JPH0934341A - ホログラフィー記録再生方法 - Google Patents
ホログラフィー記録再生方法Info
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- JPH0934341A JPH0934341A JP7207754A JP20775495A JPH0934341A JP H0934341 A JPH0934341 A JP H0934341A JP 7207754 A JP7207754 A JP 7207754A JP 20775495 A JP20775495 A JP 20775495A JP H0934341 A JPH0934341 A JP H0934341A
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ホログラム記録媒体の表面散乱や内部散乱、マ
スク照明光学系などによって発生するスペックルノイズ
のパターンへの重畳を低減する。 【解決手段】マスク１より射出する物体光を参照光と干
渉させて干渉縞を形成し、該干渉縞が形成される位置に
ホログラム記録媒体３を配置することによって、マスク
１に描かれたパターンをホログラム記録媒体３にホログ
ラムとして記録するホログラフィー記録方法において、
参照光６Ａ，６Ｂのホログラム記録媒体３への入射角度
を順次変更しながら、マスク１に描かれたパターンを複
数回にわたってホログラム記録媒体３に多重に記録する
ことを特徴とする。
スク照明光学系などによって発生するスペックルノイズ
のパターンへの重畳を低減する。 【解決手段】マスク１より射出する物体光を参照光と干
渉させて干渉縞を形成し、該干渉縞が形成される位置に
ホログラム記録媒体３を配置することによって、マスク
１に描かれたパターンをホログラム記録媒体３にホログ
ラムとして記録するホログラフィー記録方法において、
参照光６Ａ，６Ｂのホログラム記録媒体３への入射角度
を順次変更しながら、マスク１に描かれたパターンを複
数回にわたってホログラム記録媒体３に多重に記録する
ことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ホログラフィッ
ク・リソグラフィーによる記録方法と再生方法に関す
る。
ク・リソグラフィーによる記録方法と再生方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、全反射ホログラフィー[K.A.Stets
on, Appl.Phys.Lett.Vol.11 Num.7,P.228(1967)]を用い
た微細パターンの露光技術が注目されている。この技術
はホログラフィック・リソグラフィーと呼ばれている。
この技術は、マスクに描かれたパターンを等倍にてホロ
グラム記録媒体中に全反射ホログラムとして記録し、ホ
ログラムに記録されたパターンの空中像を、ウエハ上に
塗布したレジストに再生することによって、パターン焼
き付けを行う技術である。この技術では従来より、マス
ク上のパターンは一定の入射角度の照明光と参照光によ
って同一のホログラム記録媒体に１回だけ記録されてお
り、ホログラムとして記録されたパターンも、一定の入
射角度の再生光によって同一のレジストに１回だけ再生
されていた。
on, Appl.Phys.Lett.Vol.11 Num.7,P.228(1967)]を用い
た微細パターンの露光技術が注目されている。この技術
はホログラフィック・リソグラフィーと呼ばれている。
この技術は、マスクに描かれたパターンを等倍にてホロ
グラム記録媒体中に全反射ホログラムとして記録し、ホ
ログラムに記録されたパターンの空中像を、ウエハ上に
塗布したレジストに再生することによって、パターン焼
き付けを行う技術である。この技術では従来より、マス
ク上のパターンは一定の入射角度の照明光と参照光によ
って同一のホログラム記録媒体に１回だけ記録されてお
り、ホログラムとして記録されたパターンも、一定の入
射角度の再生光によって同一のレジストに１回だけ再生
されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術では、
全反射ホログラムを再生すると、ホログラム記録媒体の
表面散乱や内部散乱等によるスペックルノイズが発生し
て必要とするパターンに重なってしまい、このためパタ
ーンの転写精度が必ずしも十分に高くはなかった。した
がって本発明は、ホログラム記録媒体の表面散乱や内部
散乱によって生じるスペックルノイズのパターンへの重
畳を低減し、更にマスク照明光学系、参照光学系、再生
光学系などによって発生するスペックルノイズのパター
ンへの重畳を低減することができるホログラフィー記録
再生方法を提供することを課題とする。
全反射ホログラムを再生すると、ホログラム記録媒体の
表面散乱や内部散乱等によるスペックルノイズが発生し
て必要とするパターンに重なってしまい、このためパタ
ーンの転写精度が必ずしも十分に高くはなかった。した
がって本発明は、ホログラム記録媒体の表面散乱や内部
散乱によって生じるスペックルノイズのパターンへの重
畳を低減し、更にマスク照明光学系、参照光学系、再生
光学系などによって発生するスペックルノイズのパター
ンへの重畳を低減することができるホログラフィー記録
再生方法を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、相互に相関の
ないＮ個のスペックルパターンを重ねたときの全体のス
ペックルコントラストが、単一のスペックルコントラス
トの１／Ｎ1/2に低減することを利用して、上記課題を
解決したものである。すなわち本発明は、マスクより射
出する物体光を参照光と干渉させて干渉縞を形成し、該
干渉縞が形成される位置にホログラム記録媒体を配置す
ることによって、マスクに描かれたパターンをホログラ
ム記録媒体にホログラムとして記録するホログラフィー
記録方法において、参照光のホログラム記録媒体への入
射角度を順次変更しながら、マスクに描かれたパターン
を複数回にわたってホログラム記録媒体に多重に記録す
ることを特徴とするホログラフィー記録方法である。そ
の際、各回の記録において、物体光のホログラム記録媒
体への入射角度をも順次変更しながら記録することもで
きる。
ないＮ個のスペックルパターンを重ねたときの全体のス
ペックルコントラストが、単一のスペックルコントラス
トの１／Ｎ1/2に低減することを利用して、上記課題を
解決したものである。すなわち本発明は、マスクより射
出する物体光を参照光と干渉させて干渉縞を形成し、該
干渉縞が形成される位置にホログラム記録媒体を配置す
ることによって、マスクに描かれたパターンをホログラ
ム記録媒体にホログラムとして記録するホログラフィー
記録方法において、参照光のホログラム記録媒体への入
射角度を順次変更しながら、マスクに描かれたパターン
を複数回にわたってホログラム記録媒体に多重に記録す
ることを特徴とするホログラフィー記録方法である。そ
の際、各回の記録において、物体光のホログラム記録媒
体への入射角度をも順次変更しながら記録することもで
きる。
【０００５】本発明はまた、マスクより射出する物体光
を参照光と干渉させて干渉縞を形成し、該干渉縞が形成
される位置にホログラム記録媒体を配置することによっ
て、マスクに描かれたパターンをホログラム記録媒体に
ホログラムとして記録し、該ホログラム記録媒体に再生
光を入射してホログラムとして記録されたパターンの再
生像を形成し、該再生像が形成される位置にレジストを
配置することによって、ホログラムとして記録されたパ
