JPH09254067A - Ｉｃ吸着搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＩＣを真空吸着手段によって吸着して所望位
置に搬送するＩＣ吸着搬送装置の構成を簡素化し、コス
トダウンと安全性の向上を達する。 【解決手段】 支持基板に上下方向に支持された直線ガ
イドと、この直線ガイドに摺動自在に支持された可動子
と、その可動子に支持されたＩＣ吸着ヘッドとを具備し
て構成されるＩＣ吸着搬送装置において、直線ガイドの
上端側にモータを装着し、このモータの出力軸にプーリ
を取付け、プーリには巻きバネの一端を装着し、巻きバ
ネの他端をＩＣ吸着ヘッドに連結し、モータが巻きバネ
をプーリから繰出すことによりＩＣ吸着ヘッドを自重に
より降下させ、ＩＣ吸着ヘッドを巻きバネを介して上下
動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は例えば半導体集積
回路素子（以下ＩＣと称す）を真空吸着手段により吸着
してＸ−Ｙ平面上の任意の位置に配置したテスト部に順
次搬送し、またテスト部から試験が終了したＩＣを順次
搬出する動作を行なうＩＣ搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４に従来のＩＣ搬送装置の構造を示
す。図中１０はＩＣ吸着ヘッドを示す。このＩＣ吸着ヘ
ッド１０はＩＣ１を吸着するＩＣ吸着面１１と、このＩ
Ｃ吸着面１１に露出して形成した真空吸引孔１２とを有
し、この真空吸引孔１２にホース１３が接続され、ホー
ス１３が真空ポンプ（図示しない）に接続され、真空ポ
ンプの吸引力によってＩＣ１を吸着し、後で説明するＸ
−Ｙ搬送装置４０によってＸ−Ｙ搬送装置４０の可動範
内の任意の位置にＩＣ１を搬送し、また搬送したＩＣ１
を他の場所に移動させる等の動作を行なう。

【０００３】ＩＣ吸着ヘッド１０は緩衝装置２０を介し
て吸着ヘッド支持部材３３に支持される。吸着ヘッド支
持部材３３は上下方向に装着した直線ガイド３１によっ
て上下にガイドされる可動子３２に支持されて上下方向
に移動自在に支持される。可動子３２は連結部材３７と
ボールネジナット３６を通じてボールネジ３５に連結さ
れ、ボールネジ３５がモータ３４によって正転方向又は
逆転方向に駆動されることにより、上下方向に移動す
る。このためモータ３４は一般にパルスモータ或はサー
ボモータのように可逆転可能なモータが用いられる。

【０００４】直線ガイド３１、モータ３４、ボールネジ
３５は支持基板３８に取付けられて支持される。この支
持基板３８は上端側においてＸ−Ｙ搬送装置４０に取付
けられる。Ｘ−Ｙ搬送装置４０はＸ軸駆動ネジ軸４１
と、Ｙ幅駆動ネジ軸４２とを有し、これらＸ軸駆動ネジ
軸４１とＹ軸駆動ネジ軸４２を回転駆動することによ
り、ＩＣ吸着ヘッド１０の位置をＸ−Ｙ搬送装置の可動
範囲内の任意の位置に移動させる。

【０００５】つまり、Ｘ−Ｙ平面上の任意の位置にＩＣ
供給用のトレー（特に図示しない）が配置され、このト
レーに搭載されているＩＣ１を吸着し、この吸着したＩ
Ｃ１をＸ−Ｙ平面内に配置したＩＣテスト用のコンタク
ト部に搬送し、ＩＣを順次テストする。コンタクト部で
テストが終了したＩＣは再度、ＩＣ吸着ヘッド１０に吸
着されてＩＣ搬出用トレーに運ばれる。

