JPH09314552A - ワイヤソーのオイルパン - Google Patents
ワイヤソーのオイルパンInfo
- Publication number
- JPH09314552A JPH09314552A JP8141284A JP14128496A JPH09314552A JP H09314552 A JPH09314552 A JP H09314552A JP 8141284 A JP8141284 A JP 8141284A JP 14128496 A JP14128496 A JP 14128496A JP H09314552 A JPH09314552 A JP H09314552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slurry
- oil pan
- wire
- abrasive grains
- wire saw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】スラリの堆積を防止することができるワイヤソ
ーのオイルパンの提供。 【解決手段】オイルパン３８に谷状の凹部４２を形成
し、その凹部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａを回収するス
ラリに含まれる砥粒の安息角以上に傾斜させるととも
に、該オイルパン３８の谷部及び傾斜面４２Ａ、４２Ａ
に向けてスラリを噴射する噴射ノズル４６、４８を設け
る。回収されたスラリは、前記凹部４２の傾斜面４２
Ａ、４２Ａ上を流れ落ちるとともに、噴射ノズル４６、
４８から噴射されるスラリの流れにより、強制的に排出
口４４に向けて流され、該排出口４４から排出される。
ーのオイルパンの提供。 【解決手段】オイルパン３８に谷状の凹部４２を形成
し、その凹部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａを回収するス
ラリに含まれる砥粒の安息角以上に傾斜させるととも
に、該オイルパン３８の谷部及び傾斜面４２Ａ、４２Ａ
に向けてスラリを噴射する噴射ノズル４６、４８を設け
る。回収されたスラリは、前記凹部４２の傾斜面４２
Ａ、４２Ａ上を流れ落ちるとともに、噴射ノズル４６、
４８から噴射されるスラリの流れにより、強制的に排出
口４４に向けて流され、該排出口４４から排出される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのオイル
パンに係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス等の
脆性材料を切断するワイヤソーのオイルパンに関する。
パンに係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス等の
脆性材料を切断するワイヤソーのオイルパンに関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、高速走行するワイヤ列に
砥粒を含むスラリを供給しながら被加工物を押し当てる
ことにより、そのスラリ中に含まれる砥粒のラッピング
作用で被加工物をウェーハに切断する装置である。この
ワイヤソーにおいて、切断中にワイヤ列に供給されたス
ラリは、ワイヤ列の下方に設置されたオイルパンで回収
され、回収されたスラリは、スラリの供給源に戻されて
再び加工に供される。
砥粒を含むスラリを供給しながら被加工物を押し当てる
ことにより、そのスラリ中に含まれる砥粒のラッピング
作用で被加工物をウェーハに切断する装置である。この
ワイヤソーにおいて、切断中にワイヤ列に供給されたス
ラリは、ワイヤ列の下方に設置されたオイルパンで回収
され、回収されたスラリは、スラリの供給源に戻されて
再び加工に供される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記被加工
物の切断に用いるスラリには、油性のものと水溶性のも
のがあり、いずれのスラリにも前述したように砥粒が含
有されている。しかしながら、水溶性のスラリを用いた
場合には、スラリ中の液体成分の粘性が低いため、前記
オイルパンに回収されてもスラリ中の液体成分のみが流
されて、砥粒がオイルパンに残留してしまうという問題
があった。この砥粒がオイルパンに残留した状態で切断
を続けると、次第に砥粒が堆積してゆき、固着してスラ
リの回収不良を起こすという問題がある。
物の切断に用いるスラリには、油性のものと水溶性のも
のがあり、いずれのスラリにも前述したように砥粒が含
有されている。しかしながら、水溶性のスラリを用いた
場合には、スラリ中の液体成分の粘性が低いため、前記
オイルパンに回収されてもスラリ中の液体成分のみが流
されて、砥粒がオイルパンに残留してしまうという問題
があった。この砥粒がオイルパンに残留した状態で切断
