CN117886123A - 一种检测装载装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种检测装载装置，解决了半导体产品检测时移动不便的问题，吸附机构位于导向机构上方，导向机构与吸附机构相间距设置，所述导向机构上设置有XYZ轴手动高精度滑台，所述XYZ轴手动高精度滑台上滑移设置有垫板，所述吸附机构包括支板、电机和吸附头，所述电机设置在所述支板上，所述电机的驱动端设置有丝杆，所述吸附头活动设置在所述丝杆上，所述吸附头位于所述垫板上方，由于采用吸附头真空吸附半导体产品，吸附头在吸附半导体产品时，又能清洁半导体产品时，而垫板在XYZ轴手动高精度滑台上可调节，这样垫板就能配合吸附头到不同的工位进行检测半导体产品，因此解决了半导体产品检测时移动不便的问题。

Description

一种检测装载装置

技术领域

本发明涉及半导体产品装夹领域，特别是涉及一种检测装载装置

背景技术

半导体产品通的各项要求非常高，如在转运或抓取，还要保持半导体产品的清洁，而半导体产品检测的工序特别多，所以需要多次转运或抓取。

在保证半导体产品质量的前提下，如何抓取半导体产品适用多次检测是要解决的问题。

发明内容

本发明的目的是要提供一种检测装载装置，解决了半导体产品检测时移动不便的问题。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

本发明提供了一种检测装载装置，包括导向机构和吸附机构，吸附机构位于导向机构上方，导向机构与吸附机构相间距设置，其特征在于，所述导向机构上设置有XYZ轴手动高精度滑台，所述XYZ轴手动高精度滑台上滑移设置有垫板，所述吸附机构包括支板、电机和吸附头，所述电机设置在所述支板上，所述电机的驱动端设置有丝杆，所述吸附头活动设置在所述丝杆上，所述吸附头位于所述垫板上方。

可选地，所述支板底部设置有平板，所述平板上设置有电缸，所述垫板上方活动设置有导电胶，所述导电胶设置在电缸的驱动端。

可选地，所述XYZ轴手动高精度滑台底部设置有滑板，与所述滑板配合设置有第一轨和第二轨，所述滑板滑移设置在所述第一轨和所述第二轨上。

进一步地，所述第一轨和所述第二轨底部设置有承载台，所述第一轨和所述第二轨平行间距设置在所述承载台上。

进一步地，所述承载台底部设置有多个导向柱和多个导向套，所述导向柱套设在所述导向套内。

进一步地，所述承载台两端分别设置有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板位于所述滑板的移动路径上。

进一步地，所述承载台底部设置有导向板，所述导向柱和所述导向套设置在所述导向板上，所述导向板上还设置有第二气缸，所述承载台位于所述第二气缸的驱动端上。

进一步地，所述导向板两端分别设置有第一限位柱和第二限位柱，所述第一限位柱和所述第二限位柱相对折弯，所述滑板位于所述第一限位柱和所述第二限位柱之间。

进一步地，所述平板一端设置有固定块，所述平板可旋转设置在所述固定块上，平板上部设置有限位块，所述限位块位于所述固定块竖直方向上。

进一步地，所述固定块底部设置有垫块，所述垫块上设置有滑槽，所述固定块滑移设置在所述滑槽内，所述垫块上还设置有升降机构，所述升降机构上设置有横梁，所述电缸设置在白发述横梁上。

由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

本发明的一种检测装载装置，由于采用吸附头真空吸附半导体产品，吸附头在吸附半导体产品时，又能清洁半导体产品时，而垫板在XYZ轴手动高精度滑台上可调节，再同进调节支板，这样垫板就能配合吸附头到不同的工位进行检测半导体产品，因此解决了半导体产品检测时移动不便的问题。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本发明的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本发明一个实施例一种检测装载装置的立体视图；

图2是图1所示部分结构放大视图；；

图3是图2所示A部放大视图。

其中，附图标记说明如下：

1、导向机构；6、吸附机构；7、导电胶；8、电缸；9、固定块；10、平板；

11、垫块；12、滑槽；13、升降机构；14、横梁；15、滑板；16、承载台；17、第一轨；18、第二轨；19、导向柱；20、导向套；23、第二气缸；24、导向板；

