、前記被処理物の生産
   進度を管理する進度管理部と接続された端末部に入力
   し、 前記ロット番号を入力した被処理物を収容ケースごと保
   管棚に入庫し、 入力されたロット番号に基づいて、前記進度管理部に格
   納された前記被処理物の生産進度情報を前記端末部に表
   示し、 前記生産進度情報の中から着工する処理ロット番号を選
   択し、 前記端末部上で前記処理ロット番号の被処理物の出庫指
   示を掛けることにより、前記保管棚から前記被処理物が
   収容された収容ケースを出庫し、 前記端末部と接続されたシーケンサによって、前記被処
   理物の入出庫制御を行うことを特徴とする生産管理方
   法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の生産管理方法であって、
   前記シーケンサは、前記収容ケースの有無を検知する検
   知手段の検知情報に基づいて前記保管棚に設けられた表
   示手段の点灯または点滅制御を行うことを特徴とする生
   産管理方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の生産管理方法で
   あって、前記端末部において前記生産進度情報を表示す
   る際に、処理優先度の高いロット順に並べ替えてロット
   単位のリスト形式で表示することを特徴とする生産管理
   方法。
4. 【請求項４】 請求項１，２または３記載の生産管理方
   法であって、前記端末部上に表示されたリストにおい
   て、所定のロット番号を選択することにより、前記ロッ
   ト番号の被処理物を収容した収容ケースの載置箇所の表
   示手段が点滅または点灯することを特徴とする生産管理
   方法。
5. 【請求項５】 請求項１，２，３または４記載の生産管
   理方法であって、前記保管棚に設置されたファンによっ
   て空気を導入し、導入後の空気をフィルタを通して前記
   保管棚のケース収容部に供給することを特徴とする生産
   管理方法。
6. 【請求項６】 半導体ウェハなどの被処理物のロット単
   位の管理を行う生産管理装置であって、 前記被処理物の生産進度を管理する進度管理部と、 前記進度管理部と接続され、かつ前記進度管理部に格納
   された前記被処理物のロット単位の生産進度情報を表示
   する端末部と、 前記被処理物が収容された収容ケースを保管し、かつ前
   記端末部と接続されたシーケンサを備えた保管棚と、 前記被処理物のロット番号を前記端末部に入力する入力
   手段とを有し、 前記保管棚に、前記収容ケースの有無を検知する検知手
   段と、前記検知手段による検知情報を示す表示手段とが
   設置され、前記検知手段および前記表示手段がそれぞれ
   前記シーケンサと接続されていることを特徴とする生産
   管理装置。
7. 【請求項７】 請求項６記載の生産管理装置であって、
   前記入力手段は前記被処理物のロット番号を表すバーコ
   ードを読み取るバーコードリーダであることを特徴とす
   る生産管理装置。
8. 【請求項８】 請求項６または７記載の生産管理装置で
   あって、前記保管棚に、外部から空気を導入して前記保
   管棚のケース収容部に前記空気を供給するファンと、前
   記空気を前記ケース収容部に供給する直前に通過させる
   フィルタとが設置されていることを特徴とする生産管理
   装置。
9. 【請求項９】 請求項６，７または８記載の生産管理装
   置であって、前記保管棚のケース収容部に前記収容ケー
   スを載置する際の位置決め手段が設けられていることを
   特徴とする生産管理装置。