【０００６】ここで、ＩＣ１をＩＣ吸着ヘッド１０から
排出する場合はＩＣ１を落し込む位置で、単に真空吸引
動作を停止させればＩＣ１を目的とする位置に落し込む
ことができる。然し乍らＩＣ１を吸着する場合にはＩＣ
吸着ヘッド１０はＩＣ１に限りなく近づく必要がある。
一般にはＩＣ吸着面１１がＩＣ１の頭面にわずかに触れ
る程度に接触させる必要がある。上下駆動手段３０によ
って直接ＩＣ吸着ヘッド１０をＩＣ１に接触させたとす
ると、モータ３４の慣性等によって行過ぎが生じ、ＩＣ
吸着ヘッド１０によってＩＣ１を押しつぶし破損させて
しまうおそれがある。よってこの破損事故の発生を回避
するために、従来は吸着ヘッド支持部材３３とＩＣ吸着
ヘッド１０との間に緩衝装置２０を介挿している。つま
り緩衝装置２０はＩＣ吸着ヘッド１０を上下動できるよ
うに支持した直線ガイド３１と、ＩＣ吸着ヘッド１０と
吸着ヘッド支持部材３３との間に反発力を与えるバネ２
２とによって構成し、モータ３４に行過ぎが生じても緩
衝装置２０によってその行過ぎを吸収するように構成し
ている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の上下駆動手段３
０はモータ３４の回転運動をボールネジ３５とボールネ
ジナット３６を用いて直線運動に変換している。このボ
ールネジ３５及びボールネジナット３６は高価な部品で
あるため、コストが掛る欠点がある。更に、吸着ヘッド
支持部材３３とＩＣ吸着ヘッド１０との間に緩衝装置２
０を介挿しなければならないため、この点でもコストが
高くなる欠点もある。

【０００８】また、従来の装置において、ＩＣ吸着ヘッ
ド１０が下降した位置で仮に停電し、この停電によって
ＩＣ吸着ヘッド１０がＩＣ１に接触した状態で停止し、
その状態で停電が復旧したとすると、その復旧の電気的
ショックによってＸ−Ｙ搬送装置４０が暴走することが
ある。また、停電した際にＩＣ吸着ヘッド１０がＩＣ１
に接触した状態で停止し、その状態でＸ−Ｙ搬送装置４
０を手動で移動させようとした場合、このような場合、
ＩＣ吸着ヘッド１０はＩＣ１を引きずり、またＩＣ吸着
ヘッド１０が平面上のトレー等に衝突し、ＩＣ吸着ヘッ
ド１０或は緩衝装置２０等を破損させてしまう事故が起
きるおそれがある。

【０００９】この破損事故が起きないようにするために
は、停電復旧時にＸ−Ｙ搬送装置４０がわずかでも動く
ことを阻止する安全回路及び復旧と同時にＩＣ吸着ヘッ
ド１０が下降位置にある場合は、先ず第１にＩＣ吸着ヘ
ッド１０を上昇させる処理を行なわせる初期化回路等を
付設しなければならない。この点からもコストが掛る欠
点が生じる。

【００１０】この発明の第１の目的は上下駆動手段を安
価な部品で構成すると共に、緩衝装置でも必要としない
構造としたＩＣ吸着搬送装置を提供しようとするもので
ある。この発明の第２の目的はＩＣ吸着ヘッドが下降位
置にある状態で停電しても、停電復旧時にＸ−Ｙ搬送装
置をロックさせる手段、或はＩＣ吸着ヘッドを上昇させ
る初期化手段を設ける必要がないＩＣ吸着搬送位置を提
供しようとするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明ではＩＣ吸着ヘ
ッドを上下方向にガイドする直線ガイドと、この直線ガ
イドの上端側に設けられたモータと、このモータの出力
軸に取付けたプーリと、このプーリに巻回され、モータ
が無励磁状態にあるとき自己の巻込力により吸着ヘッド
を直線ガイドの上端まで巻き上げることができる巻きバ
ネとによってＩＣ吸着搬送装置を構成する。

