JP2004342905A - 半導体装置の生産システム - Google Patents
半導体装置の生産システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004342905A JP2004342905A JP2003139067A JP2003139067A JP2004342905A JP 2004342905 A JP2004342905 A JP 2004342905A JP 2003139067 A JP2003139067 A JP 2003139067A JP 2003139067 A JP2003139067 A JP 2003139067A JP 2004342905 A JP2004342905 A JP 2004342905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lot
- semiconductor device
- function
- storage case
- production system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】生産工程の簡素化を計り、人為的な介在を最小限にした半導体装置の生産システムを提供すること。
【解決手段】半導体装置の半製品を収納する各々のケースを識別するバーコード１５Ａ〜１５Ｃを具備した収納ケース１４Ａ〜１４Ｃと、このバーコード１５Ａ〜１５Ｃを読込み、無線でコンピュータ５と通信できる無線バーコードリーダー１１とを具備し、さらに、前記コンピュータ５は前記無線バーコードリーダー１１から受信した情報を元に前記収納ケース１４Ａ〜１４Ｃに収納されている半製品の製造過程の合否結果を判断する判断機能と、この合否結果を作業者に伝達する伝達機能、およびこの合否結果により作業者または半導体製造装置に指示する指示機能とを備えている。
【選択図】 図１
【解決手段】半導体装置の半製品を収納する各々のケースを識別するバーコード１５Ａ〜１５Ｃを具備した収納ケース１４Ａ〜１４Ｃと、このバーコード１５Ａ〜１５Ｃを読込み、無線でコンピュータ５と通信できる無線バーコードリーダー１１とを具備し、さらに、前記コンピュータ５は前記無線バーコードリーダー１１から受信した情報を元に前記収納ケース１４Ａ〜１４Ｃに収納されている半製品の製造過程の合否結果を判断する判断機能と、この合否結果を作業者に伝達する伝達機能、およびこの合否結果により作業者または半導体製造装置に指示する指示機能とを備えている。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の半製品を収納した収納ケースにバーコードを付し、これを管理情報として利用した半導体装置の生産システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の半導体装置の生産システムにおいては、製品情報が記載されている伝票であるトラベルシートが、製造単位（以下、ロットと呼ぶ）毎に発行され、製品と共に各工程に送付される。従来の生産システムにおいては、このトラベルシートに記載されている製品情報と現物とを、人が照合して判断していた。
【０００３】
また、１ロット分の半製品を収納するためには、ウェハー収納ケースのような半製品収納ケース２個、マガジンが３個から８個というように、複数個の収納ケースあるいはマガジンを必要とした。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の生産システムにおいては、トラベルシートと半製品とを作業員が判断していたため、人為的な間違いにより不良品を生産することがあった。
【０００５】
また、１ロットの半製品を収納するために、複数個の収納ケースやマガジンを必要とする場合、他のロットの収納ケースやマガジンあるいはＣ型カセットが混入するという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、生産工程の簡素化を計り、人為的な介在を最小限にした半導体装置の生産システムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の生産システムは、半導体装置を生産する製造工程において、半導体装置の半製品を収納する各々のケースを識別するバーコードを具備した収納ケースと、このバーコードを読込み、無線でコンピュータと通信できる無線バーコードリーダーとを具備し、さらに、前記コンピュータは前記無線バーコードリーダーから受信した情報を元に前記収納ケースに収納されている半製品の製造過程の合否結果を判断する判断機能と、この合否結果を作業者に伝達する伝達機能、およびこの合否結果により作業者または半導体製造装置に指示する指示機能を備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の半導体装置の生産システムにおいては、前記判断機能は、各工程のロット投入時または払出し時に、作業順序の整合性を確認する整合性確認機能を有することを特徴とするものである。
【０００９】
さらに、本発明の半導体装置の生産システムにおいては、前記整合性確認機能は、各工程のロット投入時および払出し時にロットの収納ケースを確認する収納ケース確認機能を有することを特徴とするものである。
【００１０】
さらに、本発明の半導体装置の生産システムにおいては、前記指示機能は、払出し時に次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける製造番号を作業者に指示することを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図１乃至図７について説明する。図１は、本発明による実施形態のシステム構成と無線バーコードリーダーとを示した図で、（Ａ）はシステム構成の構成ブロック図、（Ｂ）は無線バーコードリーダーの斜視図である。
【００１２】
同図（Ａ）において、管理センター（図示せず。）にはコンピュータ５が設置されている。このコンピュータ５には、工程順位を定義するマスターが登録されているデータベースである工程順位定義マスター６、工程管理データベース７、モニター８、無線バーコードリーダー通信機９等が通信回線１０を介して接続されており、これら相互の間でデータの受け渡しが出来るように構成されている。
【００１３】
また、この無線バーコードリーダー通信機９は、同図（Ｂ）に示した無線バーコードリーダー１１と情報のやり取りを無線で行うシステムであり、無線バーコードリーダー１１には、メッセージを表示するモニター１１Ａと、ブザーを発するスピーカー１１Ｂと、簡単な情報を入力することが出来る入力部１１Ｃ等が備えられている。
【００１４】
図２は、本発明による半導体装置の組立工程の順序を示す工程ブロック図で、投入工程１２Ａから各工程、すなわち、ウエハマウント１２Ｂ、ダイシング１２Ｃ、マウント１２Ｄ、マウントキュア１２Ｅ、ボンディング１２Ｆ、モールド１２Ｇ、モールドアフターキュア１２Ｈ、Ｐｏ１２Ｉ、リン酸１２Ｊ、外装１２Ｋ、およびＴ／Ｆ１２Ｌ等の各工程順位で製品が生産される様子を示している。
【００１５】
そして、これらの各工程には、その各工程を識別するために、工程ＩＤ１３Ａ〜１３Ｌが添付されている。
【００１６】
なお、この工程ＩＤは半導体装置を識別するための装置ＩＤでもよい。
【００１７】
この一連の組立工程において、製造工程への投入１２Ａからダイシング工程１２Ｃまでの各工程には製造途中の半製品を収納する収納ケース１４Ａ，１４Ｂ，および１４Ｃがそれぞれの工程に置かれており、この各収納ケース１４Ａ〜１４Ｃには他の収納ケースと識別が出来るように、収納ケースＩＤとして、バーコード１５Ａ〜１５Ｃが各収納ケース１４Ａ〜１４Ｃそれぞれに添付されている。
【００１８】
そして、半導体装置を製造する際には、ロット毎に、図３に示したトラベルシート１６が発行されて収納ケース１４Ａ〜１４Ｃそれぞれに入れられ、次の工程に送られる。
【００１９】