を続けると、次第に砥粒が堆積してゆき、固着してスラ
リの回収不良を起こすという問題がある。
【０００４】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、スラリの堆積を防止することができるワイヤ
ソーのオイルパンを提供することを目的とする。
たもので、スラリの堆積を防止することができるワイヤ
ソーのオイルパンを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きか
けて形成したワイヤ列に砥粒を含むスラリを供給しなが
ら被加工物を押し当ることにより、該被加工物を多数の
ウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤ列
の下方にオイルパンを設け、該オイルパンで前記ワイヤ
列に供給したスラリを回収するとともに、該オイルパン
に流体を噴射する噴射ノズルを設け、前記オイルパンに
回収したスラリを該噴射ノズルから噴射する流体で強制
的に前記オイルパンの排出口に流すことを特徴とする。
本発明によれば、オイルパンに回収されたスラリは、噴
射ノズルから噴射される流体によって、強制的に排出口
に向けて流され、排出される。このように、排出口に向
かう強制的な流れを形成することにより、オイルパンに
砥粒が残留することなく、スラリを排出することができ
る。
るために、走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きか
けて形成したワイヤ列に砥粒を含むスラリを供給しなが
ら被加工物を押し当ることにより、該被加工物を多数の
ウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤ列
の下方にオイルパンを設け、該オイルパンで前記ワイヤ
列に供給したスラリを回収するとともに、該オイルパン
に流体を噴射する噴射ノズルを設け、前記オイルパンに
回収したスラリを該噴射ノズルから噴射する流体で強制
的に前記オイルパンの排出口に流すことを特徴とする。
本発明によれば、オイルパンに回収されたスラリは、噴
射ノズルから噴射される流体によって、強制的に排出口
に向けて流され、排出される。このように、排出口に向
かう強制的な流れを形成することにより、オイルパンに
砥粒が残留することなく、スラリを排出することができ
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係るワイヤソーのオイルパンの実施の形態について詳説
する。図１は、本発明に係るオイルパンが適用されたワ
イヤソーの実施の形態の構成図である。
係るワイヤソーのオイルパンの実施の形態について詳説
する。図１は、本発明に係るオイルパンが適用されたワ
イヤソーの実施の形態の構成図である。
【０００７】同図に示すように、ワイヤリール１２に巻
かれたワイヤ１４は、ガイドローラ１６、１６、…で形
成されるワイヤ走行路を通って３本の溝付きローラ１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、水平なワイヤ列２
０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、
前記ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方側
のワイヤ走行路を通って図示しないワイヤリールに巻き
取られる。
かれたワイヤ１４は、ガイドローラ１６、１６、…で形
成されるワイヤ走行路を通って３本の溝付きローラ１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、水平なワイヤ列２
０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、
前記ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方側
のワイヤ走行路を通って図示しないワイヤリールに巻き
取られる。
【０００８】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
前記ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せ
ず）が架設されて走行するワイヤ１４に一定の張力を付
与し、前記ワイヤ洗浄装置２６は、ワイヤ１４に洗浄液
タンク２９から供給される洗浄液を噴射して、該ワイヤ
１４に付着したスラリをワイヤ１４から除去する。
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
前記ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せ
ず）が架設されて走行するワイヤ１４に一定の張力を付
