JPH09329133A - 動圧軸受装置の製造方法 - Google Patents

動圧軸受装置の製造方法

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JPH09329133A
JPH09329133A JP17060196A JP17060196A JPH09329133A JP H09329133 A JPH09329133 A JP H09329133A JP 17060196 A JP17060196 A JP 17060196A JP 17060196 A JP17060196 A JP 17060196A JP H09329133 A JPH09329133 A JP H09329133A
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JP
Japan
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dynamic pressure
resin layer
bearing
rotor
bearing device
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JP17060196A
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English (en)
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Yasushi Mizusaki
康史 水嵜
Norihisa Tsutsui
徳久 筒井
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Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 軸受部の長寿命化を図る。 【解決手段】 回転部材30及び固定部材の少なくとも
一方に、軸受面を構成する潤滑性樹脂層34を形成し、
当該潤滑性樹脂層34によって軸受面の耐摩耗性、耐焼
き付き性を向上し得るようにして軸受面の摩耗や焼き付
き等を防止すると共に、該潤滑性樹脂層34を、半硬化
状態の樹脂フィルム材を熱圧着することによって形成
し、当該潤滑性樹脂層34を例えば塗装等によって形成
するものに比して、その形成を容易にし得ると共に該樹
脂フィルム材の高精度なる厚みにより仕上げ加工を不要
にし得るようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、動圧軸受装置の製
造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ポリゴンミラー駆動用モータやハードデ
ィスク駆動モータ等は、高精度且つ高速回転が要求され
ることから、空気或いはオイル等の流体を利用した動圧
軸受装置が用いられつつある。この動圧軸受装置を用い
た装置例として、例えば図1に示されているようなポリ
ゴンミラー駆動用モータがある。この図1に示されたポ
リゴンミラー駆動用モータは、デジタルコピー、レーザ
プリンタ等におけるレーザスキャナーを構成するもので
あって、10000〜30000RPM以上の高速回転
をするため、軸受には非接触で回転支持可能な空気動圧
軸受等が用いられている。
【0003】すなわち、図1において、ベース8にネジ
止め固定された軸受(固定部材)5内に、数μm〜十数
μmの隙間を隔ててロータ(回転部材)2が挿入されて
おり、当該ロータ2の外周面14に形成されたスパイラ
ル溝15と軸受5の内周面とで構成される空気動圧軸受
4によって上記ロータ2が高速回転可能に支承される構
成になされている。さらに上記ベース8の中央柱状部の
外周には、駆動コイル9が嵌合固定されており、その駆
動コイル9に周対向するようにして、駆動用の磁気回路
をつくる環状マグネット10が配置されている。この環
状マグネット10は、上記ロータ2の内部に鉄製のヨー
ク19を介して配置されており、上記駆動コイル9と共
にモータ駆動部を構成している。
【0004】また、上記ロータ2の先端部(図示上端
部)には凸部13が設けられており、この凸部13に対
してポリゴンミラー1が嵌合されている。このポリゴン