なお、このトラベルシート１６にはロットを識別するためのロットＩＤとしてバーコード１６Ａが添付されている。
【００２０】
また、マウント１２Ｄからボンディング１２Ｆまでの各工程には、工程毎に複数個のマガジン１７Ａ〜１７Ｃそれぞれが設置されていて、このマガジン１７Ａ〜１７Ｃであることを識別するマガジンＩＤがバーコード１８Ａ〜１８Ｃとして添付されている。
【００２１】
さらに、ボンディング１２Ｆの次工程であるモールド１２ＧからＴ／Ｆ１２Ｌの各工程までには、各工程に複数個のＣ型カセット１９Ａ〜１９Ｆそれぞれが設置されていて、これらＣ型カセット１９Ａ〜１９Ｆにも、工程毎のＣ型カセットであることを識別するために、カセットＩＤがバーコード２０Ａ〜２０Ｆとして添付されている。
【００２２】
図４は、図１（Ａ）に示した工程順位定義マスター６と、工程管理データベース７に記録されているデータ、および無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））から送られる整合性確認用データ等を説明するための説明図である。同図において、工程順位定義マスターデータ２１は、半導体装置を製造する前にあらかじめ作成し、工程順位定義マスター６に登録されるもので、製品の製造過程を表すプロセスＩＤ２１Ａ毎に準備される。同図では、プロセスＩＤ“ＡＫ０３２”に関するデータを表している。
【００２３】
また、製品の工程順序は工程ＩＤ２１Ｂであらわされており、本実施形態では工程ＩＤ２１Ｂが製造ラインの工程順に“マウントＩＮ”から“ボンディングＯＵＴ”まで記録されている。
【００２４】
この工程ＩＤ２１Ｂには工程ＩＤ２１Ｃと収納ケース入替え２１Ｄの各項目があり、また、工程ＩＤ２１Ｃには工程名“ウエハマウンド〜ボンディング”と工程の投入（以下、ＩＮと呼ぶ）か払出し（以下、ＯＵＴと呼ぶ）かの情報が記録されている。
【００２５】
そして、収納ケース入替え２１Ｄには、ＯＵＴの時に収納ケースの入替えが発生する場合は『有』が、発生しない場合は『無』が記録されている。
【００２６】
工程管理データベース記録データ２２は、各ロットの情報が記録されているデ−タで、ロットのＩＮ時点か、もしくは、ＩＮ時点よりも前に作成されるものであり、ロットＩＤ２２ＡとプロセスＩＤ２２Ｂと工程ＩＤ２２Ｃ、および収納ケースＩＤ２２Ｄとが存在している。
【００２７】
そして、これらの各データは工程を移動する際に、データの整合性を確認するために使用されるだけでなく、データの整合性が認められた時は、ロットが次の工程に移動するのと同じように、各々のデータも次の工程の情報に書き換わるようになっている。
【００２８】
この整合性は作業者が工程を移動させる際に、無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））から整合性確認用データ２３を入力することによって行われる。
【００２９】
この整合性確認用データ２３は、ロットＩＤ２３Ａと工程ＩＤ２３Ｂ、および収納ケースＩＤ２３Ｃとからなっており、このうち、ロットＩＤ２３Ａはトラベルシート１６（図３）のバーコード１６Ａから入力されたものであり、工程ＩＤ２３Ｂは、投入工程１２Ａ、または各工程１２Ｂから１２Ｌ（図２）に添付されている工程ＩＤを示すバーコード１３Ａから１３Ｌを、無線バーコードリーダー１１の入力部１１Ｃ（図３）から入力されたＩＮ、もしくは、ＯＵＴの情報をつなぎ合わせたものである。
【００３０】
なお、前述したＩＮもしくはＯＵＴの情報は、あらかじめバーコードを準備しておいて、無線バーコードリーダー１１から読み込ませてもよい。
【００３１】
一方、収納ケースＩＤ２３Ｃは、収納ケース１４Ａから１４Ｃに添付されているバーコード１５Ａ乃至１５Ｃを無線バーコードリーダー１１で読み取ったものであり、これから移動を試みるロットが収納されている全てのケースのバーコードを記録することになっている。
【００３２】
次に、本発明の実施形態による確認作業の手順を説明する。
【００３３】
まず、作業者は、半導体装置を製造するために、製造途中のロットを工程にＩＮする前、または、ＯＵＴする前に、トラベルシート１６（図３）に記載されているバーコード１６Ａ、すなわち、ロットＩＤを無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））から入力する。
【００３４】
次に、投入１２Ａと各工程装置１２Ｂから１２Ｌに添付されているバーコード１３Ａ乃至１３Ｌ、すなわち、工程ＩＤを無線バーコードリーダー１１から入力し、続いて工程のＩＮかＯＵＴかを、無線バーコードリーダー１１の入力部１１Ｃから入力する。
【００３５】
最後に、作業対象であるロットが収納されている収納ケース１４Ａから１４Ｃの収納ケースＩＤであるバーコ−ド１５Ａ乃至１５Ｃをすべて入力する。
【００３６】
これら全ての入力が終了すると、無線バーコードリーダー１１は、整合性確認用データ２３を編集して、無線バーコードリーダー通信機９（図１（Ａ））に送信する。
【００３７】
無線バーコードリーダー通信機９は、通信回線１０（図１（Ａ））を介して、コンピュータ５（図１（Ａ））に整合性確認用データ２３を転送し、コンピュータ５では、工程順位定義マスター６（図１（Ａ））から工程順位定義マスターデータ２１を、また、工程管理データベース７（図１（Ａ））から工程管理データベース記録データ２２を読み込む。
【００３８】
この読み込む時の手順は、まず、整合性確認用データ２３のロットＩＤ２３Ａと同一のロットＩＤ２２Ａを持つ工程管理データベース記録データ２２を読み込む。
【００３９】
次に、工程管理データベース記録データ２２のプロセスＩＤ２２Ｂと同一のプロセスＩＤ２１Ａの工程順位定義マスターデータ２１を読み込み、ここで、コンピュータ５は整合性の確認を行う。
【００４０】
この整合性確認の動作を、図５について説明する。図５は、整合性確認の動作手順を示したフローチャートで、コンピュータ５は、まず、工程管理データベース記録データ２２の工程ＩＤ２２Ｃと同一の工程ＩＤ２１Ｂを工程順位定義マスターデータ２１から検索して、次の工程２１Ｃ“ボンディングＯＵＴ工程”と収納ケース入替え２１Ｄ『有』を取得する。なお、この場合、工程２１Ｃを確認用の工程データ、収納ケース入替え２１Ｄを入替えデータとする（ステップＳ５−１）。
【００４１】
次に、（ステップＳ５−１）で取得した工程データと、整合性確認用データ２３の工程ＩＤ２３Ｂを比較する（ステップＳ５−２）。この比較の結果、不一致（ＮＧ）である場合はＮＧルーチンに入ってＮＧ１（ステップＳ５−３）を経て終了する。一方、一致（ＯＫ）である場合は、収納ケースＩＤの整合性確認が必要かどうかを確認するが、その確認方法は、（ステップＳ５−１）で取得した工程データがＩＮの時か、もしくは、ＯＵＴの時は（ステップＳ５−１）で取得した入替えデータが『無』の時に確認を行う（ステップＳ５−４）。
【００４２】
この確認で比較の必要がないときは、ＮＯルーチンに入って、ＯＫと判断されて（ステップＳ５−６）終了し、比較の必要なときはＹＥＳルーチンに入って、工程管理用データベース記録データ２２の収納ケースＩＤ２２Ｄと整合性確認用データ２３の収納ケースＩＤ２３Ｃとが一致するかどうか確認する（ステップＳ５−５）。
【００４３】
この確認で、収納ケースＩＤ２３Ｃとが全て一致した時は、ＯＫと判断されて（ステップＳ５−６）終了し、収納ケースＩＤ２３Ｃが一致しないケースが現れた時は、ＮＧルーチンに入って、ＮＧ２（ステップＳ５−７）を経て終了する。
【００４４】
そのために、コンピュータ５によって行われた整合性の確認結果は、通信回線１０（図１（Ａ））を介して、モニター８（図１（Ａ））、もしくは、無線バーコードリーダー通信機９（図１（Ａ））に送られ、モニター８（図１（Ａ））の画面上には確認結果が表示され、作業者にその結果を知らせる。
【００４５】
一方、無線バーコードリーダー通信機９は、その確認結果を無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））に送付し、無線バーコードリーダー１１では附属のモニター１１Ａにその結果が表示される。