与し、前記ワイヤ洗浄装置２６は、ワイヤ１４に洗浄液
タンク２９から供給される洗浄液を噴射して、該ワイヤ
１４に付着したスラリをワイヤ１４から除去する。
【０００９】前記一対のワイヤリール１２及び３本のう
ち１本の溝付ローラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能
なモータ（図示せず）が連結されており、前記ワイヤ１
４は、このモータを駆動することにより、前記ワイヤリ
ール１２間を高速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の
上方には、ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワ
ークフィードテーブル２８が設置されている。ワークフ
ィードテーブル２８にはチルチング装置３０が備えられ
ており、インゴット３２は、このチルチング装置３０の
下部に保持され、任意の傾斜角度に設定される。
ち１本の溝付ローラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能
なモータ（図示せず）が連結されており、前記ワイヤ１
４は、このモータを駆動することにより、前記ワイヤリ
ール１２間を高速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の
上方には、ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワ
ークフィードテーブル２８が設置されている。ワークフ
ィードテーブル２８にはチルチング装置３０が備えられ
ており、インゴット３２は、このチルチング装置３０の
下部に保持され、任意の傾斜角度に設定される。
【００１０】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴット３２の切断は、ワークフィードテー
ブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、高速走
行するワイヤ列２４にインゴット３２を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２４には、スラリタ
ンク３４から図示しないノズルを介してスラリが供給さ
れ、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒
のラッピング作用でウェーハに切断される。
おいて、インゴット３２の切断は、ワークフィードテー
ブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、高速走
行するワイヤ列２４にインゴット３２を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２４には、スラリタ
ンク３４から図示しないノズルを介してスラリが供給さ
れ、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒
のラッピング作用でウェーハに切断される。
【００１１】前記インゴット３２の加工に供したスラリ
は、前記ワイヤ列２０の下方に設置されたオイルパン３
８を介して前記スラリタンク３４に回収され、不足分を
補給されながら循環利用される。この際、スラリは加工
時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、回収した
スラリは、熱交換機３６で一定温度に冷却される。な
お、インゴット３２の切断は、図１中二点破線で示すよ
うに、ハウジング４０内で行われ、供給したスラリが周
囲に飛散するのを防止している。
は、前記ワイヤ列２０の下方に設置されたオイルパン３
８を介して前記スラリタンク３４に回収され、不足分を
補給されながら循環利用される。この際、スラリは加工
時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、回収した
スラリは、熱交換機３６で一定温度に冷却される。な
お、インゴット３２の切断は、図１中二点破線で示すよ
うに、ハウジング４０内で行われ、供給したスラリが周
囲に飛散するのを防止している。
【００１２】図２は、前記オイルパン３８の斜視図であ
り、図３は、その平面図である。同図に示すように、前
記オイルパン３８は、前記ハウジング４０の底面形状に
合わせて矩形状に形成されており、その長手方向に沿っ
て谷状の凹部４２が形成されている。前記ワイヤ列２０
に供給されたスラリは、この谷状に形成された凹部４２
の傾斜面（スラリ回収面）４２Ａ、４２Ａを伝って流れ
落ち、凹部４２の中央に形成された排出口４４から排出
される。この排出口４４には図示しない回収パイプが連
結されており、前記オイルパン３８で回収したスラリ
は、この回収パイプを介して前記スラリタンク３４に戻
される。
り、図３は、その平面図である。同図に示すように、前
記オイルパン３８は、前記ハウジング４０の底面形状に
合わせて矩形状に形成されており、その長手方向に沿っ
て谷状の凹部４２が形成されている。前記ワイヤ列２０
に供給されたスラリは、この谷状に形成された凹部４２
の傾斜面（スラリ回収面）４２Ａ、４２Ａを伝って流れ
落ち、凹部４２の中央に形成された排出口４４から排出
される。この排出口４４には図示しない回収パイプが連
結されており、前記オイルパン３８で回収したスラリ
は、この回収パイプを介して前記スラリタンク３４に戻
される。
【００１３】ところで、図４に示すように、前記凹部４
２の傾斜面４２Ａ、４２Ａは、その傾斜角度αが回収す
るスラリに含まれる砥粒の安息角以上に設定されてい
る。このように、凹部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａを砥
粒の安息角以上に設定することにより、回収したスラリ
中の砥粒が自重で傾斜面４２Ａ、４２Ａを滑り落ちるの
で、砥粒が傾斜面４２Ａ、４２Ａ上に残留することがな
い。
２の傾斜面４２Ａ、４２Ａは、その傾斜角度αが回収す
るスラリに含まれる砥粒の安息角以上に設定されてい
る。このように、凹部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａを砥
粒の安息角以上に設定することにより、回収したスラリ
中の砥粒が自重で傾斜面４２Ａ、４２Ａを滑り落ちるの
で、砥粒が傾斜面４２Ａ、４２Ａ上に残留することがな
い。
【００１４】なお、この砥粒の安息角は約１５°であ
り、前記傾斜面４２Ａ、４２Ａの傾斜角度αは１５°以
上に設定するのがよい。また、傾斜角度αは、大きいほ
ど効果的に砥粒を落下させることができるが、傾斜角度
αが大きくなるとオイルパン３８の高さが高くなるとい
う不都合があるので、設置スペース等を考慮して最適の
角度を決定する。
り、前記傾斜面４２Ａ、４２Ａの傾斜角度αは１５°以
上に設定するのがよい。また、傾斜角度αは、大きいほ
ど効果的に砥粒を落下させることができるが、傾斜角度
αが大きくなるとオイルパン３８の高さが高くなるとい
う不都合があるので、設置スペース等を考慮して最適の
角度を決定する。
【００１５】前述したように、回収したスラリは前記凹
部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａを流れ落ちて排出口４４
から排出されるが、排出口４４から離れた位置、例えば
凹部４２の両端部近傍においては、凹部４２の谷部に砥
粒が堆積する恐れがある。これを防止するために、前記
凹部４２の谷部両端には前記排出口４４に向けてスラリ
を噴射する噴射ノズル４６、４６が設けられている。
部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａを流れ落ちて排出口４４
から排出されるが、排出口４４から離れた位置、例えば
凹部４２の両端部近傍においては、凹部４２の谷部に砥
粒が堆積する恐れがある。これを防止するために、前記
凹部４２の谷部両端には前記排出口４４に向けてスラリ
を噴射する噴射ノズル４６、４６が設けられている。
【００１６】このように、凹部４２の谷部両端から排出
口４４に向けてスラリを噴射することにより、排出口４
４に向かって流れるスラリの流れが形成される。これに
より、前記傾斜面４２Ａ、４２Ａの両端部近傍を流れ落
ちるスラリは、前記谷部に形成されたスラリの流れによ
って強制的に排出口４４から排出される。したがって、
谷部に砥粒が残留することはない。なお、噴射する流体
にスラリを用いるのは、回収したスラリをそのままスラ
リタンク３４に戻して循環利用できるようにするためで
ある。
口４４に向けてスラリを噴射することにより、排出口４
４に向かって流れるスラリの流れが形成される。これに
より、前記傾斜面４２Ａ、４２Ａの両端部近傍を流れ落
ちるスラリは、前記谷部に形成されたスラリの流れによ
って強制的に排出口４４から排出される。したがって、
谷部に砥粒が残留することはない。なお、噴射する流体
にスラリを用いるのは、回収したスラリをそのままスラ
リタンク３４に戻して循環利用できるようにするためで
ある。
【００１７】また、前述したように、前記凹部４２の傾
斜面４２Ａ、４２Ａは、砥粒の安息角以上に傾斜させる
ことで、傾斜面４２Ａ、４２Ａから砥粒が流れ落ちやす
くされているが、これを更に効果的に行うために、オイ
ルパン３８の四隅に噴射ノズル４８、４８、…を設け、
該噴射ノズル４８、４８、…から傾斜面４２Ａ、４２Ａ
に向けてスラリを噴射させる。これにより、前記傾斜面
４２Ａ、４２Ａには、谷部に向かって流れるスラリの流
れが形成され、前記傾斜面４２Ａ、４２Ａで受けたスラ
リは、このスラリの流れによって強制的に谷部に流れ落
とされる。
斜面４２Ａ、４２Ａは、砥粒の安息角以上に傾斜させる
ことで、傾斜面４２Ａ、４２Ａから砥粒が流れ落ちやす
くされているが、これを更に効果的に行うために、オイ
ルパン３８の四隅に噴射ノズル４８、４８、…を設け、
該噴射ノズル４８、４８、…から傾斜面４２Ａ、４２Ａ
に向けてスラリを噴射させる。これにより、前記傾斜面
４２Ａ、４２Ａには、谷部に向かって流れるスラリの流
れが形成され、前記傾斜面４２Ａ、４２Ａで受けたスラ
リは、このスラリの流れによって強制的に谷部に流れ落
とされる。
【００１８】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーのオイルパンの実施の形態の作用は次の通りであ
る。図１に示すように、ワイヤ列２０に供給されたスラ
リは、インゴット３２の切断に寄与されたのち、ワイヤ
１４や溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃ等を伝って落下し、オ
イルパン３８に回収される。
ヤソーのオイルパンの実施の形態の作用は次の通りであ
る。図１に示すように、ワイヤ列２０に供給されたスラ
リは、インゴット３２の切断に寄与されたのち、ワイヤ
１４や溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃ等を伝って落下し、オ
イルパン３８に回収される。
【００１９】オイルパン３８に回収されたスラリは、凹
部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａを伝って流れ落ち、排出
口４４から図示しない回収パイプを介してスラリタンク
３４に戻される。ここで、前記オイルパン３８では、そ
の凹部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａが、回収するスラリ
の安息角に傾斜されているため、回収したスラリ中の砥
粒を傾斜面４２Ａ、４２Ａに残留させることなく、谷部
に向けて流れ落とすことができる。
部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａを伝って流れ落ち、排出
口４４から図示しない回収パイプを介してスラリタンク
３４に戻される。ここで、前記オイルパン３８では、そ
の凹部４２の傾斜面４２Ａ、４２Ａが、回収するスラリ
の安息角に傾斜されているため、回収したスラリ中の砥
粒を傾斜面４２Ａ、４２Ａに残留させることなく、谷部
に向けて流れ落とすことができる。
【００２０】さらに、前記オイルパン３８では、その四
隅に設けられた噴射ノズル４８、４８、…から凹部４２
の傾斜面４２Ａ、４２Ａに向けてスラリが噴射されてお
り、このため、前記傾斜面４２Ａ、４２Ａで回収された
スラリは、この噴射ノズル４８、４８、…から噴射され
たスラリによって強制的に谷部に向けて流れ落とされ
る。
隅に設けられた噴射ノズル４８、４８、…から凹部４２
の傾斜面４２Ａ、４２Ａに向けてスラリが噴射されてお
り、このため、前記傾斜面４２Ａ、４２Ａで回収された
スラリは、この噴射ノズル４８、４８、…から噴射され
たスラリによって強制的に谷部に向けて流れ落とされ
る。
【００２１】このように、スラリを回収する凹部４２の
傾斜面４２Ａ、４２Ａをスラリの安息角以上に傾斜させ
て設定するとともに、その傾斜面４２Ａ、４２Ａに向け
てスラリを流すことにより、傾斜面４２Ａ、４２Ａで回
収したスラリは、強制的に凹部４２の谷部に向けて流れ
落とされる。また、前記谷部に流れ落ちたスラリは、そ
の谷部両端に設けられた噴射ノズル６、４６から排出口
４４に向けて噴射されるスラリによって強制的に排出口
に向かって流されるので、該谷部に回収したスラリが残
留することがない。
傾斜面４２Ａ、４２Ａをスラリの安息角以上に傾斜させ
て設定するとともに、その傾斜面４２Ａ、４２Ａに向け
てスラリを流すことにより、傾斜面４２Ａ、４２Ａで回
収したスラリは、強制的に凹部４２の谷部に向けて流れ
落とされる。また、前記谷部に流れ落ちたスラリは、そ
の谷部両端に設けられた噴射ノズル６、４６から排出口
４４に向けて噴射されるスラリによって強制的に排出口
に向かって流されるので、該谷部に回収したスラリが残
留することがない。
【００２２】このように、本実施の形態のオイルパン３
８によれば、スラリ中の砥粒を残留させずに確実にスラ
リを排出することができる。これにより、スラリ固着に
よる排出不良等を防止することができる。また、固着し
たスラリの除去や洗浄作業を別途行わずに済むので、メ
ンテナンス性が向上する。なお、本実施の形態では、噴
射ノズル４６、４６及び４８、４８、…からは、連続的
にスラリを噴射する例で説明したが、間欠的に噴射さ
せ、傾斜面４２Ａ、４２Ａ又は谷部に残留した砥粒を強
制的に排出するようにしてもよい。
８によれば、スラリ中の砥粒を残留させずに確実にスラ
リを排出することができる。これにより、スラリ固着に
よる排出不良等を防止することができる。また、固着し
たスラリの除去や洗浄作業を別途行わずに済むので、メ
ンテナンス性が向上する。なお、本実施の形態では、噴
射ノズル４６、４６及び４８、４８、…からは、連続的
にスラリを噴射する例で説明したが、間欠的に噴射さ
せ、傾斜面４２Ａ、４２Ａ又は谷部に残留した砥粒を強
制的に排出するようにしてもよい。
【００２３】また、インゴット３２の切断終了後に、前
記噴射ノズル４６、４６及び４８、４８、…から洗浄液
を噴射させ、傾斜面４２Ａ、４２Ａ又は谷部に残留した
砥粒を排出するようにしてもよい。なお、この場合、回
収パイプは、排出先を切り換えできるように構成し（例
えば、オイルパン３８の排出口４４に回収パイプを揺動
自在に連結する）、排出先を洗浄液タンク２９側に切り
換えて行う。この他に圧縮エアを噴射して排出するよう
にしてもよい。
記噴射ノズル４６、４６及び４８、４８、…から洗浄液
を噴射させ、傾斜面４２Ａ、４２Ａ又は谷部に残留した
砥粒を排出するようにしてもよい。なお、この場合、回
収パイプは、排出先を切り換えできるように構成し（例
えば、オイルパン３８の排出口４４に回収パイプを揺動
自在に連結する）、排出先を洗浄液タンク２９側に切り
換えて行う。この他に圧縮エアを噴射して排出するよう
にしてもよい。
【００２４】また、本実施の形態では、オイルパン３８
の形状を矩形状とし、その長手方向に沿って谷状の凹部
４２を形成したが、これは、切断部の周囲を覆うハウジ
ング４０の形状に対応させたものであり、使用するハウ
ジング４０の形状に合わせて適宜変更して用いてもよ
い。例えば、本実施の形態で説明したオイルパン３８の
他に角錐や円錐状に形成したものが考えられる。
の形状を矩形状とし、その長手方向に沿って谷状の凹部
４２を形成したが、これは、切断部の周囲を覆うハウジ
ング４０の形状に対応させたものであり、使用するハウ
ジング４０の形状に合わせて適宜変更して用いてもよ
い。例えば、本実施の形態で説明したオイルパン３８の
他に角錐や円錐状に形成したものが考えられる。
【００２５】さらに、本実施の形態では、噴射ノズルを
オイルパン３８の四隅及び凹部４２両端部の６か所に設
置したが、特にこの設置数及び設置位置に限定されるわ
けではなく、効果的に排出できると思われる位置に任意
に設置してもよい。この際、砥粒は隅や段部、面の結合
部等に堆積することが多いので、これらの部分に向けて
スラリを噴射することにより、より効果的砥粒の堆積を
防止することができる。
オイルパン３８の四隅及び凹部４２両端部の６か所に設
置したが、特にこの設置数及び設置位置に限定されるわ
けではなく、効果的に排出できると思われる位置に任意
に設置してもよい。この際、砥粒は隅や段部、面の結合
部等に堆積することが多いので、これらの部分に向けて
スラリを噴射することにより、より効果的砥粒の堆積を
防止することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
オイルパンに回収されたスラリは、噴射ノズルから噴射
される流体によって、強制的に排出口に向けて流され、
排出されるため、オイルパンに砥粒が残留することがな
い。これにより、スラリ固着による排出不良等を防止す
ることができるとともに、固着したスラリの除去や洗浄
作業を別途行わずに済むので、メンテナンス性が向上す
る。
オイルパンに回収されたスラリは、噴射ノズルから噴射
される流体によって、強制的に排出口に向けて流され、
排出されるため、オイルパンに砥粒が残留することがな
い。これにより、スラリ固着による排出不良等を防止す
ることができるとともに、固着したスラリの除去や洗浄
作業を別途行わずに済むので、メンテナンス性が向上す
る。
【図１】本発明に係るオイルパンが適用されたワイヤソ
ーの実施の形態の構成図
ーの実施の形態の構成図
【図２】本発明に係るオイルパンの実施の形態の斜視図
【図３】本発明に係るオイルパンの実施の形態の平面図
【図４】図３のＡ−Ａ断面図
１２…ワイヤリール １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ３２…インゴット ３４…スラリタンク ３８…オイルパン ４０…ハウジング ４２…凹部 ４２Ａ…傾斜面 ４４…排出口 ４６…噴射ノズル ４８…噴射ノズル
Claims (3)
- 【請求項１】 走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻
きかけて形成したワイヤ列に砥粒を含むスラリを供給し
ながら被加工物を押し当ることにより、該被加工物を多
数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、 前記ワイヤ列の下方にオイルパンを設け、該オイルパン
で前記ワイヤ列に供給したスラリを回収するとともに、
該オイルパンに流体を噴射する噴射ノズルを設け、前記
オイルパンに回収したスラリを該噴射ノズルから噴射す
る流体で強制的に前記オイルパンの排出口に流すことを
特徴とするワイヤソーのオイルパン。 - 【請求項２】 前記オイルパンのスラリ回収面を前記ス
ラリ中に含まれる砥粒の安息角以上に傾斜させたことを
特徴とする請求項１記載のワイヤソーのオイルパン。 - 【請求項３】 前記オイルパンのスラリ回収面を１５°
以上に傾斜させたことを特徴とする請求項１記載のワイ
ヤソーのオイルパン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8141284A JPH09314552A (ja) | 1996-06-04 | 1996-06-04 | ワイヤソーのオイルパン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8141284A JPH09314552A (ja) | 1996-06-04 | 1996-06-04 | ワイヤソーのオイルパン |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17932698A Division JPH1119862A (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09314552A true JPH09314552A (ja) | 1997-12-09 |
Family
ID=15288319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8141284A Pending JPH09314552A (ja) | 1996-06-04 | 1996-06-04 | ワイヤソーのオイルパン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09314552A (ja) |
-
1996
- 1996-06-04 JP JP8141284A patent/JPH09314552A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5446027B2 (ja) | ダイシング装置 | |
| KR19980085413A (ko) | 웨이퍼 소잉 장치 | |
| JPH04506493A (ja) | 溶融ストランドを冷却しかつ顆粒にするための装置 | |
| KR102211328B1 (ko) | 연마면 세정 장치, 연마 장치 및 연마면 세정 장치의 제조 방법 | |
| JPH1170456A (ja) | 固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置 | |
| JPH0919921A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH09314552A (ja) | ワイヤソーのオイルパン | |
| JPH1119862A (ja) | ワイヤソー | |
| JP3075143B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JPH09193142A (ja) | ワイヤ式切断加工装置 | |
| JP2000153517A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH11116221A (ja) | 活性炭粒子洗浄装置 | |
| JPH10175207A (ja) | ワイヤソーのワイヤ洗浄装置 | |
| JP4292329B2 (ja) | 電子部品の切断装置 | |
| JPH09262829A (ja) | ワイヤーソー装置 | |
| JP2002239775A (ja) | レーザ切断方法および切断装置 | |
| JP4302979B2 (ja) | 材料の分割のための装置および方法 | |
| JPH0520227B2 (ja) | ||
| JPH09300200A (ja) | ワイヤソーのワイヤ洗浄装置 | |
| JPH11188601A (ja) | ワイヤ式切断加工装置における切断用ワイヤへの加工液供給装置 | |
| KR20070106266A (ko) | 지그재그형 다공 노즐을 갖는 소잉/소팅 장치의 에어나이프 | |
| JP2002016032A (ja) | ウェハー洗浄装置 | |
| JPH09314551A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH05212720A (ja) | 脆性材料の切断装置 | |
| JPS603953A (ja) | 鋳片切断滓処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |