JPH09258071A - レーザダイオードモジユール、集光部品並びに光結合方法 - Google Patents

レーザダイオードモジユール、集光部品並びに光結合方法

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JPH09258071A
JPH09258071A JP8068214A JP6821496A JPH09258071A JP H09258071 A JPH09258071 A JP H09258071A JP 8068214 A JP8068214 A JP 8068214A JP 6821496 A JP6821496 A JP 6821496A JP H09258071 A JPH09258071 A JP H09258071A
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laser
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ光と光フアイバの従来の結合方法に比
べ結合効率が高く、また、従来の高周波用給電機能を損
なうこと無く、より安価で組立作業性の良いレーザダイ
オードモジユールを得る。 【解決手段】 レーザダイオードモジユールのフオトダ
イオード3を支持するフオトダイオードキヤリア4の上
面にレーザダイオードへの高周波用給電線11を配して
大型で台形の形状とすることで、フオトダイオード3の
表面がレーザダイオード1の後面出射光の反射光を戻さ
なくなる。球面平凸レンズ27を、レーザダイオード1
の方向に球面を向け、コリメートレンズ7によりコリメ
ートされたレーザ光の光軸19上に球面の曲率中心29
を持つように、光フアイバのコア25の斜め端面に対し
て最適な角度の円筒穴を持つレンズホルダ22で斜めに
保持する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザダイオー
ドと、光フアイバと、上記レーザダイオードからの出射
光が光フアイバに光学的に結合するための光学部品を備
えたレーザダイオードモジユール及び集光部品並びに光
結合方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は、例えば特開平4−66324号
公報に示された半導体レーザと光フアイバの結合方法を
用いた従来のレーザダイオードモジユールの断面図であ
る。図において、1はレーザダイオード、2はレーザダ
イオード1を取り付けるサブマウント、3はフオトダイ
オード、4はフオトダイオード3の表面がレーザダイオ
ード1の後面出射光の光軸に対して傾斜するようにフオ
トダイオード3を支持するフオトダイオードキヤリア、
5はセラミツク基板、6はサブマウント2とフオトダイ
オードキヤリア4とセラミツク基板5を支持するベー
ス、7はレーザダイオード1の前面出射光をコリメート
するコリメートレンズ、8はコリメートレンズ7を支持
するコリメートレンズホルダ、9はケース、10はケー
ス9を貫通する信号ピン、11はセラミツク基板5上に
形成されたレーザダイオード1への給電のための高周波
用給電線、12〜15は信号ピン10からレーザダイオ
ード1への給電系をつなぐ金ワイヤ、16、17は金ワ
イヤ13〜15をつなぐためのパツド、18はケース9
内を気密封止するとともにレーザダイオード1の前面出
射光を透過させる気密窓、19はレーザダイオード1か
ら出射されたレーザ光の光軸、20は収束型ロツドレン
ズ、21は円柱形である収束型ロツドレンズ20の円柱
の回転軸、22は収束型ロツドレンズ20を保持しケー
ス9に接合されるレンズホルダ、23は光フアイバのコ
ア、24は光フアイバを固定支持するためのフエルー
ル、25は光フアイバ、26はフエルール22を支持す
るフエルールホルダである。
【0003】このような半導体レーザと光フアイバの従
来の結合方法を用いたレーザダイオードモジユールにお
いては、コリメートレンズ7によりコリメートされたレ
ーザダイオード1の前面出射光が気密窓18を透過した
後、このコリメートされたレーザ光の光軸19から収束
型ロツドレンズの回転軸21をずらすことにより、光フ
アイバのコア23への収束光が光フアイバのコア23の
端面の角度により決定される結合効率の高い角度を持つ
ように結合することができる。
【0004】さらに、フオトダイオードキヤリア4はフ
オトダイオード3の表面がレーザダイオード1の後面出
射光の光軸に対して傾斜するようにフオトダイオード3
を支持するため、フオトダイオード3の表面による反射
光を戻すこと無くレーザダイオード1の後面反射光の強
度をフオトダイオード3でモニタすることができる。な
お、レーザダイオード1への給電は、ケース9の外部か
ら貫通した信号ピン10より、セラミツク基板5の上面
の高周波用給電線11と金ワイヤ12〜15によって、
フオトダイオードキヤリア4とサブマウント2の上面の
パツド16、17を経由して電気的に接合されることに
より行われる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のような半導体レ
ーザと光フアイバの従来の結合方法を用いたレーザダイ
オードモジユールにおいては、中心軸対称の屈折率分布
により光を収束させる収束型ロツドレンズ20を用いる
ため、たとえレーザ光が斜めの端面を持つ光フアイバの
コア23へ入射する角度を最適化したとしても大きな結
合効率が得られないという欠点があった。また、レーザ
ダイオード1への周波数特性のよい給電のためにセラミ
ツク基板5を取り付ける必要があり、ベース6上に取り
付ける部品点数が多かったため、組立作業性の点で不利
であるという問題点もあった。
【0006】この発明は、上述のような課題を解決する
ためになされたもので、第1の目的は収差が極力少な
く、斜めの端面を持つ光フアイバへ最適の角度でレーザ
光を結合させ、大きな結合効率を安価に実現したレーザ
ダイオードモジユールを得るものである。
【0007】また、この発明は、少ない部品点数によ
り、安価で組立作業性の良いチツプキヤリアを得るもの
である。
【0008】さらに、この発明は、収差が極力少なく、
斜めの端面を持つ光フアイバへ最適の角度でレーザ光を
結合させることが可能な集光部品を安価に得るものであ
る。
【0009】また、この発明は、斜め端面を持つフアイ
バに対してより大きな結合効率を実現する光結合方法を
得るものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザダ
イオードモジユールは、コリメートレンズによりコリメ
ートされたレーザダイオードの前面出射レーザ光の光軸
に対し、球面平凸レンズの回転軸が角度を持つように球
面平凸レンズを固定し、斜めの端面を持つ光フアイバの
コアに対し最適な角度で、収差の極力少ない収束光をフ
アイバへ結合させるものである。
【0011】また、この発明はレーザダイオードの前面
出射レーザ光の光軸に対し、球面平凸レンズの回転軸が
角度を持つように球面平凸レンズを固定し、斜めの端面
を持つ光フアイバのコアに対し最適な角度で、収差の極
力少ない収束光をフアイバへ結合させるものである。
【0012】さらに、この発明はフオトダイオードを固
着支持するフオトダイオードキヤリアにレーザダイオー
ドへの高周波用給電線を施してチツプキヤリアを構成し
たものである。
【0013】また、この発明はフオトダイオードキヤリ
アの形状を台形としたものである。
【0014】さらに、この発明はフオトダイオードキヤ
リアを、フオトダイオードを固着支持する面が斜め上方
を向く形状としたものである。
【0015】また、この発明はフオトダイオードキヤリ
アを長方形平板の形状とし、ベースに対し斜めに取り付
けたものである。
【0016】さらに、この発明はベースの上面の長方形
平板のフオトダイオードキヤリアの取付位置に凹没を形
成したものである。
【0017】また、この発明はベースの上面の長方形平
板のフオトダイオードキヤリアの取付位置に段差を形成
したものである。
【0018】この発明はベースの上面の長方形平板のフ
オトダイオードキヤリアの取付位置に突起を形成したも
のである。
【0019】また、この発明はベースの形状を、ベース
の上部のフオトダイオードキヤリアの取付面が底面に対
し傾斜した形状としたものである。
【0020】さらに、この発明は集光部品を、入射レー
ザ光の光軸が球面平凸レンズの球面の曲率中心を通り、