【００４６】
また、結果がＮＧの時は、附属のスピーカー１１Ｂ（図１（Ｂ））からブザーが鳴り、このブザーから移動する工程が入力した収納ケースに誤りがあることを作業者に知らせる。
【００４７】
結果がＯＫの場合は、工程管理データベース記録データ２２の工程ＩＤ２２Ｃ、および収納ケースＩＤ２２Ｄを整合性確認用データ２３の工程ＩＤ２３Ｂ、および収納ケースＩＤ２３Ｃの各データに書きかえる。
【００４８】
ここで、作業者に対して、次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける半導体製造装置番号等を伝達し、指示する機能を、図６について説明する。
【００４９】
図６は、現在ＯＵＴ作業をした半導体装置に対して、次に生産するロット、および現在ＯＵＴ作業をしたロットに対して、次に仕掛ける半導体製造装置を検出するフローチャートで、ＯＵＴ時に整合ＯＫの場合に動作するフローチャートである。
【００５０】
なお、前提条件として、工程管理データベース記録データ２４，２５，および２６（以上、図４）の各工程ＩＤを装置ＩＤ２４Ａ，２５Ａ，および２６Ａとし、また、予約ＩＤ２４Ｂ，２５Ｂ，および２６Ｂそれぞれを追加するものとする。
【００５１】
図６において、いま、現工程が“マウントキュア”であるとすれば、まず、該当するプロセスＩＤ、この場合“ＡＫ０３２”の工程順位定義マスターデータ２１（図４）から、次の工程ＩＤ“ボンディング”を取得し（ステップＳ６−１）、また、該当するプロセスＩＤ“ＡＫ０３２”の装置マスターデータ２７（図４）から、（ステップＳ６−１）で取得した次工程の装置ＩＤである“ボンディング”の全て、すなわち、装置ＩＤである“ボンディング♯１〜♯６”に対応する６台分の工程管理データベース記録データ２３を取得する（ステップＳ６−２）。
【００５２】
次に、（ステップＳ６−２）で取得した装置ＩＤ“ボンディング”に対する工程管理データベース記録データ２５および２６を全て取得する（ステップＳ６−３）。
【００５３】
この（ステップＳ６−３）で取得した工程管理データベース記録データ２５および２６のうち、現時点での工程管理データベース記録データ２５に、ＩＮおよびＯＵＴの両方が無い装置ＩＤか、もしくは、ＯＵＴのある装置ＩＤであるかを判定する（ステップＳ６−４）。
【００５４】
判定の結果、この場合はＯＵＴの装置ＩＤであるから、ロット仕掛かり中ではないので、その装置ＩＤ“マウントキュア♯１”を現在ＯＵＴしたロット、すなわち、ロットＩＤ２４Ｃを次に仕掛ける半導体製造装置とし、現在、ＯＵＴしたロットに対する工程管理データベース記録データの予約ＩＤに１をセットする。
【００５５】
工程管理データベース記録データ２６のみが取得された場合、装置ＩＤ２６ＡはＯＵＴのある装置ＩＤであるため、“ボンディング♯１”が次に仕掛ける半導体製造装置となり、工程管理データベース記録データ２５の予約ＩＤ２５Ｂに“１”がセットされる。
【００５６】
また、次に生産するロットを検出する方法は、まず、該当プロセスＩＤ“ＡＫ０３２”の工程順位定義マスターデータ２１から、直前の工程ＩＤ、この場合、前工程は“マウント”であるから、装置ＩＤ“マウント♯１〜♯３”を取得し（ステップＳ６−６）、次いで、該当プロセスＩＤの装置マスターデータ２７から、（ステップＳ６−６）で取得した前工程の装置ＩＤ“マウント♯１〜♯３”を全て取得する（ステップ５−７）。
【００５７】
次に、（ステップＳ６−７）で取得した装置ＩＤ“マウント”３台分に対する工程管理データベース記録データ２４全てを取得する（ステップＳ６−８）、次いで、（ステップＳ６−８）で取得した工程管理データベース記録データ２４の装置データがＯＵＴのある装置ＩＤ２４Ａか、かつ予約ＩＤが“０”のロットＩＤ２４Ｃであるかを判定する（ステップＳ６−９）。
【００５８】
この判定の結果、工程管理データベース記録データがＯＵＴのある装置ＩＤで、且つロットＩＤが“０”である場合、そのロットＩＤ“０１Ｂ３４ＬＫ２”（図３）を現在ＯＵＴ作業した半導体製造装置に対して次に生産するロットとし、そのロットに対する工程管理データベース記録データの予約ＩＤに“１”をセットする。
【００５９】
すなわち、図４に示すように、現工程が“マウントキュア”である場合、前工程は、マウント、装置ＩＤは、“マウント♯１〜♯３”であり、最大３台分の工程管理データベースの記録データを取得することになる。
【００６０】
工程管理データベース記録データ２４のみが取得された場合、装置ＩＤ２４ＡはＯＵＴであることから、ロットＩＤ２４Ｃである“０１Ｂ３４ＬＫ１”が次に仕掛けるロットとなり、予約ＩＤ２４Ｂに“１”をセットする。
【００６１】
なお、この予約ＩＤ２４Ｂは、同一ロットＩＤおよび同一装置ＩＤの指示を防止するために必要であり、したがって、ＯＵＴ（投入）ＯＫ時には“０”に戻す。
【００６２】
このようにして、検出された次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける半導体製造装置番号は、通信回線１０（図１（Ａ））を介して、モニター８（図１（Ａ））、もしくは、無線バーコードリーダー通信機９（図１（Ａ））に送られ、モニター８の画面上には検出結果が表示されて作業者に指示する。
【００６３】
また、無線バーコードリーダー通信機９は、検出結果を無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））に送付し、無線バーコードリーダー１１では附属のモニター１１Ａの画面上に結果を表示して作業者に指示する。
【００６４】
この場合、作業者への指示は、視覚的な表示ではなく、聴覚的な音声出力で知らせてもよい。
【００６５】
このように、各工程のロット投入（ＩＮ）時、または、払出し（ＯＵＴ）時に、作業順序の整合性を確認することで、作業順序の誤りがなくなり、不良の生産を防止することが出来る。
【００６６】
また、各工程のロット投入時、および払出し時に、ロットの収納ケースの確認を行うことで、ロットの取り違えを防止できる外、ロットが複数の収納ケースで構成される工程では、他のロットの収納ケースが混入するのを防止することが出来る。
【００６７】
さらに、払出し時に、次に生産するロット情報または次に仕掛ける装置番号を作業者に指示することで、作業者は前後工程の生産状況を把握することなく製品を投入することが出来る。
【００６８】
図７は、本発明による他の実施形態である生産システムの構成を示すブロック図で、図１及び図２と同一構成部分には同一符号を付して示し、その部分の詳細な説明は省略し、以下では図１乃至図２と相違する部分について主として説明する。
【００６９】
同図において、各々の工程装置１２Ｂから１２Ｌを通信回線１０でコンピュータ５に接続し、各工程装置１２Ｂから１２Ｌにはコンピュータ５からの命令で生産を中止する機能を具備させてある。
【００７０】
そして、本実施形態では、無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））から各種情報を読み込ませる時に、個々の工程装置１２Ｂ乃至１２Ｌそれぞれを識別するための各装置ＩＤ１３Ａ〜１３Ｌを入力することにより、図５に示した整合性確認の結果がＮＧのときに入力された装置ＩＤを持つ装置の生産を中止に出来るので、特に、ＩＮ（投入）時に発生する不良の作り込みを確実に防止することが出来る。
【００７１】
また、ＯＵＴ（払出し）時に指示した次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける装置番号以外に製品をＩＮ（投入）した場合にも、生産を中止することが可能となる。
【００７２】
【発明の効果】
上記した本発明によれば、各工程のロット投入時、または、払出し時に、作業順序の整合性を確認することにより、作業順序の誤りがなくなり、生産不良を防止することが出来る。
【００７３】
また、本発明によれば、各工程のロット投入時、または、払出し時に、ロットの収納ケースの確認を行うことで、ロットの取り違えを防止で来る外、ロットが複数の収納ケースで構成される工程においても、他のロットの収納ケースが混入するのを防止することが出来る。
【００７４】
さらに、本発明によれば、払出し時に、次に生産するロット情報や次に仕掛ける装置番号等を作業者に指示することにより、作業者が前後工程の生産状況を把握することなく、製品を投入することが出来るので、工程管理に対する人為的介入が最小限度にとどまり、それだけ人為的ミスがなくなり、全システムの信頼性を著しく向上させることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による実施形態のシステム構成と無線バーコードリーダーとを示した図で、（Ａ）はシステム構成の構成ブロック図、（Ｂ）は無線バーコードリーダーの斜視図である。
【図２】本発明による半導体装置の組立工程の順位を示した工程ブロック図である。
【図３】トラベルシートの説明図である。
【図４】本発明による無線バーコードリーダーから送られる整合性確認用データを説明するための説明図である。
【図５】本発明による整合性確認の動作手順を示したフローチャートである。
【図６】本発明による次に仕掛ける半導体製造装置を検出するフローチャートである。
【図７】本発明による他の実施形態である生産システム構成を示した構成ブロック図である。
【図８】従来のシステムにおける各工程に用いられる収納ケース、マガジン、およびＣ型カセットの使用個数を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１，２ 収納ケース
３ マガジン
４ Ｃ型カセット
５ コンピュータ
６ 工程順位定義マスター
７ 工程管理データベース
８，１１Ａ モニター
９ 無線バ−コードリーダー通信機
１０ 通信回線
１１ 無線バ−コードリーダー
１１Ｂ スピーカー
１１Ｃ 入力部
１２Ａ 投入工程
１２Ｂ ウエハマウント工程
１２Ｃ ダイシング工程
１２Ｄ マウント工程
１２Ｅ マントキュア工程
１２Ｆ ボンディング工程
１２Ｇ モールド工程
１２Ｈ モールドアフターキュア工程
１２Ｉ Ｐｏ工程
１２Ｊ リン酸工程
１２Ｋ 外装工程
１２Ｌ Ｔ／Ｆ工程
１３Ａ〜１３Ｌ 工程ＩＤ
１４Ａ〜１４Ｃ 収納ケース
１５Ａ〜１５Ｃ，１６Ａ バーコード
１６ トラベルシート
１７Ａ〜１７Ｃ マガジン
１８Ａ〜１８Ｃ，２０Ａ〜２０Ｆ バーコード
２１ 工程順位定義マスターデータ
２１Ａ，２２Ｂ プロセスＩＤ
２２，２４〜２６ 工程管理データベース記録データ
２２Ａ，２３Ａ，２４Ｃ ロットＩＤ
２２Ｃ，２３Ｂ 工程ＩＤ
２２Ｄ，２３Ｃ 収納ケースＩＤ
２３ 整合性確認用データ
２４Ａ，２５Ａ，２６Ａ 装置ＩＤ
２４Ｂ，２５Ｂ，２６Ｂ 予約ＩＤ
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の半製品を収納した収納ケースにバーコードを付し、これを管理情報として利用した半導体装置の生産システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の半導体装置の生産システムにおいては、製品情報が記載されている伝票であるトラベルシートが、製造単位（以下、ロットと呼ぶ）毎に発行され、製品と共に各工程に送付される。従来の生産システムにおいては、このトラベルシートに記載されている製品情報と現物とを、人が照合して判断していた。
【０００３】
また、１ロット分の半製品を収納するためには、ウェハー収納ケースのような半製品収納ケース２個、マガジンが３個から８個というように、複数個の収納ケースあるいはマガジンを必要とした。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の生産システムにおいては、トラベルシートと半製品とを作業員が判断していたため、人為的な間違いにより不良品を生産することがあった。
【０００５】
また、１ロットの半製品を収納するために、複数個の収納ケースやマガジンを必要とする場合、他のロットの収納ケースやマガジンあるいはＣ型カセットが混入するという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、生産工程の簡素化を計り、人為的な介在を最小限にした半導体装置の生産システムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の生産システムは、半導体装置を生産する製造工程において、半導体装置の半製品を収納する各々のケースを識別するバーコードを具備した収納ケースと、このバーコードを読込み、無線でコンピュータと通信できる無線バーコードリーダーとを具備し、さらに、前記コンピュータは前記無線バーコードリーダーから受信した情報を元に前記収納ケースに収納されている半製品の製造過程の合否結果を判断する判断機能と、この合否結果を作業者に伝達する伝達機能、およびこの合否結果により作業者または半導体製造装置に指示する指示機能を備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の半導体装置の生産システムにおいては、前記判断機能は、各工程のロット投入時または払出し時に、作業順序の整合性を確認する整合性確認機能を有することを特徴とするものである。
【０００９】
さらに、本発明の半導体装置の生産システムにおいては、前記整合性確認機能は、各工程のロット投入時および払出し時にロットの収納ケースを確認する収納ケース確認機能を有することを特徴とするものである。
【００１０】
さらに、本発明の半導体装置の生産システムにおいては、前記指示機能は、払出し時に次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける製造番号を作業者に指示することを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図１乃至図７について説明する。図１は、本発明による実施形態のシステム構成と無線バーコードリーダーとを示した図で、（Ａ）はシステム構成の構成ブロック図、（Ｂ）は無線バーコードリーダーの斜視図である。
【００１２】
同図（Ａ）において、管理センター（図示せず。）にはコンピュータ５が設置されている。このコンピュータ５には、工程順位を定義するマスターが登録されているデータベースである工程順位定義マスター６、工程管理データベース７、モニター８、無線バーコードリーダー通信機９等が通信回線１０を介して接続されており、これら相互の間でデータの受け渡しが出来るように構成されている。
【００１３】
また、この無線バーコードリーダー通信機９は、同図（Ｂ）に示した無線バーコードリーダー１１と情報のやり取りを無線で行うシステムであり、無線バーコードリーダー１１には、メッセージを表示するモニター１１Ａと、ブザーを発するスピーカー１１Ｂと、簡単な情報を入力することが出来る入力部１１Ｃ等が備えられている。
【００１４】
図２は、本発明による半導体装置の組立工程の順序を示す工程ブロック図で、投入工程１２Ａから各工程、すなわち、ウエハマウント１２Ｂ、ダイシング１２Ｃ、マウント１２Ｄ、マウントキュア１２Ｅ、ボンディング１２Ｆ、モールド１２Ｇ、モールドアフターキュア１２Ｈ、Ｐｏ１２Ｉ、リン酸１２Ｊ、外装１２Ｋ、およびＴ／Ｆ１２Ｌ等の各工程順位で製品が生産される様子を示している。
【００１５】
そして、これらの各工程には、その各工程を識別するために、工程ＩＤ１３Ａ〜１３Ｌが添付されている。
【００１６】
なお、この工程ＩＤは半導体装置を識別するための装置ＩＤでもよい。
【００１７】
この一連の組立工程において、製造工程への投入１２Ａからダイシング工程１２Ｃまでの各工程には製造途中の半製品を収納する収納ケース１４Ａ，１４Ｂ，および１４Ｃがそれぞれの工程に置かれており、この各収納ケース１４Ａ〜１４Ｃには他の収納ケースと識別が出来るように、収納ケースＩＤとして、バーコード１５Ａ〜１５Ｃが各収納ケース１４Ａ〜１４Ｃそれぞれに添付されている。
