JPH09329133A - 動圧軸受装置の製造方法 - Google Patents
動圧軸受装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH09329133A JPH09329133A JP17060196A JP17060196A JPH09329133A JP H09329133 A JPH09329133 A JP H09329133A JP 17060196 A JP17060196 A JP 17060196A JP 17060196 A JP17060196 A JP 17060196A JP H09329133 A JPH09329133 A JP H09329133A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dynamic pressure
- resin layer
- bearing
- rotor
- bearing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 56
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 56
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims description 30
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 20
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 claims description 4
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 claims description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 2
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010422 painting Methods 0.000 abstract description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 19
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 19
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N chromate(2-) Chemical compound [O-][Cr]([O-])(=O)=O ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006259 thermoplastic polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 軸受部の長寿命化を図る。
【解決手段】 回転部材30及び固定部材の少なくとも
一方に、軸受面を構成する潤滑性樹脂層34を形成し、
当該潤滑性樹脂層34によって軸受面の耐摩耗性、耐焼
き付き性を向上し得るようにして軸受面の摩耗や焼き付
き等を防止すると共に、該潤滑性樹脂層34を、半硬化
状態の樹脂フィルム材を熱圧着することによって形成
し、当該潤滑性樹脂層34を例えば塗装等によって形成
するものに比して、その形成を容易にし得ると共に該樹
脂フィルム材の高精度なる厚みにより仕上げ加工を不要
にし得るようにする。
一方に、軸受面を構成する潤滑性樹脂層34を形成し、
当該潤滑性樹脂層34によって軸受面の耐摩耗性、耐焼
き付き性を向上し得るようにして軸受面の摩耗や焼き付
き等を防止すると共に、該潤滑性樹脂層34を、半硬化
状態の樹脂フィルム材を熱圧着することによって形成
し、当該潤滑性樹脂層34を例えば塗装等によって形成
するものに比して、その形成を容易にし得ると共に該樹
脂フィルム材の高精度なる厚みにより仕上げ加工を不要
にし得るようにする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、動圧軸受装置の製
造方法に関する。
造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ポリゴンミラー駆動用モータやハードデ
ィスク駆動モータ等は、高精度且つ高速回転が要求され
ることから、空気或いはオイル等の流体を利用した動圧
軸受装置が用いられつつある。この動圧軸受装置を用い
た装置例として、例えば図1に示されているようなポリ
ゴンミラー駆動用モータがある。この図1に示されたポ
リゴンミラー駆動用モータは、デジタルコピー、レーザ
プリンタ等におけるレーザスキャナーを構成するもので
あって、10000〜30000RPM以上の高速回転
をするため、軸受には非接触で回転支持可能な空気動圧