ミラー1上には、波形ばね17を介してバランスプレー
ト16が同軸に載置されており、そのバランスプレート
16側から差し込まれた固定ネジ18がロータ2の凸部
13に螺着されることによってポリゴンミラー1の固定
が行われている。
【0005】さらに上記ベース8の中央柱状部の上部外
周及びバランスプレート16の内周には、一対の環状マ
グネット11,12が周対向するように取り付けられて
いる。これらの各環状マグネット11,12には、軸方
向に極性を逆にして着磁が行われており、これによって
磁気スラスト軸受が構成されている。
【0006】そして、駆動コイル9に所定の駆動電圧が
印加されると、ロータ2と共にポリゴンミラー1が回転
し、このポリゴンミラー1の回転によって該ポリゴンミ
ラー1に収束されたレーザー光が図示されない画像記録
媒体上を走査するようになっている。この時、ロータ2
は、ロータ2と軸受5との間に発生する圧力によってラ
ジアル方向に支持されると共に、一対の環状マグネット
11,12よりなる磁気スラスト軸受によって浮上支持
される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ここで、上記動圧軸受
4にあっては、前述したように数μm〜十数μmの動圧
発生用隙間を隔てて軸受5に対してロータ2が挿入され
ていることから、起動停止時に両部材の軸受面同士が接
触して摩耗が生じたり、大きな外乱により両部材の軸受
面同士が接触して損傷を受け例えば使用時に焼き付き等
が発生する等して、長寿命化が図れないといった問題が
あった。
【0008】そこで本発明は、軸受の摩耗や焼き付き等
が防止され軸受の長寿命化が図られる動圧軸受装置の製
造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の動圧軸受装置の製造方法は、回転部材に
形成された軸受面と固定部材に形成された軸受面とを対
向配置し当該軸受面間に生じる動圧作用によって前記回
転部材を回転自在に支承する動圧軸受装置を製造する方
法において、前記回転部材及び前記固定部材の少なくと
も一方に、前記軸受面を構成する潤滑性樹脂層を形成
し、この潤滑性樹脂層を、半硬化状態の樹脂フィルム材
を熱圧着することによって形成したことを特徴としてい
る。
【0010】このような請求項1における動圧軸受装置
の製造方法によれば、回転部材及び固定部材の少なくと
も一方の軸受面に、半硬化状態の樹脂フィルム材を熱圧
着することによって形成された潤滑性樹脂層は、耐摩耗
性、耐焼き付き性に優れていると共に、該潤滑性樹脂層
が例えば塗装等によって形成されるものに比して、その
形成が容易になされると共に該樹脂フィルム材の高精度
なる厚みにより仕上げ加工が不要にされる。
【0011】この時、半硬化状態の樹脂フィルム材とし
ては種々のものが採用され得るが、請求項2に記載のよ
うに、例えばポリイミドフィルム、フェノール樹脂フィ
ルム、ポリアミドイミドフィルムの何れかが採用され得
る。
【0012】この時また、潤滑性樹脂層は熱伝導が悪く
軸受部で発生する熱が良好に放熱されずにこもってしま
うが、該潤滑性樹脂層が形成される部材が、請求項3に
記載のように、アルミ材により形成されると、当該アル
ミ材によって軸受部で発生する熱が良好に放熱されるよ
うになる。
【0013】この時また、半硬化状態の樹脂フィルム材
としては、請求項4に記載のように、例えば熱圧着前に
予め動圧発生用の溝が形成されたものが採用され得る。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。本発明の適用形態としては図
1におけるポリゴンミラー駆動用モータがあるが、当該
モータの全体構造は従来技術の欄で既に説明したので省
略することとし、以下、本発明の要部に関する実施形態
を説明する。
【0015】図2に示されている動圧軸受装置は軸回転
型の空気動圧軸受装置であって、固定部材としての軸受
(ステータ)32に対し、回転部材としてのロータ30
が、空気動圧により回転自在に支承されるように構成さ
れている。すなわち、上記ロータ30の外周面(正確に
は後述の潤滑性樹脂層34の外周面)及び軸受32の内
周面によって動圧軸受35が構成された状態となってい
る。
【0016】軸受32は、アルミニウム、アルミニウム