【００１８】
そして、半導体装置を製造する際には、ロット毎に、図３に示したトラベルシート１６が発行されて収納ケース１４Ａ〜１４Ｃそれぞれに入れられ、次の工程に送られる。
【００１９】
なお、このトラベルシート１６にはロットを識別するためのロットＩＤとしてバーコード１６Ａが添付されている。
【００２０】
また、マウント１２Ｄからボンディング１２Ｆまでの各工程には、工程毎に複数個のマガジン１７Ａ〜１７Ｃそれぞれが設置されていて、このマガジン１７Ａ〜１７Ｃであることを識別するマガジンＩＤがバーコード１８Ａ〜１８Ｃとして添付されている。
【００２１】
さらに、ボンディング１２Ｆの次工程であるモールド１２ＧからＴ／Ｆ１２Ｌの各工程までには、各工程に複数個のＣ型カセット１９Ａ〜１９Ｆそれぞれが設置されていて、これらＣ型カセット１９Ａ〜１９Ｆにも、工程毎のＣ型カセットであることを識別するために、カセットＩＤがバーコード２０Ａ〜２０Ｆとして添付されている。
【００２２】
図４は、図１（Ａ）に示した工程順位定義マスター６と、工程管理データベース７に記録されているデータ、および無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））から送られる整合性確認用データ等を説明するための説明図である。同図において、工程順位定義マスターデータ２１は、半導体装置を製造する前にあらかじめ作成し、工程順位定義マスター６に登録されるもので、製品の製造過程を表すプロセスＩＤ２１Ａ毎に準備される。同図では、プロセスＩＤ“ＡＫ０３２”に関するデータを表している。
【００２３】
また、製品の工程順序は工程ＩＤ２１Ｂであらわされており、本実施形態では工程ＩＤ２１Ｂが製造ラインの工程順に“マウントＩＮ”から“ボンディングＯＵＴ”まで記録されている。
【００２４】
この工程ＩＤ２１Ｂには工程ＩＤ２１Ｃと収納ケース入替え２１Ｄの各項目があり、また、工程ＩＤ２１Ｃには工程名“ウエハマウンド〜ボンディング”と工程の投入（以下、ＩＮと呼ぶ）か払出し（以下、ＯＵＴと呼ぶ）かの情報が記録されている。
【００２５】
そして、収納ケース入替え２１Ｄには、ＯＵＴの時に収納ケースの入替えが発生する場合は『有』が、発生しない場合は『無』が記録されている。
【００２６】
工程管理データベース記録データ２２は、各ロットの情報が記録されているデ−タで、ロットのＩＮ時点か、もしくは、ＩＮ時点よりも前に作成されるものであり、ロットＩＤ２２ＡとプロセスＩＤ２２Ｂと工程ＩＤ２２Ｃ、および収納ケースＩＤ２２Ｄとが存在している。
【００２７】
そして、これらの各データは工程を移動する際に、データの整合性を確認するために使用されるだけでなく、データの整合性が認められた時は、ロットが次の工程に移動するのと同じように、各々のデータも次の工程の情報に書き換わるようになっている。
【００２８】
この整合性は作業者が工程を移動させる際に、無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））から整合性確認用データ２３を入力することによって行われる。
【００２９】
この整合性確認用データ２３は、ロットＩＤ２３Ａと工程ＩＤ２３Ｂ、および収納ケースＩＤ２３Ｃとからなっており、このうち、ロットＩＤ２３Ａはトラベルシート１６（図３）のバーコード１６Ａから入力されたものであり、工程ＩＤ２３Ｂは、投入工程１２Ａ、または各工程１２Ｂから１２Ｌ（図２）に添付されている工程ＩＤを示すバーコード１３Ａから１３Ｌを、無線バーコードリーダー１１の入力部１１Ｃ（図３）から入力されたＩＮ、もしくは、ＯＵＴの情報をつなぎ合わせたものである。
【００３０】
なお、前述したＩＮもしくはＯＵＴの情報は、あらかじめバーコードを準備しておいて、無線バーコードリーダー１１から読み込ませてもよい。
【００３１】
一方、収納ケースＩＤ２３Ｃは、収納ケース１４Ａから１４Ｃに添付されているバーコード１５Ａ乃至１５Ｃを無線バーコードリーダー１１で読み取ったものであり、これから移動を試みるロットが収納されている全てのケースのバーコードを記録することになっている。
【００３２】
次に、本発明の実施形態による確認作業の手順を説明する。
【００３３】
まず、作業者は、半導体装置を製造するために、製造途中のロットを工程にＩＮする前、または、ＯＵＴする前に、トラベルシート１６（図３）に記載されているバーコード１６Ａ、すなわち、ロットＩＤを無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））から入力する。
【００３４】
次に、投入１２Ａと各工程装置１２Ｂから１２Ｌに添付されているバーコード１３Ａ乃至１３Ｌ、すなわち、工程ＩＤを無線バーコードリーダー１１から入力し、続いて工程のＩＮかＯＵＴかを、無線バーコードリーダー１１の入力部１１Ｃから入力する。
【００３５】
最後に、作業対象であるロットが収納されている収納ケース１４Ａから１４Ｃの収納ケースＩＤであるバーコ−ド１５Ａ乃至１５Ｃをすべて入力する。
【００３６】
これら全ての入力が終了すると、無線バーコードリーダー１１は、整合性確認用データ２３を編集して、無線バーコードリーダー通信機９（図１（Ａ））に送信する。
【００３７】
無線バーコードリーダー通信機９は、通信回線１０（図１（Ａ））を介して、コンピュータ５（図１（Ａ））に整合性確認用データ２３を転送し、コンピュータ５では、工程順位定義マスター６（図１（Ａ））から工程順位定義マスターデータ２１を、また、工程管理データベース７（図１（Ａ））から工程管理データベース記録データ２２を読み込む。
【００３８】
この読み込む時の手順は、まず、整合性確認用データ２３のロットＩＤ２３Ａと同一のロットＩＤ２２Ａを持つ工程管理データベース記録データ２２を読み込む。
【００３９】
次に、工程管理データベース記録データ２２のプロセスＩＤ２２Ｂと同一のプロセスＩＤ２１Ａの工程順位定義マスターデータ２１を読み込み、ここで、コンピュータ５は整合性の確認を行う。
【００４０】
この整合性確認の動作を、図５について説明する。図５は、整合性確認の動作手順を示したフローチャートで、コンピュータ５は、まず、工程管理データベース記録データ２２の工程ＩＤ２２Ｃと同一の工程ＩＤ２１Ｂを工程順位定義マスターデータ２１から検索して、次の工程２１Ｃ“ボンディングＯＵＴ工程”と収納ケース入替え２１Ｄ『有』を取得する。なお、この場合、工程２１Ｃを確認用の工程データ、収納ケース入替え２１Ｄを入替えデータとする（ステップＳ５−１）。
【００４１】
次に、（ステップＳ５−１）で取得した工程データと、整合性確認用データ２３の工程ＩＤ２３Ｂを比較する（ステップＳ５−２）。この比較の結果、不一致（ＮＧ）である場合はＮＧルーチンに入ってＮＧ１（ステップＳ５−３）を経て終了する。一方、一致（ＯＫ）である場合は、収納ケースＩＤの整合性確認が必要かどうかを確認するが、その確認方法は、（ステップＳ５−１）で取得した工程データがＩＮの時か、もしくは、ＯＵＴの時は（ステップＳ５−１）で取得した入替えデータが『無』の時に確認を行う（ステップＳ５−４）。
【００４２】
この確認で比較の必要がないときは、ＮＯルーチンに入って、ＯＫと判断されて（ステップＳ５−６）終了し、比較の必要なときはＹＥＳルーチンに入って、工程管理用データベース記録データ２２の収納ケースＩＤ２２Ｄと整合性確認用データ２３の収納ケースＩＤ２３Ｃとが一致するかどうか確認する（ステップＳ５−５）。
【００４３】
この確認で、収納ケースＩＤ２３Ｃとが全て一致した時は、ＯＫと判断されて（ステップＳ５−６）終了し、収納ケースＩＤ２３Ｃが一致しないケースが現れた時は、ＮＧルーチンに入って、ＮＧ２（ステップＳ５−７）を経て終了する。
【００４４】
そのために、コンピュータ５によって行われた整合性の確認結果は、通信回線１０（図１（Ａ））を介して、モニター８（図１（Ａ））、もしくは、無線バーコードリーダー通信機９（図１（Ａ））に送られ、モニター８（図１（Ａ））の画面上には確認結果が表示され、作業者にその結果を知らせる。
【００４５】