軸受等が用いられている。
ィスク駆動モータ等は、高精度且つ高速回転が要求され
ることから、空気或いはオイル等の流体を利用した動圧
軸受装置が用いられつつある。この動圧軸受装置を用い
た装置例として、例えば図1に示されているようなポリ
ゴンミラー駆動用モータがある。この図1に示されたポ
リゴンミラー駆動用モータは、デジタルコピー、レーザ
プリンタ等におけるレーザスキャナーを構成するもので
あって、10000〜30000RPM以上の高速回転
をするため、軸受には非接触で回転支持可能な空気動圧
軸受等が用いられている。
【0003】すなわち、図1において、ベース8にネジ
止め固定された軸受(固定部材)5内に、数μm〜十数
μmの隙間を隔ててロータ(回転部材)2が挿入されて
おり、当該ロータ2の外周面14に形成されたスパイラ
ル溝15と軸受5の内周面とで構成される空気動圧軸受
4によって上記ロータ2が高速回転可能に支承される構
成になされている。さらに上記ベース8の中央柱状部の
外周には、駆動コイル9が嵌合固定されており、その駆
動コイル9に周対向するようにして、駆動用の磁気回路
をつくる環状マグネット10が配置されている。この環
状マグネット10は、上記ロータ2の内部に鉄製のヨー
ク19を介して配置されており、上記駆動コイル9と共
にモータ駆動部を構成している。
止め固定された軸受(固定部材)5内に、数μm〜十数
μmの隙間を隔ててロータ(回転部材)2が挿入されて
おり、当該ロータ2の外周面14に形成されたスパイラ
ル溝15と軸受5の内周面とで構成される空気動圧軸受
4によって上記ロータ2が高速回転可能に支承される構
成になされている。さらに上記ベース8の中央柱状部の
外周には、駆動コイル9が嵌合固定されており、その駆
動コイル9に周対向するようにして、駆動用の磁気回路
をつくる環状マグネット10が配置されている。この環
状マグネット10は、上記ロータ2の内部に鉄製のヨー
ク19を介して配置されており、上記駆動コイル9と共
にモータ駆動部を構成している。
【0004】また、上記ロータ2の先端部(図示上端
部)には凸部13が設けられており、この凸部13に対
してポリゴンミラー1が嵌合されている。このポリゴン
ミラー1上には、波形ばね17を介してバランスプレー
ト16が同軸に載置されており、そのバランスプレート
16側から差し込まれた固定ネジ18がロータ2の凸部
13に螺着されることによってポリゴンミラー1の固定
が行われている。
部)には凸部13が設けられており、この凸部13に対
してポリゴンミラー1が嵌合されている。このポリゴン
ミラー1上には、波形ばね17を介してバランスプレー
ト16が同軸に載置されており、そのバランスプレート
16側から差し込まれた固定ネジ18がロータ2の凸部
13に螺着されることによってポリゴンミラー1の固定
が行われている。
【0005】さらに上記ベース8の中央柱状部の上部外
周及びバランスプレート16の内周には、一対の環状マ
グネット11,12が周対向するように取り付けられて
いる。これらの各環状マグネット11,12には、軸方
向に極性を逆にして着磁が行われており、これによって
磁気スラスト軸受が構成されている。
周及びバランスプレート16の内周には、一対の環状マ
グネット11,12が周対向するように取り付けられて
いる。これらの各環状マグネット11,12には、軸方
向に極性を逆にして着磁が行われており、これによって
磁気スラスト軸受が構成されている。
【0006】そして、駆動コイル9に所定の駆動電圧が
印加されると、ロータ2と共にポリゴンミラー1が回転
し、このポリゴンミラー1の回転によって該ポリゴンミ
ラー1に収束されたレーザー光が図示されない画像記録
媒体上を走査するようになっている。この時、ロータ2
は、ロータ2と軸受5との間に発生する圧力によってラ
ジアル方向に支持されると共に、一対の環状マグネット
11,12よりなる磁気スラスト軸受によって浮上支持
される。
印加されると、ロータ2と共にポリゴンミラー1が回転
し、このポリゴンミラー1の回転によって該ポリゴンミ
ラー1に収束されたレーザー光が図示されない画像記録
媒体上を走査するようになっている。この時、ロータ2
は、ロータ2と軸受5との間に発生する圧力によってラ
ジアル方向に支持されると共に、一対の環状マグネット
11,12よりなる磁気スラスト軸受によって浮上支持
される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ここで、上記動圧軸受
4にあっては、前述したように数μm〜十数μmの動圧
発生用隙間を隔てて軸受5に対してロータ2が挿入され
ていることから、起動停止時に両部材の軸受面同士が接
触して摩耗が生じたり、大きな外乱により両部材の軸受
面同士が接触して損傷を受け例えば使用時に焼き付き等
が発生する等して、長寿命化が図れないといった問題が
あった。
4にあっては、前述したように数μm〜十数μmの動圧
発生用隙間を隔てて軸受5に対してロータ2が挿入され
ていることから、起動停止時に両部材の軸受面同士が接
触して摩耗が生じたり、大きな外乱により両部材の軸受
面同士が接触して損傷を受け例えば使用時に焼き付き等
が発生する等して、長寿命化が図れないといった問題が
あった。
【0008】そこで本発明は、軸受の摩耗や焼き付き等
が防止され軸受の長寿命化が図られる動圧軸受装置の製
造方法を提供することを目的とする。
が防止され軸受の長寿命化が図られる動圧軸受装置の製
造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の動圧軸受装置の製造方法は、回転部材に
形成された軸受面と固定部材に形成された軸受面とを対
向配置し当該軸受面間に生じる動圧作用によって前記回
転部材を回転自在に支承する動圧軸受装置を製造する方
法において、前記回転部材及び前記固定部材の少なくと
も一方に、前記軸受面を構成する潤滑性樹脂層を形成
し、この潤滑性樹脂層を、半硬化状態の樹脂フィルム材
を熱圧着することによって形成したことを特徴としてい
る。
に、請求項1の動圧軸受装置の製造方法は、回転部材に
形成された軸受面と固定部材に形成された軸受面とを対
向配置し当該軸受面間に生じる動圧作用によって前記回
転部材を回転自在に支承する動圧軸受装置を製造する方
法において、前記回転部材及び前記固定部材の少なくと
も一方に、前記軸受面を構成する潤滑性樹脂層を形成
し、この潤滑性樹脂層を、半硬化状態の樹脂フィルム材
を熱圧着することによって形成したことを特徴としてい
る。
【0010】このような請求項1における動圧軸受装置
の製造方法によれば、回転部材及び固定部材の少なくと
も一方の軸受面に、半硬化状態の樹脂フィルム材を熱圧
着することによって形成された潤滑性樹脂層は、耐摩耗
性、耐焼き付き性に優れていると共に、該潤滑性樹脂層
が例えば塗装等によって形成されるものに比して、その
形成が容易になされると共に該樹脂フィルム材の高精度
なる厚みにより仕上げ加工が不要にされる。
の製造方法によれば、回転部材及び固定部材の少なくと
も一方の軸受面に、半硬化状態の樹脂フィルム材を熱圧
着することによって形成された潤滑性樹脂層は、耐摩耗
性、耐焼き付き性に優れていると共に、該潤滑性樹脂層
が例えば塗装等によって形成されるものに比して、その
形成が容易になされると共に該樹脂フィルム材の高精度
なる厚みにより仕上げ加工が不要にされる。
【0011】この時、半硬化状態の樹脂フィルム材とし
ては種々のものが採用され得るが、請求項2に記載のよ
うに、例えばポリイミドフィルム、フェノール樹脂フィ
ルム、ポリアミドイミドフィルムの何れかが採用され得
る。
ては種々のものが採用され得るが、請求項2に記載のよ
うに、例えばポリイミドフィルム、フェノール樹脂フィ
ルム、ポリアミドイミドフィルムの何れかが採用され得
る。
【0012】この時また、潤滑性樹脂層は熱伝導が悪く
軸受部で発生する熱が良好に放熱されずにこもってしま
うが、該潤滑性樹脂層が形成される部材が、請求項3に
記載のように、アルミ材により形成されると、当該アル
ミ材によって軸受部で発生する熱が良好に放熱されるよ
うになる。
軸受部で発生する熱が良好に放熱されずにこもってしま
うが、該潤滑性樹脂層が形成される部材が、請求項3に
記載のように、アルミ材により形成されると、当該アル
ミ材によって軸受部で発生する熱が良好に放熱されるよ
うになる。
【0013】この時また、半硬化状態の樹脂フィルム材
としては、請求項4に記載のように、例えば熱圧着前に
予め動圧発生用の溝が形成されたものが採用され得る。
としては、請求項4に記載のように、例えば熱圧着前に
予め動圧発生用の溝が形成されたものが採用され得る。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。本発明の適用形態としては図
1におけるポリゴンミラー駆動用モータがあるが、当該
モータの全体構造は従来技術の欄で既に説明したので省
略することとし、以下、本発明の要部に関する実施形態
を説明する。
基づいて詳細に説明する。本発明の適用形態としては図
1におけるポリゴンミラー駆動用モータがあるが、当該
モータの全体構造は従来技術の欄で既に説明したので省
略することとし、以下、本発明の要部に関する実施形態
を説明する。
【0015】図2に示されている動圧軸受装置は軸回転
型の空気動圧軸受装置であって、固定部材としての軸受
(ステータ)32に対し、回転部材としてのロータ30
が、空気動圧により回転自在に支承されるように構成さ
れている。すなわち、上記ロータ30の外周面(正確に
は後述の潤滑性樹脂層34の外周面)及び軸受32の内
周面によって動圧軸受35が構成された状態となってい
る。
型の空気動圧軸受装置であって、固定部材としての軸受
(ステータ)32に対し、回転部材としてのロータ30
が、空気動圧により回転自在に支承されるように構成さ
れている。すなわち、上記ロータ30の外周面(正確に
は後述の潤滑性樹脂層34の外周面)及び軸受32の内
周面によって動圧軸受35が構成された状態となってい
る。
【0016】軸受32は、アルミニウム、アルミニウム
合金等のアルミ材よりなる。この軸受32の内周面(軸
受面)には、腐食防止、摩耗防止のために無電解ニッケ
ルメッキが施されている。
合金等のアルミ材よりなる。この軸受32の内周面(軸
受面)には、腐食防止、摩耗防止のために無電解ニッケ
ルメッキが施されている。
【0017】ロータ30は、図3に示されるように、母
材となるロータ素材36と、このロータ素材36の表面
に形成されたアルマイト被膜33と、このアルマイト被
膜33の軸受面に対応する表面に形成された潤滑性樹脂
層34と、から構成されている。
材となるロータ素材36と、このロータ素材36の表面
に形成されたアルマイト被膜33と、このアルマイト被
膜33の軸受面に対応する表面に形成された潤滑性樹脂
層34と、から構成されている。
【0018】ロータ素材36は、軸受32と同様に、ア
ルミニウム、アルミニウム合金等のアルミ材よりなる。
このアルミ材は、その熱伝導率が240W・m-1・K-1
であり、例えばSUSの熱伝導率(15W・m-1・
K-1)、セラミックの熱伝導率(20W・m-1・K-1)
に比して高くなっており、従って放熱性に優れている。
ルミニウム、アルミニウム合金等のアルミ材よりなる。
このアルミ材は、その熱伝導率が240W・m-1・K-1
であり、例えばSUSの熱伝導率(15W・m-1・
K-1)、セラミックの熱伝導率(20W・m-1・K-1)
に比して高くなっており、従って放熱性に優れている。
【0019】アルマイト被膜33は、密着性を高め得る
と共にロータ素材36を形成するアルミ材に対しての防
錆能力を備えている。
と共にロータ素材36を形成するアルミ材に対しての防
錆能力を備えている。
【0020】潤滑性樹脂層34は、半硬化状態の樹脂フ
ィルム材としての例えばポリイミドフィルムを熱圧着す
ることによって形成されている。この半硬化状態のポリ
イミドフィルムとしては、例えば東レ・デュポン(株)
製のカプトンKJが用いられている。このカプトンKJ
は、熱可塑性ポリイミドフィルムであって、ガラス転移
点以上(220°C以上)に昇温しても良好な接着性を
維持し得る材料であり、アルミニウム、ステンレス、銅
箔等の各種金属板、セラミックに対して良好な接着性を
有するものである。
ィルム材としての例えばポリイミドフィルムを熱圧着す
ることによって形成されている。この半硬化状態のポリ
イミドフィルムとしては、例えば東レ・デュポン(株)
製のカプトンKJが用いられている。このカプトンKJ
は、熱可塑性ポリイミドフィルムであって、ガラス転移
点以上(220°C以上)に昇温しても良好な接着性を
維持し得る材料であり、アルミニウム、ステンレス、銅
箔等の各種金属板、セラミックに対して良好な接着性を
有するものである。
【0021】このようなアルマイト被膜33、潤滑性樹
脂層34を有するロータ30を得るにあたっては、先ず
ロータ素材36と潤滑性樹脂層34との密着力が高まる
ように、ロータ素材36の軸受面に対応する表面を、例
えば湿式エッチング、サンドブラスト等によってその表
面粗さが3s(JIS B0031に規定の表面粗さ参
照)以上となるように粗くし、次いでこのロータ素材3
6の表面に、例えば塗布、硫酸浴、スプレー等によって
アルマイト被膜33を形成する。
脂層34を有するロータ30を得るにあたっては、先ず
ロータ素材36と潤滑性樹脂層34との密着力が高まる
ように、ロータ素材36の軸受面に対応する表面を、例
えば湿式エッチング、サンドブラスト等によってその表
面粗さが3s(JIS B0031に規定の表面粗さ参
照)以上となるように粗くし、次いでこのロータ素材3
6の表面に、例えば塗布、硫酸浴、スプレー等によって
アルマイト被膜33を形成する。
【0022】従って、このアルマイト被膜33によっ
て、該アルミ材よりなるロータ素材36の防錆が図られ
ると共に該ロータ素材36と後述の潤滑性樹脂層34と
の密着性が高められる。このロータ素材36と潤滑性樹
脂層34との密着性は、上記ロータ素材36の表面粗さ
を粗すことによって、より高められる。
て、該アルミ材よりなるロータ素材36の防錆が図られ
ると共に該ロータ素材36と後述の潤滑性樹脂層34と
の密着性が高められる。このロータ素材36と潤滑性樹
脂層34との密着性は、上記ロータ素材36の表面粗さ
を粗すことによって、より高められる。
【0023】次いで、アルマイト被膜33の軸受面に対
応する表面に、厚みが100μm程度の上述した半硬化
状態のポリイミドフィルム34を熱圧着する。この半硬
化状態のポリイミドフィルム34には、予め動圧発生用
の溝31(図2参照)が穿設されている。なお、この動
圧発生用の溝31は、所定の深さを有していれば、必ず
しも打ち抜かれている必要はない。
応する表面に、厚みが100μm程度の上述した半硬化
状態のポリイミドフィルム34を熱圧着する。この半硬
化状態のポリイミドフィルム34には、予め動圧発生用
の溝31(図2参照)が穿設されている。なお、この動
圧発生用の溝31は、所定の深さを有していれば、必ず
しも打ち抜かれている必要はない。
【0024】そして、半硬化状態のポリイミドフィルム
を熱圧着するにあたっては、先ず、図4に示されるよう
に、アルマイト被膜33が形成されたロータ素材36の
軸受面に対応する面(外周面)に対して、ポリイミドフ
ィルム34を囲繞するように配置すると共に約30分間
真空下に放置し、次いで徐々にポリイミドフィルム34
をロータ素材36(正確にはアルマイト被膜33)に対
して圧着しながら15°C/分の速度で330°Cまで
昇温し、330°Cまで達したらそのまま30分間放置
し、次いで14〜20kg/cm2 (200〜300p
si)まで昇圧してポリイミドフィルム34をロータ素
材36に対して圧着し、次いで350°Cまで昇温して
1時間放置し、そのままの圧力を維持しながら冷却す
る。すると、図3に示したアルマイト被膜33の軸受面
に対応する面に潤滑性樹脂層34を有するロータ30が
得られることになる。
を熱圧着するにあたっては、先ず、図4に示されるよう
に、アルマイト被膜33が形成されたロータ素材36の
軸受面に対応する面(外周面)に対して、ポリイミドフ
ィルム34を囲繞するように配置すると共に約30分間
真空下に放置し、次いで徐々にポリイミドフィルム34
をロータ素材36(正確にはアルマイト被膜33)に対
して圧着しながら15°C/分の速度で330°Cまで
昇温し、330°Cまで達したらそのまま30分間放置
し、次いで14〜20kg/cm2 (200〜300p
si)まで昇圧してポリイミドフィルム34をロータ素
材36に対して圧着し、次いで350°Cまで昇温して
1時間放置し、そのままの圧力を維持しながら冷却す
る。すると、図3に示したアルマイト被膜33の軸受面
に対応する面に潤滑性樹脂層34を有するロータ30が
得られることになる。
【0025】なお、完全硬化状態のポリイミドフィルム
を母材(ロータ素材)36に対して熱圧着することは不
可能であるため、上述のような半硬化状態のものを用い
る必要がある。また、図4においては、図が煩雑になる
のを避けるために、ポリイミドフィルム34の動圧発生
用の溝31は省略されている。
を母材(ロータ素材)36に対して熱圧着することは不
可能であるため、上述のような半硬化状態のものを用い
る必要がある。また、図4においては、図が煩雑になる
のを避けるために、ポリイミドフィルム34の動圧発生
用の溝31は省略されている。
【0026】このように、本実施形態においては、ロー
タ30の外周面(軸受面)に潤滑性樹脂層34を形成す
るようにしているため、当該潤滑性樹脂層34によって
軸受面の耐摩耗性、耐焼き付き性を向上でき、起動停止
時に軸受面同士が接触して摩耗が生じたり、大きな外乱
により軸受面同士が接触して損傷を受け例えば使用時に
焼き付き等が発生することを防止できるようになってい
る。
タ30の外周面(軸受面)に潤滑性樹脂層34を形成す
るようにしているため、当該潤滑性樹脂層34によって
軸受面の耐摩耗性、耐焼き付き性を向上でき、起動停止
時に軸受面同士が接触して摩耗が生じたり、大きな外乱
により軸受面同士が接触して損傷を受け例えば使用時に
焼き付き等が発生することを防止できるようになってい
る。
【0027】また、上記潤滑性樹脂層34を例えば塗装
等によって形成する場合には、重ね塗りした後にその表
面を仕上げ加工することになるが、本実施形態において
は、該潤滑性樹脂層34を、半硬化状態のポリイミドフ
ィルム34を熱圧着することによって形成するようにし
ているため、塗装等によって形成する場合に比して、そ
の形成を容易にできると共に該ポリイミドフィルム34
の高精度なる厚みにより仕上げ加工を不要にできるよう
になっている。
等によって形成する場合には、重ね塗りした後にその表
面を仕上げ加工することになるが、本実施形態において
は、該潤滑性樹脂層34を、半硬化状態のポリイミドフ
ィルム34を熱圧着することによって形成するようにし
ているため、塗装等によって形成する場合に比して、そ
の形成を容易にできると共に該ポリイミドフィルム34
の高精度なる厚みにより仕上げ加工を不要にできるよう
になっている。
【0028】なお、上記ポリイミドフィルム34を始め
とした樹脂フィルム材はそれ自体の厚みが高精度に形成
されているため、上述のように仕上げ加工は不要である
が、必要に応じて熱圧着されたポリイミドフィルム(潤
滑性樹脂層)34に対して仕上げ加工を行って、所定の
寸法に仕上げる(追い込む)ようにしても良い。
とした樹脂フィルム材はそれ自体の厚みが高精度に形成
されているため、上述のように仕上げ加工は不要である
が、必要に応じて熱圧着されたポリイミドフィルム(潤
滑性樹脂層)34に対して仕上げ加工を行って、所定の
寸法に仕上げる(追い込む)ようにしても良い。
【0029】また、潤滑性樹脂層34は熱伝導が悪く軸
受部で発生する熱が良好に放熱されずにこもってしまう
が、該潤滑性樹脂層34が形成される部材を熱伝導率が
高いアルミ材(ロータ素材)36としているため、当該
アルミ材36によって軸受部で発生する熱を良好に放熱
でき、周辺の他の部材として例えばモータ駆動部に悪影
響を及ぼす畏れを低減できるようになっている。また、
アルミ材36は加工性に優れていることから、加工を容
易に行い得るといった効果もある。
受部で発生する熱が良好に放熱されずにこもってしまう
が、該潤滑性樹脂層34が形成される部材を熱伝導率が
高いアルミ材(ロータ素材)36としているため、当該
アルミ材36によって軸受部で発生する熱を良好に放熱
でき、周辺の他の部材として例えばモータ駆動部に悪影
響を及ぼす畏れを低減できるようになっている。また、
アルミ材36は加工性に優れていることから、加工を容
易に行い得るといった効果もある。
【0030】因に、上記ロータ素材36を、アルミ材よ
り熱伝導率が高い金、銀、銅より構成することも考えら
れるが、これらは非常に高価であるので好ましくない。
り熱伝導率が高い金、銀、銅より構成することも考えら
れるが、これらは非常に高価であるので好ましくない。
【0031】図5は本発明の他の実施形態における動圧
軸受装置を表した分解横断面図である。この実施形態に
おいては、アルミ材よりなる軸受32aのその表面にア
ルマイト被膜33aが形成され、このアルマイト被膜3
3aの軸受面に対応する表面に、ポリイミドフィルムを
熱圧着することによって形成された潤滑性樹脂層34a
が形成されている一方で、アルミ材よりなるロータ30
aの表面には動圧発生用の溝31aが形成されている。
軸受装置を表した分解横断面図である。この実施形態に
おいては、アルミ材よりなる軸受32aのその表面にア
ルマイト被膜33aが形成され、このアルマイト被膜3
3aの軸受面に対応する表面に、ポリイミドフィルムを
熱圧着することによって形成された潤滑性樹脂層34a
が形成されている一方で、アルミ材よりなるロータ30
aの表面には動圧発生用の溝31aが形成されている。
【0032】このように構成しても、先の実施形態と同
様な効果を得ることができるというのはいうまでもな
い。
様な効果を得ることができるというのはいうまでもな
い。
【0033】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変形可能であるというのはいうまでもなく、例
えば、上記実施形態においては、半硬化状態のポリイミ
ドフィルム34(34a)を用いるようにしているが、
例えばプリプレム(商品名)等のフェノール樹脂フィル
ムやポリアミドイミドフィルム等の半硬化状態のフィル
ム材に代えることも可能である。
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変形可能であるというのはいうまでもなく、例
えば、上記実施形態においては、半硬化状態のポリイミ
ドフィルム34(34a)を用いるようにしているが、
例えばプリプレム(商品名)等のフェノール樹脂フィル
ムやポリアミドイミドフィルム等の半硬化状態のフィル
ム材に代えることも可能である。
【0034】また、上記アルマイト被膜33(33a)
を、クロメート処理によるクロム被膜やシランカップリ
ング剤の被膜等に代えるようにしても、アルマイト被膜
33(33a)と同様に密着性の向上及びアルミ材に対
する防錆を図ることができる。また、上記実施形態にお
いては、被膜33(33a)を母材36(32a)の表
面全体に形成するようにしているが、母材36(32
a)の軸受面に対応する面だけに形成するようにしても
良い。
を、クロメート処理によるクロム被膜やシランカップリ
ング剤の被膜等に代えるようにしても、アルマイト被膜
33(33a)と同様に密着性の向上及びアルミ材に対
する防錆を図ることができる。また、上記実施形態にお
いては、被膜33(33a)を母材36(32a)の表
面全体に形成するようにしているが、母材36(32
a)の軸受面に対応する面だけに形成するようにしても
良い。
【0035】また、本発明装置は他の構成に対しても適
用可能であり、要はロータ30(30a)及び軸受32
(32a)の少なくとも一方の軸受面に、半硬化状態の
樹脂フィルム材34(34a)を熱圧着することによっ
て潤滑性樹脂層を形成するようにすれば、上記実施形態
と同様な効果を得ることができる。
用可能であり、要はロータ30(30a)及び軸受32
(32a)の少なくとも一方の軸受面に、半硬化状態の
樹脂フィルム材34(34a)を熱圧着することによっ
て潤滑性樹脂層を形成するようにすれば、上記実施形態
と同様な効果を得ることができる。
【0036】また、上記実施形態の動圧軸受装置を、ポ
リゴンミラー以外の磁気ディスク、光ディスク等の各種
回転板を回転駆動するための装置、空気以外のオイル等
の流体を用いた装置、軸固定型の装置、さらにはモータ
以外の装置に対しても同様に適用することが可能であ
る。
リゴンミラー以外の磁気ディスク、光ディスク等の各種
回転板を回転駆動するための装置、空気以外のオイル等
の流体を用いた装置、軸固定型の装置、さらにはモータ
以外の装置に対しても同様に適用することが可能であ
る。
【0037】
【発明の効果】以上述べたように、請求項1の動圧軸受
装置の製造方法は、回転部材及び固定部材の少なくとも
一方に、軸受面を構成する潤滑性樹脂層を形成するよう
にし、当該潤滑性樹脂層によって軸受面の耐摩耗性、耐
焼き付き性を向上し得るようにしているので、軸受面の
摩耗や焼き付き等を防止でき、軸受の長寿命化を図るこ
とが可能となる。また、該潤滑性樹脂層を、半硬化状態
の樹脂フィルム材を熱圧着することによって形成するよ
うにし、当該潤滑性樹脂層を例えば塗装等によって形成
するものに比して、その形成を容易にし得ると共に該樹
脂フィルム材の高精度なる厚みにより仕上げ加工を不要
にし得るようにしているので、低コスト化を図ることが
可能となる。
装置の製造方法は、回転部材及び固定部材の少なくとも
一方に、軸受面を構成する潤滑性樹脂層を形成するよう
にし、当該潤滑性樹脂層によって軸受面の耐摩耗性、耐
焼き付き性を向上し得るようにしているので、軸受面の
摩耗や焼き付き等を防止でき、軸受の長寿命化を図るこ
とが可能となる。また、該潤滑性樹脂層を、半硬化状態
の樹脂フィルム材を熱圧着することによって形成するよ
うにし、当該潤滑性樹脂層を例えば塗装等によって形成
するものに比して、その形成を容易にし得ると共に該樹
脂フィルム材の高精度なる厚みにより仕上げ加工を不要
にし得るようにしているので、低コスト化を図ることが
可能となる。
【0038】この時、半硬化状態の樹脂フィルム材とし
ては種々のものを採用できるが、請求項2に記載のよう
に、例えばポリイミドフィルム、フェノール樹脂フィル
ム、ポリアミドイミドフィルムの何れかを採用できる。
ては種々のものを採用できるが、請求項2に記載のよう
に、例えばポリイミドフィルム、フェノール樹脂フィル
ム、ポリアミドイミドフィルムの何れかを採用できる。
【0039】この時また、潤滑性樹脂層は熱伝導が悪く
軸受部で発生する熱が良好に放熱されずにこもってしま
うが、該潤滑性樹脂層が形成される部材を、請求項3に
記載のように、アルミ材により形成するようにし、当該
アルミ材によって軸受部で発生する熱を良好に放熱し得
るようにしているので、周辺の他の部材に悪影響を及ぼ
す畏れを低減でき、信頼性を向上することが可能とな
る。
軸受部で発生する熱が良好に放熱されずにこもってしま
うが、該潤滑性樹脂層が形成される部材を、請求項3に
記載のように、アルミ材により形成するようにし、当該
アルミ材によって軸受部で発生する熱を良好に放熱し得
るようにしているので、周辺の他の部材に悪影響を及ぼ
す畏れを低減でき、信頼性を向上することが可能とな
る。
【0040】この時また、半硬化状態の樹脂フィルム材
としては、請求項4に記載のように、例えば熱圧着前に
予め動圧発生用の溝を形成したものを採用できる。
としては、請求項4に記載のように、例えば熱圧着前に
予め動圧発生用の溝を形成したものを採用できる。
【図1】本発明を適用した空気動圧軸受型のモータを表
した半横断面図である。
した半横断面図である。
【図2】図1に示される動圧軸受装置を表した分解横断
面図である。
面図である。
【図3】図2に示されるロータを拡大して表した横断面
図である。
図である。
【図4】図3に示されるロータを表した分解斜視図であ
る。
る。
【図5】本発明の他の実施形態における動圧軸受装置を
表した分解横断面図である。
表した分解横断面図である。
30,30a 回転部材 31 動圧発生用の溝 32,32a 固定部材 34,34a 潤滑性樹脂層 35 動圧軸受
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B29L 31:04
Claims (4)
- 【請求項1】 回転部材に形成された軸受面と固定部材
に形成された軸受面とを対向配置し当該軸受面間に生じ
る動圧作用によって前記回転部材を回転自在に支承する
動圧軸受装置を製造する方法において、 前記回転部材及び前記固定部材の少なくとも一方に、前
記軸受面を構成する潤滑性樹脂層を形成し、 この潤滑性樹脂層を、半硬化状態の樹脂フィルム材を熱
圧着することによって形成したことを特徴とする動圧軸
受装置の製造方法。 - 【請求項2】 半硬化状態の樹脂フィルム材として、ポ
リイミドフィルム、フェノール樹脂フィルム、ポリアミ
ドイミドフィルムの何れかを用いたことを特徴とする請
求項1記載の動圧軸受装置の製造方法。 - 【請求項3】 潤滑性樹脂層が形成されることになる部
材をアルミ材により形成したことを特徴とする請求項1
記載の動圧軸受装置の製造方法。 - 【請求項4】 半硬化状態の樹脂フィルム材に、熱圧着
前に予め動圧発生用の溝を形成したことを特徴とする動
圧軸受装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17060196A JPH09329133A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 動圧軸受装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17060196A JPH09329133A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 動圧軸受装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09329133A true JPH09329133A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=15907881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17060196A Pending JPH09329133A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 動圧軸受装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09329133A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013532263A (ja) * | 2010-06-23 | 2013-08-15 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | 結合ポリマフィルム磨耗面を有する空気軸受およびその製造方法 |
-
1996
- 1996-06-10 JP JP17060196A patent/JPH09329133A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013532263A (ja) * | 2010-06-23 | 2013-08-15 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | 結合ポリマフィルム磨耗面を有する空気軸受およびその製造方法 |
US10267360B2 (en) | 2010-06-23 | 2019-04-23 | Asml Holding N.V. | Pneumatic bearing with bonded polymer film wear surface and production method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4216509B2 (ja) | 動圧軸受装置の製造方法 | |
WO2007099790A1 (ja) | 流体軸受装置 | |
US20100226601A1 (en) | Fluid dynamic bearing device | |
JP2004116667A (ja) | 動圧軸受装置 | |
JPH07332353A (ja) | 動圧軸受 | |
WO2004079214A1 (ja) | 軸受ユニット及び回転駆動装置 | |
US5763967A (en) | Dynamic-pressure fluid bearing | |
JPH09329133A (ja) | 動圧軸受装置の製造方法 | |
JPH09329129A (ja) | 動圧軸受装置及びその製造方法 | |
JPH0988941A (ja) | 動圧軸受装置及びその製造方法 | |
JP4226559B2 (ja) | 動圧軸受装置の製造方法 | |
JP3159918B2 (ja) | 動圧軸受装置及びその製造方法 | |
JP2007046665A (ja) | 動圧軸受機構、スピンドルモータ、ディスク駆動装置及び動圧軸受機構の製造方法 | |
JP2004028165A (ja) | 流体軸受装置 | |
JP3282306B2 (ja) | 回転駆動装置 | |
JP2001032827A (ja) | 動圧軸受装置 | |
JP2001140891A (ja) | 動圧軸受装置 | |
JPH09184514A (ja) | 動圧空気軸受及びこれを用いたポリゴンスキャナ | |
JPH07279966A (ja) | 動圧流体軸受装置 | |
JP2001241431A (ja) | 流体軸受装置 | |
JP2008051130A (ja) | 流体動圧軸受装置及びそれを備えたモータ | |
JPH09296818A (ja) | 動圧軸受装置 | |
JPH0972340A (ja) | 動圧軸受装置 | |
JP2003314533A (ja) | 流体軸受装置 | |
JP2005140339A (ja) | 情報機器用スピンドルモータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030304 |