JPH0933875A - 液晶表示装置用ガラス基板の整列移載方法 - Google Patents
液晶表示装置用ガラス基板の整列移載方法Info
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- JPH0933875A JPH0933875A JP18183695A JP18183695A JPH0933875A JP H0933875 A JPH0933875 A JP H0933875A JP 18183695 A JP18183695 A JP 18183695A JP 18183695 A JP18183695 A JP 18183695A JP H0933875 A JPH0933875 A JP H0933875A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 空カセットに移載されるガラス基板の方向を
そろえることによって成膜工程での装置異常時のフィー
ドバックが可能になり、またリソグラフィー工程でパタ
ーニングの確実性や生産性を向上させることができるガ
ラス基板の整列移載方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 液晶表示装置用ガラス基板Ｇを収納した
実カセットＫ１が載置される実カセット載置部１と、空
カセットＫ２が載置される空カセット載置部２と、前記
ガラス基板Ｇ１を空カセットＫ２へ移載するための基板
移載機構とからなり、前記ガラス基板Ｇ１のコーナー部
Ｃに形成されたオリエンテーションフラット部Ｐを光学
式センサで検出して、前記空カセットＫ２に移載される
ガラス基板の方向を整列させる。
そろえることによって成膜工程での装置異常時のフィー
ドバックが可能になり、またリソグラフィー工程でパタ
ーニングの確実性や生産性を向上させることができるガ
ラス基板の整列移載方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 液晶表示装置用ガラス基板Ｇを収納した
実カセットＫ１が載置される実カセット載置部１と、空
カセットＫ２が載置される空カセット載置部２と、前記
ガラス基板Ｇ１を空カセットＫ２へ移載するための基板
移載機構とからなり、前記ガラス基板Ｇ１のコーナー部
Ｃに形成されたオリエンテーションフラット部Ｐを光学
式センサで検出して、前記空カセットＫ２に移載される
ガラス基板の方向を整列させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置用ガラ
ス基板（以下、単にガラス基板という）の整列移載方法
に関する。さらに詳しくは、液晶表示装置の製造工程に
おけるガラス基板を整列してカセットからカセットに移
載することができるガラス基板の整列移載方法に関す
る。
ス基板（以下、単にガラス基板という）の整列移載方法
に関する。さらに詳しくは、液晶表示装置の製造工程に
おけるガラス基板を整列してカセットからカセットに移
載することができるガラス基板の整列移載方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置の製造工程においては、ガ
ラス基板を搬送や保管用のカセットから処理装置の薬液
用カセットなどに自動的に移し換える移載装置が用いら
れている。この移載装置は、たとえば図５に示すよう
に、架台５０に搬送用ロボット５１が据え付けられてい
る。そしてこの架台５０には、該ロボット５１を挟むよ
うに、ガラス基板Ｇを収納した実カセット５２と空カセ
ット５３が載置される。なお各カセットは、両側板５４
の内壁に支持溝５５が形成される箱型をしており、たと
えば実カセット５２には、ガラス基板Ｇが２０枚収納さ
れている（なお、図２は、見易くするために、現実の収
納枚数よりもガラス基板の数を少なくしている）。前記
搬送用ロボット５１は、真空吸着穴５６を有する前後進
可能なスライダ５７を昇降および回転させる駆動部５８
から構成されている。この移載装置による移載方法は、
まず搬送用ロボット５１により、スライダ５７を実カセ
ット５２内の下段のガラス基板Ｇの下方に下降および前
進させ、１枚のガラス基板Ｇを吸着したのち後退および