斜めの端面を持つ光フアイバの端面角度により決定され
る角度で球面平凸レンズを固定支持する円筒穴が形成さ
れたレンズホルダに取り付けて構成したものである。
【0021】また、この発明はレーザダイオードと光フ
アイバのコアの結合を、球面平凸レンズを、レーザ光の
光路がその球面の曲率中心を通り、平面をレーザ光の光
路に対して垂直でない角度を持つように設置し、レーザ
光を入射光の光軸に対して光フアイバの端面角度により
決定される最適な角度をつけて行うものである。
【0022】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.図1はこの発明の一実施の形態であるレ
ーザダイオードモジユールを示すものである。図におい
て1〜3は上記従来装置と同一のものであるため説明を
省略する。4はフオトダイオード3の表面がレーザダイ
オード1の後面出射光の光軸に対して垂直とならないよ
うにフオトダイオード3を支持する大型のフオトダイオ
ードキヤリアで、この実施の形態では台形のフオトダイ
オードキヤリアが使用されている。6〜26は上記従来
装置と同一のものであるため説明を省略する。27はレ
ーザ光を光フアイバのコア23へ結合するための球面平
凸レンズ、28は球面平凸レンズ27の回転軸、29は
球面平凸レンズの球面の曲率中心で、ここでは図1
(a)に示すように、球面平凸レンズの回転軸28上に
曲率中心29を持つ球面27aと球面平凸レンズの回転
軸28に対して垂直に交わる平面27bで構成される球
面平凸レンズ27を、レーザダイオード1の側に球面2
7bを向け、コリメートレンズ7によりコリメートされ
た入射レーザ光の光軸19上に球面平凸レンズの球面の
曲率中心29を配置し、レンズホルダ22で球面平凸レ
ンズ27の屈折率nL 、フアイバのコア23の屈折率n
F とフアイバのコア23の端面の角度θF よりスネルの
法則から導かれる数1で最適化される傾き角θL で保持
することにより構成された集光部品と、その集光部品に
よる光結合方法を用いた場合を示している。数1によれ
ば、例えばレンズの材料をBK7(nL =1.50)、
光フアイバのコアの屈折率nF =1.47、光フアイバ
のコアの端面角度θF =8.0°とすると、球面平凸レ
ンズの傾き角θL は7.53となり、レンズを7.53
°傾けることにより端面を8°に研磨された光フアイバ
のコアに最大の効率で結合することができる。
【0023】
【数1】
【0024】このように構成されたレーザダイオードモ
ジユールにおいては、フオトダイオードキヤリア4に従
来のセラミツク基板5のレーザダイオードへの高周波用
給電線11を形成し、厚みをそろえて一体化することに
より、部品点数が減り、組立作業性を向上することがで
きる。さらに、このフオトダイオードキヤリア4の形状
を台形にすることにより、フオトダイオード3の表面で
の反射光がレーザダイオード1に戻らないようにフオト
ダイオード3を保持するとともに、フオトダイオードキ
ヤリア4の大きさを大きくとることができ、フオトダイ
オード3への高周波用給電線をつけ加えるなど、ベース
6の上面の面積を有効に活用することができる。
【0025】また、コリメートレンズ7によりコリメー
トされたレーザダイオード1の前面出射光が気密窓18
を透過した後、球面平凸レンズの球面27aと球面平凸
レンズの平面27bによって集光されるが、球面平凸レ
ンズの球面の曲率中心29をコリメートされたレーザ光
の光軸19上に設置することによって光フアイバのコア
23への収束光の収差を比較的小さく押さえて集光する
ことができ、さらに球面平凸レンズの平面27bがコリ
メートされたレーザ光の光軸19に対して傾斜している
ため、光フアイバのコア23への収束光が光フアイバの
コア23の端面の角度から数1により決定される結合効
率の高い角度を持つようにすることができ、高い結合効
率を得ることができる。
【0026】実施の形態2.なお、上記実施の形態1で
は、コリメートレンズ7によりコリメートされたレーザ
光が気密窓18を透過した後に球面平凸レンズ27に入
射するように構成したが、球面平凸レンズ27のみで光
フアイバのコア23に結合する構成とすればコリメート
