JPH10161295A - 露光装置 - Google Patents
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- JPH10161295A JPH10161295A JP5873897A JP5873897A JPH10161295A JP H10161295 A JPH10161295 A JP H10161295A JP 5873897 A JP5873897 A JP 5873897A JP 5873897 A JP5873897 A JP 5873897A JP H10161295 A JPH10161295 A JP H10161295A
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Abstract
以下に出来ないと言う課題。 【解決手段】光源1を出射するレーザー光2(波長λ)
が、ミラー3a,3bを反射し、ビームエクスパンダー
光学系4に導かれ、更にフォーカシングレンズ4aによ
り集光し、フォーカシングレンズ4aの焦平面に位置す
るピンホール4cをすり抜け、コリメートレンズ4bに
よってビーム径の拡大した平行光束5に変換され、この
平行光束5が屈折率nの透明材質で構成された平行平板
の出射面側に凹部と凸部が繰り返し形成された位相シフ
ター6に垂直入射し、透過し、その結果±1次の回折光
が発生し、スペーサー7を介して位相シフター6に対面
する感光膜上で±1次の回折光が干渉しあい、微細な干
渉縞を形成して感光膜を露光する構成。
Description
露光出来る露光装置に関するものである。
ンドブック(応用物理学会編集、朝倉書店出版、199
5)p.690に記載の投影露光装置があり、この装置
に基づいて説明する。図110は従来の露光装置の構成
図を示す。光源14からの光束はビームコンプレッサー
15(またはビームエクスパンダー)で適当な光束に変
換されてホモジナイザー16に入射する。ホモジナイザ
ー16は3〜6mm角のレンズアレイより構成されてお
り、照明系の照度分布を均一にするとともに、射出端面
付近で二次光源17を形成する。二次光源17からの光
は照明レンズ18で露光パターンが描かれているレチク
ル19を照明し、結像レンズ20で露光面22上に結像
する。このとき二次光源17の像は結像レンズ20の入
射瞳面21にできる。
の波長をλ、結像光学系の開口数をNA(Numerical Ap
erture)として次式で表される。
る定数であり、一般に0.5〜0.8前後の値をなす。
えられる。
435nm(g線)や365nm(i線)が用いられ
る。光源の短波長化は解像度の向上を図る最も素直な方
法であるが、高い値のNAの採用でも解像度向上は可能
である。しかし、高NA化は式(2)に基づき焦点深度
を浅くし露光位置の誤差余裕をなくすので、せいぜい
0.5〜0.6程度が限界である。従って、従来の露光
装置の解像度Rはk1=0.5、NA=0.6としてピ
ッチで1.6λ程度が限界であった。
位相シフト法と呼ばれる手法も提案されている(微小光
学ハンドブックのp.694に記載)。
上に解像力を向上させるための位相シフターを形成した
ものである。図12(A)は、従来の露光装置の原理図
を示し、図12(B)は、従来の露光装置に於ける位相
シフト法の原理図を示す。従来法でのレチクル19は透
明基板19aとマスク19bで構成されるが、このとき
の露光面上での光振幅は23、光強度は24で示され
る。これに対し位相シフト法では、マスク間の隙間に一
つおきの割合で位相シフター19cを形成し、位相シフ
ター19cを透過する光の位相をπだけ遅らすことで、
露光面上で23a、24aに示す光振幅、光強度を得る
ことができ、従来法に比べコントラストを向上させるこ
とができる。
図13はその原理図を示す。この場合、レチクル19は
透明基板19aと位相シフター19cで構成される。位
相シフター19cを透過する光の位相をπだけ遅らすこ
とで、露光面上で23b、24bに示す光振幅、光強度
を得ることができ、コントラストの向上が可能である。
来の露光装置に於て、位相シフター19cの有無に関わ
らず、次の様な課題があった。
9cを有する露光装置の場合を例にとり、その課題につ
いて説明する。
に従うと、露光面上での光強度24bの周期はレチクル
上の位相シフター19cの周期の半分であり、位相シフ
ト法の採用により露光装置の解像度は、倍になるはずで
ある。しかし、現実にはレチクル19と露光面の間に結
像光学系が介在するため、理論通りの解像度が得られな
い。
14は位相シフター付きのレチクルを透過した光の光路
を示している。レチクル19に入射する光25(波長
λ)は位相シフター19cを透過することでそのまま透
過する光(0次光)と回折する光(±1次光)に分離す
る。位相シフター19cの周期をΛとすると、回折光の
回折角θは次式で与えられる。
ぞれ26、26A、26Bのように瞳面21上に結像す
る。0次光の結像点は光軸27上にあるが、±1次光は
進行方向が光軸27に比べθだけ傾いているため、光軸
上からbだけ離れた位置に結像する。bの大きさはsin
θに比例するので、周期Λがある値よりも小さくなる
と、±1次光の結像点は瞳面の開口外に位置し(b>
a)、瞳の開口外の領域で遮光されてしまう。露光面上
の投影パターンは瞳面21を透過する光によって形成さ
れるので、透過光の一部が蹴られることは投影パターン
の解像度の劣化につながる。
は、大きく見積もっても、解像力が3〜4割増しとなる
のが限界である。即ち、露光装置の解像度を、露光面2
2上に形成される投影パターンのピッチに置き換えて表
現すると、1.2λ程度のピッチを形成するのが限界で
あると言える。
cの有無に関わらず、本質的に発生し、位相シフター1
9Cを用いない場合は、更に解像度は落ちる。
を考慮し、露光面上の露光パターンのピッチが光源の波
長以下である微細パターンを露光出来る高解像度の露光
装置を提供することを目的とする。
は、レーザー光源と、前記レーザー光源から出射する波
長λのレーザー光を拡大し平行光束の平面波とするため
の拡大手段と、屈折率nの透明材質により形成された板
状部材と、前記板状部材に近接して置かれた、表面に感
光膜が形成された露光基板とを備え、前記板状部材の露
光基板側に面した表面には、凹部及び凸部が繰り返し形
成されており、前記拡大手段により拡大された平面波が
前記凹部又は凸部を透過することで±1次の回折光が発
生するものであり、前記感光膜は、前記+1次の回折光
と前記−1次の回折光とが互いに交差する位置に置かれ
ており、前記回折光間の干渉により発生する干渉縞が前
記感光膜を感光する露光装置である。
上記凹部又は凸部のピッチの半分のピッチを持つ干渉縞
がコントラストよく形成されるので、高解像の露光装置
が実現出来る。
部は、屈折率n0(但し、n0>n)の透明層に覆われて
おり、前記透明層の膜厚は、前記凹部又は凸部のピッチ
より大きい露光装置である。
の発生を抑えることが出来る。
と、前記レーザー光源から出射する波長λのレーザー光
を拡大し平行光束の平面波とするための拡大手段と、屈
折率nの透明材質により形成された板状部材と、前記板
状部材に近接して置かれた、表面に感光膜が形成された
露光基板とを備え、前記板状部材の露光基板側に面した
表面には、凹部及び凸部が繰り返し形成されており、前
記拡大手段により拡大された平面波が前記凹部又は凸部
を透過することで0次及び±1次から±q次(q≧1)
までの回折光が発生するものであり、前記光の内、偶数
次の回折光の光量和と、前記光の内、奇数次の回折光の
光量和との比が0.5から2.0の間にあり、前記感光
膜はこれらの回折光が互いに交差する位置に置かれてお
り、前記回折光間の干渉により発生する干渉縞が前記感
光膜を感光する露光装置である。
上記凹部又は凸部のピッチと当ピッチを持つ干渉縞がコ
ントラストよく形成されるので、高解像の露光装置が実
現出来る。
を図1から図7に基づいて説明する。
置の構成を示す。同図に示す様に、本露光装置は、レー
ザー光源1、反射ミラー3a,3b、ビームエクスパン
ダー光学系4、位相シフター6、スペーサー7、露光基
板9で構成されている。図1に於いて、Arレーザーや
He−Cdレーザーなどの光源1から出射するレーザー
光2(波長λ)はミラー3a,3bを反射し、ビームエ
クスパンダー光学系4に導かれる。
シングレンズ4a、コリメートレンズ4b、ピンホール
4cから構成され、レーザー光はフォーカシングレンズ
4aにより集光し、フォーカシングレンズ4aの焦平面
に位置するピンホール4cをすり抜け、コリメートレン
ズ4bによってビーム径の拡大した平行光束5に変換さ
れる。このとき、ピンホール4cは、レーザーのスペッ
クルノイズを除去する作用をなす。平面波の平行光束5
は屈折率nの透明材質で形成された平行平板状の位相シ
フター6に垂直入射し、これを透過する。
をエッチングするなどの方法で、深さλ/{2(n−
1)}の周期的凹凸構造6a(尚、周期的凹凸構造と
は、平板上に凹部と凸部が所定のピッチにより繰り返し
形成されている構造を言う)が形成されている。そのた
め、平面波は、この周期構造を透過することでπの位相
差を周期的に繰り返す波面に変換され、その結果±1次
の回折光が発生する。
ており、この感光膜上で±1次の回折光が干渉しあい、
微細なピッチの干渉縞を形成して感光膜を露光する。感
光膜8はスペーサー7を介して位相シフター6に対面し
ており、周期構造面6aと感光膜8の間はスペーサー7
の厚さ分の隙間が存在する。
る露光装置の位相シフターの断面図を示している。
ッチをΛ、深さをhとし、凹凸構造が矩形の場合、凸部
の幅をεΛで与え、周期的構造面の中心からその法線方
向に沿って距離zの位置に原点Oを置き、点Oを通り周
期的構造の格子ベクトル(グレーティング方向に直交す
るベクトル)に沿った方向に座標軸xを考える。
の実施の形態における露光装置の感光膜上での光強度分
布の特性を示す第1説明図であり、λ=0.4579μ
m、凹凸構造をΛ=0.8μm、h=λ/{2(n−
1)}、ε=0.5の矩形状として解析した計算結果で
ある。
沿った光強度分布である。凹凸構造10のピッチが0.
8μmであるにも関わらず、半ピッチ(0.4μmピッ
チ)の強度分布パターン11が得られている。尚、凹凸
構造10は、説明の便宜上、図2に示す周期的凹凸構造
6aを模式的に表し、図3(A)の横軸の目盛りに合わ
せて点線で描いたものである。尚、後述する図4(A)
〜図6(A)についても同様の趣旨により、点線で描い
た凹凸構造10が描かれている。
P1とx=−0.4μmに於ける光強度P2が距離zと
どのような関係にあるかをプロットしたのが図3(B)
であり、実線12は光強度P1、破線13は光強度P2
に対応する。いずれも凹凸構造のx軸方向に於ける始終
点位置(図2に示す、凹凸構造6aの境界線601,6
02)で発生する境界回折波の影響でわずかなうねりを
有するが、おおむねzによらず等しく均一な値をなす。
の厚さ分の隙間)に誤差があっても、強度分布パターン
の劣化はなく、露光のコントラストは良好である。従っ
て、露光基板の位置設定は半導体プロセスで用いられる
高価な高精度ステッパーである必要がなく、本実施の形
態のごとくスペーサー7を挟んで押し当てる程度の位置
決めでよい。
実施の形態における露光装置の感光膜上での光強度分布
の特性を示す第2説明図であり、λ=0.4579μ
m、凹凸構造をΛ=0.8μm、h=λ/{2(n−
1)}、ε=0.4の矩形状として解析した計算結果で
ある。
沿った光強度分布である。図3(A)、(B)と同様、
凹凸構造10のピッチが0.8μmであるにも関わらず
半ピッチ(0.4μmピッチ)の強度分布パターン11
が得られるが、凹凸構造10のデューティ比εが0.5
からずれることで、x=0μmに於ける光強度P1とx
=−0.4μmに於ける光強度P2の間に差異が生じて
いる。
ような関係にあるかをプロットしたのが図4(B)であ
り、実線12は光強度P1、破線13は光強度P2に対
応する。光強度P1、P2ともzに依存した逆位相のう
ねりを有しているが、最悪条件下でも1.0:0.6程
度の強度比である。
実施の形態における露光装置の感光膜上での光強度分布
の特性を示す第3説明図であり、λ=0.4579μ
m、凹凸構造をΛ=0.8μm、h=5λ/{6×2
(n−1)}、ε=0.5の矩形状として解析した計算結
果である。
沿った光強度分布である。図3(A),(B)と同様、
凹凸構造10のピッチが0.8μmであるにも関わらず
半ピッチ(0.4μmピッチ)の強度分布パターン11
が得られるが、凹凸構造10の深さがλ/{2(n−
1)}からずれることで、x=0μmに於ける光強度P
1とx=−0.4μmに於ける光強度P2の間に差異が
生じている。
ような関係にあるかをプロットしたのが図5(B)であ
り、実線12は光強度P1、破線13は光強度P2に対
応する。光強度P1、P2ともzに依存した逆位相のう
ねりを有しており、最悪条件下では1.0:0.4程度
の強度比である。
実施の形態における露光装置の感光膜上での光強度分布
の特性を示す第4説明図であり、λ=0.4579μ
m、凹凸構造をΛ=0.8μm、h=λ/{2(n−
1)}の正弦波形状として解析した計算結果である。
沿った光強度分布である。図3(A),(B)と同様、
凹凸構造10のピッチが0.8μmであるにも関わらず
半ピッチ(0.4μmピッチ)の強度分布パターン11
が得られるが、凹凸構造10の断面形状が矩形形状から
ずれることで、x=0μmに於ける光強度P1とx=−
0.4μmに於ける光強度P2の間に大きな差異が生じ
ている。
ような関係にあるかをプロットしたのが図6(B)であ
り、実線12は光強度P1、破線13は光強度P2に対
応する。光強度P1、P2ともzに依存した逆位相の大
きなうねりを有しており、最悪条件下では1.0:0.
15程度の強度比である。
図3(A)〜図6(B)に示したことから分かるよう
に、露光のコントラストを最適にするには凹凸構造の断
面形状が、h=λ/{2(n−1)}、ε=0.5の矩形
形状であることが好ましく、断面形状を決定する、各パ
ラメータの許容範囲としては、0.3≦ε≦0.7、
0.8≦2(n−1)h/λ≦1.2が上げられる。即
ち、凹部の深さhは、k×λ/{2(n−1)}(但し、
0.8≦k≦1.2)であれば良い。
おける露光装置の、位相シフター6上の凹部又は凸部の
ピッチと露光パターンのピッチとの関係を示す原理説明
図である。即ち、同図を参照しながら、凹部又は凸部の
ピッチと露光パターンのピッチとの関係について説明す
る。
入射する波長λの光5は周期的構造を透過した後回折し
て、±1次の回折光5A、5Bが発生する。周期的構造
面6a上の点Q1の位置(x=x1)での周期的構造のピ
ッチをΛ1、点Q2の位置(x=x2)での周期的構造の
ピッチをΛ2とすると(Λ1、Λ2は、位相シフター6上
の凹部又は凸部のピッチを表している)、点Q1、Q2に
於ける回折光の回折角は次式で与えられる。
次の回折光が露光面8上の点Q12で交差するとすれば、
2光束干渉の原理により点Q12上で干渉縞を形成する。
点Q12の位置(x=x3)は次式で与えられる。
(5)より次式で与えられる。
/2となり、周期的構造6aの半ピッチの強度分布パタ
ーンが得られることが分かる。又、Λ1≦λ、Λ2≦λで
ある限り回折光が発生するので、強度分布パターンの最
小ピッチ(解像度の限界)はΛ12≧λ/2まで可能であ
る。すなわち、従来例に於ける露光装置に比べ2倍以上
の解像度が得られる。
(1+Δ))点Q12に対応した周期的構造面上の点をQ
3とし、この位置(x=x3)での周期的構造のピッチを
Λ3とすると、ピッチの変化がxに関して連続であると
してΛ3は次式に近似できる。
ている場合はΔ≪1の関係が十分成り立つ)には、tan
θ2=tanθ1(1−Δ/cos2θ1)より次式が成り立つ。
Λ12が次式に近似できる。
造面上の位置での周期的構造のピッチΛ3の半分に相当
し、ピッチが位置により異なる場合でも、半ピッチの関
係が精度よく守られる。このように、従来例の露光装置
ではレチクル上の露光パターンを歪みなく露光面上に投
影するために高精度の結像レンズを必要としたが、本実
施の形態では露光位置を周期的構造面(即ち、平板上に
凹部と凸部が所定のピッチにより繰り返し形成されてい
る構造面)に近接させるだけで歪みのない半ピッチのパ
ターニングがなされることになる。
は、2光束が互いに交差する領域に限られ、周期的構造
の始点Aと終点Bから発生する回折光の交点をCとする
と、露光は三角形ABCに囲まれ、周期的構造に近接し
た領域に限られる。
(回折せずに透過する成分)やその他の次数の光を含む
場合、点Q12での干渉は多光束間でなされるので、干渉
縞のコントラストは劣化し、またそのコントラストは露
光面位置にも関係してくる。図3(A)、(B)の例で
良好なコントラストの干渉縞が得られたのは、以下に説
明するように、±1次以外の回折光が発生しないためで
ある。一般に図2で示した矩形断面の位相シフターを透
過することで発生するn次回折光の強度をInとして各
回折光の強度比は次式の通りである。
1)}、ε=0.5)ではλ<Λ<2λであり、2次光
は存在せず、式(11)から0次光もI0=0である。
かりに2λ<Λであっても式(12)から2次光もI2
=0である。
=λ/{2(n−1)}、ε=0.4)でもλ<Λ<2λ
で2次光は存在しないが、I0/I1=0.11であり、
0次光が発生する(2λ<Λになると式(12)から2
次光も発生する)。
トラストの干渉縞を得るためには、0次光量の全回折光
量に対する比が小さいこと(例えばI0/(I0+2I1)
≦0.1)が条件といえる。
説明する。
即ち、凹部又は凸部のピッチΛが、λ<Λ<2λに限定
される以外は第1の実施の形態と全く同一であるので、
第1の実施の形態と同じ図面を引用し、重複した説明は
省略する。
面を矩形としたが、実際には凹凸の境で、だれが存在
し、例えば図8に示すような台形状断面となる。図8に
おいて、位相シフター6の凹部の底面PQ、凸部の上面
RSに入射する光a,bは界面をそのまま透過するが、
斜面部QR、STに入射する光c,dはこの面を全反射
し、凸部の上面RSや対向する斜面部ST、QRの界面
を透過する。
め、透過光の位相変調だけでなく振幅変調も乱される。
(式11)、(式12)はシフターを位相格子とし、位
相変調だけを考慮して得られた結果であり、位相変調が
乱され、これに振幅変調が加わる場合にはこれらの関係
式は成り立たない。(表1)はΛ=1.0μm、n=
1.5、h=λ/{2(n−1)}、λ=0.4579μ
mの仕様を目標にして試作したシフターを透過する光の
各回折光強度を評価した実験結果を示している。
後述する(表2)に示す実験結果と比較するための比較
実験である。
πかつε=0.5が近似的に成り立ちI2/I1=0のは
ずだが、実際のI2/I1(=0.4)は異常に大きく、
(式11)と(式12)の連立が難しい。この矛盾は図
8で示したような全反射による位相変調、振幅変調の乱
れの効果が存在するためである。
強い2次光が存在するため、干渉パターンは1次/2次
の間の干渉によるシフター周期の等倍が支配的であり、
半ピッチ化が実現できない。
<Λ<2λに限定することを特徴としている。この時、
1次までの回折光が発生して2次以上の回折光は原理的
に存在しない。
り透過光の光分布が乱される場合でも、2次回折光は存
在しない。0次光を消滅させる条件は式(11)の近傍
に必ず存在するので、±1次以外の回折光の発生をほぼ
完全に抑えられる。
h=λ/{2(n−1)}、λ=0.5145μmの仕様
を目標にして試作したシフターを透過する光の各回折光
強度を評価した実験結果を示している。
光の発生をほぼ完全に抑えることができ、顕微鏡観察で
半ピッチの強度分布パターンが確認出来た。
る。
異なる以外は第1の実施の形態と全く同一であるので、
第1の実施の形態と同じ図面を引用し、重複した説明は
省略する。
露光装置の、位相シフターの断面図を示している。図9
において、位相シフター表面は屈折率n0(n0>n、n
はシフター6の屈折率)の透明層6bに覆われており、
凹凸の高さをhとして屈折率n0は次の関係式を満た
す。
射する光a,bは透明層6bとの界面をそのまま透過す
る。また斜面部QR、STに入射する光c,dは、n0
>nの関係から斜面部での全反射は無くなり、界面をそ
のまま屈折透過し、一部がc’、d’のように反射す
る。光c’、d’は凸部RSや対向する斜面部ST、Q
Rの界面を透過して光aやbに重畳するが、光量が小さ
いのでその影響度も小さい。従って透明層6bの存在に
より位相変調、振幅変調の乱れが抑えられるので、2λ
<Λの場合でも(式11)、(式12)で示した関係式
が成り立ち、±1次以外の回折光の発生を抑えることが
できる。
nS(n0=2.0)を成膜し(膜厚2μm)、表面に
残ったわずかな凹凸を2P法によるUV樹脂の充填で平
滑化して評価した実験結果を示している(測定波長はλ
=0.488μm)。
他の回折光の強度は十分小さく抑えられており、顕微鏡
観察でも半ピッチの強度分布パターンが確認出来た。
尚、凹部の深さhは、λ/{2(n0−n)}である必要
はなく、±1次以外の回折光の発生を抑えられさえすれ
ば良い。
形態について説明する。
像度を改善するものではないが、露光面上に形成した干
渉縞を用いて、パターンを形成するものである。
異なる以外は第1の実施の形態と全く同一であるので、
第1の実施の形態と同じ図面を引用し、重複した説明は
省略する。本実施の形態に於ける位相シフター断面の仕
様は第1の実施の形態での仕様(ε=0.5、h=λ/
{2(n−1)})から大きくずらす。例えば、ε=0.
4、δ=100度とすると、(式11)、(式12)か
らI0/I1=2.03、I2/I1=0.095、すなわち
±1次回折光の強度和(I1+I-1)が0次、±2次回
折光の強度和(I0+I2 +I-2)にほぼ等しくなる。
図10の曲線10はε=0.4、δ=100度の条件
で、10λ離れた感光膜上での光強度分布を示してお
り、λ=0.4579μm、凹凸構造をΛ=1.0μm
の矩形状(破線11で表示)として解析した計算結果で
ある。±1次と0次、±1次と±2次回折光の干渉で、
シフターと等ピッチ(1.0μmピッチ)の強度分布パ
ターンが得られている。
様の条件は緩く、±1次回折光(または奇数次回折光)
の強度和を他の回折光(または偶数次回折光)の強度和
と同レベル(例えば1/2〜2倍)にするだけで、容易
にシフターと等ピッチの干渉縞を形成できる。すなわ
ち、本実施の形態ではシフターの半ピッチの干渉縞を形
成できないが、断面形状に関する複雑な制限条件や2次
回折光の除去課題などの複雑な課題がなく、シフターの
作製が容易になる。
最後の実施の形態では周期的凹凸構造のパターンをスト
ライプ状(直線に沿った形状)として説明したが、円な
どの曲線に沿った周期パターン(即ち、繰り返し形成さ
れたパターン)であってもよく、また、その凹部又は凸
部のピッチが位置によって異なってもよく、凹凸構造の
半ピッチ(または等ピッチ)の微細パターン露光が可能
であるという効果は同様に得られる。
をエッチングする以外に平行平板に屈折率nの透明膜を
成膜し、パターニングの後この膜をエッチングする方法
や、マスターを作製してUV樹脂により形状転写する方
法もある。
射である必要はなく、斜入射であっても同等の効果が得
られる。さらに、位相シフターは平行平板である必要は
なく、出射側が周期的構造付きの平面でありさえすれば
よい。また、露光光源にレーザーを用いた例で説明した
が、部分的コヒーレントな光を放出する光源であっても
よい。
形態では、位相シフターを有するレチクルであったが、
これに限らず例えば、位相シフターを備えていないレチ
クルであってもよい。
ば、複雑な光学系を用いずに、解像度の限界がピッチで
λ/2まで可能な高解像度の露光装置を容易に提供でき
る。また、ピッチが位置に依存するような複雑な露光パ
ターンも歪みなく露光面に転写されるので、高精度の光
学系を用いる必要はなく、露光基板の設定位置に多少の
誤差があっても露光のコントラストが維持されるので、
高価なステッパー(露光基板の移送系)を必要としない
効果もある。
発明は、露光面上の露光パターンのピッチを光源の波長
以下に出来ると言う長所を有する。又、本発明は、パタ
ーンの露光を従来に比べて容易に出来ると言う長所を有
する。
構成図
位相シフターの断面図
感光膜上での光強度分布の特性を示す第1説明図で、 (A)は、z=λの位置での、x座標に沿った光強度分
布図 (B)は、x=0μmとx=−0.4μmに於ける光強
度の関係図
感光膜上での光強度分布の特性を示す第2説明図で、 (A)は、z=λの位置での、x座標に沿った光強度分
布図 (B)は、x=0μmとx=−0.4μmに於ける光強
度の関係図
感光膜上での光強度分布の特性を示す第3説明図で、 (A)は、z=λの位置での、x座標に沿った光強度分
布図 (B)は、x=0μmとx=−0.4μmに於ける光強
度の関係図
感光膜上での光強度分布の特性を示す第4説明図で、 (A)は、z=λの位置での、x座標に沿った光強度分
布図 (B)は、x=0μmとx=−0.4μmに於ける光強
度の関係図
造の周期と露光パターンの周期との関係を示す原理説明
図
周期的凹凸構造を透過する光の光路図
周期的凹凸構造を透過する光の光路図である。
光膜上での光強度分布図
図
原理図
のレチクルを透過した光の光路図
Claims (9)
- 【請求項1】 レーザー光源と、 前記レーザー光源から出射する波長λのレーザー光を拡
大し平行光束の平面波とするための拡大手段と、 屈折率nの透明材質により形成された板状部材と、 前記板状部材に近接して置かれた、表面に感光膜が形成
された露光基板とを備え、 前記板状部材の露光基板側に面した表面には、凹部及び
凸部が繰り返し形成されており、前記拡大手段により拡
大された平面波が前記凹部又は凸部を透過することで±
1次の回折光が発生するものであり、前記感光膜は、前
記+1次の回折光と前記−1次の回折光とが互いに交差
する位置に置かれており、前記回折光間の干渉により発
生する干渉縞が前記感光膜を感光することを特徴とする
露光装置。 - 【請求項2】 回折せずにそのまま透過する0次光の光
量は、前記凹部又は凸部を透過する全ての光の光量に対
する比が0.1以下であることを特徴とする請求項第1
記載の露光装置。 - 【請求項3】 前記凹部の深さが、k×λ/{2(n−
1)}(但し、0.8≦k≦1.2)であり、前記凹部
又は凸部の断面が実質上矩形形状であり、前記凸部のピ
ッチに対する前記凸部の幅の比が、0.3から0.7の
間にあることを特徴とする請求項第1記載の露光装置。 - 【請求項4】 前記凹部又は凸部のピッチが、λと2λ
の間にあることを特徴とする請求項第1記載の露光装
置。 - 【請求項5】 前記凹部又は凸部は、屈折率n0(但
し、n0>n)の透明層に覆われており、前記透明層の
膜厚は、前記凹部又は凸部のピッチより大きいことを特
徴とする請求項1記載の露光装置。 - 【請求項6】 前記凹部の深さが、k×λ/{2(n0−
n)}(但し、0.8≦k≦1.2)であり、前記凹部
又は凸部の断面が実質上矩形形状であり、前記凸部のピ
ッチに対する前記凸部の幅の比が、0.3から0.7の
間にあることを特徴とする請求項第5記載の露光装置。 - 【請求項7】 レーザー光源と、 前記レーザー光源から出射する波長λのレーザー光を拡
大し平行光束の平面波とするための拡大手段と、 屈折率nの透明材質により形成された板状部材と、 前記板状部材に近接して置かれた、表面に感光膜が形成
された露光基板とを備え、 前記板状部材の露光基板側に面した表面には、凹部及び
凸部が繰り返し形成されており、前記拡大手段により拡
大された平面波が前記凹部又は凸部を透過することで0
次及び±1次から±q次(q≧1)までの回折光が発生
するものであり、前記光の内、偶数次の回折光の光量和
と、前記光の内、奇数次の回折光の光量和との比が0.
5から2.0の間にあり、前記感光膜はこれらの回折光
が互いに交差する位置に置かれており、前記回折光間の
干渉により発生する干渉縞が前記感光膜を感光すること
を特徴とする露光装置。 - 【請求項8】 前記板状部材の前記表面上に形成された
前記凹部及び/又は前記凸部は直線状、または円状、ま
たは曲線状に形成されていることを特徴とする請求項第
1〜7の何れか一つに記載の露光装置。 - 【請求項9】 前記凹部又は凸部のピッチが、前記表面
上の位置により異なることを特徴とする請求項第1〜7
の何れか一つに記載の露光装置。
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