JPH09260442A - 集積回路装置 - Google Patents
集積回路装置Info
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- JPH09260442A JPH09260442A JP8087071A JP8707196A JPH09260442A JP H09260442 A JPH09260442 A JP H09260442A JP 8087071 A JP8087071 A JP 8087071A JP 8707196 A JP8707196 A JP 8707196A JP H09260442 A JPH09260442 A JP H09260442A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高周波測定する際の精度を高くする。
【解決手段】 オンウエハで高周波測定が可能な複数の
信号パッドを有する集積回路装置において、前記信号パ
ッドの一部を集積回路装置の辺に対して４５度の角度で
設けた。
信号パッドを有する集積回路装置において、前記信号パ
ッドの一部を集積回路装置の辺に対して４５度の角度で
設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、信号パッドの構造
に改良を加え、オンウエハでの高周波測定を高精度に実
現可能とした集積回路装置に関するものである。
に改良を加え、オンウエハでの高周波測定を高精度に実
現可能とした集積回路装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１０に従来の典型的な集積回路装置Ｂ
１の構成を示す。この集積回路装置Ｂ１はウエハ上の１
個を示すものである。図１０において、１は信号入力パ
ッド、２は信号出力パッド、３は電源用パッド、４は集
積回路本体部、５は集積回路内の電気的接地である。こ
の従来の集積回路装置Ｂ１では、信号入力パッド１を左
辺ｂに対して直交する方向を向くよう、また信号出力パ
ッド２を右辺ｃに対して直交する方向を向くように配置
していた。ａは上辺、ｄは下辺であり、辺ａ〜ｄの隣接
するものは相互に直角関係にある。このように、信号入
出力パッドを辺に直交する向きで行なう配置は、ＲＦプ
ローブとプローバステーションを用いたオンウエハ測定
時に、プローブを固定するアームの移動方向が水平方向
では直角４方向（ＸＹ方向）のみであることに起因して
いる。
１の構成を示す。この集積回路装置Ｂ１はウエハ上の１
個を示すものである。図１０において、１は信号入力パ
ッド、２は信号出力パッド、３は電源用パッド、４は集
積回路本体部、５は集積回路内の電気的接地である。こ
の従来の集積回路装置Ｂ１では、信号入力パッド１を左
辺ｂに対して直交する方向を向くよう、また信号出力パ
ッド２を右辺ｃに対して直交する方向を向くように配置
していた。ａは上辺、ｄは下辺であり、辺ａ〜ｄの隣接
するものは相互に直角関係にある。このように、信号入
出力パッドを辺に直交する向きで行なう配置は、ＲＦプ
ローブとプローバステーションを用いたオンウエハ測定
時に、プローブを固定するアームの移動方向が水平方向
では直角４方向（ＸＹ方向）のみであることに起因して
いる。
【０００３】図１１は、図１０に示した集積回路装置Ｂ
１にプローブヘッド２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを接触させ
た状態の概略を示す図である。各プローブヘッドにおい
て、６は信号端子（Ｓ）、７は接地端子（Ｇ）、８は電
源端子である。
１にプローブヘッド２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを接触させ
た状態の概略を示す図である。各プローブヘッドにおい
て、６は信号端子（Ｓ）、７は接地端子（Ｇ）、８は電
源端子である。
【０００４】ここで、５０ＧＨｚを越える高周波帯域で
のネットワークアナライザを用いたＳパラメータの測定
では、測定される集積回路装置のポート１（集積回路装
置Ｂ１では信号入力パッド１）とポート２（集積回路装
置Ｂ１では信号出力パッド２）に接触させるプローブヘ
ッド２０Ａ、２０Ｂは対向して配置させなければならな
い。なぜなら、ネットワークアナライザの校正用のイン
ピーダンス基準基盤が対向するＧＳＧ型のヘッド間での
校正用のものしかなく、互いに直角に配置された２本の
プローブ間では高精度な校正ができないためである。
のネットワークアナライザを用いたＳパラメータの測定
では、測定される集積回路装置のポート１（集積回路装