ターンをレジストに再生するホログラフィー記録再生方
法において、参照光のホログラム記録媒体への入射角度
を順次変更しながら、マスクに描かれたパターンを複数
回にわたってホログラム記録媒体に多重に記録し、互い
に干渉しない複数の再生光を用い、該再生光による再生
像が互いに重なるように、ホログラム記録媒体に多重に
記録されたパターンをレジストに同時に再生することを
特徴とするホログラフィー記録再生方法である。その
際、ホログラムの再生については、再生光のホログラム
記録媒体への入射角度を順次変更しながら、再生光によ
る再生像が互いに重なるように、ホログラム記録媒体に
多重に記録されたパターンをレジストに順次再生するこ
ともできる。
を参照光と干渉させて干渉縞を形成し、該干渉縞が形成
される位置にホログラム記録媒体を配置することによっ
て、マスクに描かれたパターンをホログラム記録媒体に
ホログラムとして記録し、該ホログラム記録媒体に再生
光を入射してホログラムとして記録されたパターンの再
生像を形成し、該再生像が形成される位置にレジストを
配置することによって、ホログラムとして記録されたパ
ターンをレジストに再生するホログラフィー記録再生方
法において、参照光のホログラム記録媒体への入射角度
を順次変更しながら、マスクに描かれたパターンを複数
回にわたってホログラム記録媒体に多重に記録し、互い
に干渉しない複数の再生光を用い、該再生光による再生
像が互いに重なるように、ホログラム記録媒体に多重に
記録されたパターンをレジストに同時に再生することを
特徴とするホログラフィー記録再生方法である。その
際、ホログラムの再生については、再生光のホログラム
記録媒体への入射角度を順次変更しながら、再生光によ
る再生像が互いに重なるように、ホログラム記録媒体に
多重に記録されたパターンをレジストに順次再生するこ
ともできる。
【０００６】
【作用】参照光のホログラム記録媒体への入射角度を順
次変更しながら、マスク上のパターンをホログラム記録
媒体に多重に記録したときには、参照光学系やホログラ
ム記録媒体の内部散乱で生じるスペックルノイズは、複
数回の記録において互いに打ち消しあうから、これらの
スペックルノイズの干渉縞への重畳は低減する。その
際、物体光のホログラム記録媒体への入射角度をも順次
変更したときには、マスク照明光学系やホログラム記録
媒体の表面散乱や内部散乱で生じるスペックルノイズ
は、複数回の記録において互いに打ち消しあうから、こ
れらのスペックルノイズの干渉縞への重畳も低減する。
次変更しながら、マスク上のパターンをホログラム記録
媒体に多重に記録したときには、参照光学系やホログラ
ム記録媒体の内部散乱で生じるスペックルノイズは、複
数回の記録において互いに打ち消しあうから、これらの
スペックルノイズの干渉縞への重畳は低減する。その
際、物体光のホログラム記録媒体への入射角度をも順次
変更したときには、マスク照明光学系やホログラム記録
媒体の表面散乱や内部散乱で生じるスペックルノイズ
は、複数回の記録において互いに打ち消しあうから、こ
れらのスペックルノイズの干渉縞への重畳も低減する。
【０００７】また参照光のホログラム記録媒体への入射
角度を順次変更しながら、マスク上のパターンをホログ
ラム記録媒体に多重に記録したときには、再生光のホロ
グラム記録媒体への入射角度も変更することとなる。し
たがって再生光学系やホログラム記録媒体の内部散乱で
生じるスペックルノイズは、各再生において互いに打ち
消しあうから、これらのスペックルノイズの再生像への
重畳は低減する。また物体光のホログラム記録媒体への
入射角度をも順次変更しながら、マスク上のパターンを
ホログラム記録媒体に多重に記録したときには、再生光
によって再生される結像光の射出角度も変化する。した
がってホログラム記録媒体の内部散乱や表面散乱で生じ
るスペックルノイズは、各再生において互いに打ち消し
あうから、これらのスペックルノイズの再生像への重畳
も低減する。
角度を順次変更しながら、マスク上のパターンをホログ
ラム記録媒体に多重に記録したときには、再生光のホロ
グラム記録媒体への入射角度も変更することとなる。し
たがって再生光学系やホログラム記録媒体の内部散乱で
生じるスペックルノイズは、各再生において互いに打ち
消しあうから、これらのスペックルノイズの再生像への
重畳は低減する。また物体光のホログラム記録媒体への
入射角度をも順次変更しながら、マスク上のパターンを
ホログラム記録媒体に多重に記録したときには、再生光
によって再生される結像光の射出角度も変化する。した
がってホログラム記録媒体の内部散乱や表面散乱で生じ
るスペックルノイズは、各再生において互いに打ち消し
あうから、これらのスペックルノイズの再生像への重畳
も低減する。
【０００８】図１は、同一のマスクのパターンを、互い
に角度の異なる照明光と互いに角度の異なる参照光によ
ってホログラム記録媒体３に２重に記録したホログラム
を、互いに干渉しない再生光７Ａと再生光７Ｂによって
同時に、すなわち２重に再生している様子を示してい
る。両再生光７Ａ，７Ｂは、ホログラム記録媒体３のそ
れぞれの干渉縞、すなわちホログラムのブラッグ条件に
合わせてあり、両再生光７Ａ，７Ｂの角度の差は、ホロ
グラム記録時の２つの参照光の角度の差に対応してい
る。この角度差は、ホログラム記録媒体３に記録した２
つの干渉縞の各々のブラッグ再生条件が、クロストーク
を起こさないように十分に離隔された角度差であり、例
えば約５°〜１０°とすることができる。
に角度の異なる照明光と互いに角度の異なる参照光によ
ってホログラム記録媒体３に２重に記録したホログラム
を、互いに干渉しない再生光７Ａと再生光７Ｂによって
同時に、すなわち２重に再生している様子を示してい
る。両再生光７Ａ，７Ｂは、ホログラム記録媒体３のそ
れぞれの干渉縞、すなわちホログラムのブラッグ条件に
合わせてあり、両再生光７Ａ，７Ｂの角度の差は、ホロ
グラム記録時の２つの参照光の角度の差に対応してい
る。この角度差は、ホログラム記録媒体３に記録した２
つの干渉縞の各々のブラッグ再生条件が、クロストーク
を起こさないように十分に離隔された角度差であり、例
えば約５°〜１０°とすることができる。
【０００９】他方、図１では０次と±１次の結像光８
Ａ，８Ｂだけを示してあるが、再生光７Ａによって再生
された結像光８Ａと、再生光７Ｂによって再生された結
像光８Ｂとの角度の差は、ホログラム記録時の２つの照
明光の角度差に対応している。２つの再生像、すなわち
２つの結像光８Ａ，８Ｂによる空中像は原理的に重なる
が、２つの再生像が若干ずれる場合でも、いずれかの再
生光７Ａ，７Ｂの角度を微調整することによって、両再
生像を完全に重ねることができる。こうして再生像のコ
ントラストは低下せずに、スペックルノイズのコントラ
ストだけを低下させることができる。以下、０次結像光
に着目して、スペックルノイズが低減する理由について
説明する。
Ａ，８Ｂだけを示してあるが、再生光７Ａによって再生
された結像光８Ａと、再生光７Ｂによって再生された結
像光８Ｂとの角度の差は、ホログラム記録時の２つの照
明光の角度差に対応している。２つの再生像、すなわち
２つの結像光８Ａ，８Ｂによる空中像は原理的に重なる
が、２つの再生像が若干ずれる場合でも、いずれかの再
生光７Ａ，７Ｂの角度を微調整することによって、両再
生像を完全に重ねることができる。こうして再生像のコ
ントラストは低下せずに、スペックルノイズのコントラ
ストだけを低下させることができる。以下、０次結像光
に着目して、スペックルノイズが低減する理由について
説明する。
【００１０】図２は再生光７Ａによって再生された０次
結像光８Ａと、再生光７Ｂによって再生された０次結像
光８Ｂとがホログラム記録媒体の表面を通過して、ウエ
ハ４上のレジストに到達する様子を示している。再生光
７Ａによって再生された０次結像光８Ａは、ホログラム
記録媒体の表面を通過する際に散乱されて、レジスト上
にスペックルパターンＳAを作り、同様に再生光７Ｂに
よって再生された０次結像光８Ｂは、レジスト上にスペ
ックルパターンＳBを作る。このとき両０次結像光８
Ａ，８Ｂの射出方向は互いに傾いているために、レジス
ト上での２つのスペックルパターンＳA，ＳBは同一の位
置には至らずに位置がずれる。更にはスペックルパター
ンＳA，ＳBの形状自体も、相互に異なった形状に変形す
る。２つのスペックルパターンＳA，ＳBは、互いに干渉
しない光源によって発生したものなので、互いに干渉せ
ずに強度として重なり合う。その結果両スペックルパタ
ーンＳA，ＳBの強度は互いに相殺し、コントラストが低
減するのである。
結像光８Ａと、再生光７Ｂによって再生された０次結像
光８Ｂとがホログラム記録媒体の表面を通過して、ウエ
ハ４上のレジストに到達する様子を示している。再生光
７Ａによって再生された０次結像光８Ａは、ホログラム
記録媒体の表面を通過する際に散乱されて、レジスト上
にスペックルパターンＳAを作り、同様に再生光７Ｂに
よって再生された０次結像光８Ｂは、レジスト上にスペ
ックルパターンＳBを作る。このとき両０次結像光８
Ａ，８Ｂの射出方向は互いに傾いているために、レジス
ト上での２つのスペックルパターンＳA，ＳBは同一の位
置には至らずに位置がずれる。更にはスペックルパター
ンＳA，ＳBの形状自体も、相互に異なった形状に変形す
る。２つのスペックルパターンＳA，ＳBは、互いに干渉
しない光源によって発生したものなので、互いに干渉せ
ずに強度として重なり合う。その結果両スペックルパタ
ーンＳA，ＳBの強度は互いに相殺し、コントラストが低
減するのである。
【００１１】ここで両０次結像光８Ａ，８Ｂの角度差を
Δθとし、ホログラム記録媒体３とレジストとの間の像
面距離をＧとすると、両スペックルパターンＳA，ＳBの
相対的な位置ずれΔｘは、 Δｘ＝Ｇ・Δθ で与えられる。この位置ずれΔｘが大きくなると、両ス
ペックルパターンＳA，ＳBの相関は減少し、したがって
両スペックルパターンＳA，ＳBの相殺の度合は増す。他
方、両スペックルパターンＳA，ＳBの相関が十分に小さ
いといえる標準的な位置ずれ量は、通常、スペックル半
径ｒSで見積もられる。したがって、 Δｘ＞ｒS すなわち、 Ｇ・Δθ＞ｒS となるように角度差Δθ又は像面距離Ｇを調節すること
により、両スペックルパターンＳA，ＳBの相関を十分に
小さくすることができ、したがって両スペックルパター
ンＳA，ＳBの相殺の度合を十分に増大させて、スペック
ルノイズを減少させることができる。なお、両０次結像
光８Ａ，８Ｂの角度差Δθは、ホログラム記録時の２つ
のマスク照明光の角度差に対応しており、像面距離Ｇは
ホログラム記録時のマスク距離に対応している。したが
ってこれらを調節することによって、角度差Δθあるい
は像面距離Ｇを調節することができる。
Δθとし、ホログラム記録媒体３とレジストとの間の像
面距離をＧとすると、両スペックルパターンＳA，ＳBの
相対的な位置ずれΔｘは、 Δｘ＝Ｇ・Δθ で与えられる。この位置ずれΔｘが大きくなると、両ス
ペックルパターンＳA，ＳBの相関は減少し、したがって
両スペックルパターンＳA，ＳBの相殺の度合は増す。他
方、両スペックルパターンＳA，ＳBの相関が十分に小さ
いといえる標準的な位置ずれ量は、通常、スペックル半
径ｒSで見積もられる。したがって、 Δｘ＞ｒS すなわち、 Ｇ・Δθ＞ｒS となるように角度差Δθ又は像面距離Ｇを調節すること
により、両スペックルパターンＳA，ＳBの相関を十分に
小さくすることができ、したがって両スペックルパター
ンＳA，ＳBの相殺の度合を十分に増大させて、スペック
ルノイズを減少させることができる。なお、両０次結像
光８Ａ，８Ｂの角度差Δθは、ホログラム記録時の２つ
のマスク照明光の角度差に対応しており、像面距離Ｇは
ホログラム記録時のマスク距離に対応している。したが
ってこれらを調節することによって、角度差Δθあるい
は像面距離Ｇを調節することができる。
【００１２】以上の説明では、０次結像光８Ａ，８Ｂに
着目して本発明の作用を説明したが、より高次の結像光
についても同様であり、すなわち結像光の全体につい
て、ホログラム記録媒体３の表面散乱に起因するスペッ
クルノイズの低減を図ることができる。また以上の説明
では、ホログラム記録媒体３の表面散乱によるスペック
ルノイズの低減について説明したが、２つの結像光が相
互に傾斜しているのと同様に、２つのマスク照明光、２
つの参照光、あるいは２つの再生光が相互に傾斜してい
ることから、ホログラム記録媒体３の内部散乱や、マス
ク照明光学系、参照光学系あるいは再生光学系の散乱に
よって発生するスペックルノイズについても同様に低減
する。また以上の説明では、２重記録、２重再生の場合
について説明したが、３重以上の多重記録を行い、それ
を多重再生した場合には、より一層のスペックルコント
ラストの低減を図ることができる。
着目して本発明の作用を説明したが、より高次の結像光
についても同様であり、すなわち結像光の全体につい
て、ホログラム記録媒体３の表面散乱に起因するスペッ
クルノイズの低減を図ることができる。また以上の説明
では、ホログラム記録媒体３の表面散乱によるスペック
ルノイズの低減について説明したが、２つの結像光が相
互に傾斜しているのと同様に、２つのマスク照明光、２
つの参照光、あるいは２つの再生光が相互に傾斜してい
ることから、ホログラム記録媒体３の内部散乱や、マス
ク照明光学系、参照光学系あるいは再生光学系の散乱に
よって発生するスペックルノイズについても同様に低減
する。また以上の説明では、２重記録、２重再生の場合
について説明したが、３重以上の多重記録を行い、それ
を多重再生した場合には、より一層のスペックルコント
ラストの低減を図ることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を説明す
る。図３は第１実施例を示し、この実施例はホログラム
記録媒体への記録方法に関する実施例を示すものであ
る。波長４５８ｎｍのＡｒレーザ光源１０からの光束は
シャッター１１を通り、ハーフミラー１２で分割され
て、マスク照明光学系と参照光学系に導かれている。ハ
ーフミラー１２を透過してマスク照明光学系に入った光
束は、ビームエキスパンダー１３とアパーチャ１４を通
ってビーム径を変更し、可動ミラー１５によって反射し
てマスク１を照明している。可動ミラー１５は位置と角
度とが可変となるように配置されている。
る。図３は第１実施例を示し、この実施例はホログラム
記録媒体への記録方法に関する実施例を示すものであ
る。波長４５８ｎｍのＡｒレーザ光源１０からの光束は
シャッター１１を通り、ハーフミラー１２で分割され
て、マスク照明光学系と参照光学系に導かれている。ハ
ーフミラー１２を透過してマスク照明光学系に入った光
束は、ビームエキスパンダー１３とアパーチャ１４を通
ってビーム径を変更し、可動ミラー１５によって反射し
てマスク１を照明している。可動ミラー１５は位置と角
度とが可変となるように配置されている。
【００１４】マスク１にはホログラム記録媒体に記録し
ようとする回路パターンが描画されており、マスク１の
下方にプリズム２がアライメントされて配置されてい
る。プリズム２上にはホログラム記録媒体３となるフォ
トポリマーが配置されており、マスク１を照明した光束
は、マスク１を透過してホログラム記録媒体３に入射し
ている。マスク１とホログラム記録媒体３との間隔は、
本実施例では１００μｍとしている。他方、ハーフミラ
ー１２で反射して参照光学系に入った光束は、ビームエ
キスパンダー１６とアパーチャ１７を通ってビーム径を
変更し、可動ミラー１８によって反射してプリズム２に
入射し、プリズム２を通ってホログラム記録媒体３と空
気層の境界面において全反射するように入射している。
可動ミラー１８は位置と角度とが可変となるように配置
されている。
ようとする回路パターンが描画されており、マスク１の
下方にプリズム２がアライメントされて配置されてい
る。プリズム２上にはホログラム記録媒体３となるフォ
トポリマーが配置されており、マスク１を照明した光束
は、マスク１を透過してホログラム記録媒体３に入射し
ている。マスク１とホログラム記録媒体３との間隔は、
本実施例では１００μｍとしている。他方、ハーフミラ
ー１２で反射して参照光学系に入った光束は、ビームエ
キスパンダー１６とアパーチャ１７を通ってビーム径を
変更し、可動ミラー１８によって反射してプリズム２に
入射し、プリズム２を通ってホログラム記録媒体３と空
気層の境界面において全反射するように入射している。
可動ミラー１８は位置と角度とが可変となるように配置
されている。
【００１５】こうしてマスク１を透過した物体光と参照
光との干渉によって形成される干渉縞が、ホログラム記
録媒体３にホログラムとして記録されるが、本実施例で
はマスク１上のパターンをホログラム記録媒体３に２回
記録している。すなわちまずシャッター１１を閉じ、マ
スク照明光学系と参照光学系とのアパーチャ１４，１７
の開口度と可動ミラー１５，１８の位置及び角度をコン
ピュータ制御によって設定し、シャッター１１を開いて
１回目の露光を行う。次いでシャッター１１を閉じ、ア
パーチャ１４，１７の開口度と可動ミラー１５，１８の
位置及び角度を変更し、シャッター１１を開いて２回目
の露光を行う。
光との干渉によって形成される干渉縞が、ホログラム記
録媒体３にホログラムとして記録されるが、本実施例で
はマスク１上のパターンをホログラム記録媒体３に２回
記録している。すなわちまずシャッター１１を閉じ、マ
スク照明光学系と参照光学系とのアパーチャ１４，１７
の開口度と可動ミラー１５，１８の位置及び角度をコン
ピュータ制御によって設定し、シャッター１１を開いて
１回目の露光を行う。次いでシャッター１１を閉じ、ア
パーチャ１４，１７の開口度と可動ミラー１５，１８の
位置及び角度を変更し、シャッター１１を開いて２回目
の露光を行う。
【００１６】ここでマスク照明光５Ａ，５Ｂのマスク１
への入射角θmは、１回目の記録のとき（５Ａ）にはマ
スク１の法線に対して−３°に設定してあり、２回目の
記録のとき（５Ｂ）には＋３°に設定してある。また参
照光６Ａ，６Ｂのプリズム２への入射角θrefは、１回
目の記録のとき（６Ａ）にはプリズム斜面の法線に対し
て−３°に設定してあり、２回目の記録のとき（６Ｂ）
には＋３°に設定してある。したがって可動ミラー１
５，１８の位置と角度とは、１回目の記録時の状態Ａか
ら２回目の記録時の状態Ｂへと変更させ、またアパーチ
ャ１４，１７の開口度も変化させている。なお参照光６
Ａ，６Ｂはプリズム２の斜面で屈折するから、１回目の
記録時と２回目の記録時とで、ホログラム記録媒体３に
入射する２つの参照光６Ａ，６Ｂの角度差は必ずしも６
°ではない。またマスク１の位置は、１回目の記録時と
２回目の記録時とで移動させていない。以上のようにし
てマスク１上のパターンの干渉縞をホログラム記録媒体
３にホログラムとして２回記録した後に、この干渉縞の
定着操作を行い、こうして本実施例による記録の手順を
終了する。
への入射角θmは、１回目の記録のとき（５Ａ）にはマ
スク１の法線に対して−３°に設定してあり、２回目の
記録のとき（５Ｂ）には＋３°に設定してある。また参
照光６Ａ，６Ｂのプリズム２への入射角θrefは、１回
目の記録のとき（６Ａ）にはプリズム斜面の法線に対し
て−３°に設定してあり、２回目の記録のとき（６Ｂ）
には＋３°に設定してある。したがって可動ミラー１
５，１８の位置と角度とは、１回目の記録時の状態Ａか
ら２回目の記録時の状態Ｂへと変更させ、またアパーチ
ャ１４，１７の開口度も変化させている。なお参照光６
Ａ，６Ｂはプリズム２の斜面で屈折するから、１回目の
記録時と２回目の記録時とで、ホログラム記録媒体３に
入射する２つの参照光６Ａ，６Ｂの角度差は必ずしも６
°ではない。またマスク１の位置は、１回目の記録時と
２回目の記録時とで移動させていない。以上のようにし
てマスク１上のパターンの干渉縞をホログラム記録媒体
３にホログラムとして２回記録した後に、この干渉縞の
定着操作を行い、こうして本実施例による記録の手順を
終了する。
【００１７】しかして本実施例によれば、ホログラム記
録媒体３にはマスク１上のパターンがホログラムとして
２重に記録され、１回目の記録と２回目の記録とで、ホ
ログラム記録媒体３の同一の部位に至る２つの参照光６
Ａ，６Ｂは別の経路をたどっている。したがって参照光
学系やホログラム記録媒体３の内部散乱で生じるスペッ
クルノイズは、２回の記録において互いに打ち消しあ
い、これらのスペックルノイズの干渉縞への重畳は低減
する。更に本実施例では、１回目の記録と２回目の記録
とで、ホログラム記録媒体３の同一の部位に至る２つの
マスク照明光５Ａ，５Ｂもまた別の経路をたどってい
る。したがってマスク照明光学系で生じるスペックルノ
イズもまた低減する。
録媒体３にはマスク１上のパターンがホログラムとして
２重に記録され、１回目の記録と２回目の記録とで、ホ
ログラム記録媒体３の同一の部位に至る２つの参照光６
Ａ，６Ｂは別の経路をたどっている。したがって参照光
学系やホログラム記録媒体３の内部散乱で生じるスペッ
クルノイズは、２回の記録において互いに打ち消しあ
い、これらのスペックルノイズの干渉縞への重畳は低減
する。更に本実施例では、１回目の記録と２回目の記録
とで、ホログラム記録媒体３の同一の部位に至る２つの
マスク照明光５Ａ，５Ｂもまた別の経路をたどってい
る。したがってマスク照明光学系で生じるスペックルノ
イズもまた低減する。
【００１８】なお本実施例では両参照光６Ａ，６Ｂの角
度差ΔθrefをΔθref＝６°としたが、この値は絶対的
なものではなく、ホログラム記録媒体の種類やホログラ
ムとして記録、定着する条件によって若干異なる。Δθ
ref＝６°の設定でクロストークが起こった場合には、
Δθrefをより大きな値に設定しなおす必要がある。ま
た本実施例では、マスクとホログラム記録媒体との間隔
ＧをＧ＝１００μｍとし、両マスク照明光５Ａ，５Ｂの
角度差ΔθmをΔθm＝６°としたから、再生したときの
両スペックルパターンの位置ずれΔｘはΔｘ＝１０μｍ
となる。したがってスペックルパターンの相関長すなわ
ちスペックル半径が１０μｍより小さい場合には、両ス
ペックルの相関が小さくなり、両スペックルの相殺効果
が大きい。しかし相関長が１０μｍより大きい場合には
相殺効果は小さくなってしまう。したがってΔθm＝６
°でスペックルノイズの低減効果がみられない場合に
は、Δθmをより大きな値に設定しなおす必要がある。
度差ΔθrefをΔθref＝６°としたが、この値は絶対的
なものではなく、ホログラム記録媒体の種類やホログラ
ムとして記録、定着する条件によって若干異なる。Δθ
ref＝６°の設定でクロストークが起こった場合には、
Δθrefをより大きな値に設定しなおす必要がある。ま
た本実施例では、マスクとホログラム記録媒体との間隔
ＧをＧ＝１００μｍとし、両マスク照明光５Ａ，５Ｂの
角度差ΔθmをΔθm＝６°としたから、再生したときの
両スペックルパターンの位置ずれΔｘはΔｘ＝１０μｍ
となる。したがってスペックルパターンの相関長すなわ
ちスペックル半径が１０μｍより小さい場合には、両ス
ペックルの相関が小さくなり、両スペックルの相殺効果
が大きい。しかし相関長が１０μｍより大きい場合には
相殺効果は小さくなってしまう。したがってΔθm＝６
°でスペックルノイズの低減効果がみられない場合に
は、Δθmをより大きな値に設定しなおす必要がある。
【００１９】また本実施例では、マスク照明光５Ａ，５
Ｂと参照光６Ａ，６Ｂの角度は入射面内方向について変
化させたが、それぞれ入射面に垂直な方向に傾けても良
い。ただし参照光６Ａ，６Ｂを入射面に垂直な方向に傾
ける場合には、その方向にはブラッグ条件が緩やかなの
で、各記録パターンがクロストークを起こさないように
角度間隔を十分大きく取っておく必要がある。また本実
施例ではマスク照明光５Ａ，５Ｂも参照光６Ａ，６Ｂも
入射角度を変化させたが、マスク照明光５Ａ，５Ｂの角
度は一定とし、参照光６Ａ，６Ｂの角度だけを順次変化
させて多重記録することもできる。この場合にはホログ
ラム記録媒体の内部散乱や、参照光学系で発生するスペ
ックルノイズの低減効果が期待できる。
Ｂと参照光６Ａ，６Ｂの角度は入射面内方向について変
化させたが、それぞれ入射面に垂直な方向に傾けても良
い。ただし参照光６Ａ，６Ｂを入射面に垂直な方向に傾
ける場合には、その方向にはブラッグ条件が緩やかなの
で、各記録パターンがクロストークを起こさないように
角度間隔を十分大きく取っておく必要がある。また本実
施例ではマスク照明光５Ａ，５Ｂも参照光６Ａ，６Ｂも
入射角度を変化させたが、マスク照明光５Ａ，５Ｂの角
度は一定とし、参照光６Ａ，６Ｂの角度だけを順次変化
させて多重記録することもできる。この場合にはホログ
ラム記録媒体の内部散乱や、参照光学系で発生するスペ
ックルノイズの低減効果が期待できる。
【００２０】次に図４は第２実施例を示し、この実施例
は、上記第１実施例によって記録したホログラムの再生
方法に関する実施例を示すものである。波長４５８ｎｍ
の第１Ａｒレーザ光源２０と波長４５８ｎｍの第２Ａｒ
レーザ光源２１からの光束は、それぞれ第１再生光学系
と第２再生光学系に導かれており、各再生光学系におい
て光束は、それぞれビームエキスパンダー２２，２３と
アパーチャ２４，２５を通ってビーム径を変更し、ミラ
ー２６，２７によって反射してプリズム２に入射し、プ
リズム２を通ってホログラム記録媒体３に入射してい
る。ホログラム記録媒体３の上方にはウエハ４がアライ
メントされて配置されており、ウエハ４の下面にはレジ
ストが塗布されている。ホログラム記録媒体３は記録時
の配置に対して共役な配置となるように、ホログラム記
録媒体の表面の面内において１８０°回転してあり、し
たがって図３におけるホログラム記録媒体３の右端部Ｒ
が図４では左端に配置され、図３の左端部Ｌが図４では
右端に配置されている。
は、上記第１実施例によって記録したホログラムの再生
方法に関する実施例を示すものである。波長４５８ｎｍ
の第１Ａｒレーザ光源２０と波長４５８ｎｍの第２Ａｒ
レーザ光源２１からの光束は、それぞれ第１再生光学系
と第２再生光学系に導かれており、各再生光学系におい
て光束は、それぞれビームエキスパンダー２２，２３と
アパーチャ２４，２５を通ってビーム径を変更し、ミラ
ー２６，２７によって反射してプリズム２に入射し、プ
リズム２を通ってホログラム記録媒体３に入射してい
る。ホログラム記録媒体３の上方にはウエハ４がアライ
メントされて配置されており、ウエハ４の下面にはレジ
ストが塗布されている。ホログラム記録媒体３は記録時
の配置に対して共役な配置となるように、ホログラム記
録媒体の表面の面内において１８０°回転してあり、し
たがって図３におけるホログラム記録媒体３の右端部Ｒ
が図４では左端に配置され、図３の左端部Ｌが図４では
右端に配置されている。
【００２１】第１レーザ光源２０と第２レーザ光源２１
とは独立な光源であるから、両光源２０，２１からのレ
ーザ光は互いに干渉しない。また第１再生光学系と第２
再生光学系は、それぞれ上記第１実施例において記録し
た１回目の干渉縞と２回目の干渉縞とを再生できるよう
に角度と光束径を調整してある。すなわち第１再生光学
系の光束のプリズム２への入射角は、プリズム斜面の法
線に対して−３°となるように設定してあり、第２再生
光学系の光束のプリズム２への入射角は、＋３°となる
ように設定されている。両光束の強度は、各々の再生像
が等強度となるように調整されている。
とは独立な光源であるから、両光源２０，２１からのレ
ーザ光は互いに干渉しない。また第１再生光学系と第２
再生光学系は、それぞれ上記第１実施例において記録し
た１回目の干渉縞と２回目の干渉縞とを再生できるよう
に角度と光束径を調整してある。すなわち第１再生光学
系の光束のプリズム２への入射角は、プリズム斜面の法
線に対して−３°となるように設定してあり、第２再生
光学系の光束のプリズム２への入射角は、＋３°となる
ように設定されている。両光束の強度は、各々の再生像
が等強度となるように調整されている。
【００２２】こうしてホログラム記録媒体３にホログラ
ムとして記録された２つの干渉縞は２つの再生光７Ａ，
７Ｂによって再生され、再生されたそれぞれの結像光８
Ａ，８Ｂは再生像を形成し、マスク１を配置した位置に
レジストを配置することにより、２つの再生像は重なっ
てレジストに焼き付けられる。しかるにレジストの同一
の部位に至る両再生光７Ａ，７Ｂと両結像光８Ａ，８Ｂ
は、それぞれ別の経路をたどっている。したがって再生
光学系やホログラム記録媒体３の表面散乱や内部散乱で
生じるスペックルノイズは、２回の再生において互いに
打ち消しあい、これらのスペックルノイズの再生像への
重畳は低減する。
ムとして記録された２つの干渉縞は２つの再生光７Ａ，
７Ｂによって再生され、再生されたそれぞれの結像光８
Ａ，８Ｂは再生像を形成し、マスク１を配置した位置に
レジストを配置することにより、２つの再生像は重なっ
てレジストに焼き付けられる。しかるにレジストの同一
の部位に至る両再生光７Ａ，７Ｂと両結像光８Ａ，８Ｂ
は、それぞれ別の経路をたどっている。したがって再生
光学系やホログラム記録媒体３の表面散乱や内部散乱で
生じるスペックルノイズは、２回の再生において互いに
打ち消しあい、これらのスペックルノイズの再生像への
重畳は低減する。
【００２３】次に図５は第３実施例を示し、この実施例
は、上記第１実施例によって記録したホログラムの再生
方法に関する別の実施例を示すものである。すなわち上
記第２実施例では２つの干渉縞を同時に再生したが、こ
の第３実施例は２つの干渉縞を順次再生するものであ
る。波長４５８ｎｍのＡｒレーザ光源３０からの光束
は、シャッター３１を通って再生光学系に導かれてお
り、すなわちビームエキスパンダー３２とアパーチャ３
３を通ってビーム径を変更し、可動ミラー３４によって
反射してプリズム２に入射し、プリズム２を通ってホロ
グラム記録媒体３に入射している。ホログラム記録媒体
３の上方にはウエハ４がアライメントされて配置されて
おり、ウエハ４の下面にはレジストが塗布されている。
ホログラム記録媒体３は記録時の配置に対して共役な配
置となるように、ホログラム記録媒体の表面の面内にお
いて１８０°回転して配置されている。可動ミラーは位
置と角度とが可変となるように配置されている。
は、上記第１実施例によって記録したホログラムの再生
方法に関する別の実施例を示すものである。すなわち上
記第２実施例では２つの干渉縞を同時に再生したが、こ
の第３実施例は２つの干渉縞を順次再生するものであ
る。波長４５８ｎｍのＡｒレーザ光源３０からの光束
は、シャッター３１を通って再生光学系に導かれてお
り、すなわちビームエキスパンダー３２とアパーチャ３
３を通ってビーム径を変更し、可動ミラー３４によって
反射してプリズム２に入射し、プリズム２を通ってホロ
グラム記録媒体３に入射している。ホログラム記録媒体
３の上方にはウエハ４がアライメントされて配置されて
おり、ウエハ４の下面にはレジストが塗布されている。
ホログラム記録媒体３は記録時の配置に対して共役な配
置となるように、ホログラム記録媒体の表面の面内にお
いて１８０°回転して配置されている。可動ミラーは位
置と角度とが可変となるように配置されている。
【００２４】本実施例ではまずシャッター３１を閉じ、
アパーチャ３３の開口度と可動ミラー３４の位置及び角
度をコンピュータ制御によって設定し、シャッター３１
を開いて１回目の露光を行う。次いでシャッター３１を
閉じ、アパーチャ３３の開口度と可動ミラー３４の位置
及び角度を変更し、シャッター３１を開いて２回目の露
光を行う。再生光７Ａ，７Ｂのプリズム２への入射角
は、１回目の再生のとき７Ａにはプリズム斜面の法線に
対して−３°に設定してあり、２回目の再生のとき７Ｂ
には＋３°に設定してある。したがって可動ミラー３４
の位置と角度とは、１回目の再生時の状態Ａから２回目
の再生時の状態Ｂへと変更させ、またアパーチャ３３の
開口度も変化させている。また両再生光７Ａ，７Ｂの強
度は、２回の露光量が等しくなるように調整されてい
る。２重露光した後のレジストの潜像は、１回目の再生
像による潜像と２回目の潜像とがインコヒーレントに重
畳したものになっており、これは第２実施例での再生に
よる潜像と同じ潜像となっている。すなわち第２実施例
と第３実施例とは、その効果において等価である。
アパーチャ３３の開口度と可動ミラー３４の位置及び角
度をコンピュータ制御によって設定し、シャッター３１
を開いて１回目の露光を行う。次いでシャッター３１を
閉じ、アパーチャ３３の開口度と可動ミラー３４の位置
及び角度を変更し、シャッター３１を開いて２回目の露
光を行う。再生光７Ａ，７Ｂのプリズム２への入射角
は、１回目の再生のとき７Ａにはプリズム斜面の法線に
対して−３°に設定してあり、２回目の再生のとき７Ｂ
には＋３°に設定してある。したがって可動ミラー３４
の位置と角度とは、１回目の再生時の状態Ａから２回目
の再生時の状態Ｂへと変更させ、またアパーチャ３３の
開口度も変化させている。また両再生光７Ａ，７Ｂの強
度は、２回の露光量が等しくなるように調整されてい
る。２重露光した後のレジストの潜像は、１回目の再生
像による潜像と２回目の潜像とがインコヒーレントに重
畳したものになっており、これは第２実施例での再生に
よる潜像と同じ潜像となっている。すなわち第２実施例
と第３実施例とは、その効果において等価である。
【００２５】ここで、記録時のホログラム記録媒体の厚
みと再生時のホログラム記録媒体の厚みとが、ホログラ
ムの記録、定着操作によって変化し、すなわち、ホログ
ラム記録媒体の厚みが収縮又は膨脹することがある。ま
た、記録時のホログラム記録媒体の平均屈折率と再生時
のホログラム記録媒体の平均屈折率とが、ホログラムの
記録、定着操作によって変化することがある。この場合
には、ホログラムのブラッグ条件すなわち再生条件が、
記録時に対する完全に共役な条件からずれることにな
る。したがって例えば、記録時と同じ波長で再生する場
合には、再生光のプリズム入射角が共役な配置からずれ
た値において、再生強度が最大となる。すなわちホログ
ラム記録媒体の厚み変化や屈折率の変化がない場合に
は、第１実施例での２回の記録を再生するための再生光
の入射角度は−３°と＋３°であるが、ホログラム記録
媒体の厚み変化や屈折率の変化がある場合には、再生光
の入射角度は−３°と＋３°とは異なった値とする必要
がある。しかるにこの角度補正は２つの再生光について
同一ではなく、一般に異なった値とする必要がある。こ
の場合、それぞれの再生光による再生像の強度が最大と
なるように再生光の入射角度をそれぞれ補正すると、２
つの再生像の位置ずれを招くこととなる。このような場
合には当然に再生像の位置合わせの方を優先する必要が
あるから、２つの再生像の位置が一致し、なおかつ再生
像の強度があまり低下しない角度条件を、再生像の位置
と強度との観測などによって求めておくことが好まし
い。しかる後、２つの再生像の強度が等しくなるよう
に、両レーザ光源の強度を独立に調節すればよい。この
ような点に注意を払えば、ホログラム記録媒体の厚み変
化や屈折率の変化がある場合でもこれに対処することが
できる。
みと再生時のホログラム記録媒体の厚みとが、ホログラ
ムの記録、定着操作によって変化し、すなわち、ホログ
ラム記録媒体の厚みが収縮又は膨脹することがある。ま
た、記録時のホログラム記録媒体の平均屈折率と再生時
のホログラム記録媒体の平均屈折率とが、ホログラムの
記録、定着操作によって変化することがある。この場合
には、ホログラムのブラッグ条件すなわち再生条件が、
記録時に対する完全に共役な条件からずれることにな
る。したがって例えば、記録時と同じ波長で再生する場
合には、再生光のプリズム入射角が共役な配置からずれ
た値において、再生強度が最大となる。すなわちホログ
ラム記録媒体の厚み変化や屈折率の変化がない場合に
は、第１実施例での２回の記録を再生するための再生光
の入射角度は−３°と＋３°であるが、ホログラム記録
媒体の厚み変化や屈折率の変化がある場合には、再生光
の入射角度は−３°と＋３°とは異なった値とする必要
がある。しかるにこの角度補正は２つの再生光について
同一ではなく、一般に異なった値とする必要がある。こ
の場合、それぞれの再生光による再生像の強度が最大と
なるように再生光の入射角度をそれぞれ補正すると、２
つの再生像の位置ずれを招くこととなる。このような場
合には当然に再生像の位置合わせの方を優先する必要が
あるから、２つの再生像の位置が一致し、なおかつ再生
像の強度があまり低下しない角度条件を、再生像の位置
と強度との観測などによって求めておくことが好まし
い。しかる後、２つの再生像の強度が等しくなるよう
に、両レーザ光源の強度を独立に調節すればよい。この
ような点に注意を払えば、ホログラム記録媒体の厚み変
化や屈折率の変化がある場合でもこれに対処することが
できる。
【００２６】ホログラム記録媒体の厚み変化や屈折率の
変化がある場合には、別の手法によっても対処すること
ができる。第１の手法は、記録時にマスクを移動して記
録する手法である。すなわちホログラム記録媒体の厚み
変化や屈折率の変化は、ホログラム記録媒体の種類や、
記録、定着などの条件を与えれば予測することができる
ので、ブラッグ条件の補正による２つの再生像の位置ず
れを予め予想することができる。第１実施例での記録方
法では、２回の記録を通じてマスクを一定位置に保持す
るとしたが、２つの再生光の入射角度をそれぞれの再生
像の強度が最大となるように補正したときの再生像の位
置ずれを予め求め、この位置ずれを減殺するように、２
回の記録においてマスク位置をずらして記録しておけ
ば、２つの再生光の入射角度をそれぞれの再生像の強度
が最大となるように補正したときに、２つの再生像が丁
度重なることとなる。この場合にも、位置ずれの予測が
完全に正確であるとは限らないから、再生に当たって再
生像を観測し、再生光の角度を微調節して２つの再生像
を完全に重ねることが好ましい。また両再生光の強度も
調節して、両再生像の強度を等しくしておくことが望ま
しい。
変化がある場合には、別の手法によっても対処すること
ができる。第１の手法は、記録時にマスクを移動して記
録する手法である。すなわちホログラム記録媒体の厚み
変化や屈折率の変化は、ホログラム記録媒体の種類や、
記録、定着などの条件を与えれば予測することができる
ので、ブラッグ条件の補正による２つの再生像の位置ず
れを予め予想することができる。第１実施例での記録方
法では、２回の記録を通じてマスクを一定位置に保持す
るとしたが、２つの再生光の入射角度をそれぞれの再生
像の強度が最大となるように補正したときの再生像の位
置ずれを予め求め、この位置ずれを減殺するように、２
回の記録においてマスク位置をずらして記録しておけ
ば、２つの再生光の入射角度をそれぞれの再生像の強度
が最大となるように補正したときに、２つの再生像が丁
度重なることとなる。この場合にも、位置ずれの予測が
完全に正確であるとは限らないから、再生に当たって再
生像を観測し、再生光の角度を微調節して２つの再生像
を完全に重ねることが好ましい。また両再生光の強度も
調節して、両再生像の強度を等しくしておくことが望ま
しい。
【００２７】第２の手法は、再生時にマスクを移動して
再生する手法である。すなわち２回の露光においてそれ
ぞれ再生像の強度が最大となるように再生光の角度を調
整し、しかる後に２つの再生像が完全に重なるように、
１回目の再生と２回目の再生との間でウエハ位置と再生
像の位置とのアライメントを図る。このようにすれば再
生像の位置ずれを招かずに最大強度の再生を行なうこと
ができる。なお、このように再生時にマスクを移動して
再生する手法は、順次再生する第３実施例の場合には適
用できるが、一括して再生する第２実施例では適用する
ことができない。
再生する手法である。すなわち２回の露光においてそれ
ぞれ再生像の強度が最大となるように再生光の角度を調
整し、しかる後に２つの再生像が完全に重なるように、
１回目の再生と２回目の再生との間でウエハ位置と再生
像の位置とのアライメントを図る。このようにすれば再
生像の位置ずれを招かずに最大強度の再生を行なうこと
ができる。なお、このように再生時にマスクを移動して
再生する手法は、順次再生する第３実施例の場合には適
用できるが、一括して再生する第２実施例では適用する
ことができない。
【００２８】以上の説明では２重記録、２重再生の場合
についての実施例を説明したが、３重記録、３重再生以
上の場合への拡張は容易である。多重度を増大すること
によってより一層のスペックル低減効果が期待できる。
多重記録、多重再生の場合にも各記録における物体照明
光の角度間隔は、スペックルパターンがスペックル半径
以上に移動するように設定する必要があり、また参照光
の角度間隔は、互いにクロストークがないように十分分
離させておく必要がある。
についての実施例を説明したが、３重記録、３重再生以
上の場合への拡張は容易である。多重度を増大すること
によってより一層のスペックル低減効果が期待できる。
多重記録、多重再生の場合にも各記録における物体照明
光の角度間隔は、スペックルパターンがスペックル半径
以上に移動するように設定する必要があり、また参照光
の角度間隔は、互いにクロストークがないように十分分
離させておく必要がある。
【００２９】また以上の再生方法の説明では、ホログラ
ム記録媒体に記録された２つの干渉縞を同時に再生する
か順次再生するかは別として、ホログラム記録媒体に記
録された各干渉縞の全領域を一括して再生する場合を示
したが、ホログラム記録媒体に記録された各干渉縞を部
分的に再生し、再生する部分を干渉縞の全体をカバーす
るように順次移動するスキャン再生を行うこともでき
る。このスキャン再生を行うときでも、互いに干渉しな
いレーザ光を再生像の多重度の数だけ準備し、複数の干
渉縞を部分的に一括して再生し、一括して再生する部分
をスキャンすることもできるし、また単一の再生光学系
によって、個々の干渉縞ごとにスキャン再生することも
できる。更にスキャン再生法を採用するときには、ウエ
ハの面方向の伸縮を吸収するように、スキャンと連動し
た倍率補正を行うこともできるし、パターンの部分的な
線幅の相違に対処するように、スキャンに連動して露光
量の補正を行なうこともできる。
ム記録媒体に記録された２つの干渉縞を同時に再生する
か順次再生するかは別として、ホログラム記録媒体に記
録された各干渉縞の全領域を一括して再生する場合を示
したが、ホログラム記録媒体に記録された各干渉縞を部
分的に再生し、再生する部分を干渉縞の全体をカバーす
るように順次移動するスキャン再生を行うこともでき
る。このスキャン再生を行うときでも、互いに干渉しな
いレーザ光を再生像の多重度の数だけ準備し、複数の干
渉縞を部分的に一括して再生し、一括して再生する部分
をスキャンすることもできるし、また単一の再生光学系
によって、個々の干渉縞ごとにスキャン再生することも
できる。更にスキャン再生法を採用するときには、ウエ
ハの面方向の伸縮を吸収するように、スキャンと連動し
た倍率補正を行うこともできるし、パターンの部分的な
線幅の相違に対処するように、スキャンに連動して露光
量の補正を行なうこともできる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明は、再生像は互いに
重ねられるがスペックルパターンは互いにずれるよう
に、複数回にわたってマスク上のパターンをホログラム
記録媒体に記録し、記録されたホログラムをレジスト上
に再生するホログラフィ記録再生方法であるから、ホロ
グラム記録媒体の表面散乱や内部散乱によって生じてい
たスペックルノイズの低減と、マスク照明光学系、参照
光学系、及び再生光学系によって発生するスペックルノ
イズの低減を図ることができる。したがってホログラフ
ィック・リソグラフィーによるパターンの転写精度を格
段の向上することができる。
重ねられるがスペックルパターンは互いにずれるよう
に、複数回にわたってマスク上のパターンをホログラム
記録媒体に記録し、記録されたホログラムをレジスト上
に再生するホログラフィ記録再生方法であるから、ホロ
グラム記録媒体の表面散乱や内部散乱によって生じてい
たスペックルノイズの低減と、マスク照明光学系、参照
光学系、及び再生光学系によって発生するスペックルノ
イズの低減を図ることができる。したがってホログラフ
ィック・リソグラフィーによるパターンの転写精度を格
段の向上することができる。
【図１】本発明による再生光と結像光とを示す説明図
【図２】本発明によってスペックルノイズが低減する原
理を示す説明図
理を示す説明図
【図３】第１実施例による記録方法を示す断面図
【図４】第２実施例による再生方法を示す断面図
【図５】第３実施例による再生方法を示す断面図
１…マスク ２…プリズム ３…ホログラム記録媒体 ４…ウエハ ５Ａ，５Ｂ…マスク照明光 ６Ａ，６Ｂ…参照光 ７Ａ，７Ｂ…再生光 ８Ａ，８Ｂ…結像光 １０，２０，２１，３０…レーザ光源 １１，３１…シャッター １２…ハーフミラー １３，１６，２２，２３，３２…ビームエキスパンダー １４，１７，２４，２５，３３…アパーチャ １５，１８，３４…可動ミラー ２６，２７…ミラー
Claims (7)
- 【請求項１】マスクより射出する物体光を参照光と干渉
させて干渉縞を形成し、該干渉縞が形成される位置にホ
ログラム記録媒体を配置することによって、前記マスク
に描かれたパターンを前記ホログラム記録媒体にホログ
ラムとして記録するホログラフィー記録方法において、 前記参照光のホログラム記録媒体への入射角度を順次変
更しながら、マスクに描かれた前記パターンを複数回に
わたって前記ホログラム記録媒体に多重に記録すること
を特徴とするホログラフィー記録方法。 - 【請求項２】各回の前記記録において、前記物体光のホ
ログラム記録媒体への入射角度をも順次変更しながら記
録する、請求項１記載のホログラフィー記録方法。 - 【請求項３】各回の前記記録において、記録時と再生時
との間のホログラム記録媒体の特性の変化に起因する再
生像の位置ずれを予め減殺するように、前記マスクの位
置を順次ずらしながら記録する、請求項１又は２記載の
ホログラフィー記録方法。 - 【請求項４】各回の記録における参照光のホログラム記
録媒体への前記入射角度は、同一の入射平面内で順次変
更するものである、請求項１、２又は３記載のホログラ
フィー記録方法。 - 【請求項５】マスクより射出する物体光を参照光と干渉
させて干渉縞を形成し、該干渉縞が形成される位置にホ
ログラム記録媒体を配置することによって、前記マスク
に描かれたパターンを前記ホログラム記録媒体にホログ
ラムとして記録し、 該ホログラム記録媒体に再生光を入射してホログラムと
して記録された前記パターンの再生像を形成し、該再生
像が形成される位置にレジストを配置することによっ
て、ホログラムとして記録された前記パターンを前記レ
ジストに再生するホログラフィー記録再生方法におい
て、 前記参照光のホログラム記録媒体への入射角度を順次変
更しながら、マスクに描かれた前記パターンを複数回に
わたって前記ホログラム記録媒体に多重に記録し、 互いに干渉しない複数の再生光を用い、該再生光による
前記再生像が互いに重なるように、ホログラム記録媒体
に多重に記録された前記パターンを前記レジストに同時
に再生することを特徴とするホログラフィー記録再生方
法。 - 【請求項６】マスクより射出する物体光を参照光と干渉
させて干渉縞を形成し、該干渉縞が形成される位置にホ
ログラム記録媒体を配置することによって、前記マスク
に描かれたパターンを前記ホログラム記録媒体にホログ
ラムとして記録し、 該ホログラム記録媒体に再生光を入射してホログラムと
して記録された前記パターンの再生像を形成し、該再生
像が形成される位置にレジストを配置することによっ
て、ホログラムとして記録された前記パターンを前記レ
ジストに再生するホログラフィー記録再生方法におい
て、 前記参照光のホログラム記録媒体への入射角度を順次変
更しながら、マスクに描かれた前記パターンを複数回に
わたって前記ホログラム記録媒体に多重に記録し、 前記再生光のホログラム記録媒体への入射角度を順次変
更しながら、該再生光による前記再生像が互いに重なる
ように、ホログラム記録媒体に多重に記録された前記パ
ターンを前記レジストに順次再生することを特徴とする
ホログラフィー記録再生方法。 - 【請求項７】各回の前記再生において、記録時と再生時
との間のホログラム記録媒体の特性の変化に起因する前
記再生像の位置ずれを補正するように、レジストの位置
を順次ずらしながら再生する、請求項６記載のホログラ
フィー記録再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7207754A JPH0934341A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | ホログラフィー記録再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7207754A JPH0934341A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | ホログラフィー記録再生方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0934341A true JPH0934341A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16544997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7207754A Pending JPH0934341A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | ホログラフィー記録再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0934341A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006078887A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Fuji Xerox Co Ltd | ホログラム記録装置及びホログラム記録方法 |
| JP2007178780A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Sony Corp | レーザ装置およびそれを用いるホログラム記録再生装置 |
| US8085643B2 (en) | 2008-11-26 | 2011-12-27 | Hitachi Consumer Electronics Co., Ltd. | Optical information reproducing apparatus, optical information recording and reproducing apparatus |
| KR20130129057A (ko) * | 2012-05-17 | 2013-11-27 | 삼성전자주식회사 | 고속 홀로그램 기록 장치 및 방법 |
-
1995
- 1995-07-20 JP JP7207754A patent/JPH0934341A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006078887A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Fuji Xerox Co Ltd | ホログラム記録装置及びホログラム記録方法 |
| JP4506367B2 (ja) * | 2004-09-10 | 2010-07-21 | 富士ゼロックス株式会社 | ホログラム記録装置及びホログラム記録方法 |
| JP2007178780A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Sony Corp | レーザ装置およびそれを用いるホログラム記録再生装置 |
| US8085643B2 (en) | 2008-11-26 | 2011-12-27 | Hitachi Consumer Electronics Co., Ltd. | Optical information reproducing apparatus, optical information recording and reproducing apparatus |
| KR20130129057A (ko) * | 2012-05-17 | 2013-11-27 | 삼성전자주식회사 | 고속 홀로그램 기록 장치 및 방법 |
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