【００１２】この発明による構成によれば、モータと直
線ガイドによって上下動する可動子との間は巻きバネに
よって連結するだけであるから従来用いていたボールネ
ジ等の高価な部品を用いなくてよい。更に、可動子とＩ
Ｃ吸着ヘッドは自重によって降下するだけであるため、
モータの停止位置に多少行過ぎが生じても、吸着すべき
ＩＣには可動子と、ＩＣ吸着ヘッドの重量が掛るだけ
で、モータの駆動力は巻きバネが座屈変形することで吸
収されＩＣには伝達されない。

【００１３】従って可動子とＩＣ吸着ヘッドとの間に緩
衝装置を設ける必要がなく、よって全体としてコストダ
ウンが期待できる。また、ＩＣ吸着ヘッドが下降位置に
ある状態で停電しても、停電中に巻きバネは自己の巻込
力によってよく吸着ヘッドを上部位置に巻き上げること
ができる。よって、停電復旧時にはＸ−Ｙ搬送装置が暴
走しても安全であり、Ｘ−Ｙ搬送装置の暴走禁止回路或
はＩＣ吸着ヘッドを上昇させる処理を行なう初期化手段
を設ける必要がなく、この点でもコストダウンが期待で
きる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１乃至図３にこの発明によるＩ
Ｃ吸着搬送装置の実施構造の一例を示す。図４と対応す
る部分には同一符号を付して示す。図中３８は支持基板
を示す。この支持基板３８はこの実施例ではＸ−Ｙ搬送
装置４０に支持されてＸ−Ｙ方向に任意の位置に移動で
きるように構成した場合を示す。支持基板３８には上下
方向に差し渡されて直線ガイド３１が装着される。直線
ガイド３１に可動子３２が摺動自在に支持され、この可
動子３２に吸着ヘッド支持部材３３が取付けられる。吸
着ヘッド支持部材３３の下端側はＬ字状に折曲がって水
平部分が形成され、この水平部分にＩＣ吸着ヘッド１０
が装着される。

【００１５】直線ガイド３１の上端側にはパルスモータ
或はサーボモータのように可逆転可能なモータ３４が取
付けられる。モータ３４の出力軸（歯車機構により減速
されている軸）にプーリ３４Ａが取付けられる。プーリ
３４Ａには巻きバネ３４Ｂの一端が連結され、巻きバネ
３４Ｂがプーリ３４Ａから繰出される。巻きバネ３４Ｂ
としては例えば巻尺等に利用されている定張力を発生す
る巻きバネを用いることができる。巻きバネ３４Ｂの引
出端部を吸着ヘッド支持部材３３に連結し、これら直線
ガイド３１、可動子３２及び吸着ヘッド支持部材３３、
モータ３４とプーリ３４Ａ、巻きバネ３４Ｂによって上
下駆動手段３０を構成する。

【００１６】この発明の構成によればモータ３４が巻き
バネ３４Ｂをプーリ３４Ａから繰出す方向に回転するこ
とにより、吸着ヘッド支持部材３３及びＩＣ吸着ヘッド
１０は自重によって直線ガイド３１に沿って降下する。
ＩＣ吸着ヘッド１０のＩＣ吸着面１１が吸着すべきＩＣ
１の上面に接触した状態でもモータ３４が回転し続けた
としても巻きバネ３４Ｂが座屈変形するだけで、モータ
３４の駆動力がＩＣ１に伝わることはない。

【００１７】従って吸着ヘッド支持部材３３とＩＣ吸着
ヘッド１０との間に図４に示した緩衝装置２０を介挿し
なくても、ＩＣ１を破損させることはない。また、この
発明の構成によれば、ＩＣ吸着ヘッド１０がＩＣ１を吸
着すべく下降した位置にある状態で例えば停電により、
その位置に放置されたとしても、この場合にはモータ３
４は無励磁の状態にあるから、モータ３４の回転子は自
由に回転することができる。よって巻きバネ３４Ｂの巻
込力によってモータ３４の出力軸が回転され、巻きバネ
３４Ｂはプーリ３４Ａに巻込まれる。巻きバネ３４Ｂの
巻込力を吸着ヘッド支持部材３３とＩＣ吸着ヘッド１０
の重量の和を巻き上げるに足りる容量のものを使用する
ことにより、停電中に巻きバネ３４Ｂは吸着ヘッド支持
部材３３とＩＣ吸着ヘッド１０を直線ガイド３１の上端
部まで引き上げることができる。

【００１８】従って停電から復旧したとき、Ｘ−Ｙ搬送
装置４０がＸ方向又はＹ方向に暴走したとしても、ま
た、停電した際にＸ−Ｙ搬送装置４０を手動で移動させ
ようとしても、ＩＣ吸着ヘッド１０は上部位置に復帰し
ているからＩＣ吸着ヘッド１０がトレー支持部材等の障
害物に衝突して破損するような事故が起きるおそれもな
く安全性の高いＩＣ吸着搬送装置を提供することができ
る。また、安全性の向上とＸ−Ｙ搬送装置の暴走禁止手
段或は停電復旧時にＩＣ吸着ヘッド１０を上昇させる処
理を行なう初期化回路等を設ける必要がない。

【００１９】尚、上述の実施例ではＩＣ吸着ヘッド１０
をＸ−Ｙ搬送装置４０に支持させてＩＣを搬送する構成
の例を説明したが、ＩＣ吸着ヘッド１０を移動させる手
段としては回転アームの場合にも適用できることは容易
に理解できよう。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
上下駆動手段３０をモータ３４とプーリ３４Ａ、巻きバ
ネ３４Ｂによって構成したから、それらの部品はボール
ネジ等と比較して安価であるため、コストを大幅に低減
させることができる。更に、この発明によれば吸着ヘッ
ド支持部材３３とＩＣ吸着ヘッド１０との間に緩衝装置
１０を設ける必要がないから、この点でもコストダウン
が期待できる。

【００２１】また、この発明によればＩＣ吸着ヘッド１
０が降下位置に存在する状態で停電しても、停電中はモ
ータ３４は外力により自由に回転できる状態になるた
め、巻きバネ３４Ｂの巻込力によってＩＣ吸着ヘッド１
０を上部に巻き上げることができる。よって復電時にＸ
−Ｙ搬送装置４０が暴走しても、また、停電した際にＸ
−Ｙ搬送装置を手動で移動させようとしてもＩＣ吸着ヘ
ッド１０等を破損させる事故を防止でき、安全性の高い
ＩＣ搬送装置を提供することができる利点が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を説明するための正面図。

【図２】図１を側面から見た断面図。

【図３】図１を上方から見た平面図。

【図４】従来の技術を説明するための断面図。

【符号の説明】

１０ ＩＣ吸着ヘッド １１ ＩＣ吸着面 ２０ 緩衝装置 ３０ 上下駆動手段 ３１ 直線ガイド ３２ 可動子 ３３ 吸着ヘッド支持部材 ３４ モータ ３４Ａ プーリ ３４Ｂ 巻きバネ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ａ．ＩＣ吸着ヘッドを上下方向にガイド
   する直線ガイドと、 Ｂ．この直線ガイドの上端側に設けられたモータと、 Ｃ．このモータの出力軸に取付けられたプーリと、 Ｄ．このプーリに巻回され、自己の巻込力により上記Ｉ
   Ｃ吸着ヘッドを巻き上げる巻きバネと、によって構成し
   たことを特徴とするＩＣ吸着搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のＩＣ吸着搬送装置におい
   て、上記巻きバネは定張力バネを用い、その定張力バネ
   の巻込力は上記モータが無励磁状態にあるとき上記ＩＣ
   吸着ヘッドを上記直線ガイドの上端まで巻き上げる容量
   を持つことを特徴とするＩＣ吸着搬送装置。