置Ｂ１では信号入力パッド１）とポート２（集積回路装
置Ｂ１では信号出力パッド２）に接触させるプローブヘ
ッド２０Ａ、２０Ｂは対向して配置させなければならな
い。なぜなら、ネットワークアナライザの校正用のイン
ピーダンス基準基盤が対向するＧＳＧ型のヘッド間での
校正用のものしかなく、互いに直角に配置された２本の
プローブ間では高精度な校正ができないためである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このため、２端子対回
路までは５０ＧＨｚを越える高周波帯域でのＳパラメー
タの測定を問題なく行なうことができるが、３端子対回
路（周波数乗算器、分配回路、合成回路等）や、４端子
対回路（差動増幅器等）では、校正が不十分となって、
高精度な測定ができないという問題があった。
路までは５０ＧＨｚを越える高周波帯域でのＳパラメー
タの測定を問題なく行なうことができるが、３端子対回
路（周波数乗算器、分配回路、合成回路等）や、４端子
対回路（差動増幅器等）では、校正が不十分となって、
高精度な測定ができないという問題があった。
【０００６】図１２に従来の分配回路の集積回路装置Ｂ
２示す。２Ａは第１信号出力パッド、２Ｂは第２信号出
力パッドである。他は図１０に示したものと同じであ
る。ネットワークアナライザの第１ポートを信号入力パ
ッド１に、第２ポートを第１信号出力パッド２Ａに接続
して測定する場合は、各々のパッド１、２Ａに対して、
対向するプローブヘッド２０Ｂ、２０Ｃを使用できるの
で問題はない。この場合は、プローブヘッド２０Ｄを第
２信号出力パッド２Ｂに接触させ、且つその信号端子６
を整合インピーダンス終端端子として働かせる。
２示す。２Ａは第１信号出力パッド、２Ｂは第２信号出
力パッドである。他は図１０に示したものと同じであ
る。ネットワークアナライザの第１ポートを信号入力パ
ッド１に、第２ポートを第１信号出力パッド２Ａに接続
して測定する場合は、各々のパッド１、２Ａに対して、
対向するプローブヘッド２０Ｂ、２０Ｃを使用できるの
で問題はない。この場合は、プローブヘッド２０Ｄを第
２信号出力パッド２Ｂに接触させ、且つその信号端子６
を整合インピーダンス終端端子として働かせる。
【０００７】しかし、第２ポートを第２信号出力パッド
２Ｂに接続して測定する場合には、その第２信号出力パ
ッド２Ｂにプローブヘッド２０Ｄを接触させなければな
らないが、このプローブヘッド２０Ｄは、信号入力パッ
ド１に接触するプローブヘッド２０Ｂとは２０Ｄが対向
しないので、充分な校正をかけることがきず、高精度な
測定ができないという問題があった。なお、このとき
は、プローブヘッド２０Ｃを第１信号出力パッド２Ａに
接触させ、且つその信号端子６を整合インピーダンス終
端端子として働かせる。
２Ｂに接続して測定する場合には、その第２信号出力パ
ッド２Ｂにプローブヘッド２０Ｄを接触させなければな
らないが、このプローブヘッド２０Ｄは、信号入力パッ
ド１に接触するプローブヘッド２０Ｂとは２０Ｄが対向
しないので、充分な校正をかけることがきず、高精度な
測定ができないという問題があった。なお、このとき
は、プローブヘッド２０Ｃを第１信号出力パッド２Ａに
接触させ、且つその信号端子６を整合インピーダンス終
端端子として働かせる。
【０００８】以上のように、従来の集積回路装置Ｂで
は、図１３に示すように、その信号入力パッド１や信号
出力パッド２が辺ａ〜ｄに対して直交する方向を向いて
いるので、プローブヘッド２０をその直交する方向から
しか接触させることができず、前記したように、それぞ
れの信号パッドが相互に直交する辺に設けられている場
合には、プローブヘッドを対向させることができなかっ
た。
は、図１３に示すように、その信号入力パッド１や信号
出力パッド２が辺ａ〜ｄに対して直交する方向を向いて
いるので、プローブヘッド２０をその直交する方向から
しか接触させることができず、前記したように、それぞ
れの信号パッドが相互に直交する辺に設けられている場
合には、プローブヘッドを対向させることができなかっ
た。
【０００９】本発明は以上のような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、信号パッドの向きに改良を加え、
プローブヘッドを必ず対向させることができるようにし
て、高精度な高周波測定ができるようにした集積回路装
置を提供することである。
もので、その目的は、信号パッドの向きに改良を加え、
プローブヘッドを必ず対向させることができるようにし
て、高精度な高周波測定ができるようにした集積回路装
