JPH09321185A

JPH09321185A - 熱伝導性高分子シートの製法

Info

Publication number: JPH09321185A
Application number: JP13851596A
Authority: JP
Inventors: Yuusuke Takiguchi; 裕右瀧口
Original assignee: Sumitomo Riko Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Riko Co Ltd
Priority date: 1996-05-31
Filing date: 1996-05-31
Publication date: 1997-12-12

Abstract

(57)【要約】【課題】熱伝導性に優れ、かつ絶縁性にも優れ、しかも
成形体の柔軟性および耐衝撃性を確保することのできる
熱伝導性高分子成形体を提供する。【解決手段】熱伝導性充填剤粒子をセラミックス系材料
で表面被覆処理する工程と、上記表面被覆処理した熱伝
導性充填剤粒子２と高分子材料１とを主成分とする熱伝
導性高分子シート３形成材料を調製する工程と、上記熱
伝導性高分子シート３形成材料をシート状に流延し、そ
の厚み方向に１５〜１５０Ｖ／ｍｍの直流電圧を印加し
ながら固化させてシート状成形体を得る工程とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、エレクト
ロニクス機器に用いられるＩＣ基板、トランジスタ等の
放熱のために用いられる、熱伝導性、絶縁性および柔軟
性に優れた熱伝導性高分子シートの製法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ＩＣ基板、トランジスタ等の
エレクトロニクス機器では、使用時の発熱によって、エ
レクトロニクス機器の部品の寿命が短くなることから、
部品と部品との間に熱伝導性に優れた放熱シート等を挟
んで放熱を促すことが行われている。そして、上記放熱
シート等を作製する方法としては、エラストマー、熱可
塑性樹脂、熱硬化性樹脂等の高分子材料中に高熱伝導率
の熱伝導性フィラーや短繊維（ＢｅＯ、ＢＮ、ＭｇＯ、
Ａｌ₂Ｏ₃、ＳｉＣ、ＡｌＮ、ＳｉＮ等）を配合し混合
して得られる材料をシート状に成形することが行われて
いる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記製
法によって得られる高分子シートは、高熱伝導率を得る
ためには熱伝導性フィラー等を多量に添加しなければな
らず、このような多量添加では、高分子材料本来の特性
である柔軟性および耐衝撃性等が大幅に低下してしまう
という問題がある。そこで、上記熱伝導性フィラー等よ
りも熱伝導性に優れた炭素系充填剤（カーボンブラッ
ク、グラファイト、炭素繊維、膨張黒鉛等）を用いるこ
とも考えられるが、これらの炭素系充填剤は熱伝導性だ
けでなく導電性も高いため、これらを含有させた高分子
シートは電気的特性（絶縁性）が低下することになり、
エレクトロニクス機器の放熱材料に用いることはできな
い。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、熱伝導性に優れ、かつ絶縁性にも優れ、しかも
シート状成形体の柔軟性および耐衝撃性を確保すること
のできる熱伝導性高分子シートの製法の提供をその目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の熱伝導性高分子シートの製法は、熱伝導性
充填剤粒子をセラミックス系材料で表面被覆処理する工
程と、上記表面被覆処理した熱伝導性充填剤粒子と高分
子材料とを主成分とする熱伝導性高分子シート形成材料
を調製する工程と、上記熱伝導性高分子シート形成材料
をシート状に流延し、その厚み方向に１５〜１５０Ｖ／
ｍｍの直流電圧を印加しながら固化させてシート状成形
体を得る工程とを備えるという構成をとる。

【０００６】なお、本発明において、「セラミックス系
材料」とは、シリカ、アルミナ等のセラミックス材料だ
けでなく、金属アルコキシド、アルコキシド、各種金属
化合物およびその反応生成物を含む総称のことであり、
またその前駆体をも含む趣旨で用いている。

【０００７】すなわち、この発明者は、熱伝導性に優
れ、かつ絶縁性にも優れ、しかもシート状成形体の柔軟
性および耐衝撃性を確保することのできる熱伝導性高分
子シートの製法について、一連の研究を重ねた。その結
果、熱伝導性充填剤粒子をセラミックス系材料で表面被
覆処理する工程と、上記表面被覆処理した熱伝導性充填
剤粒子と高分子材料成分とを主成分とする熱伝導性高分
子シート形成材料を調製する工程と、上記熱伝導性高分
子シート形成材料をシート状に流延し、その厚み方向に
１５〜１５０Ｖ／ｍｍの直流電圧を印加しながら固化さ
せてシート状成形体を得る工程とを備える製法を用いる
ことにより、所期の目的を達成できることを見いだし、
本発明に到達した。

【０００８】なお、上記熱伝導性充填剤粒子の表面被覆
処理方法として、ゾル・ゲル法を用いることにより、さ
らに絶縁性を向上させた熱伝導性高分子シートを得るこ
とができる。

【０００９】また、上記熱伝導性充填剤として、炭素系
充填剤を用いることにより、より熱伝導性に優れた熱伝
導性高分子シートを得ることができる。

【００１０】さらに、上記高分子材料として、シリコー
ンゴムを用いることにより、絶縁破壊強度が高く、しか
も柔軟性および耐衝撃性に優れた熱伝導性高分子シート
を得ることができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態につ
いて説明する。

【００１２】本発明の熱伝導性高分子シートの製法に用
いる高分子材料としては、液状シリコーンゴム（２液型
または１液型）、液状ウレタン樹脂、液状エポキシ樹脂
（２液型）、液状フェノール樹脂、半液状エポキシ樹脂
等があげられる。また、樹脂または未加硫ゴムを溶剤に
溶解して液状にしたものを用いてもよい。ただし、上記
溶剤は、不燃性であることが好適である。そして、上記
高分子材料は、最終的に熱または放射線等で架橋される
ものが好ましい。また、これら高分子材料のなかでも、
絶縁破壊強度、柔軟性および耐衝撃性の点で、液状シリ
コーンゴムが好ましい。

【００１３】また、上記高分子材料に含有させる熱伝導
性充填剤粒子としては、グラファイト（高純度黒鉛、膨
張黒鉛）や炭素繊維等の炭素系充填剤、窒化ホウ素（Ｂ
Ｎ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、マイカ、酸化ベリ
リウム（ＢｅＯ）、酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）、
酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸
化チタン（ＴｉＯ₂）、シリカ（ＳｉＯ₂）等の無機物
や金属酸化物等、ニッケル（Ｎｉ）等の金属材料等が用
いられる。これらは、単独で用いてもよいし、２種以上
併用してもよい。なかでも、熱伝導性に優れ、かつ軽量
で柔らかいグラファイトが好適である。

【００１４】また、このような熱伝導性充填剤粒子の粒
径は、製造時の取り扱い性をよくするため、例えば高純
度黒鉛（炭素含有量９９％以上）の場合、６〜１００μ
ｍが好ましく、より好ましくは１０〜４０μｍである。
さらに、膨張黒鉛の場合、２０〜６００μｍが好まし
く、より好ましくは、４０〜４００μｍである。また炭
素繊維の場合は、アスペクト比（長さ／直径）が５〜５
０が好ましく、より好ましくは７〜３０である。

【００１５】さらに、上記熱伝導性充填剤粒子を表面被
覆処理するために用いられるセラミックス系材料として
は、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テ
トラフェノキシシラン、トリメトキシ（メチル）シラ
ン、トリエトキシ（メチル）シラン、トリメトキシ（フ
ェニル）シラン、トリエトキシ（フェニル）シラン、ト
リエトキシ（ビニル）シラン、γ−クロロプロピルトリ
メトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラ
ン、Ｎ−（β−アミノエチル）−γ−アミノプロピルト
リメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキ
シシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラ
ン、ジヒドロキシジフェニルシラン、ジメトキシジメチ
ルシラン、ジエトキシジメチルシラン、ジメトキシ（メ
チル）シラン、ジエトキシ（メチル）シラン、ジエトキ
シ（メチル）ビニルシラン、ジメトキシジフェニルシラ
ン、ジエトキシジフェニルシラン、〔Ｎ−（β−アミノ
エチル）−γ−アミノプロピル〕（ジメトキシ）メチル
シラン、γ−グリシドキシプロピル（ジメトキシ）メチ
ルシラン、γ−メタクリルオキシプロピル（ジメトキ
シ）メチルシラン、メトキシトリメチルシラン、エトキ
シトリメチルシラン、エトキシ（ジメチル）ビニルシラ
ン等のシリケートや、ナトリウムメトキシド、ナトリウ
ムエトキシド、ナトリウム−ｔｅｒｔ−ブチラート、カ
リウムメトキシド、カリウム−ｔｅｒｔ−ブトキシド、
マグネシウムジエトキシド、アルミニウムトリエトキシ
ド、アルミニウムトリイソプロポキシド、アルミニウム
トリ−ｎ−ブトキシド、アルミニウムトリ−ｓｅｃ−ブ
トキシド、アルミニウムトリ−ｔｅｒｔ−ブトキシド、
トリメトキシボラン、トリエトキシボラン、テトラエチ
ルオルトチタナート、クロロトリイソプロピルオルトチ
タナート、テトラ−ｎ−プロピルオルトチタナート、チ
タニウムテトライソプロポキシド、チタニウムテトラ−
ｎ−ブトキシド、ジブチルジメトキシすず、トリメトキ
シひ素、トリエトキシひ素、トリ−ｎ−プロポキシひ
素、トリ−ｎ−ブトキシひ素等のアルコキシド等や、三
フッ化ホウ素−ジエチルエーテル錯体、ブロモ（ジメチ
ルスルフィド）銅（I）、ヘキサクロロロジウム（III）
酸ナトリウム二水和物、テトラクロロパラジウム（II）
酸カリウム、ヘキサクロロイリジウム（IV）酸ナトリウ
ム六水和物、ヘキサクロロイリジウム（III）酸ナトリ
ウム二水和物、ヘキサフルオロリン酸アンモニウム、ヘ
キサフルオロリン酸カリウム、酢酸パラジウム（II）等
の錯体や金属化合物等があげられる。これらは、単独で
用いてもよいし、２種以上併用してもよい。なかでも、
高熱伝導性およびシリコーンゴムとの親和性の点から、
アルミニウムまたはシリコンのアルコキシドが好適であ
る。

【００１６】本発明の熱伝導性高分子シートの製法は、
これらの材料を用い、例えばつぎのようにして作製する
ことができる。

【００１７】すなわち、まず、熱伝導性充填剤粒子をセ
ラミックス系材料で表面被覆処理する。この表面被覆処
理方法として、ゾル・ゲル法、コンバージョン法、ハイ
ブリダイゼーション法が用いられる。なかでも、均一な
薄膜が簡単にできる点から、ゾル・ゲル法が好ましい。

【００１８】上記ゾル・ゲル法とは、セラミックス系材
料をプロパノール、エタノール、メタノール等の溶媒で
希釈した溶液に水分を加え、セラミックス系材料（例え
ば、金属アルコキシド等）を加水分解して作った希薄ゾ
ルに上記熱伝導性充填剤粒子を加えるという方法であ
る。なお、熱伝導性充填剤粒子に対し、所定厚みの被覆
層が形成されるように、セラミックス系材料の配合量
は、上記熱伝導性充填剤１ｃｍ³に対し、１×１０^-3〜
１×１０^-2ｍｏｌの範囲に設定されていることが好まし
い。そして、上記希薄ゲルに熱伝導性充填剤粒子を加え
ることにより熱伝導性充填剤粒子表面においてゾルの縮
重合を進行させ、乾燥し、加熱（焼成）して、酸・水酸
化物を固着させる。この反応は、下記の式（１）で示す
ことができる。そして、熱伝導性充填剤粒子の表面はこ
の反応で得られたセラミックス系材料（最終生成物およ
び前駆体）で表面被覆処理されている。なお、この際、
未反応の前駆体が残っていると、触媒としての酸等も残
っていることになり、この酸が成形時に発泡するおそれ
があるため、最終生成物のみで熱伝導性充填剤粒子の表
面が被覆されていることが好ましい。

【００１９】

【化１】

【００２０】ついで、上記表面被覆処理した熱伝導性充
填剤と高分子材料とを主成分とする熱伝導性高分子シー
ト形成材料を調製する。この調製方法としては、例え
ば、上記熱伝導性充填剤と高分子材料とを主成分とする
形成材料をミル等を用いて混合する方法等が用いられ
る。

【００２１】つぎに、公知のシート製造機のシート成形
凹部枠内に上記熱伝導性高分子シート形成材料を流延し
て加熱硬化させる。この加熱時に、シート厚み方向の両
側から形成材料に直流電圧を印加する。このようにし
て、図１に示すように、高分子材料１からなるマトリッ
クス中に、表面被覆処理した熱伝導性充填剤粒子２が厚
み方向に一定に配向した熱伝導性高分子シート３を得る
ことができる。なお、この際、上記熱伝導性高分子シー
ト３のマトリックスは架橋されている。

【００２２】このようにして得られた熱伝導性高分子シ
ートは、上記特殊な熱伝導性充填剤粒子が高分子マトリ
ックス中に厚み方向に一定に配向されているため、粒子
自体の熱伝導性と、セラミックス系材料の絶縁性がとも
に発揮される。したがって、絶縁性および熱伝導性の双
方に優れている。そして、高い熱伝導性を有する充填剤
材料を選択することができるため、熱伝導率の低い充填
剤を多量に用いなくともよく、マトリックスとなる高分
子材料の柔軟性および衝撃強度が損なわれることがない
という利点を有する熱伝導性高分子シートを得ることが
できる。

【００２３】なお、上記製法において、印加する直流電
圧は、１５〜１５０Ｖ／ｍｍに設定しなければならな
い。より好ましくは、２０〜１００Ｖ／ｍｍである。す
なわち、直流電圧が１５Ｖ／ｍｍ未満では、熱伝導性充
填剤粒子が厚み方向に一定に配向されないからであり、
直流電圧が１５０Ｖ／ｍｍを超えると、粒子が配向する
とともに過大な電流が流れ発泡して熱伝導性高分子シー
トが作製できなくなり、しかも発火するおそれがあるか
らである。

【００２４】また、上記製法において、適当な熱伝導
性、絶縁性、柔軟性および耐衝撃性を維持するため、表
面被覆処理した熱伝導性充填剤粒子の体積分率〔表面被
覆処理した熱伝導性充填剤粒子の容量／（高分子材料の
容量＋表面被覆処理した熱伝導性充填剤粒子の容量）〕
を、０．０５〜０．２５の範囲に設定することが好まし
い。より好ましくは、０．１〜０．２である。すなわ
ち、０．０５未満であると、高熱伝導率を確保できなく
なるおそれがあり、０．２５を超えると、成形品の絶縁
性を維持できないおそれがあるからである。

【００２５】つぎに、実施例について比較例と併せて説
明する。

【００２６】

【実施例１〜３】アルミニウムトリイソプロポキシド３
８ｇを８０℃の２−プロパノール２００ｇに溶解した
後、攪拌しながら６９％硝酸１．７ｇと蒸留水６．７ｇ
および２−プロパノール２００ｇの混合物を滴下し、ア
ルミナゾルを調製した。そして、このアルミナゾルに高
純度黒鉛（日本黒鉛社製、Ｊ−ＳＰ、平均粒径１０μ
ｍ、炭素含量９９．５％）１００ｇ（４４．４ｃｍ³）
を投入し室温で２時間攪拌してスラリー状混合物を得
た。このスラリー状混合物を１５０℃で５時間乾燥し、
一部固形化したものを粉砕して、さらに１５０℃×３時
間真空乾燥して、アルミナゲルで表面を被覆した高純度
黒鉛を得た。さらに、このアルミナゲルで表面を被覆し
た高純度黒鉛を昇温速度１００℃／ｈで６５０℃まで昇
温し、その温度で２時間保持した後冷却して、アルミナ
で表面被覆処理した高純度黒鉛を得た。ついで、このア
ルミナで表面被覆処理した高純度黒鉛を液状シリコーン
ゴム（東芝シリコーン社製のＴＳＥ−３０３３ＡとＴＳ
Ｅ−３０３３Ｂとを１：１で混合したもの）中に下記の
表１に示す体積分率となるよう混合し、１００℃で加熱
（架橋）と同時に２０Ｖ／ｍｍの電界をシートの厚み方
向に印加して１５分間保持し、アルミナで表面被覆処理
した高純度黒鉛が厚み方向に配向している熱伝導性高分
子シート（５０×５０×２ｍｍ）を作製した。

【００２７】

【実施例４、５】実施例１と同様にして、アルミナゾル
を作製した。そして、このアルミナゾルに炭素繊維（ペ
トカ社製、１０μｍ×７０μｍ、アスペクト比：７）１
００ｇ（４８．５ｃｍ³）を投入し室温で２時間攪拌し
てスラリー状混合物を得た。このスラリー状混合物を１
５０℃で５時間乾燥し、一部固形化したものを粉砕し
て、さらに１５０℃で３時間真空乾燥して、アルミナゲ
ルで表面を被覆した炭素繊維を得た。さらに、このアル
ミナゲルで表面を被覆した炭素繊維を昇温速度１００℃
／ｈで６５０℃まで昇温し、その温度で２時間保持して
冷却し、アルミナで表面被覆処理した炭素繊維を得た。
ついで、このアルミナで表面被覆処理した炭素繊維を液
状シリコーンゴム（東芝シリコーン社製のＴＳＥ−３０
３３ＡとＴＳＥ−３０３３Ｂとを１：１で混合したも
の）中に下記の表１に示す体積分率となるよう混合し、
１００℃で加熱（架橋）と同時に１００Ｖ／ｍｍの電界
をシートの厚み方向に印加して１５分間保持し、アルミ
ナで表面被覆処理した炭素繊維が厚み方向に配向してい
る熱伝導性高分子シート（５０×５０×２ｍｍ）を作製
した。

【００２８】

【実施例６】印加電圧を１５Ｖ／ｍｍとしたこと以外
は、実施例１と同様にして、熱伝導性高分子シートを作
製した。

【００２９】

【実施例７】印加電圧を１５０Ｖ／ｍｍとしたこと以外
は、実施例１と同様にして、熱伝導性高分子シートを作
製した。

【００３０】

【比較例１】印加電圧を１０Ｖ／ｍｍとしたこと以外
は、実施例１と同様にして、熱伝導性高分子シートを作
製した。

【００３１】

【比較例２】印加電圧を１６０Ｖ／ｍｍとしたこと以外
は、実施例１と同様にして、熱伝導性高分子シートの作
製を試みたが、スパークのため作製できなかった。

【００３２】

【比較例３、４】表面被覆処理されていない高純度黒鉛
（日本黒鉛社製、Ｊ−ＳＰ、平均粒径１０μｍ、炭素含
量９９．５％）を液状のシリコーンゴム（東芝シリコー
ン社製のＴＳＥ−３０３３ＡとＴＳＥ−３０３３Ｂとを
１：１で混合したもの）中に下記の表３に示す体積分率
となるよう配合した以外は、実施例１と同様にして、熱
伝導性高分子シートの作製を試みたが、スパークのため
作製できなかった。

【００３３】

【比較例５、６】表面被覆処理されていない炭素繊維
（ペトカ社製、１０μｍ×７０μｍ、アスペクト比：
７）を液状のシリコーンゴム（東芝シリコーン社製のＴ
ＳＥ−３０３３ＡとＴＳＥ−３０３３Ｂとを１：１で混
合したもの）中に下記の表３に示す体積分率となるよう
配合した以外は、実施例１と同様にして、熱伝導性高分
子シートの作製を試みたが、スパークのため作製できな
かった。

【００３４】

【比較例７】表面被覆処理されていないアルミナ（昭和
電工社製、ＡＳ−３０）を液状のシリコーンゴム（東芝
シリコーン社製のＴＳＥ−３０３３ＡとＴＳＥ−３０３
３Ｂとを１：１で混合したもの）中に体積分率０．２０
となるよう配合した以外は、実施例１と同様にして、熱
伝導性高分子シートを得た。

【００３５】

【比較例８、９】印加電圧を０Ｖ／ｍｍとしたこと以外
は、比較例３および比較例４と同様にして、熱伝導性高
分子シートを得た。

【００３６】

【比較例１０、１１】印加電圧を０Ｖ／ｍｍとしたこと
以外は、比較例５および比較例６と同様にして、熱伝導
性高分子シートを得た。

【００３７】上記実施例１品〜７品および比較例１品〜
１１品の熱伝導性高分子シートの熱伝導率、電気伝導度
を測定し、その結果を下記の表１〜表４に示した。な
お、各測定方法は以下の通りである。

【００３８】〔熱伝導率〕定常法（ガーデッドホットプ
レート法）により、測定温度６０℃で測定した。

【００３９】〔電気伝導度〕ＫＥＩＴＨＬＥＹ２３７を
用い、体積方向に電圧（０．１〜１００Ｖ）を印加し、
そのときの電流値から計算して求めた。

【００４０】

【表１】

【００４１】

【表２】

【００４２】

【表３】

【００４３】

【表４】

【００４４】上記結果から、実施例１品〜７品は全て、
熱伝導性に優れかつ絶縁性にも優れている。しかも、熱
伝導性充填剤粒子の配合量が比較的少ないため、熱伝導
性高分子成形体の柔軟性および耐衝撃性も損なわれてい
ない。これに対して、表面処理されていない熱伝導性充
填剤粒子（高純度黒鉛）を用いた比較例３品、４品およ
び表面被覆処理されていない熱伝導性充填剤粒子（炭素
繊維）を用いた比較例５品、６品は、印加電圧（２０Ｖ
／ｍｍ）をかけると、スパークしてしまい熱伝導性高分
子シートを得ることができなかった。そこで、印加電圧
をかけないで得た熱伝導性高分子シート（比較例８品〜
１１品）では、熱伝導性および電気伝導度の少なくとも
一方が劣っていた。また、比較例７品は、表面被覆処理
に用いるセラミックス系材料そのもの（アルミナ）を熱
伝導性充填剤粒子として用いているが、充分な熱伝導性
が得られていない。そして、実施例６品、７品および比
較例１品、２品より、高分子マトリックス中で熱伝導性
充填剤粒子が厚み方向に一定に配向したものを得るに
は、印加電圧を１５〜１５０Ｖ／ｍｍの範囲に設定しな
ければならないことがわかる。

【００４５】

【発明の効果】以上のように、本発明の熱伝導性高分子
シートの製法は、セラミックス系材料で表面被覆処理し
た熱伝導性充填剤粒子を高分子材料中に配合して熱伝導
性高分子シート形成材料を調製し、この熱伝導性高分子
シート形成材料をシート状に流延し、その厚み方向に特
定の範囲内で直流電圧を印加してシート状成形体を得る
ようにしたものである。この製法によれば、表面被覆処
理した熱伝導性充填剤粒子が、厚み方向に一定に配合し
た状態で高分子マトリックス中に含有されているため、
熱伝導性充填剤粒子の優れた熱伝導性と、セラミックス
系材料の絶縁性とがともに効果的に発揮される。そし
て、高い熱伝導性を有する充填剤材料を選択できるた
め、所定の熱伝導性を得るために低熱伝導性充填剤を多
量に用いなくともよいので、高分子材料の本来の特性で
ある柔軟性および耐衝撃性が損なわれることがない。

【００４６】特に、本発明の熱伝導性高分子シートにお
いて、熱伝導性充填剤粒子をゾル・ゲル法によって表面
被覆処理することにより、熱伝導性充填剤粒子表面上に
均一な薄膜を容易に作製することができ、しかもより絶
縁性に優れた熱伝導性高分子成形体を得ることができ
る。

【００４７】また、上記熱伝導性充填剤として、炭素系
充填剤を用いることにより、より熱伝導性に優れた熱伝
導性高分子シートを得ることができる。

【００４８】さらに、上記高分子材料として、シリコー
ンゴムを用いることにより、しかも柔軟性および耐衝撃
性に優れた熱伝導性高分子シートを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の熱伝導性高分子シートにおける熱伝導
性充填剤の配向状態を示す模式図である。

【符号の説明】

１高分子材料２表面被覆処理した熱伝導性充填剤粒子３熱伝導性高分子シート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】熱伝導性充填剤粒子をセラミックス系材
料で表面被覆処理する工程と、上記表面被覆処理した熱
伝導性充填剤粒子と高分子材料とを主成分とする熱伝導
性高分子シート形成材料を調製する工程と、上記熱伝導
性高分子シート形成材料をシート状に流延し、その厚み
方向に１５〜１５０Ｖ／ｍｍの直流電圧を印加しながら
固化させてシート状成形体を得る工程とを備えることを
特徴とする熱伝導性高分子シートの製法。
【請求項２】上記表面被覆処理する方法がゾル・ゲル
法である請求項１記載の熱伝導性高分子シートの製法。
【請求項３】上記熱伝導性充填剤が炭素系充填剤であ
る請求項１または２記載の熱伝導性高分子シートの製
法。
【請求項４】上記高分子材料がシリコーンゴムである
請求項１〜３のいずれか一項に記載の熱伝導性高分子シ
ートの製法。