一方、無線バーコードリーダー通信機９は、その確認結果を無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））に送付し、無線バーコードリーダー１１では附属のモニター１１Ａにその結果が表示される。
【００４６】
また、結果がＮＧの時は、附属のスピーカー１１Ｂ（図１（Ｂ））からブザーが鳴り、このブザーから移動する工程が入力した収納ケースに誤りがあることを作業者に知らせる。
【００４７】
結果がＯＫの場合は、工程管理データベース記録データ２２の工程ＩＤ２２Ｃ、および収納ケースＩＤ２２Ｄを整合性確認用データ２３の工程ＩＤ２３Ｂ、および収納ケースＩＤ２３Ｃの各データに書きかえる。
【００４８】
ここで、作業者に対して、次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける半導体製造装置番号等を伝達し、指示する機能を、図６について説明する。
【００４９】
図６は、現在ＯＵＴ作業をした半導体装置に対して、次に生産するロット、および現在ＯＵＴ作業をしたロットに対して、次に仕掛ける半導体製造装置を検出するフローチャートで、ＯＵＴ時に整合ＯＫの場合に動作するフローチャートである。
【００５０】
なお、前提条件として、工程管理データベース記録データ２４，２５，および２６（以上、図４）の各工程ＩＤを装置ＩＤ２４Ａ，２５Ａ，および２６Ａとし、また、予約ＩＤ２４Ｂ，２５Ｂ，および２６Ｂそれぞれを追加するものとする。
【００５１】
図６において、いま、現工程が“マウントキュア”であるとすれば、まず、該当するプロセスＩＤ、この場合“ＡＫ０３２”の工程順位定義マスターデータ２１（図４）から、次の工程ＩＤ“ボンディング”を取得し（ステップＳ６−１）、また、該当するプロセスＩＤ“ＡＫ０３２”の装置マスターデータ２７（図４）から、（ステップＳ６−１）で取得した次工程の装置ＩＤである“ボンディング”の全て、すなわち、装置ＩＤである“ボンディング♯１〜♯６”に対応する６台分の工程管理データベース記録データ２３を取得する（ステップＳ６−２）。
【００５２】
次に、（ステップＳ６−２）で取得した装置ＩＤ“ボンディング”に対する工程管理データベース記録データ２５および２６を全て取得する（ステップＳ６−３）。
【００５３】
この（ステップＳ６−３）で取得した工程管理データベース記録データ２５および２６のうち、現時点での工程管理データベース記録データ２５に、ＩＮおよびＯＵＴの両方が無い装置ＩＤか、もしくは、ＯＵＴのある装置ＩＤであるかを判定する（ステップＳ６−４）。
【００５４】
判定の結果、この場合はＯＵＴの装置ＩＤであるから、ロット仕掛かり中ではないので、その装置ＩＤ“マウントキュア♯１”を現在ＯＵＴしたロット、すなわち、ロットＩＤ２４Ｃを次に仕掛ける半導体製造装置とし、現在、ＯＵＴしたロットに対する工程管理データベース記録データの予約ＩＤに１をセットする。
【００５５】
工程管理データベース記録データ２６のみが取得された場合、装置ＩＤ２６ＡはＯＵＴのある装置ＩＤであるため、“ボンディング♯１”が次に仕掛ける半導体製造装置となり、工程管理データベース記録データ２５の予約ＩＤ２５Ｂに“１”がセットされる。
【００５６】
また、次に生産するロットを検出する方法は、まず、該当プロセスＩＤ“ＡＫ０３２”の工程順位定義マスターデータ２１から、直前の工程ＩＤ、この場合、前工程は“マウント”であるから、装置ＩＤ“マウント♯１〜♯３”を取得し（ステップＳ６−６）、次いで、該当プロセスＩＤの装置マスターデータ２７から、（ステップＳ６−６）で取得した前工程の装置ＩＤ“マウント♯１〜♯３”を全て取得する（ステップ５−７）。
【００５７】
次に、（ステップＳ６−７）で取得した装置ＩＤ“マウント”３台分に対する工程管理データベース記録データ２４全てを取得する（ステップＳ６−８）、次いで、（ステップＳ６−８）で取得した工程管理データベース記録データ２４の装置データがＯＵＴのある装置ＩＤ２４Ａか、かつ予約ＩＤが“０”のロットＩＤ２４Ｃであるかを判定する（ステップＳ６−９）。
【００５８】
この判定の結果、工程管理データベース記録データがＯＵＴのある装置ＩＤで、且つロットＩＤが“０”である場合、そのロットＩＤ“０１Ｂ３４ＬＫ２”（図３）を現在ＯＵＴ作業した半導体製造装置に対して次に生産するロットとし、そのロットに対する工程管理データベース記録データの予約ＩＤに“１”をセットする。
【００５９】
すなわち、図４に示すように、現工程が“マウントキュア”である場合、前工程は、マウント、装置ＩＤは、“マウント♯１〜♯３”であり、最大３台分の工程管理データベースの記録データを取得することになる。
【００６０】
工程管理データベース記録データ２４のみが取得された場合、装置ＩＤ２４ＡはＯＵＴであることから、ロットＩＤ２４Ｃである“０１Ｂ３４ＬＫ１”が次に仕掛けるロットとなり、予約ＩＤ２４Ｂに“１”をセットする。
【００６１】
なお、この予約ＩＤ２４Ｂは、同一ロットＩＤおよび同一装置ＩＤの指示を防止するために必要であり、したがって、ＯＵＴ（投入）ＯＫ時には“０”に戻す。
【００６２】
このようにして、検出された次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける半導体製造装置番号は、通信回線１０（図１（Ａ））を介して、モニター８（図１（Ａ））、もしくは、無線バーコードリーダー通信機９（図１（Ａ））に送られ、モニター８の画面上には検出結果が表示されて作業者に指示する。
【００６３】
また、無線バーコードリーダー通信機９は、検出結果を無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））に送付し、無線バーコードリーダー１１では附属のモニター１１Ａの画面上に結果を表示して作業者に指示する。
【００６４】
この場合、作業者への指示は、視覚的な表示ではなく、聴覚的な音声出力で知らせてもよい。
【００６５】
このように、各工程のロット投入（ＩＮ）時、または、払出し（ＯＵＴ）時に、作業順序の整合性を確認することで、作業順序の誤りがなくなり、不良の生産を防止することが出来る。
【００６６】
また、各工程のロット投入時、および払出し時に、ロットの収納ケースの確認を行うことで、ロットの取り違えを防止できる外、ロットが複数の収納ケースで構成される工程では、他のロットの収納ケースが混入するのを防止することが出来る。
【００６７】
さらに、払出し時に、次に生産するロット情報または次に仕掛ける装置番号を作業者に指示することで、作業者は前後工程の生産状況を把握することなく製品を投入することが出来る。
【００６８】
図７は、本発明による他の実施形態である生産システムの構成を示すブロック図で、図１及び図２と同一構成部分には同一符号を付して示し、その部分の詳細な説明は省略し、以下では図１乃至図２と相違する部分について主として説明する。
【００６９】
同図において、各々の工程装置１２Ｂから１２Ｌを通信回線１０でコンピュータ５に接続し、各工程装置１２Ｂから１２Ｌにはコンピュータ５からの命令で生産を中止する機能を具備させてある。
【００７０】
そして、本実施形態では、無線バーコードリーダー１１（図１（Ｂ））から各種情報を読み込ませる時に、個々の工程装置１２Ｂ乃至１２Ｌそれぞれを識別するための各装置ＩＤ１３Ａ〜１３Ｌを入力することにより、図５に示した整合性確認の結果がＮＧのときに入力された装置ＩＤを持つ装置の生産を中止に出来るので、特に、ＩＮ（投入）時に発生する不良の作り込みを確実に防止することが出来る。
【００７１】
また、ＯＵＴ（払出し）時に指示した次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける装置番号以外に製品をＩＮ（投入）した場合にも、生産を中止することが可能となる。
【００７２】
【発明の効果】
上記した本発明によれば、各工程のロット投入時、または、払出し時に、作業順序の整合性を確認することにより、作業順序の誤りがなくなり、生産不良を防止することが出来る。