置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、オンウエ
ハで高周波測定が可能な複数の信号パッドを有する集積
回路装置において、前記信号パッドの一部もしくはすべ
てを、集積回路装置の各辺に平行なすべての４方向から
測定できるような角度で設けたことを特徴とする集積回
路装置として構成した。
ハで高周波測定が可能な複数の信号パッドを有する集積
回路装置において、前記信号パッドの一部もしくはすべ
てを、集積回路装置の各辺に平行なすべての４方向から
測定できるような角度で設けたことを特徴とする集積回
路装置として構成した。
【００１１】第２の発明は、第１の発明において、前記
信号パッドの一部もしくはすべてを、前記各辺に対し、
４５度、１３５度、２２５度、もしくは３１５度の角度
で設けたことを特徴とする集積回路装置として構成し
た。
信号パッドの一部もしくはすべてを、前記各辺に対し、
４５度、１３５度、２２５度、もしくは３１５度の角度
で設けたことを特徴とする集積回路装置として構成し
た。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の集積回路装置Ａは、図１
に示すように、その信号入力パッド１や信号出力パッド
２が相互に直交する各辺ｂ、ｄ（辺ａ、ｃも同じ）に対
して各々ほぼ４５度の方向を向くよう設けて、プローブ
ヘッド２０Ａ’、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄのいずれによ
っても、その信号入力パッド１や信号出力パッド２に接
触できるようにしている。
に示すように、その信号入力パッド１や信号出力パッド
２が相互に直交する各辺ｂ、ｄ（辺ａ、ｃも同じ）に対
して各々ほぼ４５度の方向を向くよう設けて、プローブ
ヘッド２０Ａ’、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄのいずれによ
っても、その信号入力パッド１や信号出力パッド２に接
触できるようにしている。
【００１３】［第１の実施の形態］図２は本発明の第１
の実施の形態の分配回路としての集積回路装置Ａ１を示
す図である。この集積回路装置Ａ１は、辺ｂの側にはそ
の辺ｂに直交する方向を向く信号入力パッド１を設け、
辺ａの側には、その一方の端近くに電源用パッド３を設
けるとともに他方の端の近くに斜め４５度方向を向く第
１信号出力パッド２Ａを設ける。また、辺ｃと辺ｄの角
部分には、両辺ｃ、ｄに対して４５度の方向を向く第２
信号出力パッド２Ｂを設ける。
の実施の形態の分配回路としての集積回路装置Ａ１を示
す図である。この集積回路装置Ａ１は、辺ｂの側にはそ
の辺ｂに直交する方向を向く信号入力パッド１を設け、
辺ａの側には、その一方の端近くに電源用パッド３を設
けるとともに他方の端の近くに斜め４５度方向を向く第
１信号出力パッド２Ａを設ける。また、辺ｃと辺ｄの角
部分には、両辺ｃ、ｄに対して４５度の方向を向く第２
信号出力パッド２Ｂを設ける。
【００１４】図３はこの集積回路装置Ａ１の信号入力パ
ッド１をネットワークアナライザの第１ポートに接続
し、第１信号出力パッド２Ａを第２ポートに接続して測
定する場合を示す図である。このとき、第１信号出力パ
ッド２Ａは４５の角度で設けられているので、プローブ
ヘッド２０Ｃを使用してそこに接触させることができ
る。つまり、信号入力パッド１に接触するプローブヘッ
ド２０Ｂと対向するプローブヘッド２０Ｃを使用して高
周波測定を行なうことができる。なお、このとき、プロ
ーブヘッド２０Ｄを第２信号出力パッド２Ｂに接触さ
せ、且つその信号端子６を整合インピーダンス終端端子
として働かせる。
ッド１をネットワークアナライザの第１ポートに接続
し、第１信号出力パッド２Ａを第２ポートに接続して測
定する場合を示す図である。このとき、第１信号出力パ
ッド２Ａは４５の角度で設けられているので、プローブ
ヘッド２０Ｃを使用してそこに接触させることができ
る。つまり、信号入力パッド１に接触するプローブヘッ
ド２０Ｂと対向するプローブヘッド２０Ｃを使用して高
周波測定を行なうことができる。なお、このとき、プロ
ーブヘッド２０Ｄを第２信号出力パッド２Ｂに接触さ
せ、且つその信号端子６を整合インピーダンス終端端子
として働かせる。
【００１５】図４は、信号入力パッド１をネットワーク
アナライザの第１ポートに接続し、第２信号出力パッド
２Ｂを第２ポートに接続して測定する場合を示す図であ
る。このとき、第２信号出力パッド２Ｂは４５の角度で
設けられているので、プローブヘッド２０Ｃを使用して
そこに接触させることができる。つまり、ここでも、相
互に対向するプローブヘッド２０Ｂ、２０Ｃを使用して
高周波測定を行なうことができる。なお、このとき、プ
ローブヘッド２０Ｄを第１信号出力パッド２Ａに接触さ
せ、且つその信号端子６を整合インピーダンス終端端子
として働かせるようにする。
アナライザの第１ポートに接続し、第２信号出力パッド
２Ｂを第２ポートに接続して測定する場合を示す図であ
る。このとき、第２信号出力パッド２Ｂは４５の角度で
設けられているので、プローブヘッド２０Ｃを使用して
そこに接触させることができる。つまり、ここでも、相
互に対向するプローブヘッド２０Ｂ、２０Ｃを使用して
高周波測定を行なうことができる。なお、このとき、プ
ローブヘッド２０Ｄを第１信号出力パッド２Ａに接触さ
せ、且つその信号端子６を整合インピーダンス終端端子
として働かせるようにする。
【００１６】なお、上記集積回路装置Ａ１において、電
源パッド３をなくし、信号入力パッド１から電源を供給
することができるようになれば、プローブヘッド２０Ａ
を前記したプローブヘッド２０Ａ’のようなものに代え
て、このプローブヘッド２０Ａ’およびこれと対向する
ローブヘッド２０Ｄとにより、第１信号出力パッド２Ａ
と第２信号出力パッド２Ｂとの間の高周波測定も行なう
ことができる。
源パッド３をなくし、信号入力パッド１から電源を供給
することができるようになれば、プローブヘッド２０Ａ
を前記したプローブヘッド２０Ａ’のようなものに代え
て、このプローブヘッド２０Ａ’およびこれと対向する
ローブヘッド２０Ｄとにより、第１信号出力パッド２Ａ
と第２信号出力パッド２Ｂとの間の高周波測定も行なう
ことができる。
【００１７】図５は図１１で説明した測定方法による従
来の集積回路装置Ｂ１の信号入力パッド１と信号出力パ
ッド２との間の透過特性Ｓ２１、および図１２で説明し
た測定方法による従来の集積回路装置Ｂ２の信号入力パ
ッド１と第２信号出力パッド２Ｂとの間の透過特性Ｓ３
１の周波数特性を示す図である。このように、図１１の
パッド１−２間は相互に対向するプローブヘッドを使用
できるので、その透過特性Ｓ２１は校正が良好となり精
度の高い測定ができるが、図１２のパッド１−２Ｂ間は
相互に直交し対向しないプローブヘッドを使用するの
で、透過特性Ｓ３１は校正が不十分となるため、特に高
周波において測定値の誤差が大きくなっている。
来の集積回路装置Ｂ１の信号入力パッド１と信号出力パ
ッド２との間の透過特性Ｓ２１、および図１２で説明し
た測定方法による従来の集積回路装置Ｂ２の信号入力パ
ッド１と第２信号出力パッド２Ｂとの間の透過特性Ｓ３
１の周波数特性を示す図である。このように、図１１の
パッド１−２間は相互に対向するプローブヘッドを使用
できるので、その透過特性Ｓ２１は校正が良好となり精
度の高い測定ができるが、図１２のパッド１−２Ｂ間は
相互に直交し対向しないプローブヘッドを使用するの
で、透過特性Ｓ３１は校正が不十分となるため、特に高
周波において測定値の誤差が大きくなっている。
【００１８】図６は本実施の形態の図３で説明した集積
回路装置Ａ１の信号入力パッド１と信号出力パッド２Ａ
との間の透過特性Ｓ２１、および図４で説明した信号入
力パッド１と第２信号出力パッド２Ｂとの間の透過特性
Ｓ３１の周波数特性を示す図である。このように、集積
回路装置Ａ１では、常に対向するプローブヘッド２０
Ｂ、２０Ｃで測定しているため、高周波帯域まで良好な
データが得られていることがわかる。
回路装置Ａ１の信号入力パッド１と信号出力パッド２Ａ
との間の透過特性Ｓ２１、および図４で説明した信号入
力パッド１と第２信号出力パッド２Ｂとの間の透過特性
Ｓ３１の周波数特性を示す図である。このように、集積
回路装置Ａ１では、常に対向するプローブヘッド２０
Ｂ、２０Ｃで測定しているため、高周波帯域まで良好な
データが得られていることがわかる。
【００１９】図７は図１１で説明した測定方法による従
来の集積回路装置Ｂ１の信号入力パッド１と信号出力パ
ッド２との間の位相θ２１、および図１２で説明した測
定方法による従来の集積回路装置Ｂ２の信号入力パッド
１と第２信号出力パッド２Ｂとの間の位相θ３１の周波
数特性を示す図である。このように、図１１のパッド１
−２間の位相θ２１は校正が良好となり精度の高い測定
ができるが、図１２のパッド１−２Ｂ間の位相θ３１は
校正が不十分となるため、特に高周波においては位相の
測定が非常に困難であった。
来の集積回路装置Ｂ１の信号入力パッド１と信号出力パ
ッド２との間の位相θ２１、および図１２で説明した測
