JPH09285109A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH09285109A
JPH09285109A JP8086864A JP8686496A JPH09285109A JP H09285109 A JPH09285109 A JP H09285109A JP 8086864 A JP8086864 A JP 8086864A JP 8686496 A JP8686496 A JP 8686496A JP H09285109 A JPH09285109 A JP H09285109A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 論理回路に供給される電源電圧を正確に設定
しかつ設定値からの変動を十分に抑制し得る半導体装置
を提供する。 【解決手段】 LSIに内部電源電圧発生部(1)とP
LLを設け、PLLのVCOに相当する電圧・周波数変
換手段(2)の制御入力電圧により内部電源電圧発生部
(1)が発生する内部電源電圧を制御する。PLLによ
って、電圧・周波数変換手段(2)の制御入力電圧は、
電圧・周波数変換手段(2)の出力クロックがある一定
の周波数になるように動作するので、この制御入力電圧
に関連する内部電源を用いることにより、正確にレベル
が保持され、且つ、変動の少ない電源電圧が得られ、そ
れにより、遅延時間のバラツキのないLSIを得ること
が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の電源
系統の改良に関し、特に、PLL回路を用いた半導体装
置の電源電圧の安定化に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体装置の例を図14に概略的
に示す。半導体基板に形成された論理回路は、図示しな
い外部電源から電源電圧VDD及び接地電圧GNDが供給
される。高速に動作するLSIの論理回路では内部にお
ける信号相互間の遅延が問題となる。論理回路の遅延時
間は、製造プロセス、動作温度、電源電圧により変動す
る。
【0003】このため、回路設計する際には遅延時間が
変動しても、安定に動作するように十分に回路設計のマ
ージンを取ることか必要となる。例えば、ディジタル回
路の場合には、ロジックシミュレーションにて設計の確
認を行っているが、ロジックシミュレーションでは、論
理回路を構成するIV(インバータ)、NAND等の、
基本的な回路のティピカル条件での遅延時間の特性を予
めライブラリに登録しておき、製造プロセス、動作温
度、電源電圧の変動による遅延時間のバラツキをマージ
ン係数Kをかけることによりシミュレーションを行って
いる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このため、全ての条件
で動作する半導体装置を設計するためには、マージン係
数Kをかけても動作するように回路を設計することか必
要となる。しかしながら、マージン係数Kは通常の場合
大きいため、ティピカル条件で動作してもマージン係数
を変えてシミュレーションすると動作しないということ
が起こり得、回路修正とシミュレーションを何度も繰り
返す必要が生じ得る。
【0005】また、MOSLSIの飽和領域でのドレイ
ン電流ID は、トランジスタのチャネル幅W、チャネル
長Lとして、W/L*(VDD−Vth)2 に比例するの
で、微細化が進みチャネル長Lが細くなり電源電圧VDD
が小さくなる程、チャネル長Lと電源電圧VDDと閾値V
thのバラツキに対する遅延時間の変動は大きくなる。こ
のため、微細化する程マージン係数Kを大きくしなけれ
ばならず、回路設計が難しいため開発期間が長くなると
いう問題が生じる。
【0006】また、このような問題は、論理回路の微細
化、低消費電力化のために、論理回路が低電圧電源で動
作するように設計する場合、設計マージンが少ないため
に特に顕著となる。
【0007】よって、本発明は、遅延時間のバラツキの
少ない半導体装置を提供することを目的とする。
【0008】また、本発明は、論理回路に供給される電
源電圧を正確に設定しかつ設定値からの変動を十分に抑
制し得る半導体装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の半導体装置は、供給されるレベル制御信号に応
じた電源電圧を発生する電源電圧発生手段(1)と、電
源電圧若しくはレベル制御信号に応じた周波数の比較信
号(fV )を発生する電圧・周波数変換手段(2)と、
比較信号(fV )と基準信号(fref )との少なくとも
周波数及び位相のいずれかの差を検出し、この差に対応
する比較結果信号を出力する比較手段(3)と、比較結
果信号に基づいてレベル制御信号のレベルを調節するレ
ベル制御信号発生手段(4、5)と、を含み、前記電源
電圧を前記基準信号(fref )の周波数によって設定す
る、ことを特徴とする。
【0010】また、第2の発明の半導体装置は、直流電
源をチョッパ制御信号に応じて断続するトランジスタチ
ョッパ回路と、この回路の出力を平滑化して直流の電源
電圧を供給する平滑回路と、を有するDC−DCコンバ
ータ(13)と、電源電圧に応じた周波数の比較信号
(fV )を発生する電圧・周波数変換手段(2)と、比
較信号(fV )と基準信号(fref )との少なくとも周
波数及び位相のいずれかの差を検出し、この差に対応す
る比較結果信号を出力する比較手段(11)と、前記比
較結果信号に基づいて前記チョッパ制御信号のデューテ
ィ比をを調節するチョッパ制御信号発生手段(12)
と、を含み、電源電圧を基準信号(fref )の周波数に
よって設定する、ことを特徴とする。
【0011】上記のように、半導体装置(LSI)に内
部電源電圧発生部とPLL(位相同期ループ)を設け、
PLLのVCO(電圧制御発振器)に相当する電圧・周
波数変換手段(2)の制御入力電圧により内部電源電圧
発生部が発生する内部電源電圧を制御する。電圧・周波
数変換手段(2)の制御入力電圧は電圧・周波数変換手
段(2)の出力クロックがある一定の周波数(基準周波
数)に固定されるようにPLLで制御される。この制御
入力電圧により形成された内部電源電圧を用いることに
より、低い電源電圧を得、これを正確に維持することが
できる。ここで形成された内部電源電圧は、LSIの遅
延時間を代表する電圧・周波数変換手段(2)の遅延時
間を常にある一定値に維持するのでLSIの内部回路の
遅延時間もまた一定値に維持される。このため、設計マ
ージンが少なくて済み、遅延時間のバラツキのないLS
Iを得ることが可能となる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実
施の形態例を示しており、半導体装置は、回路電源を供
給する内部電源電圧発生部1と、内部電源電圧発生部1
の発生した電圧を回路電源として所要の論理処理を行う
論理回路6と、内部電源電圧発生部1の発生した電圧を
制御入力とする電圧制御発振部2と、電圧制御発振部2
の出力クロックと外部より入力される基準クロックとを
比較する位相比較部(若しくは周波数比較器)3と、位
相比較部3の比較出力データにより充放電を行うチャー
ジポンプ部4と、チャージポンプ部4の出力を積分し、
平滑した出力を前記内部電源電圧発生部1の制御入力端
に供給するローパスフィルタ部(LPF)5と、によっ
て構成される。
【0013】図2は、内部電源電圧発生部1の構成例を
示している。この例では、内部電源電圧発生部1はオペ
アンプ1a、及びPMOSトランジスタ1bによって構
成される。ローパスフィルタ部5の出力がオペアンプ1
aの反転入力端に供給されると、PMOSトランジスタ
1bのゲートにローパスフィルタ部5の出力に比例した
電圧が印加され、PMOSトランジスタの導通が制御さ
れる。これにより、電源VDDから電圧を降下させた内部
電源電圧V0 が得られる。図2の例では、ローパスフィ
ルタ部5の出力と内部電源電圧発生部lの電圧が、PL
Lループを構成したとき等しくなるようにしている。
【0014】図3は、電圧制御発振部2の構成例を示し
ている。この例では、電圧制御発振部2は、奇数個のイ
ンバータを環状に接続したリングオシレータによって構
成されている。各インバータの両端に印加する電圧を内
部電源電圧によって制御することにより、出力信号の振
幅が制御され、印加電圧に応じた周波数を発振する。
【0015】図4は、位相比較部3の構成例を示してい
る。位相比較部3は、例えば、2つのDフリップフロッ
プ3a及び3b、3個のNANDゲート3c〜3e、1
個のインバータ3fによって構成することができる。こ
の回路の動作を図5に示す。位相比較部3は、基準クロ
ック信号fref に対して電圧制御発振部2の出力クロッ
ク信号fV が遅れるとUP信号を出力する。基準クロッ
ク信号fref に対して電圧制御発振部2の出力クロック
信号fV が進むとDN信号を出力する。
【0016】図6は、チャージポンプ部4の構成例を示
している。チャージポンプ部4は、PMOSトランジス
タ4a、充電用電流源4b、NMOSトランジスタ4
c、放電用電流源4dによって構成される。UP信号が
“L”のとき、PMOSトランジスタ4aが導通して電
流源4bにより次段のローパスフィルタ部5の積分回路
を充電する。DN信号が“H”のとき、NMOSトラン
ジスタ4cが導通して吸入電流源4dによって次段のロ
ーパスフィルタ部5の積分回路を放電する。
【0017】図7は、ローパスフィルタ部5の構成例を
示している。抵抗R1、R2、及びキャパシタC1から
なる積分回路によって低域通過フィルタが構成されてい
る。ローパスフィルタ部5の出力は内部電源電圧発生部
1に供給される。
【0018】図8は、論理回路6の後段に接続される回
路の構成例を示している。論理回路6は低電圧の内部電
源電圧で駆動されるため、出力レベルが低い。この低い
出力で規格化されたLSIの出力信号を得るためにレベ
ルシフト部21が使用される。レベルシフト部21の出
力によってI/Oバッファ22が駆動される。I/Oバ
ッファ22を介して図示しない外部回路(装置)と論理
回路が接続される。論理回路6は内部電源により、I/
Oバッファ部22は外部インタフェース用電源により、
レベルシフト部21は内部電源及び外部インタフェース
用電源により、動作する。
【0019】通常、LSIの出力信号は規定されている
ため、この仕様を満足し得る電源電圧を出力バッファに
は供給する必要がある。しかし、内部論理回路の出力信
号を直接出力バッファに接続すると、論理回路の“H”
レベルの出力信号電圧の方が出力バッファの電源電圧よ
りも低いため、論理回路の出力が“H”レベルのとき出
力バッファのPMOSトランジスタ(図示せず)が完全
にオフしない。このため、出力バッファには直流的な電
流が流れる。これを防止するためにレベルシフト回路を
挿入する。
【0020】図9に、レベルシフト部21の回路構成例
を示す。レベルシフト回路は、2つのたすきがけ接続さ
れたPMOSトランジスタと、これ等2つのトランジス
タに夫々接続される2つのNMOSトランジスタによっ
て構成される。この回路の両端には外部インタフェース
(IF)電源が印加される。そして、論理回路6の相補
的な出力が2つのNMOSトランジスタのゲートに印加
され、PMOSトランジスタのドレインにシフト出力が
得られる。
【0021】次に、上記回路の動作を説明する。位相比
較部3は電圧制御発振部2の出力クロックfV と基準ク
ロックfref とを比較し、電圧制御発振部2の出力クロ
ックfV の位相が早ければDN信号、遅ければUP信号
を、位相差に相当する幅のパルスで出力する。チャージ
ポンプ部4ではUP信号あるいはDN信号のパルス幅に
応した充電あるいは放電を行ない、位相差信号をアナロ
グ電圧に変換する。ローパスフィルタ部5はチャージポ
ンプ部4により充電あるいは放電されたキャパシタ電荷
を直流電圧に変換する。また、高調波ノイズ分を除去す
る。内部電源電圧発生部1はローパスフィルタ部5の出
力電圧に比例した電圧を内部電源電圧として発生させ
る。内部電源電圧は、前述したように、論理回路6及び
電圧制御発振部2に供給される。
【0022】電圧制御発振部2の出力クロックfV の方
が基準クロックfref より位相が遅れていれば、その位
相差分のUP信号が位相比較部3より出力され、チャー
ジポンプ部4によりUP信号のパルス分のチャージが行
われる。このため、LPF5の出力はほんの少し電圧が
上昇する。そして、図2のオペアンプlは反転入力端側
の入力電圧が上昇するため出力電圧が低下する。この結
果、PMOSトランジスタ1bの出力電流は多く流れる
ことになり、内部電源電圧発生部の出力電圧(内部電源
電圧)が上昇する。このため、電圧制御発振部2の出力
クロックfvの周波数が高くなり、基準クロックfref
と同じ位相になるように動作する。従って、内部電源電
圧発生部1、電圧制御発振部2、位相比較回路3、チャ
ージポンプ部4、ローパスフィルタ部5にてPLLルー
プとして動作する。
【0023】逆に、電圧制御発振部2の出力クロックf
V の方が基準クロックfref よりも位相か進んでいれ
ば、内部電源電圧発生部1の出力電圧が低下する。この
ため、電圧制御発振部2の出力クロックfV の周波数が
低くなり、基準クロックfrefと同じ位相になるように
動作する。
【0024】このように、位相同期ループによって、内
部電源電圧発生部1の出力電圧は、電圧制御発振部2の
出力クロックfV が基準クロックfref と同じ周波数に
なる電圧に落ちつく。位相同期ループは、プロセス、温
度のバラツキがあっても、基準周波数と電圧制御発振部
2の周波数とが同じになるように動作するので、内部電
源電圧発生部1の出力電圧は常に電圧制御発振部2が基
準周波数で動作する電圧に落ちつく。従って、基準周波
数fref によって正確に維持される内部電源電圧を設定
することができる。基準周波数fref は、LSIのシス
テムクロックを分周あるいは逓倍して用いることができ
る。また、外部より供給される電源VDDは、バラツキが
あっても図1の回路が動作する内部電源より十分大きな
電圧であれば内部電源電圧発生部1の出力電圧に影響し
ない。従って、この安定した電源電圧をLSIの内部電
源電圧とすることにより、遅延バラツキのない論理回路
を構成可能となる。
【0025】図2に示した内部電源電圧発生部は、内部
電源電圧発生部の入力電圧と出力電圧が同しになるよう
に動作するが、入力電圧により出力電圧が変動し、電圧
制御発振部2の周波数がリファレンス周波数と同じにな
る電圧を発生できるものであれば良い。例えば、入力電
圧に反比例した出力電圧を出力するものでも良い。この
場合、位相比較部3の入力を入れ換えることでPLLと
して動作する様になる。
【0026】図1に示した例では電圧制御発振部2の出
力が位相比較回路3に接続されているが、電圧制御発振
部2と位相比較回路3の間に1/Nにクロックを分周す
るための分周器を挿入した構成のものでも良い。
【0027】また、図8の外部インタフェース用電源と
オペアンプ1aとPMOSトランジスタ1bの電源とは
別電源にしても良い。また、電源を共用する構成として
も良い。
【0028】図10に本発明の第二の実施例を示す。同
図において図1と対応する部分には同一符号を付し、か
かる部分の説明は省略する。
【0029】この構成と図1の構成との違いは、内部電
源電圧発生部1の出力と電圧制御発振部2の電源を分離
している。また、ローパスフィルタ部5の出力電圧によ
って電圧制御発振部2を駆動するためバッファ増幅部7
を追加していることである。従って、内部電源電圧V2
をローパスフィルタ部5の出力電圧V1 に比例する値に
設定し易い。勿論、V1 =V2 と設定することができ
る。
【0030】図11にバッファ増幅部7の例を示す。バ
ッファ増幅部をオペアンプによって構成することができ
る。
【0031】図12は、内部電源電圧発生部1をDC−
DCコンバータ13によって構成する例を示している。
同図において図1と対応する部分には同一符号を付し、
かかる部分の説明は省略する。
【0032】周波数比較部11は、例えば、電圧制御発
振部2の出力信号fV の周波数をカウントするカウンタ
と、基準クロックfref の周波数をカウントするカウン
タと、両カウンタの値を比較する比較器とからなる。な
お、周波数及び位相を比較する周波数・位相比較器の構
成とすることができる。また、位相比較器によって構成
することも可能である。制御クロック発生部12は、周
波数の比較結果によって、2つのクロックG1及びG2
のデューティ比を制御する。
【0033】図13は、DC−DCコンバータ13の構
成例を示している。この例では、DC−DCコンバータ
は、チョッパ回路とローパスフィルタ回路からなるスイ
ッチング電源によって構成される。チョッパ回路を構成
する2つのMOSトランジスタM1及びM2のゲートに
はクロックG1及びG2が夫々印加される。トランジス
タM1及びM2を交互にオン・オフし、入力直流電源か
ら台形波形をつくる。これをインダクタLf 及びキャパ
シタCf で形成する二次のローパスフィルタに通してリ
ップルの小さいDC電圧に変換する。例えば、直流6ボ
ルトの電源から3.3ボルトや1.5ボルトの直流電圧
が得られる。電圧値はトランジスタM1とM2のオン時
間の比で調整される。電源電圧維持の全体的な動作は図
1の場合と同様である。
【0034】なお、実施例では、図1、図10及ぴ図1
2の内部電圧発生回路は外部の電圧を低くする降圧回路
であるが、外部の電圧より内部の電圧を高くする昇圧回
路とすることも可能である。
【0035】また、MPU(マイクロプロセッサ)のよ
うにスタンバイモードの時にクロック周波数を落してス
タンバイモード時の消費電流を減らしている製品の場合
には、本発明を採用することにより、スタンバイモード
時にリファレンスの周波数を遅くすることにより、ノー
マルモードに比べて更に内部電圧を低くすることがで
き、消費電流を減らすことが可能である。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体装
置を使用することにより論理回路の電源電圧が安定化さ
れるので、論理回路における遅延バラツキが減少する。
このため、設計期間の大幅な短縮が可能となる。また、
従来では電源電圧は外部により一定に保たれていたが、
基準周波数を変えることにより、論理回路が常に動作す
る限界のところまで内部電圧を細かい設定で下げること
が可能となり、論理回路の消費電流IDDを削減すること
が可能となる。
【0037】例えば、従来は電源電圧が変動しても動作
するようにLSIを設計しているが、電源電圧の変動に
対する余裕(動作保証)を考慮考してLSIが動作する
最低の電圧では使用出来なかった。しかし、本発明によ
り、常にLSIが動作する最低電圧で使用することが可
能となった。このため、放熱性が低いため安価なプラス
チックパッケージを使用することが出来なかった従来製
品でもプラスチックパッケージを使用することが出来る
ようになる。また、電池で動作する携帯機器用のLSI
の場合、携帯機器の電池の寿命を長くすることが可能と
なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示すブロック図で
ある。
【図2】図1の内部電源電圧発生部1の回路構成を示す
ブロック図である。
【図3】図1の電圧制御発振部2をリングオシレータで
構成した例を示す回路図である。
【図4】図1の位相比較回路3の回路構成例を示すブロ
ック図である
【図5】位相比較回路3の動作を説明するためのタイミ
ングチャート。
【図6】図1のチャージポンプ部4の回路構成例を示す
ブロック図である。
【図7】図1のローパスフィルタ5の構成例をしめす回
路図である。
【図8】論理回路6とその後段回路との接続例を説明す
る説明図である。
【図9】レベルシフト回路21の構成例を示す回路図で
ある。
【図10】本発明の第2の実施の形態を示すブロック図
である。
【図11】図10のバッファ増幅部7の構成例を示すブ
ロック図である。
【図12】第3の実施の形態を示すブロック図である。
【図13】DC−DCコンバータ13の構成例を示す回
路図である。
【図14】従来の半導体装置を説明するためのブロック
図である。
【符号の説明】
1 内部電源電圧発生部 2 電圧制御発振部 3 位相比較部 4 チャージポンプ部 5 ローパスフィルタ部 6 論理回路部 7 バッファ増幅部 11 周波数比較部 12 制御クロック発生部 13 DC−DCコンバータ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成8年5月15日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図4
【補正方法】変更
【補正内容】
【図4】
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図5
【補正方法】変更
【補正内容】
【図5】

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】供給されるレベル制御信号に応じた電源電
    圧を発生する電源電圧発生手段と、 前記電源電圧若しくは前記レベル制御信号に応じた周波
    数の比較信号を発生する電圧・周波数変換手段と、 前記比較信号と基準信号との少なくとも周波数及び位相
    のいずれかの差を検出し、この差に対応する比較結果信
    号を出力する比較手段と、 前記比較結果信号に基づいて前記レベル制御信号のレベ
    ルを調節するレベル制御信号発生手段と、を含み、 前記電源電圧を前記基準信号の周波数によって設定す
    る、 ことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】直流電源をチョッパ制御信号に応じて断続
    するトランジスタチョッパ回路と、この回路の出力を平
    滑化して直流の電源電圧を供給する平滑回路と、を有す
    るDC−DCコンバータと、 前記電源電圧に応じた周波数の比較信号を発生する電圧
    ・周波数変換手段と、 前記比較信号と基準信号との少なくとも周波数及び位相
    のいずれかの差を検出し、この差に対応する比較結果信
    号を出力する比較手段と、 前記比較結果信号に基づいて前記チョッパ制御信号のデ
    ューティ比を調節するチョッパ制御信号発生手段と、を
    含み、 前記電源電圧を前記基準信号の周波数によって設定す
    る、 ことを特徴とする半導体装置。
  3. 【請求項3】前記電圧・周波数変換手段が出力する比較
    信号を分周して前記比較手段に供給する分周手段を、更
    に備える、 ことを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】前記レベル制御信号発生手段と、前記電源
    電圧発生手段及び前記電圧・周波数変換手段と、の間に
    バッファ増幅器を設けた、 ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  5. 【請求項5】前記半導体装置は、スタンバイモード時に
    は前記基準信号の周波数を下げることを特徴とする請求
    項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置。
  6. 【請求項6】第1の電源電圧によって動作する論理回路
    と、 第2の電源電圧に応じた周波数のクロック信号を発生す
    るクロック発生部と、 前記クロック信号と基準クロック信号との位相比較を行
    う位相比較部と、 入力信号を積分回路によって平滑化するローパスフィル
    タ部と、 前記位相比較の結果により前記ローパスフィルタ部の充
    放電を行うチャージポンプ部と、 前記ローパスフィルタ部の出力に応じたレベルの回路の
    電源電圧を発生する電源電圧発生部と、を備え、 前記論理回路と前記クロック発生部とを動作させる前記
    第1及び第2の電源電圧を共通にしてこれを前記電源電
    圧発生部から供給し、電源電圧の変動に応じて前記クロ
    ック信号の周波数を変化させるようにした、 ことを特徴とする半導体装置。
  7. 【請求項7】第1の電源電圧によって動作する論理回路
    と、 第2の電源電圧に応じた周波数のクロック信号を発生す
    るクロック発生部と、 前記クロック信号と基準クロック信号との位相比較を行
    う位相比較部と、 入力信号を積分回路によって平滑化するローパスフィル
    タ部と、 前記位相比較の結果により前記ローパスフィルタ部の充
    放電を行うチャージポンプ部と、 前記ローパスフィルタ部の直流出力に応じて前記第2の
    電源電圧のレベルを定めるバッファ増幅器と、 前記第2の電源電圧のレベルに応じて前記第1の電源電
    圧のレベルを定める電源電圧発生部と、を備え、 前記基準クロック信号の周波数によって前記第1及び第
    2の電源電圧を設定するようにした、 ことを特徴とする半導体装置。
  8. 【請求項8】前記クロック発生部は、回路の両端に前記
    電源電圧が印加される単位回路を複数縦列に接続したリ
    ングオシレータによって構成される、 ことを特徴とする請求項6又は7記載の半導体装置。
  9. 【請求項9】前記単位回路は、CMOSトランジスタ構
    成のインバータである、 ことを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
  10. 【請求項10】前記クロック発生部が出力したクロック
    信号を分周して前記位相比較部に供給する分周手段を、
    更に備える、 ことを特徴とする請求項6乃至9のいずれかに記載の半
    導体装置。
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