JPH09245482A - 論理回路及び半導体記憶装置 - Google Patents

論理回路及び半導体記憶装置

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JPH09245482A
JPH09245482A JP8051620A JP5162096A JPH09245482A JP H09245482 A JPH09245482 A JP H09245482A JP 8051620 A JP8051620 A JP 8051620A JP 5162096 A JP5162096 A JP 5162096A JP H09245482 A JPH09245482 A JP H09245482A
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JP
Japan
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bit line
nmos transistor
logic circuit
potential
cmos inverter
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JP8051620A
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English (en)
Inventor
Katsuhiro Shimazu
勝博 嶋津
Eiji Ohashi
栄治 大橋
Jun Miura
純 三浦
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Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Tohbu Semiconductor Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 低電圧かつ低消費電流での動作が可能なSR
AM等の半導体記憶装置及びその半導体記憶装置の書込
みドライバ回路に使用して好適なCMOSインバータ回
路を提供する。 【解決手段】 CMOSインバータ回路のNMOSFE
TQn1のソース端子と接地点GNDとの間に、ゲート
とドレインが短絡されかつソースとバックゲートが接地
された別のNMOSFETQn2を接続し、出力信号の
ロー電位を、NMOSFETQn2のしきい値電圧に等
しくなるようにした。SRAMのビット線BLT,BL
Bの書込みドライバ回路10をこのCMOSインバータ
回路で構成することによって、ビット線電位がローレベ
ルの時にビット線BLT,BLBが接地点GNDから絶
縁されるようにし、CMOSインバータ回路からロー電
位の信号が出力される際の消費電流を小さく抑えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、論理回路さらには
低電圧で駆動されるインバータ回路に適用して特に有効
な技術に関し、例えば低電圧で動作するスタティックR
AM(SRAM)の書込みドライバ回路に利用して有用
な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、SRAMにおいては、図6に示
すように、ハイ/ローいずれかのレベルの信号とそのレ
ベルを反転させた信号がそれぞれ伝送される一対の相補
性のビット線BLT,BLBとワード線WLとが交差す
る領域に、2個の駆動用MOS電界効果トランジスタ
(以下、MOSFETとする。)Qd1,Qd2及び2
個の抵抗素子R1,R2よりなるフリップフロップ回路
と、2個の転送用MOSFETQt1,Qt2とにより
構成されたメモリセルMCが配置されている。このメモ
リセルMCヘの情報(“0”または“1”)の書込み
は、ビット線BLT,BLBを通して、転送用MOSF
ETQt1,Qt2のバックバイアスが印加された状態
におけるしきい値電圧分だけ正電源電圧よりも低いレベ
ルの書込み電位が印加されることで行われる。従って、
近時のように、SRAMに低電圧(例えば3V)での動
作が要求される場合には、転送用MOSFETQt1,
Qt2のしきい値電圧を下げる必要がある。
【0003】しかし、転送用MOSFETQt1,Qt
2のしきい値電圧を下げた場合、高温環境下で長時間ビ
ット線電位0Vの状態が続くと、メモリセルMCの抵抗
素子R1,R2に流れる電流よりも大きなサブスレッシ
ョルド電流、すなわちリーク電流が転送用MOSFET
Qt1,Qt2に流れ、メモリセルMCに保持されてい
た記憶情報が失われてしまうおそれがある。これを防ぐ
ために、図13に示すように、常時オンしているビット
