JPH0936008A - 半導体装置製造システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半製品状態の半導体装置を加工する際の製品
の品質確保が確実に行なえ、品種切替えに多くの時間を
要さない半導体装置製造システムを提供する。 【解決手段】 半導体製造装置１３ａのバーコードリー
ダ２０ａで半製品状態の半導体装置のバーコードデータ
を入力し通信回線１４を介して中央制御装置１２に伝達
し、伝達されたバーコードデータに対応する品種を中央
記憶手段１６の記憶内容に基づいて確定し通信回線１４
を介して逆に半導体製造装置１３ａに伝達し、伝達され
た品種を加工するための記憶手段１９ａに予め記憶され
た制御情報に基づいて製造手段１７ａで半製品状態の半
導体装置を加工するもので、バーコードデータを半導体
装置を加工する半導体製造装置１３ａに入力するのみで
対応する品種が確定され、それに基づいて所定の半導体
装置を加工するための制御情報が得られ、適正な品種デ
ータが設定されて製品の品質が確保される等する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半製品状態の各種の半
導体装置を複数の半導体製造装置を備えて加工する半導
体装置製造システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体装置を予め半製品状態でス
トックしておき、必要時にストックされているものから
所定の半製品を取り出し、所望する製品の加工に対応す
る切り替えを行った半導体製造装置で加工を施し、半導
体装置として完成させることで製品要求から出荷までの
期間を短縮するようにすることが行なわれている。

【０００３】以下、従来技術について図５を参照して説
明する。図５は品種の切り替えの概要を説明するための
図で、１は半導体製造装置、２は品種データが書き込ま
れたフロッピーディスク（ＦＤ）、３は半導体製造装置
１のオペレータである。

【０００４】先ず、加工に先立ってオペレータ３が半導
体製造装置１内の記憶部に加工する品種の登録を行う。
その後、登録された内容に基づき投入された半製品に対
し所定の加工が行われる。例えば、特性区分された複数
の集積回路（ＩＣ）チップをリードフレームの各アイラ
ンド上に搭載し、ＩＣチップが搭載された複数のリード
フレームを専用マガジンに収納し半製品としてストック
しておく。

【０００５】そして、製品要求があった時点で所定特性
区分のＩＣチップが搭載されたリードフレームを専用マ
ガジンに入ったまま半導体製造装置１にセットする。半
導体製造装置１では樹脂成形によるパッケージの加工が
要求された製品の品種に対応して行われ、さらにリード
フレームから個々の半導体装置の切り離しが外部リード
の成形加工と共に行われ、所定特性の半導体装置が完成
する。

【０００６】しかしながら上記の従来技術においては、
オペレータ３が半導体製造装置１内の記憶部に加工する
品種の登録作業を個々に行っており、加工の際の設定条
件の入力や呼び出し作業で誤って別の品種の設定条件を
入力または呼び出してしまった場合には、不良製品を作
り込んでしまう問題や生産性を阻害する問題等があっ
た。

【０００７】また、ＦＤ２により品種データの管理を行
った場合にはＦＤ２のコピーが簡単に行えることから、
同一品種で半導体製造装置１間の機差に基づくデータが
少しだけ違う数パターンの品種データが存在することに
なる。このため品種切り替えの際に別の半導体製造装置
１で品種登録した品種データを登録し、これにより加工
を行うことによって製品の品質確保の上で問題が生じる
虞があり、また、その原因究明に時間を要することにな
ったり、場合によっては原因の特定ができない事態が生
ずる虞があった。