レンズ7は設けなくてもよい。また、上記実施の形態1
ではレーザダイオード1の側に球面平凸レンズの球面2
7aを配した構成としているが、これはコリメートされ
たレーザ光が球面平凸レンズ27に入射する場合に、レ
ーザ光を球面平凸レンズの球面27a側から入射した方
が収差の点で有利であるとの理由に基づくものである。
しかしながら、フアイバのコア23へ結合効率を最大と
する入射角でレーザ光を集光するという観点から、球面
平凸レンズの球面27aを光フアイバ25の方向に向け
て球面平凸レンズ27を配置しても同様の効果が得られ
ることは明らかである。さらに、上記実施の形態1では
台形平板の形状をしたフオトダイオードキヤリアが使わ
れているが、フオトダイオード取付面が斜め上方を向く
平板の形状としても同様の効果が得られる。
【0027】また、上記実施の形態1では球面平凸レン
ズ27と、球面平凸レンズ27の屈折率nL 、フアイバ
のコア23の屈折率nF とフアイバのコア23の端面の
角度θF よりスネルの法則から導かれる数1で最適化さ
れる傾き角θL で球面平凸レンズ27を保持するレンズ
ホルダ22とで集光部品を構成しているが、図2に示す
ように、回転軸上に曲率中心を持つ球面と回転軸に対し
て球面平凸レンズ27の屈折率nL 、フアイバのコア2
3の屈折率nF とフアイバのコア23の端面の角度θF
よりスネルの法則から導かれる数1で最適化される傾き
角θL を持つ平面で構成される球面平凸レンズ27と、
球面平凸レンズの回転軸28を入射レーザ光の光軸19
と一致させるように球面平凸レンズ27を保持するレン
ズホルダ22とで構成された場合にも同様の結合方法が
実現できることは明らかである。
【0028】また、上記実施の形態1では気密窓18と
球面平凸レンズ27との間に光学部品が置かれていない
が、光アイソレータのように入射光軸の方向を変化させ
ない光学部品であれば球面平凸レンズ27の作用を損な
うこと無く自由に挿入することができる。
【0029】実施の形態3.図3は、長方形平板のフオ
トダイオードキヤリア4をベース上に傾けて取り付けて
チップキャリアを構成する実施態様を示すもので、ベー
ス6の上面に位置合せ用の突起30〜32を形成し、フ
オトダイオードキヤリア4をこの突起に合わせて斜めに
した状態で固定している。この図3の実施の形態によれ
ば、従来と同様にフオトダイオード3の表面による反射
光をレーザダイオード1に戻すこと無くレーザダイオー
ド1の後面反射光の強度をフオトダイオード3でモニタ
することができる上に、レーザダイオード1への給電系
を結ぶ金ワイヤの配線を極力短くでき、周波数特性の点
で有利となる。さらに、フオトダイオードキヤリア4が
長方形平板であるため容易に製作でき、従来の構成に比
べ部品点数が減る上に、位置合せ用の突起30〜32に
よって組立作業性を大幅に向上することができるため、
安価なチツプキヤリアを構成できる。
【0030】実施の形態4.なお、上記実施の形態3で
は、フオトダイオードキヤリア4の位置合せのためにベ
ース6の上面に突起30〜32が形成された構成とした
が、ベース上に形成された突起30〜32の代わりに位
置合せ用のマークとして同様の位置に凹没もしくは段差
を設けても同様の効果が得ることができる。
【0031】実施の形態5.また、図4に示すように、
ベース6の形状をレーザダイオード1側に高い上面を持
つものとすれば、ベースの傾斜した上面に沿って固定す
るだけでフオトダイオードキヤリア4を傾斜させること
ができ、上記実施の形態3と同様の効果を得ることがで
きる。なお、ベース6の形状をレーザダイオード1側に
低い上面を持つものとしても同様の効果を得ることは言
うまでもない。
【0032】
【発明の効果】この発明は、上述のように構成されてい
るので、以下に示すような効果が得られる。
【0033】レンズホルダに球面平凸レンズをその回転
軸がコリメートされた入射レーザ光の光軸に対して数1
で求められる角度を持つように固定した状態でレーザ光
を光フアイバへ結合することにより、レーザ光の光路上
に余分な光学部品を挿入すること無く、光フアイバのコ
アに対して結合効率最大となる角度を持つ収束したレー
ザ光を容易に得ることができる。
【0034】また、レンズホルダに球面平凸レンズをそ