線プルアップ用MOSFETQp,Qpを設け、それら
を介してビット線BLT,BLBをそれぞれ正電源端子
Vccに接続することによって、ビット線BLT,BL
Bの電位が数百mV以下に下がらないようにしている。そ
れによって、非選択時におけるメモリセルMC1,…,
MC2の各転送用MOSFETQt1,Qt2のソース
(すなわち、ビット線BLT,BLB)の電位がゲート
電位よりも高くなるので、サブスレッショルド電流を低
減させることができる。
【0004】「超LSIメモリ」(伊藤清男著、培風
館)の第368頁には、ダイナミックRAM(DRA
M)について、上述したサブスレッショルド電流の低減
法と同様の技術が記載されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た技術には、次のような問題のあることが本発明者らに
よってあきらかとされた。
【0006】すなわち、SRAMのCMOSインバータ
回路で構成される書込みドライバ10が動作した時に、
上記プルアップ用MOSFETQpから上記書込みドラ
イバ10のCMOSインバータ回路11,12を構成す
る各nチャンネル型MOSFETを通して正電源端子V
ccから接地点に向かって直流電流が流れ、SRAMの
書込み動作時の消費電流が増えてしまう。
【0007】本発明はかかる事情に鑑みてなされたもの
で、低電圧かつ低消費電流での動作が可能なSRAM等
の半導体記憶装置及びその半導体記憶装置の書込みドラ
イバ回路に使用して好適なCMOSインバータ回路を提
供することを主たる目的としている。
【0008】この発明の前記ならびにそのほかの目的と
新規な特徴については、本明細書の記述及び添附図面か
ら明らかになるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、下記のと
おりである。
【0010】本発明の論理回路は、CMOSインバータ
回路などのCMOS論理回路を構成するNMOSトラン
ジスタのソース端子と接地点との間に、ダイオード手段
として、ゲートとドレインが短絡されかつソースとバッ
クゲートが接地されたNMOSトランジスタを接続した
ものである。それによって、例えばCMOSインバータ
回路から出力される信号のロー電位は、0Vでなく、ダ
イオード手段であるNMOSトランジスタのしきい値電
圧に等しくなる。
【0011】また、本発明の半導体記憶装置は、ビット
線の書込みドライバ回路を上記ダイオード手段であるN
MOSトランジスタを有するCMOSインバータ回路で
構成したものである。それによって、書込みドライバ回
路のCMOSインバータ回路からロー電位の信号が出力
される時のビット線電位は、ダイオード手段であるNM
OSトランジスタのしきい値電圧に等しくなる。また、
その際、ダイオード手段であるNMOSトランジスタは
オフ状態となる。従って、従来のようにビット線のロー
電位を数百mVに設定するためのプルアップ用MOSFE
Tを設けずに済むとともに、ビット線電位がローレベル
になる時にもビット線は接地点から絶縁されているの
で、CMOSインバータ回路からロー電位の信号が出力
される際の消費電流を小さく抑えることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は、本発明に係る論理回路の
一例を示す図である。この論理回路は、入力端子Vin
に入力される信号がロー電位の時にオンして(ハイ電位
の時にはオフ状態となる。)出力端子Voutからハイ
電位の信号を出力するpチャンネル型MOSFET(以
下、出力用PMOSFETと称する。)Qp1 と、入力
信号がハイ電位の時にオンして(ロー電位の時にはオフ
状態となる。)出力信号の電位をローレベルにするnチ
ャンネル型MOSFET(以下、出力用NMOSFET
と称する。)Qn1と、ローレベルの出力信号の電位を
自らのしきい値電圧Vthと等しくし得るNMOSFE
T(以下、クランプ用NMOSFETと称する。)Qn
2とを備えたCMOSインバータ回路である。
【0013】出力用PMOSFETQp1のソース及び
バックゲートは正電源端子Vccに接続されている。出
力用PMOSFETQp1のドレインは、出力用NMO
SFETQn1のドレインとともに、出力端子Vout
に共通接続されている。出力用のPMOSFETQp1
及びNMOSFETQn1の各ゲートは入力端子Vin
に共通接続されている。出力用NMOSFETQn1の
ソース及びバックゲートはクランプ用NMOSFETQ
n2のドレインに接続されている。
【0014】クランプ用NMOSFETQn2は、ゲー
トとドレインとが短絡されており、ソース及びバックゲ
ートが接地点GNDに接続されている。従って、このク
ランプ用MOSFETQn2は出力用NMOSFETQ
n1のソースから接地点GNDへ向かう方向を順方向と
するダイオードとして動作する。
【0015】このCMOSインバータ回路の入力端子V
inに前段の回路(図示省略した。)からロー電位が印
加されると、出力用PMOSFETQp1がオン状態と
なり、出力用NMOSFETQn1及びクランプ用NM
OSFETQn2はオフ状態となる。それによって、出
力端子Voutの電位は正の電源電圧に等しくなり、ハ
イ電位の信号が後段の回路(図示省略した。)へ出力さ
れる。
【0016】一方、入力端子Vinにハイ電位が印加さ
れると、出力用PMOSFETQp1はオフ状態とな
り、出力用NMOSFETQn1及びクランプ用NMO
SFETQn2はオン状態となる。それによって、出力
端子Voutの電位は、出力用NMOSFETQn1の
ソース端子の電位、すなわち図1のノードGの電位に等
しくなる。ここで、クランプ用NMOSFETQn2の
ゲートとドレインとが短絡されているため、図1のノー
ドGの電位は、クランプ用NMOSFETQn2のゲー
ト・ソース間電圧VGSと等しくなる。クランプ用NM
OSFETQn2は、そのゲート・ソース間電圧VGS
が自らのしきい値電圧Vthまで低くなると、電流を流
さなくなる。そのため、図1のノードGの電位はしきい
値電圧Vthよりも低くならない。従って、このCMO
Sインバータ回路にハイ電位の信号が入力されると、ク
ランプ用NMOSFETQn2のしきい値電圧Vthに
等しい電位の信号が出力端子Voutから出力されるこ
ととなる。
【0017】CMOSインバータ回路の製造プロセスに
おいて、クランプ用NMOSFETQn2のしきい値電
圧Vthを制御することにより、上記CMOSインバー
タ回路から出力される信号のロー電位を任意に設定する
ことができる。
【0018】図2及び図3は、それぞれ、図1に示した
CMOSインバータ回路及び一対のPMOSFETとN
MOSFETのみからなる通常のCMOSインバータ回
路(すなわち、本発明において、クランプ用NMOSF
ETQn2を設けない回路)の入出力特性のシミュレー
ション結果を示す図である。図2より、本発明に係るC
MOSインバータ回路では、入力信号の電位が0Vの時
の出力信号の電位は5Vであり、入力信号の電位が5V
の時の出力信号の電位は0.8V〜0.9V程度である
ことがわかる。それに対して、図3より、通常のCMO
Sインバータ回路では、入力信号の電位が5Vの時に0
Vの電位の信号が出力されることがわかる。なお、図2
のシミュレーションでは、出力用PMOSFETQp
1、出力用NMOSFETQn1及びクランプ用NMO
SFETQn2のW/L(L:チャネル長、W:チャネ
ル幅)の値をいずれも40/0.8とした。また、図3
のシミュレーションでは、PMOSFET及びNMOS
FETのW/Lの値をそれぞれ40/0.8及び20/
0.8とした。
【0019】図4及び図5は、図1のCMOSインバー
タ回路をSRAMの書込みドライバに適用した例の概略
を示す図である。このSRAMでは、外部回路(図示省
略した。)からアドレス端子を介して入力されたアドレ
ス信号は、カラムアドレス信号Amとロウアドレス信号
Anとに分離され、それぞれY系デコーダ20とX系デ
コーダ30に内部アドレスバス40を介して送られる。
そして、X系デコーダ30によりロウアドレス信号がデ
コードされてメモリアレイ50のワード線が選択され
る。また、Y系デコーダ20によりカラムアドレス信号
がデコードされ、そのデコード信号に基づいてY系スイ
ッチ60によりメモリアレイ50のビット線が選択され
る。それによって、メモリアレイ50の中の特定のメモ
リセルMCが選択される。
【0020】SRAMと外部回路とのデータのやり取り
はデータ入出力端子I/Oを介して行われる。データの
書込み時には、外部から入力されたデータ信号は内部デ
ータバス70を介して書込みドライバ10に送られる。
そして、外部の制御回路からSRAM半導体チップの選
択信号入力端子/CS及び書込み信号入力端子/WE
(ここで、CSやWEなど端子名の前に付した“/”は
ロー電位の信号が入力された時に有効となることを意味
する。)にそれぞれロー電位の信号が入力されると、書
込みドライバ10のビット線ドライバT12及びビット
線ドライバB11と各ビット線BLT,BLBとの間に
それぞれ設けられた書込み制御用ゲート15,15がオ
ンして、アドレス信号により選択されたメモリセルMC
に書込みドライバ10からデータ信号が送られて1ビッ
トずつ書き込まれる。ここで、ビット線ドライバT12
及びビット線ドライバB11はいずれも、例えば図1の
CMOSインバータ回路で構成されている。
【0021】データの読出し時には、外部の制御回路か
ら出力制御信号入力端子/OE、選択信号入力端子/C
S及び書込み信号入力端子/WEにそれぞれロー電位、
ロー電位及びハイ電位の信号が入力される。それによっ
て、メモリセルMCに接続され得る一対の相補性のビッ
ト線BLT,BLB(図6参照)の電位を一旦ハイレベ
ルにするイコライズ回路(または、プリチャージ回路)
80が動作して、それらビット線BLT,BLBの電位
がハイレベルとなる。そして、アドレス信号により選択
されたメモリセルMCに記憶保持された情報(“0”ま
たは“1”)によって、ビット線BLT,BLBのいず
れかの電位が変化し、その微小な変化がセンスアンプ9
0により増幅されて読出しデータ信号としてデータバス
70に送られる。その際、書込み制御用ゲート15,1
5はオフ状態である。
【0022】メモリセルMCは、その一例を図6に示す
ように、一対の相補性のビット線BLT,BLBとワー
ド線WLとが交差する領域に、2個の駆動用NMOSF
ETQd1,Qd2及びポリシリコン等で形成された2
個の抵抗素子R1,R2よりなるフリップフロップ回路
と、2個の転送用NMOSFETQt1,Qt2とによ
り構成されている。
【0023】次に、図1のCMOSインバータ回路を書
込みドライバ10のビット線ドライバT12及びビット
線ドライバB11に適用したSRAMの動作について、
図5を参照しながら具体例を挙げて説明する。
【0024】まず、メモリセルMC1に“1”の情報を
記憶させる場合について説明する。カラムアドレス信号
に対応するY系スイッチ信号の入力端子YCにハイ電位
の信号が入力され、Y系スイッチ60内の該当するスイ
ッチ用ゲート(NMOSFETでできている。)Qn,
Qnがオン状態となる。また、書込み制御用ゲート1
5,15がオンする。それによって、ビット線ドライバ
T12とビット線BLT、及びビット線ドライバB11
とビット線BLBがそれぞれ接続される。そして、ロウ
アドレス信号に対応してワード線WL1がハイ電位(他
のワード線はロー電位)となり、メモリセルMC1とビ
ット線BLT,BLBが接続される。この状態で、ビッ
ト線ドライバT12の入力端子VinTにロー電位が印
加され、かつビット線ドライバB11の入力端子Vin
Bにハイ電位が印加されると、ビット線BLTはハイ電
位、ビット線BLBはロー電位となり、メモリセルMC
1には“1”の情報が記憶される。
【0025】続いて、メモリセルMC1と同じビット線
BLT,BLBに接続され得る別のメモリセルMC2に
“0”の情報を記憶させる場合について説明する。ワー
ド線WL1がロー電位とされてメモリセルMC1がビッ
ト線BLT,BLBから切り離される。それによって、
メモリセルMC1に記憶された情報“1”は保持状態と
なる。一方、ワード線WL2はハイ電位とされ、メモリ
セルMC2とビット線BLT,BLBとが接続される。
この状態で、ビット線BLT側の入力端子VinT及び
ビット線BLB側の入力端子VinBにそれぞれハイ電
位及びロー電位が印加されると、ビット線BLT,BL
Bはそれぞれロー電位及びハイ電位となる。従って、メ
モリセルMC2に“0”の情報が記憶される。
【0026】メモリセルMC2に“0”の情報が記憶さ
れる際、ビット線BLTの電位(ロー電位)は、ビット
線ドライバT12内のクランプ用NMOSFETQn2
(図1参照)のしきい値電圧Vth(数百mV程度)に等
しくなる。ビット線BLTの電位がVthに等しくなる
と、クランプ用NMOSFETQn2には電流が流れな
くなる。しかも、この実施例では図13に示されている
プルアップ用MOSFETQpを設ける必要がないの
で、ビット線BLTから接地点GNDヘは電流が流れな
い。従って、消費電流が低く抑えられるという効果が得
られる。加えて、ビット線BLT,BLBのローレベル
の電位が数百mV程度であるため、イコライズ回路(また
は、プリチャージ回路)80によりビット線BLT,B
LBの電位をハイレベルにする際に、0Vの電位からチ
ャージするよりもチャージに要する時間が短くて済む。
従って、SRAMの高速動作が可能となる。
【0027】また、メモリセルMC1の転送用NMOS
FETQt1(図6参照)のゲート・ソース間電圧VG
Sは−VthVすなわち−数百mVになり、VGSが0V
の場合に比べてサブスレッショルド電流の大きさはおよ
そ次式で示されるような値となる。
【0028】
【数1】 従って、高温環境下でメモリセルMC2に“0”の情報
を書き込む際に、メモリセルMC1にリーク電流(サブ
スレッショルド電流)が流れてその記憶情報“1”が破
壊されることはないという効果が得られる。
【0029】図7〜図10は、それぞれ本発明に係る論
理回路の他の例を示す図である。
【0030】図7に示す論理回路は、図1のCMOSイ
ンバータ回路の前段にナンド回路1とノア回路2とイン
バータ回路3を組み合わせてなる入力回路を設けたもの
である。入力端子Vinには、ナンド回路1の一方の入
力端子とノア回路2の一方の入力端子とが共通接続され
ている。また、ナンド回路1の他方の入力端子には外部
のタイミング制御回路(図示省略した。)などから送ら
れてくるクロック信号CLKが入力される。ノア回路2
の他方の入力端子にはクロック信号CLKがインバータ
回路3を介して反転されて入力される。図7の論理回路
によれば、クロック信号CLKがハイ電位で、かつ入力
信号がハイ電位及びロー電位の時に出力端子Voutの
電位はそれぞれハイレベル及びローレベルとなる。ま
た、クロック信号CLKがロー電位の時には出力端子V
outはハイインピーダンスとなる。図7の論理回路
を、SRAMの書込みドライバ10として用いることが
でき、その場合、第1の実施例と同様の作用・効果が得
られる。
【0031】図8に示す論理回路は、クロック形CMO
Sインバータ回路の一例である。このクロック形CMO
Sインバータ回路は、図1のCMOSインバータ回路の
出力用PMOSFETQp1と正電源端子VCCとの間
に、クロック信号CLKをゲートに受けるクロック入力
用PMOSFETQp2を接続するとともに、出力用N
MOSFETQn1とクランプ用NMOSFETQn2
との間に、クロック信号CLKをゲートに受けるクロッ
ク入力用NMOSFETQn3を接続したものである。
図8の論理回路によれば、クロック信号CLKがハイ電
位の時に出力端子Voutの電位は入力信号の反転デー
タとなる。また、クロック信号CLKがロー電位の時
は、出力端子Voutはハイインピーダンスとなる。図
8の論理回路を、SRAMの書込みドライバ10として
用いることができ、その場合、第1の実施例と同様の作
用・効果が得られる。
【0032】図9に示す論理回路は、クロック形CMO
Sインバータ回路の他の例である。このクロック形CM
OSインバータ回路は、図1のCMOSインバータ回路
の出力用PMOSFETQp1と出力用NMOSFET
Qn1との間に、クロック信号CLKをそれぞれゲート
に受けるクロック入力用のPMOSFETQp2及びN
MOSFETQn3を順に接続したものである。図9の
論理回路によれば、クロック信号CLKがハイ電位の時
に出力端子Voutの電位は入力信号の反転データとな
る。また、クロック信号CLKがロー電位の時には、出
力端子Voutはハイインピーダンスとなる。図9の論
理回路を、SRAMの書込みドライバ10として用いる
ことができ、その場合、第1の実施例と同様の作用・効
果が得られる。
【0033】図10に示す論理回路は、出力用のPMO
SFETQp11及びNMOSFETQn11、出力用
のPMOSFETQp21及びNMOSFETQn2
1、並びに出力用のPMOSFETQp31及びNMO
SFETQn31よりなる複数の通常のインバータ回路
に対して、クランプ用NMOSFETQn2を一つだけ
共通に設けて兼用するようにしたものである。このよう
にすれば、クランプ用NMOSFETQn2の数を減ら
すことができるので、チップ面積の増大を抑制すること
ができる。
【0034】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0035】例えば、図1のクランプ用NMOSFET
Qn2の代わりにPN接合形のダイオードを用いてもよ
い。
【0036】また、図11に示すように、イコライズ回
路(または、プリチャージ回路)80を備えたデータバ
スのドライバとして図1のCMOSインバータ回路を用
いてもよい。そうすれば、データバスのロー電位がクラ
ンプ用NMOSFETQn2のしきい値電圧Vthに等
しくなるので、データバスをハイ電位にチャージする際
の所要時間が短縮される。また、データバスの電荷の充
放電が少なくなるので、消費電流の低減効果が得られ
る。
【0037】さらに、図12に示すように、CMOSイ
ンバータ回路に限らず、ナンド回路、ノア回路またはそ
の他の複合ゲートなどからなる論理回路100内のNM
OSFETQn1のソースと接地点との間にクランプ用
NMOSFETQn2(または、PN接合形ダイオー
ド)を接続してもよい。
【0038】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
記憶装置に適用した場合について説明したが、この発明
はそれに限定されるものではなく、半導体集積回路装置
に利用することができる。
【0039】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
のとおりである。
【0040】すなわち、消費電流を低く抑えながら、S
RAM等の半導体記憶装置を低電圧で動作させることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したCMOSインバータ回路の一
例を示す図である。
【図2】図1のCMOSインバータ回路の入出力特性の
シミュレーション結果を示す図である。
【図3】通常のCMOSインバータ回路の入出力特性の
シミュレーション結果を示す図である。
【図4】図1のCMOSインバータ回路をSRAMの書
込みドライバに適用した例の全体の概略を示す図であ
る。
【図5】そのSRAMの要部を示す図である。
【図6】そのSRAMのメモリセル周辺の回路図であ
る。
【図7】本発明に係る論理回路の他の例を示す図であ
る。
【図8】本発明に係る論理回路の他の例を示す図であ
る。
【図9】本発明に係る論理回路の他の例を示す図であ
る。
【図10】本発明に係る論理回路の他の例を示す図であ
る。
【図11】本発明に係るCMOSインバータ回路をデー
タバスのドライバに適用した例を示す図である。
【図12】本発明を種々の論理回路に応用した例を示す
概略図である。
【図13】従来のSRAMの要部を示す図である。
【符号の説明】
BLT,BLB ビット線 GND 接地点 MC,MC1,MC2 メモリセル Qn1,Qn11,Qn21,Qn31 出力用NM
OSFET(第1のNMOSトランジスタ) Qn2 クランプ用NMOSFET(第2のNMOS
トランジスタ) Qp1 出力用PMOSFET WL,WL1,WL2 ワード線 10 書込みドライバ(ビット線ドライバ) 11 ビット線ドライバB 12 ビット線ドライバT 50 メモリアレイ 80 イコライズ回路(イコライズ手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三浦 純 埼玉県入間郡毛呂山町大字旭台15番地 日 立東部セミコンダクタ株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電源電圧端子と接地点との間にPMOS
    トランジスタとNMOSトランジスタが直列に接続され
    てなるCMOS論理回路において、NMOSトランジス
    タのソース端子と接地点との間に、該ソース端子から接
    地点に向かって順方向となるダイオード手段が接続され
    ていることを特徴とする論理回路。
  2. 【請求項2】 前記ダイオード手段は、ゲートとドレイ
    ンが短絡されかつソースとバックゲートが接地された第
    2のNMOSトランジスタで構成され、該第2のNMO
    Sトランジスタのドレイン端子が上記第1のNMOSト
    ランジスタのソース端子に接続されていることを特徴と
    する請求項1記載の論理回路。
  3. 【請求項3】 前記第1のNMOSトランジスタは、ソ
    ースに電源電圧が供給され得るPMOSトランジスタと
    対をなしてCMOSインバータ回路を構成していること
    を特徴とする請求項1または2記載の論理回路。
  4. 【請求項4】 前記第2のNMOSトランジスタのドレ
    イン端子に、複数のCMOSインバータ回路の各NMO
    Sトランジスタのソース端子が共通接続されていること
    を特徴とする請求項3記載の論理回路。
  5. 【請求項5】 複数のメモリセルがマトリクス状に配置
    されたメモリアレイと、該メモリアレイの各列毎に一対
    ずつ配設され同一列のメモリセルに接続可能な相補性の
    ビット線対と、前記メモリアレイの各行毎に配設され同
    一行のメモリセルに接続可能なワード線と、前記各相補
    性のビット線対の電位を同一レベルに設定可能なイコラ
    イズ手段と、前記各ビット線毎に接続可能に設けられか
    つメモリセルにデータを書き込む際に駆動されるCMO
    S論理回路からなるビット線ドライバ回路とを備えたス
    タティックRAMであって、前記ビット線ドライバ回路
    を構成するNMOSトランジスタのソース端子と接地点
    との間には、ゲートとドレインが短絡されかつソースと
    バックゲートが接地された第2のNMOSトランジスタ
    が接続されていることを特徴とする半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記第2のNMOSトランジスタのドレ
    イン端子に、前記ビット線ドライバの複数のCMOSイ
    ンバータ回路を構成する各NMOSトランジスタのソー
    ス端子が共通接続されていることを特徴とする請求項5
    記載の半導体記憶装置。
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