【００７３】
また、本発明によれば、各工程のロット投入時、または、払出し時に、ロットの収納ケースの確認を行うことで、ロットの取り違えを防止で来る外、ロットが複数の収納ケースで構成される工程においても、他のロットの収納ケースが混入するのを防止することが出来る。
【００７４】
さらに、本発明によれば、払出し時に、次に生産するロット情報や次に仕掛ける装置番号等を作業者に指示することにより、作業者が前後工程の生産状況を把握することなく、製品を投入することが出来るので、工程管理に対する人為的介入が最小限度にとどまり、それだけ人為的ミスがなくなり、全システムの信頼性を著しく向上させることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による実施形態のシステム構成と無線バーコードリーダーとを示した図で、（Ａ）はシステム構成の構成ブロック図、（Ｂ）は無線バーコードリーダーの斜視図である。
【図２】本発明による半導体装置の組立工程の順位を示した工程ブロック図である。
【図３】トラベルシートの説明図である。
【図４】本発明による無線バーコードリーダーから送られる整合性確認用データを説明するための説明図である。
【図５】本発明による整合性確認の動作手順を示したフローチャートである。
【図６】本発明による次に仕掛ける半導体製造装置を検出するフローチャートである。
【図７】本発明による他の実施形態である生産システム構成を示した構成ブロック図である。
【図８】従来のシステムにおける各工程に用いられる収納ケース、マガジン、およびＣ型カセットの使用個数を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１，２ 収納ケース
３ マガジン
４ Ｃ型カセット
５ コンピュータ
６ 工程順位定義マスター
７ 工程管理データベース
８，１１Ａ モニター
９ 無線バ−コードリーダー通信機
１０ 通信回線
１１ 無線バ−コードリーダー
１１Ｂ スピーカー
１１Ｃ 入力部
１２Ａ 投入工程
１２Ｂ ウエハマウント工程
１２Ｃ ダイシング工程
１２Ｄ マウント工程
１２Ｅ マントキュア工程
１２Ｆ ボンディング工程
１２Ｇ モールド工程
１２Ｈ モールドアフターキュア工程
１２Ｉ Ｐｏ工程
１２Ｊ リン酸工程
１２Ｋ 外装工程
１２Ｌ Ｔ／Ｆ工程
１３Ａ〜１３Ｌ 工程ＩＤ
１４Ａ〜１４Ｃ 収納ケース
１５Ａ〜１５Ｃ，１６Ａ バーコード
１６ トラベルシート
１７Ａ〜１７Ｃ マガジン
１８Ａ〜１８Ｃ，２０Ａ〜２０Ｆ バーコード
２１ 工程順位定義マスターデータ
２１Ａ，２２Ｂ プロセスＩＤ
２２，２４〜２６ 工程管理データベース記録データ
２２Ａ，２３Ａ，２４Ｃ ロットＩＤ
２２Ｃ，２３Ｂ 工程ＩＤ
２２Ｄ，２３Ｃ 収納ケースＩＤ
２３ 整合性確認用データ
２４Ａ，２５Ａ，２６Ａ 装置ＩＤ
２４Ｂ，２５Ｂ，２６Ｂ 予約ＩＤ
Claims (4)
- 半導体装置を生産する製造工程において、半導体装置の半製品を収納する各々のケースを識別するバーコードを具備した収納ケースと、このバーコードを読込み、無線でコンピュータと通信できる無線バーコードリーダーとを具備し、前記コンピュータは前記無線バーコードリーダーから受信した情報を元に前記収納ケースに収納されている半製品の製造過程の合否結果を判断する判断機能と、この合否結果を作業者に伝達する伝達機能、およびこの合否結果により作業者または半導体製造装置に指示する指示機能とを備えたことを特徴とする半導体装置の生産システム。
- 前記判断機能は、各工程のロット投入時または払出し時に、作業順序の整合性を確認する整合性確認機能を有することを特徴とする請求項１記載の半導体装置の生産システム。
- 前記整合性確認機能は、各工程のロット投入時および払出し時にロットの収納ケースを確認する収納ケース確認機能を有することを特徴とする請求項２記載の半導体装置の生産システム。
- 前記指示機能は、払出し時に次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける製造番号を作業者に指示することを特徴とする請求項１記載の半導体装置の生産システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003139067A JP4564241B2 (ja) | 2003-05-16 | 2003-05-16 | 半導体装置の生産システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003139067A JP4564241B2 (ja) | 2003-05-16 | 2003-05-16 | 半導体装置の生産システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004342905A true JP2004342905A (ja) | 2004-12-02 |
| JP4564241B2 JP4564241B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=33528265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003139067A Expired - Fee Related JP4564241B2 (ja) | 2003-05-16 | 2003-05-16 | 半導体装置の生産システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4564241B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100403328C (zh) * | 2005-01-07 | 2008-07-16 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 使用射频识别的制造控制系统 |
| WO2010073487A1 (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | 株式会社ニコン | 保持部材管理装置、半導体製造装置、保持部材管理方法、及び、半導体装置の製造方法 |
| KR102410798B1 (ko) * | 2022-03-07 | 2022-06-22 | (주)퓨렉스 | 웨이퍼 링 포장 박스용 라벨 검증 장치 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04266012A (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-22 | Nec Corp | 半導体装置の製造履歴収集システム |
| JPH06196544A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-15 | Mitsubishi Electric Corp | 製造工程管理システム |
| JPH06224096A (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-12 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
| JPH0878301A (ja) * | 1994-09-07 | 1996-03-22 | Nippondenso Co Ltd | 製造工程における物品の工程管理方法 |
| JPH08195407A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-07-30 | Toshiba Corp | 半導体装置生産における品質管理システム |
| JPH0936008A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Toshiba Corp | 半導体装置製造システム |