25、第一限位柱；26、第二限位柱；27、限位块；51、垫板；52、滑台；60、旋转块；61、支板；62、电机；63、吸附头；64、丝杆；65、联轴器66、轴承67、滑块68、导向杆69、旋转电机161、第一挡板；162、第二挡板；671、第一凸块；672、第二凸块；601、凸条；631、凹槽；681、第一气缸；682、弹簧。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1和图2及图3所示，导向机构1和吸附机构6，吸附机构6位于导向机构1上方，导向机构1与吸附机构6相间距设置，导向机构1上设置有XYZ轴手动高精度滑台52，XYZ轴手动高精度滑台52上滑移设置有垫板51，通过调整XYZ轴手动高精度滑台52，垫板51可在一个立体空间内移动，而垫板51是放置检测件的，吸附机构6包括支板61、电机62和吸附头63，电机62设置在所述支板61上，电机62的驱动端设置有丝杆64，吸附头63活动设置在丝杆64上，在电机62的驱动下，丝杆64开始旋转，吸附头63在丝杆64可上升或下降，吸附头63通过高压负载吸附半导体产品，同时也能清洁半导体产品。

吸附头63位于垫板51上方，通过周整支板61的位置，实现吸附头63吸附半导体产品，同时在移载，而垫板51通过调整XYZ轴手动高精度滑台52，可实现垫板51配合吸附头63调整位置。

与导电胶7相连接的有电缸8，操作台3上设置有固定块9，固定块9上可旋转设置有平板10，支板61设置在平板10，平板10平铺在操作台3上，固定块9可滑移设置在垫块11上，垫块11上设置有滑槽12，固定块9可滑移设置在滑槽12内，平板10上设置有限位块27，平板10在固定块9旋转时，限位块27起到限位作用。

垫块11上还设置有升降机构13，升降机构13上设置有横梁14，电缸8设置在横梁14上，通过升降机构13，横梁14和电缸8可上升或下降，平板10可旋转根据要检测的半导体产品确定，电缸8的升降也是根据要检测的半导体产品确定。

移动机构5还包括XYZ轴手动高精度滑台52，垫板51设置在所述XYZ轴手动高精度滑台52上，XYZ轴手动高精度滑台52底部设置在滑板15上，滑板15设置在第一轨17和第二轨18上，第一轨17和第二轨18上相间距设置，而第一轨17和第二轨18设置在承载台16上，承载台16两端分别设置有第一挡板161和第二挡板162，滑板15在第一挡板161和第二挡板162之间滑行，同时第一挡板161和第二挡板162限制滑板15滑行的距离。

承载台16底部设置多个导向柱19，导向柱19套设在导向套20内，承载台16底部还设置有第二气缸23，第二气缸23套设在导向板24内，以保持第二气缸23的稳定，同时导向柱19和导向套20都设置在导向板24上，导向柱19匹配导向套20均匀设置。

进一步地，导向板24上设置有第一限位柱25和第二限位柱26，第一限位柱25与第二限位柱26对称设置，第一限位柱25和第二限位柱26都经过90°折弯，第一限位柱25和第二限位柱26的折弯部相对设置，滑板15位于第一限位柱25和第二限位柱26之间，也就是滑板15向上移动的距离被第一限位柱25和第二限位柱26的折弯部共同阻挡。

第一限位柱25和第二限位柱26还能阻挡XYZ轴手动高精度滑台52的移动，也就是第一限位柱25和第二限位柱26位于XYZ轴手动高精度滑台52的移动路径上，这样第一限位柱25和第二限位柱26能起到限高的作用，同时能起到限制水平移动距离的作用。

电机62的驱动端设置有联轴器65，联轴器65与丝杆64相连接，电机62通过驱动联轴器65旋转，从而带动丝杆64旋转。

丝杆64上设置有轴承66，轴承66固定设置在支板61上，为防止丝杆64在竖直方向上倾斜，使用轴承66套设在丝杆64上，轴承66对于丝杆64有支撑和固定作用。

丝杆64上滑移设置有滑块67，滑块67滑移设置在支板61上，在保证滑块67上下移动的同时，避免滑块67在上下移动时产生旋转，吸附头63可设置在滑块67底部，滑块67通过支板61上的滑轨实现移动。

滑块67上设置有第一凸块671和第二凸块672，第一凸块671和第二凸块672之间设置有导向杆68，导向杆68上套设有第一气缸681和弹簧682，弹簧682抵接所述第一气缸681，吸附头63与第一气缸681驱动端连接，这样当吸附头63吸附半导体产品时，电机62驱动吸附头63向下移动设置距离，然后由第一气缸681驱动吸附头63向下移动设置距离，在半导体产品抵达检测件上时，由于弹簧682具有收缩性，所以吸附头63可有适当的向上回缩，避免半导体产品与检测件相碰撞，以至于损坏半导体产品和检测件。

第一气缸681的驱动端设置有旋转电机69，旋转电机69的驱动可旋转设置有旋转块60，吸附头63可拆卸设置在旋转块60上，根据半导体产品检测的需要，通过旋转电机69驱动旋转块60旋转，从而带动吸附头63旋转，第一气缸681驱动吸附头63精准调整。

旋转块60上设置有凸条601，吸附头63上设置有凹槽631，凸条601卡接在凹槽631内，用力推吸附头63时，吸附头63相对于旋转块60移动，也就是凹槽631可与凸条601分离。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种检测装载装置，包括导向机构（1）和吸附机构（6），吸附机构（6）位于导向机构（1）上方，导向机构（1）与吸附机构（6）相间距设置，其特征在于，所述导向机构（1）上设置有XYZ轴手动高精度滑台（52），所述XYZ轴手动高精度滑台（52）上滑移设置有垫板（51），所述吸附机构（6）包括支板（61）、电机（62）和吸附头（63），所述电机（62）设置在所述支板（61）上，所述电机（62）的驱动端设置有丝杆（64），所述吸附头（63）活动设置在所述丝杆（64）上，所述吸附头（63）位于所述垫板（51）上方。

2.根据权利要求1所述的检测装载装置，其特征在于，所述支板（61）底部设置有平板（10），所述平板（10）上设置有电缸（8），所述垫板（51）上方活动设置有导电胶（7），所述导电胶（7）设置在电缸（8）的驱动端。

3.根据权利要求1所述的检测装载装置，其特征在于，所述XYZ轴手动高精度滑台（52）底部设置有滑板（15），与所述滑板（15）配合设置有第一轨（17）和第二轨（18），所述滑板（15）滑移设置在所述第一轨（17）和所述第二轨（18）上。

4.根据权利要求3所述的检测装载装置，其特征在于，所述第一轨（17）和所述第二轨（18）底部设置有承载台（16），所述第一轨（17）和所述第二轨（18）平行间距设置在所述承载台（16）上。

5.根据权利要求4所述的检测装载装置，其特征在于，所述承载台（16）底部设置有多个导向柱（19）和多个导向套（20），所述导向柱（19）套设在所述导向套（20）内。

6.根据权利要求4所述的检测装载装置，其特征在于，所述承载台（16）两端分别设置有第一挡板（161）和第二挡板（162），所述第一挡板（161）和所述第二挡板（162）位于所述滑板（15）的移动路径上。

7.根据权利要求5所述的检测装载装置，其特征在于，所述承载台（16）底部设置有导向板（24） ，所述导向柱（19）和所述导向套（20）设置在所述导向板（24）上，所述导向板（24）上还设置有第二气缸（23），所述承载台（16）位于所述第二气缸（23）的驱动端上。

8.根据权利要求7所述的检测装载装置，其特征在于，所述导向板（24）两端分别设置有第一限位柱（25）和第二限位柱（26），所述第一限位柱（25）和所述第二限位柱（26）相对折弯，所述滑板（15）位于所述第一限位柱（25）和所述第二限位柱（26）之间。

9.根据权利要求2所述的检测装载装置，其特征在于，所述平板（10）一端设置有固定块（9），所述平板（10）可旋转设置在所述固定块（9）上，平板（10）上部设置有限位块（27），所述限位块（27）位于所述固定块（9）竖直方向上。

10.根据权利要求9所述的检测装载装置，其特征在于，所述固定块（9）底部设置有垫块（11），所述垫块（11）上设置有滑槽（12），所述固定块（9）滑移设置在所述滑槽（12）内，所述垫块（11）上还设置有升降机构（13），所述升降机构（13）上设置有横梁（14），所述电缸8设置在白发述横梁（14）上。