【０００８】さらに、ＦＤ２により品種データの管理を
行った場合には、品種切り替え作業時にオペレータ３が
加工する製品の品種データを探し、且つ加工できる状態
への段取り替え作業に多くの時間を要するものとなって
いた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記のように半導体製
造装置への加工する品種の登録作業をオペレータが条件
設定したり入力する場合には、誤作業が生じる虞があ
り、またフロッピーディスクにより品種データの管理を
行う場合には、データが若干異なる数パターンの品種デ
ータが存在することになり、誤って別の品種データで加
工し製品の品質確保の上で問題が生じる等の虞があり、
さらに多数の品種データの中から所定の品種データを探
し出すのに手間が掛かり、段取り替え作業に多くの時間
を要する等していた。このような状況に鑑みて本発明は
なされたもので、その目的とするところは半導体製造装
置への加工する品種の誤登録が発生し難く、製品の品質
が確保でき、また品種の切り替え時の段取り替え作業に
多くの時間を要することのない半導体装置製造システム
を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置製造
システムは、半製品状態の半導体装置の識別情報を入力
する入力手段、半導体装置を所定品種となるよう加工す
るための制御情報が記憶された記憶手段及び制御手段を
有する半導体製造装置と、この半導体製造装置の管理を
行う中央制御手段及び識別情報と品種の対応関係が記憶
された中央記憶手段を備えた中央制御装置と、この中央
制御装置と半導体製造装置との間で情報の授受を行う情
報伝達手段とを備え、半導体製造装置の入力手段で半製
品状態の半導体装置の識別情報を入力し情報伝達手段を
介して識別情報を中央制御装置に伝達し、伝達された識
別情報に対応する品種を中央記憶手段の記憶内容に基づ
いて確定し情報伝達手段を介して中央制御装置から半導
体製造装置に伝達し、伝達された品種を加工するための
記憶手段に予め記憶された制御情報に基づき半導体製造
装置で半製品状態の半導体装置を加工するよう構成した
ことを特徴とするものであり、さらに、識別情報が、半
製品状態の半導体装置を収納する収納容器に付されたバ
ーコードデータであることを特徴とするものであり、さ
らに、半導体製造装置での半製品状態の半導体装置の加
工は、識別情報の変更に応じて記憶手段からの制御情報
が変更され、自動的に品種が切り替えられて行われるも
のであることを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】上記のように構成された半導体装置製造システ
ムは、半導体製造装置の入力手段で半製品状態の半導体
装置の識別情報を入力し情報伝達手段を介して識別情報
を中央制御装置に伝達し、伝達された識別情報に対応す
る品種を中央記憶手段の記憶内容に基づいて確定し情報
伝達手段を介して中央制御装置から半導体製造装置に伝
達し、伝達された品種を加工するための記憶手段に予め
記憶された制御情報に基づき半導体製造装置で半製品状
態の半導体装置を加工するようになっているので、入力
手段で半製品状態の半導体装置を加工する半導体製造装
置に識別情報を入力するのみで対応する品種が確定さ
れ、それに基づいて所定の半導体装置を加工するための
該当半導体製造装置での制御情報が得られ、適正な品種
データが設定されることになる。これにより半導体製造
装置への加工品種の誤登録が発生しなくなり、製品の品
質確保が確実に行なえ、さらに品種切替えも短時間のう
ちに行うことができる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図４を参
照して説明する。図１は接続図であり、図２はフローチ
ャートであり、図３は識別記号の入力状況を示す図であ
り、図４は中央制御装置で確定した品種に対する半導体
製造装置での加工制御情報を検索する状況を説明するた
めの図である。

【００１３】図１乃至図４において、１１は半導体装置
製造システムで、これは中央制御装置１２と複数の半導
体製造装置１３ａ，１３ｂ，…とが情報伝達手段の通信
回線１４を介して情報の授受が行われるよう接続されて
いる。中央制御装置１２は中央制御手段１５と中央記憶
手段１６とを備えて構成され、中央制御手段１５には通
信回線１４と中央記憶手段１６が接続されている。

【００１４】そして中央記憶手段１６には識別記号情報
に対応する半導体装置の品種情報が記憶されており、半
導体製造装置１３ａ，１３ｂ，…から通信回線１４及び
中央制御手段１５を介し入力された識別記号情報に対
し、対応する品種情報が中央制御手段１５に出力され
る。なお、品種情報は逆に中央制御手段１５から通信回
線１４を介し対応する半導体製造装置１３ａ，１３ｂ，
…に伝達される。

【００１５】また、半導体製造装置１３ａ，１３ｂ，…
は半製品状態の半導体装置を設定された品種に応じ、例
えば製品が完成するよう加工するものである。各半導体
製造装置１３ａ，１３ｂ，…はそれぞれ製造手段１７
ａ，１７ｂ，…と、制御手段１８ａ，１８ｂ，…と、記
憶手段１９ａ，１９ｂ，…と、入力手段であるバーコー
ドリーダ２０ａ，２０ｂ，…を備えて構成され、半導体
製造装置１３ａ，１３ｂ，…ではそれぞれ品種情報に基
づき設定された品種データ等に応じて複数の品種の加工
が行えるようになっている。