| JPH0936197A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | 生産管理方法および装置 |
| JP2002041124A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-08 | Toshiba Corp | 生産管理システムおよび生産管理情報利用システム |
-
2003
- 2003-05-16 JP JP2003139067A patent/JP4564241B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04266012A (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-22 | Nec Corp | 半導体装置の製造履歴収集システム |
| JPH06196544A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-15 | Mitsubishi Electric Corp | 製造工程管理システム |
| JPH06224096A (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-12 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
| JPH0878301A (ja) * | 1994-09-07 | 1996-03-22 | Nippondenso Co Ltd | 製造工程における物品の工程管理方法 |
| JPH08195407A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-07-30 | Toshiba Corp | 半導体装置生産における品質管理システム |
| JPH0936197A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | 生産管理方法および装置 |
| JPH0936008A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Toshiba Corp | 半導体装置製造システム |
| JP2002041124A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-08 | Toshiba Corp | 生産管理システムおよび生産管理情報利用システム |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100403328C (zh) * | 2005-01-07 | 2008-07-16 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 使用射频识别的制造控制系统 |
| WO2010073487A1 (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | 株式会社ニコン | 保持部材管理装置、半導体製造装置、保持部材管理方法、及び、半導体装置の製造方法 |
| JP5459224B2 (ja) * | 2008-12-22 | 2014-04-02 | 株式会社ニコン | ウエハ処理方法およびウエハ処理装置 |
| KR102410798B1 (ko) * | 2022-03-07 | 2022-06-22 | (주)퓨렉스 | 웨이퍼 링 포장 박스용 라벨 검증 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4564241B2 (ja) | 2010-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7013194B2 (en) | Infinitely variable, order specific, holistic assembly process control system | |
| JP2006528121A (ja) | エレベータまたはエスカレータ設備のメンテナンス方法およびその装置 | |
| JPH06143103A (ja) | 混流生産システムとそのシステムに使用されるパレット | |
| JP4902335B2 (ja) | 伝達通知プログラム、及びそれを用いた品質改善システム | |
| JP2004062675A (ja) | 移動機械の部品情報管理システム、移動機械の部品情報管理方法、およびこの方法をコンピュータに実行させるためのプログラム | |
| JP2004342905A (ja) | 半導体装置の生産システム | |
| JPH0425356A (ja) | 工期遅れ検出方法及び装置 | |
| US11908259B2 (en) | Locking and de-energization management system and locking and de-energization management method | |
| JP2001202115A (ja) | 生産管理システム | |
| US5991527A (en) | System for simulating a production environment | |
| US6223093B1 (en) | System and method for verifying process procedures in a manufacturing environment | |
| JPH10296592A (ja) | 誤作業防止装置 | |
| JP2021089497A (ja) | 生産現場における不具合の管理方法、その管理装置、その管理プログラム | |
| JPH06210557A (ja) | 流動状況把握装置 | |
| JPH06168249A (ja) | 混流生産システムおよびその運転方法 | |
| JP3815384B2 (ja) | サーバの動作状態確認方法およびそのシステム | |
| JPH0512300A (ja) | 半導体装置製造における実績表示方法 | |
| JP3307701B2 (ja) | 製造経歴管理システム | |
| KR100599438B1 (ko) | 반도체 제조공정에서의 로트의 공정 재진행 시스템 및 그방법 | |
| JP3307702B2 (ja) | 製造経歴管理システム | |
| JP3335402B2 (ja) | 製造経歴管理システム | |
| JPH06214771A (ja) | 実行ファイル監視方法およびその装置、ならびに実行ファイルの更新方法およびその装置 | |
| JPH11195572A (ja) | 生産制御システムおよびその制御方法 | |
| JP5045150B2 (ja) | 組立ラインの生産管理システム | |
| KR100604669B1 (ko) | 반도체 제조공정에서의 로트 분할 시스템 및 그 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060202 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060207 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100112 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100428 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100706 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100730 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |