JPH09330860A - 工程手順検証装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体装置製造のための工程手順作成におい
て、人の経験や勘の介入なく、また、特定の設備に負荷
が集中しないように、工程手順を検証することで、生産
性および信頼性を向上する装置の提供。 【解決手段】入力表示装置２０２により入力され、一時
記憶装置２０３に記憶された工程手順を、製品情報記憶
装置２０４および設備情報記憶装置２０５に記憶してい
るデータをもとに知識データを作成し、知識データを用
いて、入力された工程手順の検証を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、工程手順検証装置
に関し、特に、複数からなる所定の処理を所定の手順に
従うことで製品を製造する際に、使用されている工程手
順のデータを知識ベースとし、且つ製造ラインの状態を
加味することにより、作成された工程手順の問題点を検
証する工程手順検証装置であって、半導体装置の製造に
おける工程手順の検証に好適な工程手順検証装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】この種の従来の工程手順検査方法を、図
１３の流れ図を参照して以下に説明する。複数からなる
所定の処理を、所定のフローに従うことで、製品を製造
する、半導体装置の製造においては、データとして記憶
されている作業工程と、作業条件の中から、所望する作
業工程と作業条件をピックアップし、ピックアップした
作業工程と作業条件を対応させる（ステップ１０１）。

【０００３】次に、対応させた作業工程を作業順に並べ
て、工程手順を作成する（ステップ１０２）。

【０００４】次に、上記作業で作成された工程手順のチ
ェックを行う（ステップ１０３）。その際、チェック方
法としては、半導体装置を製造するウェーハの表面状態
を（レジスト付、ウェーハ露出など）複数の色を使用し
て表現し、この色の並びおよび重なりを見て、問題がな
いか否かのチェックを行い、問題が有れば修正を行う
（ステップ１０３、１０４）。

【０００５】次に、上記までの処理で作成された工程手
順にて使用される処理設備をカウントし、必要な設備能
力を各設備グループ毎に算出する（ステップ１０５）。

【０００６】そして、算出した結果を現状の製造ライン
の使用量に加算し（ステップ１０６）、上記加算の結
果、設備の能力を超えているものがないか否かのチェッ
クを行う（ステップ１０７）。

【０００７】ステップ１０７におけるチェックの結果問
題が有る場合は、設備能力の向上、設備の追加などの対
策を行う（ステップ１０８）。

【０００８】一方、ステップ１０７のチェックにおい
て、問題が無い場合あるいは必要な対策が行われた後
に、その工程手順を使用して製造を実行する（ステップ
１０９）。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の工程手順検査方式においては、人手作業による
判断を含む、このため、その精度は、熟練者の経験や勘
に依存するという問題点を有している。

【００１０】このため、この工程検証作業を行える人員
を増員することは容易でなく、特定の人（熟練者）に作
業が集中するため、作業が完了するのに長時間を必要と
し、作業効率の向上を阻止している。このため、新製品
の製造のための、各種実験や製造を開始するのに、延滞
を来すという問題が発生している。

【００１１】加えて、半導体装置は多品種少量生産の傾
向により、上記問題は、より深刻な事態となっていた。

【００１２】その他の問題として、人の経験や勘が介入
するため、作業を行った者にとって、結果が異なり、一
定にならない問題や、人手作業で行うため見落しや勘違
いなどの人為的なエラーにより、問題が工程手順内に存
在するまま、製品製造される可能性もある。

【００１３】この場合、半導体装置は、ジョブショップ
フローで作業が行われるため、問題の工程手順の製品
が、ある設備で作業され、当該設備を汚染した場合に
も、これに気づかず、当該設備で他の製品作業が行われ
た場合、この他の製品まで汚染され不良製品となってし
まう。このように、自製品のみでなく、他の製品にまで
影響を及ぼすという問題も有している。

【００１４】ところで、新製品の工程手順を作成する場
合、作成者は、極力製品の安全性を考慮し、多くの測定
工程、検査工程の付加や、性能の良い設備で作業しても
らうことを考え、作業設備の限定などを行う傾向があ
る。

【００１５】上記のような場合は、工程手順的には、何
も問題が発生しないので、工程手順チェックの担当者の
チェックを問題なくパス（Ｐａｓｓ）してしまうことに
なる。このため、必要設備能力の計算を行った場合に、
特定の設備に作業が集中して、製品の作業期間の長期化
や設備投資の増大などの問題が発生した。

【００１６】この種の技術に関連するものとして、例え
ば特開平２−１６２４６３号公報には作業や行動の手順
を表現する工程ネットワークの作成を支援する装置が提
案され、また特開平２−１３０６７８号公報には、生産
効率を向上させるジョブの投入順序を自動的に作成する
製造計画作成装置が提案されている。

【００１７】そこで、上記特開平２−１６２４６３号公
報には、工程をネットワークに置き換えかつ、矛盾のな
い工程手順を作成する工程ネットワーク作成支援装置が
提案されている。この工程ネットワーク作成支援装置
は、組立作業に代表されるジョブフロータイプの製造に
は、確かに有効であるが、半導体装置製造のような、ジ
ョブショップタイプの場合、同じ設備で、同じ製品が何
度も作業されるため、この装置は、上記した問題を解決
するには至っていない。

【００１８】また、特開平２−１３０６７８号公報に
は、生産効率を向上させるジョブの投入順序を自動的に
作成する製造計画作成装置として、シミュレーション技
術を用いて、効率的に製造作業を行うようにした方法が
提案されている。しかし、この方法では、設備の能力を
効率的に利用することで、作業製品の集中に対応するこ
とを可能にしたのみで、根本的な問題の解決にはいたら
なかった。

【００１９】従って、本発明は、上記問題点に鑑みてな
されたものであって、その目的は、人の経験や勘が介入
せずに、工程手順の検証を行い、問題のある部分を修正
することにより製品製造の工程手順の信頼性を向上さ
せ、また、製造設備の負荷を低減させることで生産性を
向上させることを可能とした装置を提供することにあ
る。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る工程手順検証装置は、製造ライン内で
製造されている製品の工程手順及び作業条件に関する情
報データを記憶する手段と、前記記憶されている情報デ
ータを基に工程手順を検証するための知識データを作成
する手段と、製造ライン内の設備群などの状態を記憶す
る手段と、前記記憶された製造ライン内の状態を用いて
作成した工程手順を検証する手段と、前記検証結果と前
記知識データとを基に工程手順の問題点を修正する手段
と、を備えることを特徴とする。

【００２１】また、本発明は、複数からなる所定の処理
を所定のフローに従うことで、製品を製造する場合にお
いて、製造ライン内の設備稼働状況、及び能力などの設
備情報を記憶する手段と、製品の作業状況、仕掛、およ
び製造ラインで製造されている製品の工程手順と作業条
件などの製品情報を記憶する手段と、を有し、これらの
記憶手段を用いて、製造ライン内で製造されている製品
をコントロールする手段を具備してなるシステムにおい
て、前記製品情報を記憶する手段に記憶された工程手順
と作業条件とを用いて、知識データを作成する手段と、
工程手順、及び作業条件などの製品情報を入力する手段
と、前記入力手段から入力されたデータを一時的に記憶
する手段と、前記一時的に記憶する手段と、前記知識デ
ータ作成手段にて作成された知識データとから、新たに
入力されたデータを検証する検証手段と、前記検証手段
による検証結果をもとに、問題点を検索して修正する手
段と、修正されたデータを一時的に記憶する手段と、製
造情報を記憶する手段へ移す手段と、を備えたことを特
徴とする。

【００２２】上記構成のもと、本発明によれば、製造ラ
イン内で実際に製造している、製品データをもとに知識
データを作成し、この知識データを用いて、工程手順の
検証を行うため、人の経験や勘の介入がなくなり、一定
の検証結果を得ることが可能になる。また、人の経験や
勘が不要になるため誰でも行え、短時間で結果を得るこ
とが可能になる。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して以下に説明する。

【００２４】図１は、本発明の第１の実施の形態の構成
を示す図である。図１を参照すると、中央処理装置２０
１と、工程手順データなどを入力および結果の表示など
を行う、入力・表示装置２０２と、入力・表示装置２０
２より入力されたデータを一時的に記憶しておくための
一時記憶装置２０３と、製品毎の作業手順や作業条件を
記憶している製品情報記憶装置２０４と、製造装置の設
備台数や作業履歴を記憶した設備情報記憶装置２０５
と、製造情報記憶装置２０４および設備情報記憶装置２
０５より得られる知識データを記憶するための知識デー
タ記憶装置２０６と、を備えて構成されており、入力・
表示装置２０２、一時記憶装置２０３、製品情報記憶装
置２０４、設備情報記憶装置２０５、知識データ記憶装
置２０６はいずれも中央処理装置２０１に接続されてい
る。

【００２５】次に、各種記憶装置の記憶情報について説
明する。

【００２６】図２は、製造情報記憶装置２０４の記憶情
報の構成の一例を示す図である。

【００２７】図２を参照すると、製品情報記憶装置２０
４には、製造ライン内で、製造を行っている製品名を記
憶した製品名データベース３０１、３０１′に、個々の
製品名毎に工程手順を記憶している、工程手順データベ
ース３０２がリンクしている。工程手順データベース３
０２には、作業工程名および作業条件がそれぞれ作業工
程コードおよび条件コードに変換された形式にて、作業
順に記憶されている（３０２′）。例えば製品名Ａ００
０１の作業工程コードＡ０１Ｃ０２の条件コードはＦ０
３０００４、次の作業工程はコードＸ２１Ｃ３６、条件
コードはＴ４６００４５という具合である。

【００２８】図３は、設備情報記憶装置２０５の記憶情
報の構成の一例を示す図である。

【００２９】図３を参照すると、同じ処理装置をグルー
プ化した、設備群コードデータベース４０１、４０１′
には、設備群コード毎に、処理内容、処理可能号機を記
憶した、条件コードデータベース４０２、４０２′およ
び、作業毎の作業設備号機を記憶した、作業履歴データ
ベース４０３、４０３′とがそれぞれリンクしている。

【００３０】条件コードデータベース４０２のエントリ
は、条件コード毎に、処理可能号機（可能であれば○
印）、作業内容を記憶するフィールドからなり、作業履
歴データベースのエントリは作業内容と作業号機とのフ
ィールドからなる。

【００３１】次に、本発明の実施の形態の動作の流れを
図４の流れ図を参照して説明する。

【００３２】工程手順作成者は、入力表示装置２０２を
用いて、データを入力する（ステップ５０１）。

【００３３】入力されたデータは、中央処理装置２０１
を介して、一時記憶装置２０３に記憶される（ステップ
５０２）。

【００３４】次に、中央処理装置２０１は、製品情報記
憶装置２０４および設備情報記憶装置２０５に記憶され
ているデータをもとに、知識データを作成し、知識デー
タ記憶装置２０６に記憶する（ステップ５０３）。

【００３５】次に、前記一時記憶装置２０３に記憶され
ているデータを知識データ記憶装置２０６内の知識デー
タを用いて検証を行い、問題があれば、入力表示装置２
０２に、その内容を表示するとともに修正する。

【００３６】もしくは、問題内容および修正内容を表示
し、作成者に確認させる（ステップ５０４、５０５）。

【００３７】検証の結果、問題がなければ、一時記憶装
置２０３内に記憶されているデータを中央処理装置２０
１を介して、製品情報記憶装置２０４に移動させ、製品
製造が可能な状態にする（ステップ５０６）。

【００３８】次に、知識データ作成の処理（図４のステ
ップ５０３）および検証処理（図４のステップ５０４）
について詳細に説明する。

【００３９】図５および図６は、製造情報記憶装置２０
４および設備情報記憶装置２０５を用いて作成され、知
識データ記憶装置２０６に記憶される知識データテーブ
ルの一例を示したものである。

【００４０】図５を参照して、知識データテーブル６０
１は、製品情報記憶装置２０４内に記憶されている工程
手順データベース３０２の工程手順データをもとにし
て、ある作業工程コードの次工程としてどの作業工程コ
ードが存在するかを記憶したものであり、次工程が存在
する場合は符号“○”、存在しない場合は符号“×”、
自工程の前後どちらにも存在する可能性がある場合には
符号“−”を記憶する。また、各作業工程コードで使用
されている条件コードを知識データテーブル６０１の最
終フィールドに記憶する。すなわち、知識データテーブ
ル６０１は、自工程コードのエントリ毎に、次工程の存
在の有無又は前後の可能性を示す符号を格納するフィー
ルドと、使用条件コードを格納するフィールドと、を備
えている。

【００４１】次に、図６に示す知識データテーブル７０
１は、設備情報記憶装置２０５内に記憶されている、作
業履歴データベース３０１の作業履歴データをもとにし
て、個々の設備の使用回数をカウントして、記憶したも
のである。知識データテーブル７０１は、設備群コード
のエントリ毎に、各設備（何号機で示す）の使用回数の
カウント値、及び加算値のフィールドを備えている。

【００４２】図７は、前記した知識データを用いた本発
明の実施の形態における検証動作を説明するための流れ
図である。

【００４３】図７を参照して、はじめに、検証する工程
手順の第１作業工程を「１」として順に最終工程まで、
シリアルナンバーを付けたとした場合、その検証対象作
業工程を示すためのポインタ（Ｐ）に「１」をセットす
る（ステップ８０１）。

【００４４】次に、ポインタに記憶されている数値の対
象作業工程に着目して、その工程コードと次工程コード
との対応が、知識データベース６０１において、どのよ
うに記憶されているかを確認する。

【００４５】次工程のフィールドが“○”または“−”
の場合は、次ステップ８０４へ進む。一方、“×”の場
合には、自工程の前後どちらにも存在する可能性がある
（すなわち問題有り）ということで、修正処理へ進む
（ステップ８０２）。

【００４６】修正処理としては、問題が発生した工程と
次工程を中央処理装置２０１を介して、入力表示装置２
０２に表示する。また、知識データベース６０１内で、
問題が発生した工程の次工程に、存在することが可能な
作業工程を表示する。

【００４７】もし、表示する工程が複数個の場合には、
その中から作業者が選択し、選択された内容を中央処理
装置２０１を介して一時記憶装置２０３へ返却する。

【００４８】また、表示する工程が１つの場合には、作
成者が確認を行い、その内容を中央処理装置２０１を介
して一時記憶装置２０３へ返す。

【００４９】一時記憶装置２０３においては、中央処理
装置２０１を介して返却されたデータをもとに、作業工
程を変更する（ステップ８０３）。

【００５０】次に、着目している作業工程で使用されて
いる、条件コードに着目する。着目している条件コード
が知識データベース６０１に記憶されている自工程コー
ドの最終フィールドに記憶されている使用条件コードに
依存するか否かをチェックし、存在しない場合は、それ
ぞれの条件コードを設備情報記憶装置２０５内に記憶さ
れている条件コードデータベース４０２内に記憶されて
いる、種々の条件コードの作業内容と比較する。もし作
業内容が同じなら、次ステップへ進む。同じものがない
場合は、修正処理へ進む（ステップ８０４）。

【００５１】修正処理としては、問題が発生した工程
と、該工程が使用している条件コードと、を中央処理装
置２０１を介して入力表示装置２０２に表示する。ま
た、知識データベース６０１内に記憶されている使用条
件コードを表示する。その際、表示する条件コードが、
複数個の場合には、その中から作成者が選択し、選択さ
れた内容を中央処理装置２０１を介して一時記憶装置２
０３に返す。また、表示する条件コードが１つの場合
は、作成者が確認を行い、その内容を中央処理装置２０
１を介して一時記憶装置２０３へ返す。一時記憶装置２
０３は、返されたデータをもとにして、条件コードを変
更する（ステップ８０５）。

【００５２】次に、着目している工程の条件コードと設
備情報記憶装置２０５内に記憶されている条件コードデ
ータベース４０２を用いて、使用する設備号機と、知識
データベース７０１に記憶されている設備状況と、を用
いて、設備負荷チェックを行う（ステップ８０６）。こ
のステップ８０６における設備負荷のチェックを図８お
よび図９を参照して以下に説明する。

【００５３】着目している作業工程の条件コードが“Ａ
ＡＡ０００１”の場合、“ＡＡＡ０００１”は、全ての
設備号機で作業可能であることが、条件コードデータベ
ース４０２よりわかる。

【００５４】次に、“ＡＡＡ”設備群のそれぞれの号機
の使用状況を知識データベース７０１で確認すると、そ
れぞれの号機（０１〜０３号機）間で使用カウント値の
格差がほとんどなく、所定の範囲内（例えば最大３０と
最小２１の比が１：１．５以内など）ということが判明
し、ある特定の号機に負荷が集中していないことがわか
る（図８（Ａ）参照）。

【００５５】このような場合、そのままの条件コードで
問題がないので、修正せずに、知識データベース７０１
内の値に、加算値を、均等割りした値を加算する。すな
わち各号機の使用回数のフィールドの加算値「９」を
「３」で除した値「３」を加算し、０１〜０３号機の使
用回数を、２４、２５、３３とする（図８（Ｂ）参
照）。

【００５６】また、他の場合として、図９を参照する
と、着目している作業工程の条件コードが“ＢＢＢ００
０１”とした場合、“ＢＢＢ０００１”は、すべての号
機で作業が可能であることが、上記と同様な方法でわか
る。

【００５７】次に、“ＢＢＢ”の使用状況を上記と同様
な方法で、チェックを行うと“０１”号機の負荷が大き
く、所定の範囲を超えていることが判明し、特定号機の
負荷が高いことがわかる。このような場合には、“０
１”号機で作業を行わないように、“０２”、“０３”
号機のみで作業を行うように、条件コードを“ＢＢＢ０
００１”から“ＢＢＢ０００３”に変更する（図９の条
件コードデータベース４０２の条件コード“０００３”
参照）。

【００５８】そして、“０２”、“０３”号機に加算値
を均等割りして加算する（図９（Ｂ）参照）。

【００５９】このようにして、負荷のチェックおよび修
正を行う（ステップ８０６〜８０８）。

【００６０】次に、着目している工程が最終工程かどう
かをチェックする（ステップ８０９）。最終工程でない
場合は、ポインタをカウントアップして、上記処理を繰
り返す（ステップ８１０）。

【００６１】図１０は、本発明の第２の実施の形態の構
成を示す図である。

【００６２】図１０を参照すると、本発明の第２の実施
の形態は、中央処理装置１１０１と、各種情報を入力お
よび表示するための入力表示装置１１０２と、問題の発
生した工程手順を一時的移動記憶させるための、一時記
憶装置１１０６と、製品毎の作業手順や作業条件を記憶
している製品情報記憶装置１１０３と、製造装置の設備
台数や作業履歴を記憶した設備情報記憶装置１１０４
と、各製品毎の作業状態を記憶した製造状況記憶装置１
１０５と、前記記憶装置から得られる知識データを記憶
するための知識データ記憶装置１１０７と、を備えてい
る。そして、中央処理装置１１０１には、入力表示装置
１１０２と、一時記憶装置１１０６と、製品情報記憶装
置１１０３と、設備情報記憶装置１１０４と、製造状況
記憶装置１１０５と、前記記憶装置から得られる知識デ
ータを記憶するための知識データ記憶装置１１０７とが
接続されている。

【００６３】そして、中央処理装置１１０１は、ネット
ワーク１１０８を介して、製造ライン１１０９内に設置
されている、半導体装置を製造する設備１１１０に接続
されており、製品の処理情報を逐次ネットワーク１１０
８を介して送信する。

【００６４】図１１は、製造状況記憶装置１２０５の記
憶情報の構成例を示す図である。

【００６５】製造状況記憶装置１２０５は、製造ライン
１２０９内で、製造されている製品名を記憶した製品デ
ータベース１２０１、各製品に仕掛かっているロット番
号を記憶しているロット番号データベース１２０２、１
２０２′がリンクしており、そのロット番号データベー
ス１２０２には、各ロットの作業状況を記憶している作
業状況データベース１２０３、１２０３′がリンクして
いる。

【００６６】次に、本発明の第２の実施の形態の動作を
図１２の流れ図を参照して説明する。

【００６７】製造ライン１１０９内で例えば汚染トラブ
ルが発生したことを、ネットワーク１１０８を介して中
央処理装置１１０１に信号を送信する（ステップ１３０
１）。

【００６８】次に、汚染をおこした製品の工程手順を製
品情報記憶装置１１０３から一時記憶装置１１０６に移
動させる（ステップ１３０２）。

【００６９】次に、その製品のロット番号データベース
１２０２にフラグをたてる。このフラグが立っている場
合は、設備１１１０で作業しようとしても、設備１１１
０で受け付けないので、これ以上の進捗できなくなる
（ステップ１３０３）。

【００７０】次に、問題の工程手順を検証し、問箇所を
修正する（ステップ１３０４、１３０５）。

【００７１】修正が完了したら一時記憶装置１１０６の
工程手順を製品情報記憶装置１１０３へ戻し、ロット番
号データベース１２０２の立っているフラグを取り除い
て、ロット進捗を再開させる（ステップ１３０６）。

【００７２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
工程手順の検証を行う方法として、現状使用されている
工程手順をもとに、知識データを作成し、知識データを
用いて、検証を行うため、人手による工程検証作業と比
較して、経験差や勘などの介入がなく、常に一定の検証
結果が得られるという効果を有する。

【００７３】また、工程手順データを入力時に即、検証
が行えるので、工程手順を作成して、実際に製造開始が
行えるまでの時間を短縮することが可能になる。

【００７４】本発明の他の効果としては、実際の作業履
歴をもとに、設備負荷を算出して、その結果をもとに作
業設備を振り分けるため、特定の設備に仕掛かりが集中
せずに、効率の良い生産を可能としている。

【００７５】さらに、本発明によれば、製造ライン内に
おいて例えば汚染トラブルなどの事故が発生した場合
に、発生した製品の進捗を止め、修正が完了したら、ロ
ット進捗を再開させることにより、事故の拡大を防止で
きると共に、製造ラインの製造信頼性を向上するという
効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の構成を示す図であ
る。

【図２】本発明の第１の実施の形態における製品情報記
憶装置内のデータ構成の一例を示す図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態における設備情報記
憶装置内のデータ構成の一例を示す図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態の全体の動作を説明
するための流れ図である。

【図５】本発明の第１の実施の形態における、知識デー
タ記憶装置内のデータ構成の一例を示す図である。

【図６】本発明の第１の実施の形態における、知識デー
タ記憶装置内のデータ構成の一例を示す図である。

【図７】本発明の第１の実施の形態における工程手順検
証および修正の処理を説明するための流れ図である。

【図８】本発明の第１の実施の形態における、設備負荷
検証時の知識データの例を示す図である。

【図９】本発明の第１の実施の形態における、設備負荷
検証時の知識データの例を示す図である。

【図１０】本発明の第２の実施形態の構成を示す図であ
る。

【図１１】本発明の第２の実施の形態における製造状況
記憶装置内のデータ構成の一例を示す図である。

【図１２】本発明の第２の実施形の態の処理動作を説明
するための流れ図である。

【図１３】従来技術の処理を説明するための流れ図であ
る。

【符号の説明】

１０１〜１０９、５０１〜５０６、８０１〜８１０、１
３０１〜１３０６ ステップ ２０１、１１０１ 中央処理装置 ２０２、１１０２ 入力表示装置 ２０３、１１０６ 一時記憶装置 ２０４、１１０３ 製品情報記憶装置 ２０５、１１０４ 設備情報記憶装置 ２０６、１１０７ 知識データ記憶装置 ３０１、３０１′ 製品名データベース ３０２、３０２′ 工程手順データベース ４０１、４０１′ 設備群コードデータベース ４０２、４０２′ 条件コードデータベース ４０３、４０３′ 作業履歴データベース ６０１、７０１ 知識データベース １１０５ 製造状況記憶装置 １１０８ ネットワーク １１０９ 製造ライン １１１０ 設備 １２０１ 製品名データベース １２０２、１２０２′ ロット番号データベース １２０３、１２０３′ 作業状況データベース

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】製造ライン内で製造されている製品の工程
   手順及び作業条件に関する情報データを記憶する手段
   と、 前記記憶されている情報データを基に工程手順を検証す
   るための知識データを作成する手段と、 製造ライン内の設備群などの状態を記憶する手段と、 前記記憶された製造ライン内の状態を用いて作成した工
   程手順を検証する手段と、 前記検証結果と前記知識データとを基に工程手順の問題
   点を修正する手段と、 を備えることを特徴とする工程手順検証装置。
2. 【請求項２】複数からなる所定の処理を所定のフローに
   従うことで、製品を製造する場合において、 製造ライン内の設備稼働状況、及び能力などの設備情報
   を記憶する手段と、 製品の作業状況、仕掛、および製造ラインで製造されて
   いる製品の工程手順と作業条件などの製品情報を記憶す
   る手段と、 を有し、 これらの記憶手段を用いて、製造ライン内で製造されて
   いる製品をコントロールする手段を具備してなるシステ
   ムにおいて、 前記製品情報を記憶する手段に記憶された工程手順と作
   業条件とを用いて、知識データを作成する手段と、 工程手順、及び作業条件などの製品情報を入力する手段
   と、 前記入力手段から入力されたデータを一時的に記憶する
   手段と、 前記一時的に記憶する手段と、前記知識データ作成手段
   にて作成された知識データとから、新たに入力されたデ
   ータを検証する検証手段と、 前記検証手段による検証結果をもとに、問題点を検索し
   て修正する手段と、 修正されたデータを一時的に記憶する手段と、 製造情報を記憶する手段へ移す手段と、 を備えたことを特徴とする工程手順検証装置。
3. 【請求項３】製品情報に記憶されているデータに起因す
   る問題が発生したときに、該問題が発生した製品の製品
   情報内のデータを、前記知識データを用いて問題点を検
   索する手段と、 前記検索された問題点をキーとして、全ての情報内のデ
   ータを検索する手段と、 検索結果より問題点がある製品の進捗作業を停止する手
   段と、 検索された問題を修正した後に停止させて製品の進捗作
   業を再開させる手段と、 を備えたことを特徴とする請求項２記載の工程手順検証
   装置。