上昇させる。ついで空カセット５３側へ旋回し、再びス
ライダ５７を空カセット５３内に前進させ、ガラス基板
Ｇを移載する。そしてスライダ５７を後退および旋回さ
せたのち、前述の動作を繰り返し、実カセット５２から
空カセット５３へすべてのガラス基板Ｇの移し換えを行
なっている。
ラス基板を搬送や保管用のカセットから処理装置の薬液
用カセットなどに自動的に移し換える移載装置が用いら
れている。この移載装置は、たとえば図５に示すよう
に、架台５０に搬送用ロボット５１が据え付けられてい
る。そしてこの架台５０には、該ロボット５１を挟むよ
うに、ガラス基板Ｇを収納した実カセット５２と空カセ
ット５３が載置される。なお各カセットは、両側板５４
の内壁に支持溝５５が形成される箱型をしており、たと
えば実カセット５２には、ガラス基板Ｇが２０枚収納さ
れている（なお、図２は、見易くするために、現実の収
納枚数よりもガラス基板の数を少なくしている）。前記
搬送用ロボット５１は、真空吸着穴５６を有する前後進
可能なスライダ５７を昇降および回転させる駆動部５８
から構成されている。この移載装置による移載方法は、
まず搬送用ロボット５１により、スライダ５７を実カセ
ット５２内の下段のガラス基板Ｇの下方に下降および前
進させ、１枚のガラス基板Ｇを吸着したのち後退および
上昇させる。ついで空カセット５３側へ旋回し、再びス
ライダ５７を空カセット５３内に前進させ、ガラス基板
Ｇを移載する。そしてスライダ５７を後退および旋回さ
せたのち、前述の動作を繰り返し、実カセット５２から
空カセット５３へすべてのガラス基板Ｇの移し換えを行
なっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】液晶表示装置の製造工
程における、成膜工程、リソグラフィー工程などのプロ
セス処理工程では、カセット内のガラス基板Ｇの方向を
同一方向に整列させておく必要がある。
程における、成膜工程、リソグラフィー工程などのプロ
セス処理工程では、カセット内のガラス基板Ｇの方向を
同一方向に整列させておく必要がある。
【０００４】しかしながら、前記移載方法は、単にガラ
ス基板Ｇの移し換えを行なうため、実カセット５３内に
収納されているガラス基板Ｇのオリエンテーションフラ
ット部（以下、単にオリフラ部という）の方向が不整列
のばあい、移し換えられた空カセット５３内のガラス基
板Ｇの方向も不整列になり、たとえばリソグラフィー処
理工程におけるガラス基板にパターニングがえられない
問題がある。
ス基板Ｇの移し換えを行なうため、実カセット５３内に
収納されているガラス基板Ｇのオリエンテーションフラ
ット部（以下、単にオリフラ部という）の方向が不整列
のばあい、移し換えられた空カセット５３内のガラス基
板Ｇの方向も不整列になり、たとえばリソグラフィー処
理工程におけるガラス基板にパターニングがえられない
問題がある。
【０００５】本発明は、叙上の事情に鑑み、空カセット
に移載されるガラス基板の方向をそろえることによって
成膜工程での装置異常時のフィードバックが可能にな
り、またリソグラフィー工程でパターニングの確実性や
生産性を向上させることができるガラス基板の整列移載
方法を提供することを目的とする。
に移載されるガラス基板の方向をそろえることによって
成膜工程での装置異常時のフィードバックが可能にな
り、またリソグラフィー工程でパターニングの確実性や
生産性を向上させることができるガラス基板の整列移載
方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板の整
列移載方法は、液晶表示装置用ガラス基板を収納した実
カセットが載置される実カセット載置部と、空カセット
が載置される空カセット載置部と、前記ガラス基板を空
カセットへ移載するための基板移載機構とからなり、前
記ガラス基板のコーナー部に形成されたオリエンテーシ
ョンフラット部を光学式センサで検出して、前記空カセ
ットに移載されるガラス基板の方向を整列させることを
特徴としている。
列移載方法は、液晶表示装置用ガラス基板を収納した実
カセットが載置される実カセット載置部と、空カセット
が載置される空カセット載置部と、前記ガラス基板を空
カセットへ移載するための基板移載機構とからなり、前
記ガラス基板のコーナー部に形成されたオリエンテーシ
ョンフラット部を光学式センサで検出して、前記空カセ
ットに移載されるガラス基板の方向を整列させることを
特徴としている。
【０００７】また前記ガラス基板のコーナー部に形成さ
れたオリエンテーションフラット部を接触子で検出し
て、前記空カセットに移載されるガラス基板の方向を整
列させることを特徴としている。
れたオリエンテーションフラット部を接触子で検出し
て、前記空カセットに移載されるガラス基板の方向を整
列させることを特徴としている。
【０００８】また前記ガラス基板の素子領域外にパター
ニングされた認識マークを光学式カメラで検出して、前
記空カセットに移載されるガラス基板の方向を整列させ
ることを特徴としている。
ニングされた認識マークを光学式カメラで検出して、前
記空カセットに移載されるガラス基板の方向を整列させ
ることを特徴としている。
【０００９】さらに前記ガラス基板の素子領域のパター
ンを直接パターン認識カメラで認識し、前記空カセット
に移載されるガラス基板の方向を整列させることを特徴
としている。
ンを直接パターン認識カメラで認識し、前記空カセット
に移載されるガラス基板の方向を整列させることを特徴
としている。
【００１０】また前記光学式センサの検出に代えて、素
子領域外にパターニングされた認識マークを光学式カメ
ラで検出することができる。
子領域外にパターニングされた認識マークを光学式カメ
ラで検出することができる。
【００１１】さらに前記光学式センサの検出に代えて、
素子領域のパターンをパターン認識カメラで認識するこ
とができる。
素子領域のパターンをパターン認識カメラで認識するこ
とができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明のガラス基板の整列移載方
法によれば、実カセットから引き出されたガラス基板に
形成されるオリフラ部を光学式センサにて検出し、正規
の方向ならそのまま空カセット内に移載され、正規の方
向でないばあいは、ガラス基板を回転して正規の方向に
整列し、そののち空カセット内に移載する。その結果、
空カセット内のガラス基板はすべて整列された状態で収
納される。
法によれば、実カセットから引き出されたガラス基板に
形成されるオリフラ部を光学式センサにて検出し、正規
の方向ならそのまま空カセット内に移載され、正規の方
向でないばあいは、ガラス基板を回転して正規の方向に
整列し、そののち空カセット内に移載する。その結果、
空カセット内のガラス基板はすべて整列された状態で収
納される。
【００１３】また前記光学式センサの検出に代えて、接
触子による機械式で検出することができる。
触子による機械式で検出することができる。
【００１４】以下、添付図面に基づいて本発明のガラス
基板の整列移載方法を説明する。
基板の整列移載方法を説明する。
【００１５】図１は本発明のガラス基板の整列移載方法
の一実施例にかかわる整列移載装置を示す概略斜視図で
ある。
の一実施例にかかわる整列移載装置を示す概略斜視図で
ある。
【００１６】図１に示すように、本発明の整列移載方法
にかかわる整列移載装置は、架台Ｂに配置されており、
ガラス基板Ｇを収納した実カセットＫ１が載置される実
カセット載置部１と、空カセットＫ２が載置される空カ
セット載置部２と、前記ガラス基板Ｇの方向を整列する
整列部３と、前記実カセットＫ１内から引き出したガラ
ス基板Ｇを前記整列部３へ移載するとともに、方向を確
認したのちガラス基板を整列部３から空カセットＫ２へ
移載するための基板移載機構である基板搬送用ロボット
４とから構成されている。
にかかわる整列移載装置は、架台Ｂに配置されており、
ガラス基板Ｇを収納した実カセットＫ１が載置される実
カセット載置部１と、空カセットＫ２が載置される空カ
セット載置部２と、前記ガラス基板Ｇの方向を整列する
整列部３と、前記実カセットＫ１内から引き出したガラ
ス基板Ｇを前記整列部３へ移載するとともに、方向を確
認したのちガラス基板を整列部３から空カセットＫ２へ
移載するための基板移載機構である基板搬送用ロボット
４とから構成されている。
【００１７】前記実カセットＫ１と空カセットＫ２は、
両側板５の内壁に支持溝６が形成される箱型をしてお
