JPH09269249A - センサ装置 - Google Patents
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Abstract
温度等を検知することができる安価な小型のセンサ装置
を提供する。 【構成】 センサ装置は振動子10と,振動子10に高周波
振動を印加する加振装置20と,振動子10に光ビームを投
射する半導体レーザ30と,振動子10によって反射された
光ビームを受光する半導体位置検出素子40から構成され
る。振動子10は曲げ変形モードとねじれ変形モードの2
つの共振振動モードを有している。半導体位置検出素子
40は,光ビームの入射位置を表わす電気信号を処理回路
50に与える。処理回路50では,ねじれ変形モードの共振
周波数fT の変化から温度変化を検出し,曲げ変形モー
ドの共振周波数fB の変化から湿度変化を検出し,共振
振動の振動振幅の変化から圧力変化を検出する。
Description
加速度等の複数種類の環境情報を検知するセンサ装置に
関する。
ンサ装置として次のようなものが知られている。
子の温度変化による発振周波数変化に基づいて温度検知
するものもある。
式のものや,アルミニウム陽極酸化膜を用いた電気容量
式のものなどがある。最近ではFET型湿度センサも開
発されている。
形させ,その変形量を静電容量の変化として,または歪
みゲージで検出するものが主である。
圧電素子で検出するもの,発生した力によって弾性体を
変形させ,弾性体の変形を静電容量の変化として,また
は歪みゲージで検出するもの等がある。
は,検出された環境情報は電気信号に変換され,電線や
配線等を介して外部の処理装置やコントローラに与えら
れていた。しかしながら,複数の場所での環境情報を測
定する場合には電線による信号伝達では自由度が制限さ
れてしまう。またセンサ装置と処理装置との距離が大き
い場合には信号雑音が増加し,検出精度が劣化するとい
う問題があった。
電波を用いて無線で処理装置に送信しているものもあ
る。しかし,センサ装置内に検出信号を送信する特別な
機能が必要となり,センサ装置が大型化,高価格化す
る。
有する振動子を共振させる共振型センサ装置において
は,共振特性の変化を検知するための手段として,歪み
検出素子や静電電極を振動子の上に形成する必要があ
る。これらの形成プロセスは複雑で,センサ装置の製作
コストを高くしている要因のひとつであった。
べき箇所を,検出に関する信号を処理して環境情報を作
成する装置から離すことができ,しかも従来のような通
信手段を必要としないセンサ装置を提供することを目的
とする。
1つの共振振動モードを有し,反射面をもつ振動子,上
記振動子の反射面に光ビームを投射する光源,上記振動
子を加振する加振手段,上記振動子の反射面によって反
射された光ビームの入射位置を表わす電気信号を出力す
る位置検出素子,上記位置検出素子から得られる電気信
号に基づいて,上記振動子の共振特性を表わす特性信号
をつくる特性抽出手段,および上記特性抽出手段から得
られる特性信号に基づいて物理量を表わす出力信号をつ
くる処理手段を備えている。
もつ共振振動モードにおける共振周波数や減衰特性(共
振振幅)などを指す。
収縮するので,振動子の共振周波数が変化する。湿度変
化によって振動子に吸着または離脱される水分の量が変
化するので,共振周波数が変化する。振動子に加えられ
る圧力(気圧)は振動子の減衰特性に大きな影響を及ぼ
す。この発明はこのような現象を利用して1つの振動子
で少なくとも2種類以上の物理量を検出する。
づいて温度が検知される。振動子の減衰特性の変化に基
づいて気圧が検出される。振動子の異なる2つの共振周
波数に基づいて温度と湿度が検出される。
出すべき箇所に置かれる。この検出箇所から離れた位置
に位置検出素子が置かれる。この発明によると,光源か
ら投射され,振動子によって反射された光ビームは,振
動子から離れた位置に設けられた位置検出素子(PS
D)に受光される。振動子からの反射光は位置検出素子
の上を走査する。振動子の共振特性が変化すると,位置
検出素子における反射光の入射位置が変化する。この変
化から振動子の周囲の温度,湿度および気圧を得ること
ができる。
置等が置かれる場所から離れた箇所(必要ならば複数箇
所)における物理量を検知することができる。物理量検
出のために用いる光ビームを利用して検知箇所と信号処
理箇所とを結んでいるので,従来のような通信手段は不
要であり,装置の小型化,低価格化を図ることができ
る。さらに振動検知手段としてピエゾ抵抗素子や静電電
極等を形成する必要がないため,センサ装置全体の製作
プロセスを簡略化することができる。
共振周波数が等しいまたはほぼ等しい別個の2つの共振
振動モードを有するように構成される。この場合,好ま
しくは,上記共振特性の1つが異なる2つの共振振動モ
ードにおける共振振動の位相差であり,上記処理手段は
この位相差から温度を検出する。
方の共振周波数を温度変化によって大きく変動するよう
に,他方の共振周波数を温度変化の影響をほとんど受け
ないように,あらかじめ振動子を形成しておく。2つの
共振振動モードの共振周波数が等しい(またはほぼ等し
い)場合,温度変化による共振周波数の変化は,2つの
振動の位相のずれとして現れる。この位相のずれから温
度を検出することができる。
い(またはほぼ等しい)場合には,上記振動子を,振動
子のもつ2つの共振振動モードにおける2つの共振周波
数の間にありかつ2つの振動振幅が等しくなる一の周波
数で加振してもよい。
(圧力)を検出するものである。
導体レーザ30および半導体位置検出素子40から構成され
る。
定された固定部14と,これらを連結する細長い弾性変形
部16とから構成される。振動子10は単結晶シリコンから
形成される。好ましくは,アルカリ系エッチング液によ
る高精度な垂直エッチングによって,振動部12,固定部
14および弾性変形部16が一体的に形成される。
光ビームを反射させるために鏡面となっている。この鏡
面は,たとえば金属を蒸着またはスパッタすることによ
って形成される。
られた一方向に加振する。好ましくは圧電薄膜を積層し
た圧電素子(圧電薄膜アクチュエータ)が用いられる。
加振装置20による振動方向をX方向とする。振動子10の
弾性変形部16はX方向と直交する方向にのびている。こ
の弾性変形部16の長手方向をZ方向とする。XおよびZ
方向にそれぞれ直交する方向をY方向とする。
に関して非対称な形状をしている。したがって,振動部
12の重心はZ軸から外れた位置にある。振動部12のミラ
ーが形成されていない面(裏面)には,高分子膜等の吸
湿性に優れた薄膜18が,Z軸に沿って形成されている。
られる。弾性変形部16はX方向に曲がるとともに,振動
部12がZ軸に関して非対称となっているのでZ軸を中心
にねじれる。すなわち,弾性変形部16はY軸(第1の回
転軸)回りに曲がる曲げ変形モード(θB 方向)と,Z
軸(第2の回転軸)回りにねじれるねじれ変形モード
(θT 方向)の2つの共振振動モードを有している。曲
げ変形モードにおける共振周波数をfB ,ねじれ変形モ
ードにおける共振周波数をfT とする。これらの共振振
動モードの共振周波数fB およびfT の両方の成分を含
む振動を加振装置20で発生させることにより,弾性変形
部16がこれらの共振周波数に共振する。
である。横軸は加振周波数fを,縦軸は弾性変形部16の
振動振幅Aをそれぞれ示している。
向)の振動の共振周波数fT と,曲げ変形モード(θB
方向)の振動の共振周波数fB との2つの共振点(振動
振幅が最大となる点;Q値)を有している。
てシフトする。
湿度変化に応じてシフトする。
幅AT およびAB は,周囲の圧力(気圧)の変化によっ
て増減する(図2では共振周波数fB における振動振幅
AB変化のみが図示されている)。
化,ならびに振幅AT およびAB の変化に基づいて,温
度,湿度および気圧が,以下に詳述するようにして検知
される。
ね剛性をk,回転軸(Y軸またはZ軸)のまわりの回転
慣性モーメントをI,振動子10の周囲の気体(空気)の
粘性係数をcとすると,振動子10の共振周波数f(f
T ,fB) と減衰比ζは次式で表される。 f=1/2π・(k/I)1/2 …式1 ζ=c/(I/k)1/2 …式2
量をm,回転半径をrとすると, I=mr2 …式3 と表される。
動子10は熱膨張(または熱収縮)する。これにより振動
子10の振動部12,固定部14,弾性変形部16の相対的な位
置関係が変化し,共振振動の回転半径rが変化する。式
3より回転慣性モーメントIが変化する。式1より共振
周波数f(fT ,fB )が変化する。
の共振周波数fT との関係を表すグラフである。グラフ
に示すように,温度が上昇すると共振周波数fT は低下
する傾向がある。振動子10の共振周波数fT を計測する
ことによって,このグラフから振動子10の周囲の温度を
検知することができる。
動部12上にZ軸(第2の回転軸)に沿って設けられた吸
湿性薄膜18に水分が吸着(または吸湿性薄膜18に吸着し
ていた水分が離脱)する。これにより薄膜18が形成され
た部分の質量が変化する。質量変化によって式3から回
転慣性モーメントIが変化する。また式1に基づき共振
周波数fの変化が引き起こされる(湿度が変化すること
によって空気の粘性係数cが変化し,これによって慣性
モーメントIが変化することによる影響は無視できるも
のとする)。
る)をΔm,回転軸から質量が変化した後の振動子1の
重心までの距離をLとすると,回転慣性モーメントの変
化量ΔIは次式で表される。 ΔI=Δm・L2 …式4
ーメントIの変化ΔIに与える影響が大きいことが式4
からわかる。
回転軸)上に一致させて設けられている。したがって,
Z軸回りの振動(ねじれ変形モード)の共振周波数fT
は,湿度変化の影響をほとんど受けない。一方,吸湿性
薄膜18はY軸(第1の回転軸)から遠く離れているの
で,Y軸回りの振動(曲げ変形モード)の共振周波数f
B は,湿度変化によって大きく変化する。
考えてよいので,上述したように,この共振周波数fT
に基づいて温度の検知が可能である。共振周波数fB は
温度変化と湿度変化の両方の影響を受けて変化する。共
振周波数fB の変化分から温度に起因する変化分を差引
けば,残りは湿度の変化によるものである。
化を示すものである。グラフに示すように,湿度が上昇
するにつれて共振周波数fB は低下する傾向にある。共
振周波数fB を計測し,計測した共振周波数を温度に応
じて補正すれば,補正した後の共振周波数に基づいて湿
度を検知することができる。
動子10の周囲の気体(空気)粘性係数cが変化し,式2
より減衰比ζが変化する。したがって,振動子10の減衰
比ζの変化を検知することによって,振動子10の周囲の
気圧変化を検知することができる。
振動周波数をωn ,加振周波数をωとすると,次式が成
り立つ。 A=A0/〔{1−(ω/ωn)2}2+{2ζ(ω/ωn)2}2〕1/2 …式5
び加振振幅A0 から求めることができる。すなわち,振
動振幅A(AT ,AB )を計測することによって減衰比
ζを求めることができる。
の振動振幅A(AT ,AB )との関係を表すグラフであ
る。グラフに示すように,気圧が上昇するにつれて振動
振幅A(AT ,AB )は低下する。振動振幅A(AT ,
AB )の変化を検知することによって,振動子10の周囲
の気圧変化を検知することができる。
B とを含む一定振幅の駆動信号によって,加振装置20は
連続的に駆動される。図6は,この加振装置20に与えら
れる駆動信号の波形と,振動子10の振動を表す振動波形
の関係を示している(共振周波数fT ,fB のいずれか
一方の成分のみを示す)。
の波形が駆動信号の波形よりも常に位相がπ/2だけ遅
れるように加振制御が行われる。このような制御が行わ
れている状態において加振装置20に与えられる駆動信号
の周波数から,振動子10の共振周波数を間接的に求める
ことができる。
検出素子(PSD;position sensitive device )40に
受光される。図7は半導体位置検出素子40に受光された
光信号の処理回路50の構成例を示している。
T 方向)の振動は,YZ平面上ではY方向の単振動とな
る。またY軸回りに曲がる曲げ変形モード(θB 方向)
の振動は,YZ平面上ではZ方向の単振動となる。した
がって,振動部12からの反射光は,Y方向の単振動とZ
方向の単振動とを合成して得られる図形(いわゆるリサ
ジュー図形;円形軌跡および直線軌跡を含む)を描くこ
とになる。
て,反射光のY方向およびZ方向の入射位置座標を表わ
す電気信号を発生する。これらの電気信号は,処理回路
50の周波数/電圧(F/V)変換回路52aおよび52b
と,ピークホールド回路54aに与えられる。
入射位置座標を表わす電気信号は,Y方向の単振動の周
波数を表わす電圧信号に変換される。この電圧信号は共
振周波数fT を表わすものとして演算処理回路56に入力
される。
入射位置座標を表わす電気信号は,Z方向の単振動の周
波数を表わす電圧信号に変換される。この電圧信号は共
振周波数fB を表わすものとして演算処理回路56に入力
される。
向の入射位置座標を表わす電気信号からY方向の単振動
のピーク値,すなわち振幅の最大値AT が検出され,検
出されたピーク値を表わす電圧信号が出力され,演算処
理回路56に与えられる。Z方向の単振動の振幅の最大値
AB を表わす信号を得るために,ピークホールド回路54
aに代えて,鎖線で示すようにピークホールド回路54b
を設けてもよい。
度と共振周波数fT との関係を示すテーブルを記憶して
いる。このテーブルは,振動子10を可振しながら温度を
変えて共振周波数fT を測定することによりあらかじめ
作成される。演算処理回路56において,このテーブルを
参照して,F/V変換回路52aから得られる共振周波数
fT に対応する温度が導き出される。
な,湿度と補正共振周波数との関係を示すテーブルがあ
らかじめ設定されている。演算処理回路56は,F/V変
換回路52bによって出力された共振周波数fB から,共
振周波数fT から既に得られた温度における周波数変化
分を差引き,補正共振周波数を得る。この補正共振周波
数に基づいて上記のテーブルを参照し,湿度が導き出さ
れることとなる。
うな,気圧と振動振幅AT (またはAB )との関係を示
すテーブルがあらかじめ設定されている。ピークホール
ド回路54a(または54b)から得られる振動振幅AT
(またはAB )に基づいて上記テーブルを参照し,気圧
が得られる。
を,半導体位置検出素子40に入射した反射光の位置(走
査軌跡)の変化から検知する。振動子10,加振装置20お
よび半導体レーザ30から構成される光スキャナ1を温度
等を検出したい場所に(必要ならば複数個)配置し,こ
の場所から離れた位置に半導体位置検出素子40および処
理回路50を設けることができる。また振動検知手段とし
て弾性変形部16にピエゾ抵抗素子を設けたり,振動部12
に静電電極を設けたりする必要がないため,センサ装置
全体の製作プロセスが簡略化する。
調整する空調装置(エアコン)に適用することができ
る。図8はこのセンサ装置を空調装置に適用した例を示
している。
よび半導体レーザ30を含む光スキャナ1が,部屋60内の
温度および湿度を検知すべき場所(たとえば天井付近や
床面付近,家具64の上など)に配置される。半導体位置
検出素子40および処理回路50は,空調装置62内に設けら
れている。部屋60内の各所の環境情報(温度および湿
度)を表わす光信号が,光スキャナ1から空調装置62の
半導体位置検出素子40に与えられる。半導体位置検出素
子40は反射光の入射位置座標を表わす電気信号を発生す
る。これらの電気信号は処理回路50に与えられる。上述
したように演算処理回路56において温度および湿度が検
出される。空調装置62は検出された温度および湿度に基
づいて,部屋60内の温度および湿度を調節する。
なく,光スキャナ1内にタイマを設け,あらかじめ定め
られた一定の時間間隔で加振装置20を駆動させるように
してもよい。光スキャナ1を間欠駆動させることによっ
て消費電力を削減することができる。特に光スキャナ1
を内蔵電池で駆動させる場合に有効である。
よってスキャン開始信号およびスキャン終了信号を送
り,光スキャナ1に設けられた信号検出機構によって上
記信号を受信するようにしてもよい。空調装置62が指示
したタイミングで光スキャナ1のスキャンを開始させ,
終了させることができ,かつ消費電力の削減を図ること
ができる。
の異なる異種の部材が形成される。温度変化によって熱
膨張係数の違いから弾性変形部16に応力(そり)が発生
する。この応力によって弾性変形部16の剛性が変化する
ため,温度変化によって共振周波数fT が大きく変化す
る。上記と同じように,この共振周波数fT に基づいて
温度を検知することができる。
に相当する斜視図である。
圧(圧力)の2つの物理量を検出するものである。2つ
の共振周波数fT およびfB が等しくなるようにように
振動子10をあらかじめ形成しておく。ねじれ変形モード
(θT 方向)の振動と曲げ変形モード(θB 方向)の振
動の位相差から,温度を検出する。気圧は第1実施例と
同じように振動振幅AT に基づいて検出される。
形部16の中心線(Z軸)から少しだけ外れた位置にくる
ように,振動部12が形成されている。振動子10の周囲の
温度が変化した場合,振動子10は熱膨張(または熱収
縮)する。これにより振動子10の振動部12,固定部14お
よび弾性変形部16の相対的な位置関係が変化し,曲げ変
形モードの共振周波数fB が大きくシフトする。一方,
振動部12の重心のZ軸からのずれ量は第1実施例と比べ
て極めて小さいため,ねじれ変形モードの共振周波数f
T は小さくシフトする(またはほとんど変化しない)。
湿性薄膜18は形成されていない。したがって,曲げ変形
モードの共振周波数fB とねじれ変形モードの共振周波
数fT はともに湿度変化の影響を受けない。
変形モードの振動の位相差と,振動子10の周囲の温度と
の関係を表すグラフである。
うに(または極めて接近させて)振動子10をあらかじめ
形成しておく。振動子10は加振装置20によって常に一定
の加振周波数f0 (共振周波数fT =fB に等しい)で
加振される。
波数fB は周囲の温度変化に応じて大きくシフトする。
一方,ねじれ変形モードの共振周波数fT は周囲の温度
変化によって小さくシフトする。2つの共振周波数の変
化は,2つの振動の位相のずれとして現れる。グラフに
示すように,温度が上昇するにつれて,曲げ変形モード
の振動の位相とねじれ変形モードの振動の位相の差が大
きくなる。この位相差を計測することによって,このグ
ラフから振動子10の周囲の温度を検知することが可能と
なる。
た光信号の処理回路50の構成例を示す。
およびZ方向の入射位置座標を表わす信号を発生する。
これらの信号は位相差検出回路58およびピークホールド
回路54aに与えられる。
は,Y方向の単振動とZ方向の単振動との位相差を表わ
す電圧信号に変換され,演算処理回路56に入力する。
向の入射位置座標を表わす電気信号からY方向の単振動
のピーク値が検出され,検出されたピーク値を表わす電
圧信号が出力される。これらの電圧信号は振動振幅AT
のピーク値を表わすものとして演算処理回路56に入力さ
れる。Z方向の単振動の振幅の最大値AB を表わす信号
を得るために,ピークホールド回路54aに代えて,鎖線
で示すようにピークホールド回路54bを設けてもよい。
ねじれ変形モードの振動と曲げ変形モードの振動の位相
差と温度との関係を示すテーブルを記憶している。この
テーブルは,振動子10を可振しながら温度を変えて位相
差を測定することによりあらかじめ作成される。演算処
理回路56において,このテーブルを参照して振動子10の
周囲の温度が導き出される。
様に,図5に示すような気圧と振動振幅AT との関係を
示すテーブルがあらかじめ設定されている。ピークホー
ルド回路54から得られる振動振幅AT に基づいて上記テ
ーブルを参照し,気圧が得られる。
周波数fT と曲げ変形モードの共振周波数fB が等しく
なる(周波数比が1:1になる)ようにように振動子10
が形成される。したがって,振動子10からの反射光が半
導体位置検出素子40の上に描く走査軌跡は,ねじれ変形
モードの振動と曲げ変形モードの振動の位相差がπ/2
の場合に円形になる。また位相差が0またはπの場合に
は走査軌跡は直線になる。位相差が他の値の場合(位相
差が0,π/2,πからずれた場合)には,走査軌跡は
楕円形になる。この走査軌跡の真円性や直線性を評価す
ることによって温度を検出するようにしてもよい。
子10は,常に一定の加振周波数f0で加振される。加振
周波数f0 を共振周波数fT ,fB の変化に応じて変え
るようにしてもよい。特に振動子10を,図12に示すよ
うに,2つの共振周波数fTとfB の間にあり,かつね
じれ振動振幅および曲げ振動振幅が等しくなる一の周波
数f1 で加振するように構成してもよい。図13は加振
周波数fと,共振周波数fT およびfB との位相差を示
すグラフである。
斜視図である。
たスキャナ基板(振動子)70および固定基板72と半導体
位置検出素子40から構成される。スキャナ基板70と固定
基板72は,高温雰囲気中におけるフュージョン・ボンデ
ィングによって接合される。
および弾性変形部16が形成されている。固定部14の上面
には,固定部14に高周波振動を印加するための加振装置
20が設けられている。振動部12の上面には,弾性変形部
16の長手方向に沿って吸湿性薄膜18が形成されている。
振動部12の下面はミラーになっている。
されている。固定基板72の振動部12,固定部14および弾
性変形部16に対応する部分には,逆メサ状の凹部74が形
成されている。凹部74の内側面は,異方性エッチングに
よって斜め方向に削り取られている。この凹部74の傾斜
した内側面に半導体レーザ30が設けられている。半導体
レーザ30は振動部12の下面のミラーを向いている。半導
体レーザ30は好ましくは面発光型レーザ素子である。面
発光型レーザ素子は出射光の拡散角度が小さいので,レ
ーザ素子の前面にレンズやフィルタを設ける必要がな
い。
を反射するための反射膜76が形成されている。反射膜76
は光の反射率を高めるため,金またはアルミニウムによ
って形成される。反射膜76からの光ビームは半導体位置
検出素子40に受光される。
数と曲げ変形モードの共振周波数が重畳した周波数で振
動させる。加振装置20の振動が,スキャナ基板70の固定
部14に伝わる。弾性変形部16がこれらの共振周波数に共
振して振動する。振動部12は凹部74内において,互いに
直交する2軸の回りに振動する。
は,振動部12の下面のミラーで反射される。振動部12か
らの反射光は,凹部74の底面に設けられた反射膜76でさ
らに反射される。振動部12が直交する2方向に振動して
いるので,反射膜76からの反射光は二次元に走査され
る。反射膜76からの光ビームは半導体位置検出素子40に
受光される。半導体位置検出素子40からの出力信号がF
/V変換回路52aおよび52bと,ピークホールド回路54
aに与えられ,共振周波数fT およびfB に基づいて温
度および湿度が算出され,振動振幅AT のピーク値に基
づいて気圧が算出されるのは第1実施例と同じである。
導体レーザ30が搭載される固定基板72とを高精度の半導
体プロセスによって形成することにより,半導体レーザ
30を振動部12のミラー面に向けて配置するときの光軸調
整が容易となる。
ある。
関係を表わすグラフである。
関係を表わすグラフである。
係を表わすグラフである。
子の振動を表わす振動波形のとの関係を表わすグラフで
ある。
回路の構成例を示している。
例を示している。
ある。
ドの振動波形の位相差と,振動子の周囲の温度との関係
を表すグラフである。
理回路の構成例を示す。
差を示すグラフである。
Claims (7)
- 【請求項1】 少なくとも1つの共振振動モードを有
し,反射面をもつ振動子,上記振動子の反射面に光ビー
ムを投射する光源,上記振動子を加振する加振手段,上
記振動子の反射面によって反射された光ビームの入射位
置を表わす電気信号を出力する位置検出素子,上記位置
検出素子から得られる電気信号に基づいて,上記振動子
の共振特性を表わす特性信号をつくる特性抽出手段,お
よび上記特性抽出手段から得られる特性信号に基づいて
物理量を表わす出力信号をつくる処理手段,を備えたセ
ンサ装置。 - 【請求項2】 上記共振特性の1つが上記共振振動の共
振周波数であり,上記処理手段は共振周波数に基づいて
温度を検出する,請求項1に記載のセンサ装置。 - 【請求項3】 上記共振特性の1つが上記共振振動の減
衰特性であり,上記処理手段は減衰特性に基づいて気圧
を検出する,請求項1に記載のセンサ装置。 - 【請求項4】 上記共振特性が異なる2つの共振周波数
であり,上記処理手段は2つの共振周波数に基づいて温
度と湿度を検出する,請求項1に記載のセンサ装置。 - 【請求項5】 上記振動子は,共振周波数が等しいまた
はほぼ等しい別個の2つの共振振動モードを有している
請求項1に記載のセンサ装置。 - 【請求項6】 上記共振特性が異なる2つの共振振動モ
ードにおける共振振動の位相差であり,上記処理手段は
この位相差から温度を検出するものである,請求項5に
記載のセンサ装置。 - 【請求項7】 上記振動子を,振動子のもつ2つの共振
振動モードにおける2つの共振周波数の間にありかつ2
つの振動振幅が等しくなる一の周波数で加振する請求項
6に記載のセンサ装置。
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- 1996-03-29 JP JP10385496A patent/JP3147772B2/ja not_active Expired - Fee Related
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