定方法による従来の集積回路装置Ｂ２の信号入力パッド
１と第２信号出力パッド２Ｂとの間の位相θ３１の周波
数特性を示す図である。このように、図１１のパッド１
−２間の位相θ２１は校正が良好となり精度の高い測定
ができるが、図１２のパッド１−２Ｂ間の位相θ３１は
校正が不十分となるため、特に高周波においては位相の
測定が非常に困難であった。
【００２０】図８は本実施の形態の図３で説明した集積
回路装置Ａ１の信号入力パッド１と信号出力パッド２Ａ
との間の位相θ２１、および図４で説明した信号入力パ
ッド１と第２信号出力パッド２Ｂとの間の位相θ３１の
周波数特性を示す図である。このように、集積回路装置
Ａ１では、常に対向するプローブヘッド２０Ｂ、２０Ｃ
で測定しているため、高周波帯域まで良好な位相データ
が得られていることがわかる。
回路装置Ａ１の信号入力パッド１と信号出力パッド２Ａ
との間の位相θ２１、および図４で説明した信号入力パ
ッド１と第２信号出力パッド２Ｂとの間の位相θ３１の
周波数特性を示す図である。このように、集積回路装置
Ａ１では、常に対向するプローブヘッド２０Ｂ、２０Ｃ
で測定しているため、高周波帯域まで良好な位相データ
が得られていることがわかる。
【００２１】［第２の実施の形態］図９は第２の実施の
形態の４端子対回路の集積回路装置Ａ２を示す図であ
る。これは、集積回路装置Ａ２の４角のすべてに、その
角方向を向くよう４５度に入力用、出力用、又は入出力
用の信号パッド９を設けたものである。この場合は、い
ずれの信号パッド９の相互間であっても、常に相互に対
向するプローブヘッドを使用して高周波測定を行なうこ
とができ、充分な校正を行なうことが可能となる。
形態の４端子対回路の集積回路装置Ａ２を示す図であ
る。これは、集積回路装置Ａ２の４角のすべてに、その
角方向を向くよう４５度に入力用、出力用、又は入出力
用の信号パッド９を設けたものである。この場合は、い
ずれの信号パッド９の相互間であっても、常に相互に対
向するプローブヘッドを使用して高周波測定を行なうこ
とができ、充分な校正を行なうことが可能となる。
【００２２】［その他の実施の形態］なお、以上の説明
において、本発明のパッドの構成はコプレーナ型伝送線
路に限られるものではなく、他の配線プロセスによる集
積回路装置にも当然適用できるものである。また、前記
では信号パッドの向きを４５度、１３５度、２２５度、
３１５度として説明したが、この角度から多少ずれた角
度であっても良い。
において、本発明のパッドの構成はコプレーナ型伝送線
路に限られるものではなく、他の配線プロセスによる集
積回路装置にも当然適用できるものである。また、前記
では信号パッドの向きを４５度、１３５度、２２５度、
３１５度として説明したが、この角度から多少ずれた角
度であっても良い。
【００２３】
【発明の効果】以上から本発明によれば、集積回路装置
の各辺に平行なすべての４方向から測定できるような角
度で信号パッドを設けたので、２個の信号パッド間の測
定を対向するプローブヘッドを接触させて行なうことが
でき、充分な校正が可能となって、高精度な測定ができ
るようになるという特徴がある。
の各辺に平行なすべての４方向から測定できるような角
度で信号パッドを設けたので、２個の信号パッド間の測
定を対向するプローブヘッドを接触させて行なうことが
でき、充分な校正が可能となって、高精度な測定ができ
るようになるという特徴がある。
【図１】 本発明の原理を示す信号入力／出力パッドの
構造を説明するための図である。
構造を説明するための図である。
【図２】 本発明の第１の実施の形態の分配回路の集積
回路装置の概略平面図である。
回路装置の概略平面図である。
【図３】 図２の集積回路装置の信号パッド１−２Ａ間
の測定方法を説明するための図である。
の測定方法を説明するための図である。
【図４】 図２の集積回路装置の信号パッド１−２Ｂ間
の測定方法を説明するための図である。
の測定方法を説明するための図である。
【図５】 従来の図１１と図１２に示す測定方法により
得たＳパラメータの周波数特性図である。
得たＳパラメータの周波数特性図である。
【図６】 本発明の図３と図４に示す測定方法により得
たＳパラメータの周波数特性図である。
たＳパラメータの周波数特性図である。
【図７】 従来の図１１と図１２に示す測定方法により
得た位相の周波数特性図である。
得た位相の周波数特性図である。
【図８】 本発明の図３と図４に示す測定方法により得
た位相の周波数特性図である。
た位相の周波数特性図である。
【図９】 本発明の第２の実施の形態の４端子対の集積
回路装置の概略平面図である。
回路装置の概略平面図である。
【図１０】 従来の集積回路装置の平面図である。
【図１１】 図１０の集積回路装置の信号パッド１−２
間の測定方法を説明するための図である。
間の測定方法を説明するための図である。
【図１２】 図１０の集積回路装置の信号パッド１−２
Ｂ間の測定方法を説明するための図である。
Ｂ間の測定方法を説明するための図である。
【図１３】 従来の集積回路装置の信号パッドを説明す
るための図である。
るための図である。
１：信号入力パッド、２：信号出力パッド、２Ａ：第１
信号出力パッド、２Ｂ：第２信号出力パッド、３：電源
パッド、４：集積回路本体部、５：電気的接地、６：プ
ローブヘッドの信号端子、７：プローブヘッドの接地端
子、８：プローブヘッドの電源端子、９：信号端子、２
０Ａ’、２０Ａ〜２０Ｄ：プローブヘッド、ａ〜ｄ：
辺。
信号出力パッド、２Ｂ：第２信号出力パッド、３：電源
パッド、４：集積回路本体部、５：電気的接地、６：プ
ローブヘッドの信号端子、７：プローブヘッドの接地端
子、８：プローブヘッドの電源端子、９：信号端子、２
０Ａ’、２０Ａ〜２０Ｄ：プローブヘッド、ａ〜ｄ：
辺。
Claims (2)
- 【請求項１】オンウエハで高周波測定が可能な複数の信
号パッドを有する集積回路装置において、 前記信号パッドの一部もしくはすべてを、集積回路装置
の各辺に平行なすべての４方向から測定できるような角
度で設けたことを特徴とする集積回路装置。 - 【請求項２】前記信号パッドの一部もしくはすべてを、
前記各辺に対し、４５度、１３５度、２２５度、もしく
は３１５度の角度で設けたことを特徴とする請求項１に
記載の集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8707196A JP2956827B2 (ja) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | 集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8707196A JP2956827B2 (ja) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | 集積回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09260442A true JPH09260442A (ja) | 1997-10-03 |
| JP2956827B2 JP2956827B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=13904720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8707196A Expired - Fee Related JP2956827B2 (ja) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | 集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2956827B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004075336A1 (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 高周波回路 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0621174A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-01-28 | Sharp Corp | マイクロ波集積回路ウエハ |
-
1996
- 1996-03-18 JP JP8707196A patent/JP2956827B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0621174A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-01-28 | Sharp Corp | マイクロ波集積回路ウエハ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2956827B2 (ja) | 1999-10-04 |
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