合金等のアルミ材よりなる。この軸受32の内周面(軸
受面)には、腐食防止、摩耗防止のために無電解ニッケ
ルメッキが施されている。
【0017】ロータ30は、図3に示されるように、母
材となるロータ素材36と、このロータ素材36の表面
に形成されたアルマイト被膜33と、このアルマイト被
膜33の軸受面に対応する表面に形成された潤滑性樹脂
層34と、から構成されている。
【0018】ロータ素材36は、軸受32と同様に、ア
ルミニウム、アルミニウム合金等のアルミ材よりなる。
このアルミ材は、その熱伝導率が240W・m-1・K-1
であり、例えばSUSの熱伝導率(15W・m-1
-1)、セラミックの熱伝導率(20W・m-1・K-1
に比して高くなっており、従って放熱性に優れている。
【0019】アルマイト被膜33は、密着性を高め得る
と共にロータ素材36を形成するアルミ材に対しての防
錆能力を備えている。
【0020】潤滑性樹脂層34は、半硬化状態の樹脂フ
ィルム材としての例えばポリイミドフィルムを熱圧着す
ることによって形成されている。この半硬化状態のポリ
イミドフィルムとしては、例えば東レ・デュポン(株)
製のカプトンKJが用いられている。このカプトンKJ
は、熱可塑性ポリイミドフィルムであって、ガラス転移
点以上(220°C以上)に昇温しても良好な接着性を
維持し得る材料であり、アルミニウム、ステンレス、銅
箔等の各種金属板、セラミックに対して良好な接着性を
有するものである。
【0021】このようなアルマイト被膜33、潤滑性樹
脂層34を有するロータ30を得るにあたっては、先ず
ロータ素材36と潤滑性樹脂層34との密着力が高まる
ように、ロータ素材36の軸受面に対応する表面を、例
えば湿式エッチング、サンドブラスト等によってその表
面粗さが3s(JIS B0031に規定の表面粗さ参
照)以上となるように粗くし、次いでこのロータ素材3
6の表面に、例えば塗布、硫酸浴、スプレー等によって
アルマイト被膜33を形成する。
【0022】従って、このアルマイト被膜33によっ
て、該アルミ材よりなるロータ素材36の防錆が図られ
ると共に該ロータ素材36と後述の潤滑性樹脂層34と
の密着性が高められる。このロータ素材36と潤滑性樹
脂層34との密着性は、上記ロータ素材36の表面粗さ
を粗すことによって、より高められる。
【0023】次いで、アルマイト被膜33の軸受面に対
応する表面に、厚みが100μm程度の上述した半硬化
状態のポリイミドフィルム34を熱圧着する。この半硬
化状態のポリイミドフィルム34には、予め動圧発生用
の溝31(図2参照)が穿設されている。なお、この動
圧発生用の溝31は、所定の深さを有していれば、必ず
しも打ち抜かれている必要はない。
【0024】そして、半硬化状態のポリイミドフィルム
を熱圧着するにあたっては、先ず、図4に示されるよう
に、アルマイト被膜33が形成されたロータ素材36の
軸受面に対応する面(外周面)に対して、ポリイミドフ
ィルム34を囲繞するように配置すると共に約30分間
真空下に放置し、次いで徐々にポリイミドフィルム34
をロータ素材36(正確にはアルマイト被膜33)に対
して圧着しながら15°C/分の速度で330°Cまで
昇温し、330°Cまで達したらそのまま30分間放置
し、次いで14〜20kg/cm2 (200〜300p
si)まで昇圧してポリイミドフィルム34をロータ素
材36に対して圧着し、次いで350°Cまで昇温して
1時間放置し、そのままの圧力を維持しながら冷却す
る。すると、図3に示したアルマイト被膜33の軸受面
に対応する面に潤滑性樹脂層34を有するロータ30が
得られることになる。
【0025】なお、完全硬化状態のポリイミドフィルム
を母材(ロータ素材)36に対して熱圧着することは不
可能であるため、上述のような半硬化状態のものを用い
る必要がある。また、図4においては、図が煩雑になる
のを避けるために、ポリイミドフィルム34の動圧発生
用の溝31は省略されている。
【0026】このように、本実施形態においては、ロー
タ30の外周面(軸受面)に潤滑性樹脂層34を形成す
るようにしているため、当該潤滑性樹脂層34によって
軸受面の耐摩耗性、耐焼き付き性を向上でき、起動停止
時に軸受面同士が接触して摩耗が生じたり、大きな外乱
により軸受面同士が接触して損傷を受け例えば使用時に