り、実カセットＫ１の支持溝６にガラス基板Ｇが支持さ
れている。このガラス基板Ｇのコーナー部、たとえば左
上のコーナー部Ｃには、三角形状に切り欠かれたオリフ
ラ部Ｐが形成されている。なお７は、手搬送用の取手で
ある。
両側板５の内壁に支持溝６が形成される箱型をしてお
り、実カセットＫ１の支持溝６にガラス基板Ｇが支持さ
れている。このガラス基板Ｇのコーナー部、たとえば左
上のコーナー部Ｃには、三角形状に切り欠かれたオリフ
ラ部Ｐが形成されている。なお７は、手搬送用の取手で
ある。
【００１８】前記整列部３は、ガラス基板Ｇが載置され
る回転板８と、該回転板８を旋回させるモータ（図示せ
ず）と、ガラス基板Ｇのオリフラ部Ｐを検出するセンサ
９から構成されている。本実施例におけるセンサ９の位
置は、ガラス基板Ｇのオリフラ部Ｐを検出できるよう
に、左上に取り付けられている。
る回転板８と、該回転板８を旋回させるモータ（図示せ
ず）と、ガラス基板Ｇのオリフラ部Ｐを検出するセンサ
９から構成されている。本実施例におけるセンサ９の位
置は、ガラス基板Ｇのオリフラ部Ｐを検出できるよう
に、左上に取り付けられている。
【００１９】前記基板搬送用ロボット４は、真空吸着穴
１０を有する前後進可能なスライダ１１と該スライダ１
１を昇降および回転させる駆動部１２から構成されてい
る。
１０を有する前後進可能なスライダ１１と該スライダ１
１を昇降および回転させる駆動部１２から構成されてい
る。
【００２０】つぎに本発明の整列移載方法を説明する。
【００２１】まずガラス基板Ｇを収納した実カセットＫ
１と空カセットＫ２をそれぞれ載置部１、２に載置す
る。載置が確認されると、スライダ１１が実カセットＫ
１内の最下段に収納されるガラス基板Ｇの下方に向けて
矢印ａ、ｂで示す方向に下降と前進を行なう。ついで１
枚のガラス基板Ｇを真空吸着穴１０によって真空吸着
し、矢印Ｃで示す方向に後退する。そして矢印ｄ、ｅ、
ｆで示すように整列部３側へ向けて旋回、上昇および前
進し、ガラス基板Ｇを回転板８に移載する。この整列部
３では、センサ９によってガラス基板Ｇ１のオリフラ部
Ｐの位置を検出する。図１に示されるガラス基板Ｇ１の
ばあい、ガラス基板Ｇ１の方向は正規の方向なので、た
とえば「有」という確認がされ、そのままスライダ１１
でガラス基板Ｇ１を吸着し、そして空カセットＫ２側へ
向けて矢印ｇ、ｈ方向へ後退および旋回したのち、再び
矢印ｂ１、ｃ１方向に前後進し、ガラス基板Ｇを空カセ
ットＫ２内の最上段の位置に移載する。一方、前記整列
部３に移載されたカラス基板Ｇ１の方向が図１に示され
る方向と反対方向、すなわちオリフラ部Ｐの位置が２０
にあるばあい、センサ９による検出は「無し」という確
認をする。このばあい、整列部３のモータで回転板８を
矢印ｉ方向またはｊ方向へオリフラ部Ｐの「有」という
確認がなされるまで旋回し、図１に示される方向に整列
される。そののち、前述と同様にガラス基板Ｇ１を整列
させて空カセットＫ２内に移載する。このようにして、
実カセットＫ１から引き出されるガラス基板Ｇの方向を
順次検出し、整列させて空カセットＫ２に移し換える。
１と空カセットＫ２をそれぞれ載置部１、２に載置す
る。載置が確認されると、スライダ１１が実カセットＫ
１内の最下段に収納されるガラス基板Ｇの下方に向けて
矢印ａ、ｂで示す方向に下降と前進を行なう。ついで１
枚のガラス基板Ｇを真空吸着穴１０によって真空吸着
し、矢印Ｃで示す方向に後退する。そして矢印ｄ、ｅ、
ｆで示すように整列部３側へ向けて旋回、上昇および前
進し、ガラス基板Ｇを回転板８に移載する。この整列部
３では、センサ９によってガラス基板Ｇ１のオリフラ部
Ｐの位置を検出する。図１に示されるガラス基板Ｇ１の
ばあい、ガラス基板Ｇ１の方向は正規の方向なので、た
とえば「有」という確認がされ、そのままスライダ１１
でガラス基板Ｇ１を吸着し、そして空カセットＫ２側へ
向けて矢印ｇ、ｈ方向へ後退および旋回したのち、再び
矢印ｂ１、ｃ１方向に前後進し、ガラス基板Ｇを空カセ
ットＫ２内の最上段の位置に移載する。一方、前記整列
部３に移載されたカラス基板Ｇ１の方向が図１に示され
る方向と反対方向、すなわちオリフラ部Ｐの位置が２０
にあるばあい、センサ９による検出は「無し」という確
認をする。このばあい、整列部３のモータで回転板８を
矢印ｉ方向またはｊ方向へオリフラ部Ｐの「有」という
確認がなされるまで旋回し、図１に示される方向に整列
される。そののち、前述と同様にガラス基板Ｇ１を整列
させて空カセットＫ２内に移載する。このようにして、
実カセットＫ１から引き出されるガラス基板Ｇの方向を
順次検出し、整列させて空カセットＫ２に移し換える。
【００２２】つぎに本発明の他の整列移載方法を説明す
る。
る。
【００２３】図２に示すように、２股状の接触子（接触
治具）３１を図２中の矢印３２の方向からガラス基板Ｇ
１のコーナー部Ｃに押し当て、ガラス基板Ｇ１のオリフ
ラ部Ｐを検出したのち、空カセットに該ガラス基板Ｇ１
の方向を整列して移載するようにされている。なお本発
明における接触子の形状は、オリフラ部を機械式に検出
することができるものであれば、とくに２股状に限定さ
れるものではない。
治具）３１を図２中の矢印３２の方向からガラス基板Ｇ
１のコーナー部Ｃに押し当て、ガラス基板Ｇ１のオリフ
ラ部Ｐを検出したのち、空カセットに該ガラス基板Ｇ１
の方向を整列して移載するようにされている。なお本発
明における接触子の形状は、オリフラ部を機械式に検出
することができるものであれば、とくに２股状に限定さ
れるものではない。
【００２４】つぎに本発明のさらに他の整列移載方法を
説明する。
説明する。
【００２５】図３に示すように、素子領域Ｓ外に形成さ
れる、たとえば直径が４ｍｍφの黒ぬりなどの認識マー
ク３３を光学式カメラであるＣＣＤカメラ３４で検出し
て、ガラス基板Ｇ１の方向を整列させることができる。
れる、たとえば直径が４ｍｍφの黒ぬりなどの認識マー
ク３３を光学式カメラであるＣＣＤカメラ３４で検出し
て、ガラス基板Ｇ１の方向を整列させることができる。
【００２６】つぎに本発明のさらなる他の整列移載方法
を説明する。
を説明する。
【００２７】図４に示すように、素子領域に形成される
配列パターンを直接パターン認識カメラ３５で認識し
て、ガラス基板Ｇ１の方向を整列させることができる。
前記パターン認識カメラ３５としては、パターン認識カ
メラと画像処理ユニットを組み合わせた方法を用いるこ
とができる。
配列パターンを直接パターン認識カメラ３５で認識し
て、ガラス基板Ｇ１の方向を整列させることができる。
前記パターン認識カメラ３５としては、パターン認識カ
メラと画像処理ユニットを組み合わせた方法を用いるこ
とができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明のガラス基
板の整列移載方法では、実カセット内のガラス基板の方
向（向き）が不揃いであっても整列部により整列される
ため、空カセット内に収納されたガラス基板は確実に整
列された状態で収納される。
板の整列移載方法では、実カセット内のガラス基板の方
向（向き）が不揃いであっても整列部により整列される
ため、空カセット内に収納されたガラス基板は確実に整
列された状態で収納される。
【図１】本発明のガラス基板の整列移載方法の一実施例
にかかわる整列移載装置を示す概略斜視図である。
にかかわる整列移載装置を示す概略斜視図である。
【図２】本発明のガラス基板の整列移載方法の他の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図３】本発明のガラス基板の整列移載方法の他の実施
例を示す要部斜視図である。
例を示す要部斜視図である。
【図４】本発明のガラス基板の整列移載方法の他の実施
例を示す要部斜視図である。
例を示す要部斜視図である。
【図５】従来の移載方法にかかわる移載装置を示す概略
斜視図である。
斜視図である。
１ 実カセット載置部 ２ 空カセット載置部 ３ 整列部 ４ 基板搬送用ロボット ９ センサ ３１ 接触子 ３４ ＣＣＤカメラ ３５ パターン認識カメラ Ｃ コーナー部 Ｇ、Ｇ１ ガラス基板 Ｋ１ 実カセット Ｋ２ 空カセット Ｐ オリエンテーションフラット部（オリフラ部） Ｓ 素子領域
Claims (4)
- 【請求項１】 液晶表示装置用ガラス基板を収納した実
カセットが載置される実カセット載置部と、空カセット
が載置される空カセット載置部と、前記ガラス基板を空
カセットへ移載するための基板移載機構とからなり、前
記ガラス基板のコーナー部に形成されたオリエンテーシ
ョンフラット部を光学式センサで検出して、前記空カセ
ットに移載されるガラス基板の方向を整列させることを
特徴とする液晶表示装置用ガラス基板の整列移載方法。 - 【請求項２】 液晶表示装置用ガラス基板を収納した実
カセットが載置される実カセット載置部と、空カセット
が載置される空カセット載置部と、前記ガラス基板を空
カセットへ移載するための基板移載機構とからなり、前
記ガラス基板のコーナー部に形成されたオリエンテーシ
ョンフラット部を接触子で検出して、前記空カセットに
移載されるガラス基板の方向を整列させることを特徴と
する液晶表示装置用ガラス基板の整列移載方法。 - 【請求項３】 液晶表示装置用ガラス基板を収納した実
カセットが載置される実カセット載置部と、空カセット
が載置される空カセット載置部と、前記ガラス基板を空
カセットへ移載するための基板移載機構とからなり、前
記ガラス基板の素子領域外にパターニングされた認識マ
ークを光学式カメラで検出して、前記空カセットに移載
されるガラス基板の方向を整列させることを特徴とする
液晶表示装置用ガラス基板の整列移載方法。 - 【請求項４】 液晶表示装置用ガラス基板を収納した実
カセットが載置される実カセット載置部と、空カセット
が載置される空カセット載置部と、前記ガラス基板を空
カセットへ移載するための基板移載機構とからなり、前
記ガラス基板の素子領域のパターンを直接パターン認識
カメラで認識し、前記空カセットに移載されるガラス基
板の方向を整列させることを特徴とする液晶表示装置用
ガラス基板の整列移載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18183695A JPH0933875A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 液晶表示装置用ガラス基板の整列移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18183695A JPH0933875A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 液晶表示装置用ガラス基板の整列移載方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0933875A true JPH0933875A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16107667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18183695A Pending JPH0933875A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 液晶表示装置用ガラス基板の整列移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0933875A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011207739A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-10-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板 |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP18183695A patent/JPH0933875A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011207739A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-10-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板 |
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