【００１６】そして、製造手段１７ａ，１７ｂ，…には
制御手段１８ａ，１８ｂ，…が接続されていて、加工す
る品種に応じた制御信号が制御手段１８ａ，１８ｂ，…
から入力され、その制御信号によって加工の制御が行わ
れるようになっている。また制御手段１８ａ，１８ｂ，
…には通信回線１４と、半製品状態の半導体装置が収納
された収納容器に表示された品種別の識別記号のバーコ
ードデータ２１を読み取るバーコードリーダ２０ａ，２
０ｂ，…と、指定された品種情報に対応して半製品状態
の半導体装置を加工し製品とするための制御情報が記憶
された記憶手段１９ａ，１９ｂ，…とが接続されてい
る。

【００１７】このため、制御手段１８ａ，１８ｂ，…に
はバーコードデータ２１を読み取ったバーコードリーダ
２０ａ，２０ｂ，…から識別記号情報が入力し、この識
別記号情報は通信回線１４を介し中央制御装置１２へ伝
達される。また制御手段１８ａ，１８ｂ，…には中央制
御装置１２から通信回線１４を介し品種情報が伝達さ
れ、この品種情報に対応する制御情報が記憶手段１９
ａ，１９ｂ，…から入力する。そして制御手段１８ａ，
１８ｂ，…から制御情報に対応する制御信号が出力され
て製造手段１７ａ，１７ｂ，…で所定の加工が行われ
る。

【００１８】次に、このように構成された半導体装置製
造システム１１での半導体装置の加工について、図２に
示すフローチャートにしたがって説明する。なお、以下
においては半導体装置の加工が１つの半導体製造装置１
３ａにおいて行なわれる場合について説明するが、例え
ば複数の半導体製造装置１３ａ，１３ｂ，…で並行して
異なる品種の加工が行なわれる場合でも、中央制御装置
１２によって情報が分離して処理され、１つの装置で加
工する場合と同様に行なわれる。

【００１９】先ず、第１のステップＳ−１では、半導体
製造装置１３ａのバーコードリーダ２０ａで半製品状態
の半導体装置が収納された収納容器に表示されたバーコ
ードデータ２１の読み取りが行なわれ、読み取ったバー
コードデータ２１に対応する識別記号情報が制御手段１
８ａに入力される。

【００２０】次に第２のステップＳ−２では、入力され
たバーコードデータ２１の識別記号情報が制御手段１８
ａから通信回線１４を通じ、ＳＥＣＳ通信プロトコルに
て中央制御装置１２の中央制御手段１５に伝達される。

【００２１】そして第３のステップＳ−３では、中央制
御手段１５に伝達された識別記号情報に対応する半導体
装置の品種情報が、中央記憶手段１６に記憶に内容に基
づき確定され、この確定された品種情報が逆に中央制御
手段１５から通信回線１４を介して伝達され、半導体製
造装置１３ａの制御手段１８ａで受信される。なお、確
定された品種情報が制御手段１８ａで受信されない場合
は受信されるまで待機する。

【００２２】続いて第４のステップＳ−４では、制御手
段１８ａで受信された品種情報に対応する記憶手段１９
ａに記憶された制御情報の検索が行なわれる。この検索
は、例えば図４に示すように中央制御装置１２で確定さ
れ伝達された品種情報の製品名ＴＣ−７７７に対し、半
導体製造装置１３ａの記憶手段１９ａに記憶された内容
の目次である製品名ＴＣ−１１１，ＴＣ−２２２，…，
ＴＣ−７７７，…から一致するものを探し出すようにし
て行なわれる。

【００２３】次に第５のステップＳ−５では、品種情報
に対応する制御情報があるか否かの判断が行なわれる。
対応するものがあると第６のステップＳ−６に移行す
る。

【００２４】第６のステップＳ−６では、品種情報に対
応する制御情報、例えば品種情報の製品名ＴＣ−７７７
に一致する記憶手段１９ａのＴＣ−７７７の制御情報の
記憶内容が読み出され、読み出された制御情報によって
制御手段１８ａの制御信号の変更が行なわれ、自動的に
所望の品種を加工するための品種データに設定し直され
加工の準備がなされる。図示しないが加工の準備ができ
た時点でオペレータに対し、切り替えが終了したことが
表示器またはアラームにより伝えられるようになってい
る。

【００２５】その後、設定し直された品種データによる
加工が、制御手段１８ａからの制御信号のもとに製造手
段１７ａによって半製品状態の半導体装置に施され、所
望品種の製品が完成する。

【００２６】また、第５のステップＳ−５で品種情報に
対応する制御情報がない場合には第７のステップＳ−７
でエラーメッセージを出力する。

【００２７】以上のように構成されているので、半導体
製造装置１３ａ，１３ｂ，…で加工する半製品状態の半
導体装置の品種の登録確定がバーコードリーダ２０ａ，
２０ｂ，…によって、半製品状態の半導体装置の収納容
器に表示されたバーコードデータ２１を読み取るように
するだけの簡単な操作で間違えることなく実行できる。

【００２８】さらに、品種データの設定も中央制御装置
１２で確定された品種情報により、個々の半導体製造装
置１３ａ，１３ｂ，…の記憶手段１９ａ，１９ｂ，…に
記憶された内容が読み出されて自動的に行なわれるた
め、設定違いや機差等に基づく不良の発生が防止でき、
製品の品質確保の上で問題が生じる虞がない。また加工
品種の切り替えについても短時間のうちに行なうことが
できる。

【００２９】尚、上記の実施例においては品種別の識別
記号としてバーコードデータ２１をを用い、バーコード
リーダ２０ａ，２０ｂ，…で読取りを行なうようにした
が、これに限定されるものではなく、識別記号として文
字や図形、色等による記号、あるいは三次元の識別記号
を用い、これらに対応する入力手段で読み取るようにし
てもよい。

【００３０】また、情報伝達手段としての通信回線１４
については、有線あるいは無線の構内通信回線や公衆電
話回線、衛星通信回線等を用いることができる。

【００３１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、半導体製造装置の入力手段で半製品状態の半導体装
置の識別情報を入力し情報伝達手段を介して識別情報を
中央制御装置に伝達し、伝達された識別情報に対応する
品種を中央記憶手段の記憶内容に基づいて確定し情報伝
達手段を介して中央制御装置から半導体製造装置に伝達
し、伝達された品種を加工するための記憶手段に予め記
憶された制御情報に基づき半導体製造装置で半製品状態
の半導体装置を加工する構成としたことにより、半製品
状態の半導体装置を加工する際の半導体製造装置への加
工品種の誤登録が発生せず、製品の品質確保が確実に行
なえると共に、品種切替えも短時間のうちに行うことが
できる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す接続図である。

【図２】本発明の一実施例に係るフローチャートであ
る。

【図３】本発明の一実施例に係る識別記号の入力状況を
示す図である。

【図４】本発明の一実施例における中央制御装置で確定
した品種に対する半導体製造装置での加工制御情報を検
索する状況を説明するための図である。

【図５】従来技術における品種の切り替えの概要を説明
するための図である。

【符号の説明】

１２…中央制御装置 １３ａ，１３ｂ…半導体製造装置 １４…通信回線 １５…中央制御手段 １６…中央記憶手段 １７ａ，１７ｂ…製造手段 １８ａ，１８ｂ…制御手段 １９ａ，１９ｂ…記憶手段 ２０ａ，２０ｂ…バーコードリーダ ２１…バーコードデータ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半製品状態の半導体装置の識別情報を入
   力する入力手段、前記半導体装置を所定品種となるよう
   加工するための制御情報が記憶された記憶手段及び制御
   手段を有する半導体製造装置と、この半導体製造装置の
   管理を行う中央制御手段及び前記識別情報と品種の対応
   関係が記憶された中央記憶手段を備えた中央制御装置
   と、この中央制御装置と前記半導体製造装置との間で情
   報の授受を行う情報伝達手段とを備え、前記半導体製造
   装置の前記入力手段で半製品状態の前記半導体装置の識
   別情報を入力し前記情報伝達手段を介して前記識別情報
   を前記中央制御装置に伝達し、伝達された前記識別情報
   に対応する品種を前記中央記憶手段の記憶内容に基づい
   て確定し前記情報伝達手段を介して前記中央制御装置か
   ら前記半導体製造装置に伝達し、伝達された前記品種を
   加工するための前記記憶手段に予め記憶された制御情報
   に基づき前記半導体製造装置で半製品状態の前記半導体
   装置を加工するよう構成したことを特徴とする半導体装
   置製造システム。
2. 【請求項２】 識別情報が、半製品状態の半導体装置を
   収納する収納容器に付されたバーコードデータであるこ
   とを特徴とする請求項１記載の半導体装置製造システ
   ム。
3. 【請求項３】 半導体製造装置での半製品状態の半導体
   装置の加工は、識別情報の変更に応じて記憶手段からの
   制御情報が変更され、自動的に品種が切り替えられて行
   われるものであることを特徴とする請求項１記載の半導
   体装置製造システム。