焼き付き等が発生することを防止できるようになってい
る。
【0027】また、上記潤滑性樹脂層34を例えば塗装
等によって形成する場合には、重ね塗りした後にその表
面を仕上げ加工することになるが、本実施形態において
は、該潤滑性樹脂層34を、半硬化状態のポリイミドフ
ィルム34を熱圧着することによって形成するようにし
ているため、塗装等によって形成する場合に比して、そ
の形成を容易にできると共に該ポリイミドフィルム34
の高精度なる厚みにより仕上げ加工を不要にできるよう
になっている。
【0028】なお、上記ポリイミドフィルム34を始め
とした樹脂フィルム材はそれ自体の厚みが高精度に形成
されているため、上述のように仕上げ加工は不要である
が、必要に応じて熱圧着されたポリイミドフィルム(潤
滑性樹脂層)34に対して仕上げ加工を行って、所定の
寸法に仕上げる(追い込む)ようにしても良い。
【0029】また、潤滑性樹脂層34は熱伝導が悪く軸
受部で発生する熱が良好に放熱されずにこもってしまう
が、該潤滑性樹脂層34が形成される部材を熱伝導率が
高いアルミ材(ロータ素材)36としているため、当該
アルミ材36によって軸受部で発生する熱を良好に放熱
でき、周辺の他の部材として例えばモータ駆動部に悪影
響を及ぼす畏れを低減できるようになっている。また、
アルミ材36は加工性に優れていることから、加工を容
易に行い得るといった効果もある。
【0030】因に、上記ロータ素材36を、アルミ材よ
り熱伝導率が高い金、銀、銅より構成することも考えら
れるが、これらは非常に高価であるので好ましくない。
【0031】図5は本発明の他の実施形態における動圧
軸受装置を表した分解横断面図である。この実施形態に
おいては、アルミ材よりなる軸受32aのその表面にア
ルマイト被膜33aが形成され、このアルマイト被膜3
3aの軸受面に対応する表面に、ポリイミドフィルムを
熱圧着することによって形成された潤滑性樹脂層34a
が形成されている一方で、アルミ材よりなるロータ30
aの表面には動圧発生用の溝31aが形成されている。
【0032】このように構成しても、先の実施形態と同
様な効果を得ることができるというのはいうまでもな
い。
【0033】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変形可能であるというのはいうまでもなく、例
えば、上記実施形態においては、半硬化状態のポリイミ
ドフィルム34(34a)を用いるようにしているが、
例えばプリプレム(商品名)等のフェノール樹脂フィル
ムやポリアミドイミドフィルム等の半硬化状態のフィル
ム材に代えることも可能である。
【0034】また、上記アルマイト被膜33(33a)
を、クロメート処理によるクロム被膜やシランカップリ
ング剤の被膜等に代えるようにしても、アルマイト被膜
33(33a)と同様に密着性の向上及びアルミ材に対
する防錆を図ることができる。また、上記実施形態にお
いては、被膜33(33a)を母材36(32a)の表
面全体に形成するようにしているが、母材36(32
a)の軸受面に対応する面だけに形成するようにしても
良い。
【0035】また、本発明装置は他の構成に対しても適
用可能であり、要はロータ30(30a)及び軸受32
(32a)の少なくとも一方の軸受面に、半硬化状態の
樹脂フィルム材34(34a)を熱圧着することによっ
て潤滑性樹脂層を形成するようにすれば、上記実施形態
と同様な効果を得ることができる。
【0036】また、上記実施形態の動圧軸受装置を、ポ
リゴンミラー以外の磁気ディスク、光ディスク等の各種
回転板を回転駆動するための装置、空気以外のオイル等
の流体を用いた装置、軸固定型の装置、さらにはモータ
以外の装置に対しても同様に適用することが可能であ
る。
【0037】
【発明の効果】以上述べたように、請求項1の動圧軸受
装置の製造方法は、回転部材及び固定部材の少なくとも
一方に、軸受面を構成する潤滑性樹脂層を形成するよう
にし、当該潤滑性樹脂層によって軸受面の耐摩耗性、耐
焼き付き性を向上し得るようにしているので、軸受面の
摩耗や焼き付き等を防止でき、軸受の長寿命化を図るこ
とが可能となる。また、該潤滑性樹脂層を、半硬化状態
の樹脂フィルム材を熱圧着することによって形成するよ
うにし、当該潤滑性樹脂層を例えば塗装等によって形成
するものに比して、その形成を容易にし得ると共に該樹
脂フィルム材の高精度なる厚みにより仕上げ加工を不要
にし得るようにしているので、低コスト化を図ることが
可能となる。
【0038】この時、半硬化状態の樹脂フィルム材とし
ては種々のものを採用できるが、請求項2に記載のよう
に、例えばポリイミドフィルム、フェノール樹脂フィル
ム、ポリアミドイミドフィルムの何れかを採用できる。
【0039】この時また、潤滑性樹脂層は熱伝導が悪く
軸受部で発生する熱が良好に放熱されずにこもってしま
うが、該潤滑性樹脂層が形成される部材を、請求項3に
記載のように、アルミ材により形成するようにし、当該
アルミ材によって軸受部で発生する熱を良好に放熱し得
るようにしているので、周辺の他の部材に悪影響を及ぼ
す畏れを低減でき、信頼性を向上することが可能とな
る。
【0040】この時また、半硬化状態の樹脂フィルム材
としては、請求項4に記載のように、例えば熱圧着前に
予め動圧発生用の溝を形成したものを採用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した空気動圧軸受型のモータを表
した半横断面図である。
【図2】図1に示される動圧軸受装置を表した分解横断
面図である。
【図3】図2に示されるロータを拡大して表した横断面
図である。
【図4】図3に示されるロータを表した分解斜視図であ
る。
【図5】本発明の他の実施形態における動圧軸受装置を
表した分解横断面図である。
【符号の説明】
30,30a 回転部材 31 動圧発生用の溝 32,32a 固定部材 34,34a 潤滑性樹脂層 35 動圧軸受
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B29L 31:04

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転部材に形成された軸受面と固定部材
    に形成された軸受面とを対向配置し当該軸受面間に生じ
    る動圧作用によって前記回転部材を回転自在に支承する
    動圧軸受装置を製造する方法において、 前記回転部材及び前記固定部材の少なくとも一方に、前
    記軸受面を構成する潤滑性樹脂層を形成し、 この潤滑性樹脂層を、半硬化状態の樹脂フィルム材を熱
    圧着することによって形成したことを特徴とする動圧軸
    受装置の製造方法。
  2. 【請求項2】 半硬化状態の樹脂フィルム材として、ポ
    リイミドフィルム、フェノール樹脂フィルム、ポリアミ
    ドイミドフィルムの何れかを用いたことを特徴とする請
    求項1記載の動圧軸受装置の製造方法。
  3. 【請求項3】 潤滑性樹脂層が形成されることになる部
    材をアルミ材により形成したことを特徴とする請求項1
    記載の動圧軸受装置の製造方法。
  4. 【請求項4】 半硬化状態の樹脂フィルム材に、熱圧着
    前に予め動圧発生用の溝を形成したことを特徴とする動
    圧軸受装置の製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013532263A (ja) * 2010-06-23 2013-08-15 エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. 結合ポリマフィルム磨耗面を有する空気軸受およびその製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013532263A (ja) * 2010-06-23 2013-08-15 エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. 結合ポリマフィルム磨耗面を有する空気軸受およびその製造方法
US10267360B2 (en) 2010-06-23 2019-04-23 Asml Holding N.V. Pneumatic bearing with bonded polymer film wear surface and production method thereof

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