の回転軸が入射レーザ光の光軸に対して数1で求められ
る角度を持つように固定した状態でレーザ光を光フアイ
バへ結合することにより、レーザ光の光路上に余分な光
学部品を挿入すること無く、光フアイバのコアの端面角
度に対して結合効率最大となる角度を持つ収束したレー
ザ光を容易に得ることができる。
【0035】さらに、大型のフオトダイオードキヤリア
の上面にレーザダイオードへの高周波用給電線を施すこ
とにより、余分な給電配線用のセラミツク基板を搭載す
ること無くケースの外からレーザダイオードへ高周波特
性を損なうことなく給電できる。
【0036】また、フオトダイオードキヤリアを台形の
形状としたことにより、フオトダイオード表面でのレー
ザダイオードの後面出射光の反射光をレーザダイオード
へ戻さないようにすることが安価に実現できる。
【0037】さらに、フオトダイオードキヤリアを一側
面が斜め上方を向く形状とした構成とすることにより、
フオトダイオード表面でのレーザダイオードの後面出射
光の反射光を容易にレーザダイオードへ戻さないように
することができる。
【0038】さらに、長方形平板のフオトダイオードキ
ヤリアをベースに対して斜めに配置することにより、フ
オトダイオード表面でのレーザダイオードの後面出射光
の反射光を容易にレーザダイオードへ戻さないようにす
ることができるとともに、非常に安価なフオトダイオー
ドキヤリアを得ることができる。
【0039】また、ベースの上面に凹没を形成し、その
凹没に合わせて長方形平板のフオトダイオードキヤリア
をベースに対し斜めに配置することにより、非常に安価
なフオトダイオードキヤリアを正確な位置に固定するこ
とが容易となる。
【0040】さらにまた、ベースの上面に段差を形成
し、その段差に合わせて長方形平板のフオトダイオード
キヤリアをベースに対し斜めに配置することにより、非
常に安価なフオトダイオードキヤリアを正確な位置に固
定することが容易となる。
【0041】また、ベースの上面に突起を形成し、その
突起に合わせて長方形平板のフオトダイオードキヤリア
をベースに対し斜めに配置することにより、非常に安価
なフオトダイオードキヤリアを正確な位置に固定するこ
とが容易となる。
【0042】さらに、傾斜した上面を有するベース上に
フオトダイオードキヤリアを配置することにより、フオ
トダイオード表面でのレーザダイオードの後面出射光の
反射光を容易にレーザダイオードへ戻さないようにする
ことができる。
【0043】また、斜めの端面を持つ光フアイバの端面
角度により決定される角度を持つ円筒穴が形成されたレ
ンズホルダに球面平凸レンズを取り付けることにより、
光フアイバのコアの端面角度に対してレーザ光を結合効
率最大となる角度を持たせて集光させる集光部品を得る
ことができる。
【0044】さらに、球面平凸レンズを、レーザ光の光
路がその球面の曲率中心を通り、レーザ光の光軸に対し
て上記球面平凸レンズの回転軸が光フアイバの端面角度
によって決定される最適な角度を持つように球面平凸レ
ンズを設置することにより、光フアイバにその端面に対
して最適な角度で結合することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1であるレーザダイオ
ードモジユールを示す図である。
【図2】 この発明の実施の形態3を示す集光部品の断
面図である。
【図3】 この発明の実施の形態5を示すチツプキヤリ
アの上面図である。
【図4】 この発明の実施の形態7を示すチツプキヤリ
アの断面図である。
【図5】 従来のレーザダイオードモジユールを示す断
面図である。
【符号の説明】
1 レーザダイオード、2 サブマウント、3 フオト
ダイオード、4 フオトダイオードキヤリア、5 セラ
ミツク基板、6 ベース、7 コリメートレンズ、8
コリメートレンズホルダ、9 ケース、10 信号ピ
ン、11 高周波用給電線、12 金ワイヤ、13 金
ワイヤ、14 金ワイヤ、15 金ワイヤ、16 パツ
ド、17 パツド、18 気密窓、19 レーザ光の光
軸、20収束型ロツドレンズ、21 収束型ロツドレン
ズの回転軸、22 レンズホルダ、23 光フアイバの
コア、24 フエルール、25 光フアイバ、26 フ
エルールホルダ、27 球面平凸レンズ、27a 球面
平凸レンズの球面、27b球面平凸レンズの平面、28
球面平凸レンズの回転軸、29 球面平凸レンズの球
面の曲率中心、30 ベース上の突起、31 ベース上
の突起、32 ベース上の突起。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザダイオードと、上記レーザダイオ
    ードの前面出射光をコリメートするコリメートレンズ
    と、上記コリメートレンズでコリメートされたレーザ光
    を集光する球面平凸レンズと、コリメートされたレーザ
    光の光軸に対し、上記球面平凸レンズの回転軸が光フア
    イバの端面角度によって決定される最適な角度を持つよ
    うに球面平凸レンズを固定支持するレンズホルダと、上
    記球面平凸レンズで集光されたレーザ光を結合させる光
    フアイバとを備えたことを特徴とするレーザダイオード
    モジユール。
  2. 【請求項2】 レーザダイオードと、このレーザダイオ
    ードの前面出射光を集光する球面平凸レンズと、上記レ
    ーザダイオードの出射光軸に対し、上記球面平凸レンズ
    の回転軸が光フアイバの端面角度によって決定される最
    適な角度を持つように球面平凸レンズを固定支持するレ
    ンズホルダと、上記球面平凸レンズで集光されたレーザ
    光を結合させる光フアイバとを備えたことを特徴とする
    レーザダイオードモジユール。
  3. 【請求項3】 上記レーザダイオードを給電するための
    高周波用給電線を有する平板のフオトダイオードキヤリ
    アと、このフオトダイオードキヤリアの側面に固着支持
    されたフオトダイオードと、上記フオトダイオードキヤ
    リアを支持するベースとを備えたことを特徴とする請求
    項1又は2記載のレーザダイオードモジユール。
  4. 【請求項4】 フオトダイオードキヤリアの形状を台形
    に加工した平板としたことを特徴とする請求項3記載の
    レーザダイオードモジユール。
  5. 【請求項5】 フオトダイオードキヤリアのフオトダイ
    オード取り付け面が斜め上方を向く平板の形状としたこ
    とを特徴とする請求項3記載のレーザダイオードモジユ
    ール。
  6. 【請求項6】 長方形平板のフオトダイオードキヤリア
    をベースに対し斜めに取り付けたことを特徴とする請求
    項3記載のレーザダイオードモジユール。
  7. 【請求項7】 ベースの上面に凹没を形成し、その凹没
    に合わせ長方形平板のフオトダイオードキヤリアをベー
    スに対し斜めに固定したことを特徴とする請求項6記載
    のレーザダイオードモジユール。
  8. 【請求項8】 ベースの上面に段差を形成し、その段差
    に合わせ長方形平板のフオトダイオードキヤリアをベー
    スに対し斜めに固定したことを特徴とする請求項6記載
    のレーザダイオードモジユール。
  9. 【請求項9】 ベースの上面に突起を形成し、その突起
    に合わせ長方形平板のフオトダイオードキヤリアをベー
    スに対し斜めに固定したことを特徴とする請求項6記載
    のレーザダイオードモジユール。
  10. 【請求項10】 底面に対し傾斜のある上面を有するベ
    ースを用いたことを特徴とする請求項6記載のレーザダ
    イオードモジユール。
  11. 【請求項11】 斜めの端面を持つ光フアイバの端面角
    度により決定される角度を持つ円筒穴が形成されたレン
    ズホルダに球面平凸レンズを取り付けたことを特徴とす
    る集光部品。
  12. 【請求項12】 球面平凸レンズを、レーザ光の光路が
    その球面の曲率中心を通り、レーザ光の光軸に対して上
    記球面平凸レンズの回転軸が光フアイバの端面角度によ
    って決定される最適な角度を持つように球面平凸レンズ
    を設置し、光フアイバにその端面に対して最適な角度で
    結合することを特徴とするレーザ光と光フアイバの光結
    合方法。
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