JPH09239657A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 動作時におけるサンギア及びインターナルギ
アの磨耗を防止することで、各ギアの長寿化とワークの
汚染防止とを図ることができ、しかも、メインテナンス
の簡略化を図ることができる研磨装置を提供する。 【構成】 サンギア３と、このサンギア３と係合するキ
ャリア７と、このキャリア７と内周部で係合するインタ
ーナルギア４と、これらのギアの上下に配された上定盤
及び下定盤５とを具備し、キャリア７に保持されたワー
ク２００を上，下定盤５で研磨する構成となっている。
そして、サンギア３の歯部３０を、外周縁部に立設され
たピン体３１と、ピン体３１に回転可能に嵌められたリ
ング体３２とで形成し、インターナルギア４の歯部４０
を、内周縁部に立設されたピン体４１と、ピン体４１に
回転可能に嵌められたリング体４２とで形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、サンギアとインタ
ーナルギアによって自，公転されるプラネットギア（以
下「キャリア」と記す）に保持されたワークを上，下定
盤で研磨する研磨装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の研磨装置としては、例え
ば図８に示すような技術がある。図８において、符号１
００は、駆動回転するサンギアであり、このサンギア１
００の外歯１０１に、キャリア１１０の外歯１１１が噛
み合っている。そして、サンギア１００を中心とした外
周にインターナルギア１２０が配置され、このインター
ナルギア１２０の内歯１２１に、キャリア１１０の外歯
１１１が噛み合っている。このようなサンギア１００，
キャリア１１０，インターナルギア１２０の下側には、
下定盤１３０が配設されており、上側には、図示しない
上定盤が配設されている。かかる構成により、サンギア
１００とインターナルギア１２０とを回転させると、こ
れらのギアに噛み合った薄いキャリア１１０が、自転し
ながら下定盤１３０と同方向に回転するようになってい
る。したがって、キャリア１１０のワーク保持孔１１２
にワーク２００を挿入して、上定盤と下定盤１３０とで
ワーク２００を挟み、研磨剤を、上定盤に穿設された多
数の研磨剤供給孔から供給しながら、上定盤と下定盤１
３０とを互いに逆方向に回転させることで、ワーク２０
０を上定盤と下定盤１３０とで所望の状態に研磨するこ
とができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
の研磨装置では、次のような問題があった。図９は、図
８の矢視Ａ−Ａ断面図である。従来の研磨装置は、図９
に示すように、キャリア１１０の外歯１１１がサンギア
１００及びインターナルギア１２０の外歯１０１及び内
歯１２１のほぼ中央部分ａで常に係合するように設定さ
れている。このため、外歯１０１及び内歯１２１の中央
部分ａが、摩擦によって短時間で磨耗し、外歯１１１と
の係合状態が所期の状態からずれ、回転時のキャリア１
１０がガタつくこととなる。この結果、ワークの加工精
度が低下することとなる。また、ワーク２００がキャリ
ア１１０から外れたりする事故が発生することもある。
また、外歯１０１及び内歯１２１の磨耗によって発生し
た磨耗粉がワーク２００に飛散し、ワーク２００の金属
汚染が発生するという問題があった。さらに、上記の如
く、サンギア１００とインターナルギア１２０との寿命
が短いことから、短期間で定期的にサンギア１００とイ
ンターナルギア１２０とを新しいギアに交換する必要が
あるが、研磨装置に複雑に組み付けられたサンギア１０
０とインターナルギア１２０全体を交換しなければなら
ないので、交換作業が繁雑であった。

【０００４】これに対処可能な技術として、特公平６−
３２９００号公報記載の「平面研磨装置」がある。この
研磨装置は、図９に示すサンギア１００及びインターナ
ルギア１２０を上下に移動することができるようにした
技術である。すなわち、サンギア１００及びインターナ
ルギア１２０を上下に移動して、キャリア１１０の外歯
１１１と外歯１０１及び内歯１２１との係合位置を下側
部ｂや上側部ｃに変えることができる構造になってい
る。これにより、サンギア１００及びインターナルギア
１２０の寿命を約３倍延ばすようにしている。しかしな
がら、この平面研磨装置は、歯同士が係合した際に生じ
る磨耗自体を根本的に解決したものではない。すなわ
ち、磨耗箇所は変わるが、外歯１０１及び内歯１２１の
各部分ａ，ｂ，ｃで磨耗は必ず発生し、その磨耗粉がワ
ーク２００に飛散して、ワーク２００を汚染することに
は変わりがない。

【０００５】本発明は上述した課題を解決するためにな
されたもので、動作時におけるサンギア及びインターナ
ルギアの磨耗を防止することで、各ギアの長寿化とワー
クの汚染防止とを図ることができ、しかも、メインテナ
ンスの簡略化を図ることができる研磨装置を提供するこ
とを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、サンギアと、このサンギアと係
合するプラネットギアと、このプラネットギアと内周部
で係合するインターナルギアと、これらのギアの上下に
配された上定盤及び下定盤とを具備し、上記プラネット
ギアに保持されたワークを上記上，下定盤とで研磨する
研磨装置において、上記サンギアの歯部を、上記プラネ
ットギアの歯部との係合時に摩擦方向に回転する第１の
回転部材と、この第１の回転部材を回転可能に支持する
第１の支持部材とで形成し、上記インターナルギアの歯
部を、上記プラネットギアの歯部との係合時に摩擦方向
に回転する第２の回転部材と、この第２の回転部材を回
転可能に支持する第２の支持部材とで形成した構成とし
てある。かかる構成により、サンギアの歯部がプラネッ
トギアの歯部と係合すると、第１の支持部材で支持され
た第１の回転部材が、プラネットギアの歯部との摩擦方
向に回転する。また、インターナルギアの歯部がプラネ
ットギアの歯部と係合すると、第２の支持部材で支持さ
れた第２の回転部材が、プラネットギアの歯部との摩擦
方向に回転する。これにより、プラネットギアの歯部と
サンギア及びインターナルギアの歯部との間に摩擦力が
ほとんど生じない。

【０００７】請求項２の発明は、請求項１に記載の研磨
装置において、上記第１及び第２の回転部材は、上記第
１及び第２の支持部材に対して着脱自在である構成とし
た。かかる構成により、第１及び第２の回転部材を第１
及び第２の支持部材から取り外して、新しい第１及び第
２の回転部材を第１及び第２の支持部材に取り付けるこ
とができる。

【０００８】請求項３の発明は、請求項２に記載の研磨
装置において、上記第１の支持部材を、上記サンギアの
外周縁部に立設した第１のピン体で形成すると共に、上
記第１の回転部材を、この第１のピン体に遊嵌された第
１のリング体で形成し、上記第２の支持部材を、上記イ
ンターナルギアの内周縁部に立設した第２のピン体で形
成すると共に、上記第２の回転部材を、この第２のピン
体に遊嵌された第２のリング体で形成し、上記第１及び
第２のピン体の上部の各々に、上記第１及び第２のリン
グ体の抜け止め用部材を着脱自在に取り付けた構成とし
てある。かかる構成により、 サンギアの外周縁部及び
インターナルギアの内周縁部に立設された第１及び第２
のピン体に遊嵌された第１及び第２のリング体が、キャ
リアの歯部との係合時に回転し、この回転時における第
１及び第２のリング体の抜けが抜け止め用部材によって
防止される。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形
態に係る研磨装置の全体を一部破断して示す概略図であ
る。本実施形態の研磨装置は、図１に示すように、装置
本体１と、この装置本体１上に組み付けられた上定盤移
動機構２とで構成されている。

【００１０】装置本体１は、上面に露出されたサンギア
３とインターナルギア４と下定盤５を所定方向に所定回
転速度で回転させるための機構を備えている。具体的に
は、装置本体１内部に取り付けられたメインモータ１０
と変速機１１とがベルト１２を介して連結され、変速機
１１がギア機構１３に連結されている。そして、このギ
ア機構１３に、サンギア３，インターナルギア４，下定
盤５が接続されている。サンギア３は、ギア機構１３か
ら定盤５の中心孔５０内に突出した回転軸１３ａの先端
に固着されており、その上面には、縦溝１４ａを有する
ドライバ１４が着脱自在に取り付けられている。また、
インターナルギア４及び下定盤５は、図示しないベアリ
ング機構などによってギア機構１３に連結されている。
これにより、メインモータ１０の駆動力がベルト１２を
介して変速機１１に伝達され、変速機１１で所定速度に
変速された後、ギア機構１３を介してサンギア３，イン
ターナルギア４，下定盤５に伝達され、サンギア３と下
定盤５とが逆方向に回転し、インターナルギア４がサン
ギア３と同方向に回転するようになっている。

【００１１】一方、上定盤移動機構２は、上定盤６を上
下動させる共に下方向に所定圧力で加圧するための機構
である。具体的には、装置本体１の上面にポール２０が
立設され、このポール２０に、シリンダアーム２１が上
下動可能に取り付けられている。そして、シリンダアー
ム２１の先端部に、上定盤６の上下移動及び加圧用のシ
リンダ２２が取り付けられ、シリンダ２２の下側に、パ
ウダーリング２３を介して上定盤６が取り付けられてい
る。上定盤６は、その中心部にドライバ１４を挿通させ
る中心孔６０を有しており、上定盤６が下降すると、ド
ライバ１４がこの孔６０に挿通されて、ドライバ１４の
縦溝１４ａとドライバフック２４とが係合するようにな
っている。これにより、上定盤６がサンギア３の回転と
同方向に回転する。すなわち、上定盤６と下定盤５とが
互いに逆方向に回転するようになっている。さらに、こ
のような上定盤６の周縁部には、多数の研磨剤供給孔６
１が穿設されており、この研磨剤供給孔６１に、パウダ
ーリング２３からのチューブ６２が接続されている。こ
れにより、パウダーリング２３からの研磨剤が、研磨剤
供給孔６１からインターナルギア４と下定盤５との間に
供給されるようになっている。なお、符号７，２００
は、キャリア，ワークであり、符号８は、操作パネルで
ある。この操作パネル８は、メインモータ１０のオン，
オフ操作、変速機１１の調整操作、研磨剤の供給操作な
どを行うためのパネルである。

【００１２】次いで、本実施形態の要部であるサンギア
３及びインターナルギア４の構造について詳説する。図
２は、サンギア３とキャリア７とインターナルギア４と
の噛み合い状態を示す平面図であり、図３はサンギア３
の歯部を示す断面図であり、図４はこの歯部の取り外し
状態を示す断面図であり、図５はインターナルギア４の
歯部を示す断面図であり、この歯部の取り外し状態を示
す断面図である。

【００１３】サンギア３は、図２に示すように、その外
周縁部に、キャリア７の外歯７０に係合する複数の歯部
３０を有している。具体的には、図２及び図３に示すよ
うに、サンギア３の中心側に向かって略半円状に凹んだ
逃げ部３６が、サンギア３の外周縁部に多数凹設され、
各逃げ部３６内に、クリアランスＬを持って各歯部３０
が立設されている。すなわち、ピン体３１（第１のピン
体）を、サンギア３の外周縁部に穿設された孔３４に下
側から挿通し、下端部においてナット３１ａで固定して
いる。そして、突出したピン体３１に円筒状のリング体
３２（第１のリング体）を遊嵌した後、つまみ３３ａを
有したキャップ３３（抜き止め用部材）をピン体３１の
上部に螺入して、歯部３０を形成している。これによ
り、リング体３２がピン体３１に支持された状態でピン
体３１の周りで回転することができ、しかも、この回転
時に、ピン体３１が上方に跳ねて、ピン体３１から抜け
ようとすると、キャップ３３によって阻止されるように
なっている。また、図４に示すように、キャップ３３の
つまみ３３ａを回転させて、キャップ３３をピン体３１
から取り外すことで、リング体３２をピン体３１から抜
き取ることができる。なお、逃げ部３６は、孔３４を穿
設する際の位置決め用として機能する。

【００１４】一方、インターナルギア４も、図２に示す
ように、その内周部に、キャリア７の外歯７０が係合す
る複数の歯部４０を有している。具体的には、図２及び
図５に示すように、インターナルギア４の上面内側に段
差４６が設けられ、この段差４６上に隔壁４５が立設さ
れており、この隔壁４５の内側に、各歯部４０がクリア
ランスＭを持って立設されている。すなわち、ピン体４
１（第２のピン体）を、段差４６に穿設された孔４４に
上側から打ち込んで立て、このピン体４１に円筒状のリ
ング体４２（第２のリング体）を遊嵌した後、つまみ４
３ａを有したキャップ４３（抜き止め用部材）をピン体
４１の上部に螺入して、歯部４０を形成している。これ
により、サンギア３の歯部３０と同様に、リング体４２
がピン体４１に支持された状態でピン体４１の周りで回
転し、リング体４２の抜けがキャップ３３によって阻止
される。また、図６に示すように、キャップ４３のつま
み４３ａを回転させて、キャップ４３をピン体４１から
取り外すことで、リング体４２をピン体４１から抜き取
ることができる。

【００１５】次に、本実施形態の研磨装置が示す動作に
ついて説明する。図７は、サンギアの歯部の作用を示す
平面図である。まず、図１及び図２に示すように、キャ
リア７を下定盤５上に載置し、キャリア７をサンギア３
及びインターナルギア４の歯部３０，４０に噛み合わせ
た状態にして、キャリア７のワーク保持孔７１内にワー
ク２００を嵌め込む。しかる後、操作パネル８で上定盤
移動機構２のシリンダ２２を作動させ、上定盤６をワー
ク２００上まで下降させて、ドライバ１４を上定盤６の
中心孔６０に挿入し、縦溝１４ａとドライバフック２４
とを係合させる。そして、所定の圧力でワーク２００を
押圧した状態にする。この状態で、装置本体１のメイン
モータ１０をオンすると、その駆動力がベルト１２，変
速機１１，ギア機構１３を介して、サンギア３，インタ
ーナルギア４，下定盤５に伝達される。この結果、サン
ギア３と下定盤５とが逆方向に回転し、インターナルギ
ア４がサンギア３と同方向に回転して、キャリア７が下
定盤５上を自転しながら公転していく。このとき、サン
ギア３と一体に回転するドライバ１４がドライバフック
２４に係合しているので、上定盤６もサンギア３と同方
向に回転し、下定盤５と上定盤６とが互いに逆方向に回
転する。この状態で、パウダーリング２３からの研磨剤
を研磨剤供給孔６１から供給することにより、キャリア
７に保持されたワーク２００が、下定盤５と上定盤６と
によって所望の状態に研磨される。

【００１６】上記した動作において、サンギア３とイン
ターナルギア４は、回転しながら歯部３０，４０をキャ
リア７の外歯７０に係合させて、キャリア７を自転及び
公転させる。かかる係合動作中におけるサンギア３及び
インターナルギア４の歯部３０，４０の作用を、図７に
基づいて詳細に説明する。図７に示すように、サンギア
３が矢印Ｂ方向に回転すると、ピン体３１の係合力Ｆが
キャリア７の外歯７０に対してサンギア３の回転方向に
加わる。この係合力Ｆは、リング体３２と外歯７０との
接点において、法線方向の分力Ｆ1と接線方向の分力Ｆ2
とに分けられる。したがって、分力Ｆ2に対応した摩擦
力が、リング体３２に対して分力Ｆ2と逆方向に加わ
る。このため、図８及び図９に示した従来の研磨装置で
は、この摩擦力によって、サンギア１００の外歯１０１
が短時間に磨耗することとなる。しかしながら、本実施
形態の研磨装置では、リング体３２がピン体３１に遊嵌
され、ピン体３１の周りで回転できるようになっている
ので、分力Ｆ2の逆方向の力によって、リング体３２が
矢印Ｄ方向（リング体３２の摩擦方向）に回転する。こ
のため、リング体３２に作用する分力Ｆ2の逆方向の力
は、リング体３２の回転力となって吸収され、リング体
３２に対する摩擦はほとんど生じない。この結果、リン
グ体３２は、長時間使用してもほとんど磨耗されず、磨
耗粉の飛散によるワーク２００の汚染という事態はほと
んど生じない。一方、インターナルギア４の歯部４０に
おいても同様であり、リング体４２がキャリア７の外歯
７０との係合時にピン体４１の周りで回転して、磨耗を
防止する。

【００１７】このように、サンギア３とインターナルギ
ア４のリング体３２，４２は、ほとんど磨耗することな
く、ピン体３１，４１の周りで回転するが、回転の勢い
で、リング体３２，４２がピン体３１，４１から抜けよ
うとすることがある。しかし、ピン体３１，４１の上部
にキャップ３３，４３が取り付けられていることから、
リング体３２，４２が抜け出ることはない。

【００１８】上記のような研磨装置の動作中に、サンギ
ア３，インターナルギア４，下定盤５，上定盤６，及び
キャリア７がかなりの速度で回転する。このため、研磨
剤が、サンギア３やインターナルギア４の外側に飛散し
ようとする。しかし、図３及び図５に示すように、逃げ
部３６の壁部３６ａと隔壁４５とが設けられているの
で、飛散した研磨剤がこれらの壁部３６ａと隔壁４５で
阻止される。また、研磨剤がリング体３２，４２に向か
って飛散した場合でも、リング体３２，４２と逃げ部３
６，隔壁４５との間にクリアランスＬ，Ｍが設けられて
いるので、研磨剤がリング体３２，４２と逃げ部３６，
隔壁４５との間に詰まって、リング体３２，４２が回転
不能状態に陥ることはない。

【００１９】ところで、歯部３０，４０のリング体３
２，４２とて、僅かであるが磨耗する。長期間使用し、
リング体３２，４２に磨耗が生じた場合には、リング体
３２，４２を新しい部品に交換するだけで良い。すなわ
ち、図４及び図６に示したように、キャップ３３，４３
のつまみ３３ａ，４３ａを回転させて、ピン体３１，４
１から取り外し、磨耗したリング体３２，４２をピン体
３１，４１から抜き取った後、新しいリング体３２，４
２をピン体３１，４１に遊嵌し、ピン体３１，４１の上
部にキャップ３３，４３を取り付けることで、磨耗した
リング体３２，４２の交換を簡単に行うことができる。

【００２０】このように、本実施形態の研磨装置によれ
ば、サンギア３及びインターナルギア４の歯部３０，４
０におけるリング体３２，４２がほとんど磨耗しないの
で、これらサンギア３及びインターナルギア４の長寿化
を図ることができる。また、歯部３０，４０のリング体
３２，４２の抜けがキャップ３３，４３によって防止さ
れているので、研磨装置の動作信頼性を向上させること
ができる。また、磨耗したリング体３２，４２のみをピ
ン体３１，４１から取り外して、新しいリング体３２，
４２と交換することで、サンギア３，インターナルギア
４全体を交換したと同様の効果を得ることができるの
で、メインテナンスの簡略化を図ることができる。さら
に、サンギア３及びインターナルギア４の歯部３０，４
０を、ピン体３１，４１とこれらに遊嵌したリング体３
２，４２とで形成したので、歯部構造が非常に単純にな
り、その分、製造コストの削減を図ることができる。

【００２１】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変
形や変更が可能である。例えば、本実施形態では、サン
ギア３と下定盤５とが逆方向に回転し、インターナルギ
ア４がサンギア３と同方向に回転するようにしたが、こ
れらの回転方向に限るものではない。少なくとも下定盤
５と上定盤６の回転方向が互いに逆方向であるならば、
他のサンギア３，インターナルギア４等の回転方向は任
意に設定することができる。また、インターナルギア４
に段差４６を設けたが、この段差４６の代わりに、サン
ギア３の逃げ部３６のような凹部をピン体４１の周りに
形成しても良い。また、リング体３２，４２を低磨耗性
材料で形成すると、さらに非磨耗性の効果を向上させる
ことができる。さらに、上記特公平６−３２９００号公
報記載の「平面研磨装置」のように、サンギア３及びイ
ンターナルギア４を上下に移動することができる構造と
することで、サンギア３及びインターナルギア４の寿命
をさらに長くすることができる。

【００２２】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項１の
発明によれば、サンギア及びインターナルギアの歯部が
プラネットギアの歯部と係合すると、歯部を形成する第
１及び第２の回転部材が、プラネットギアの歯部との摩
擦方向に回転する構成であるので、プラネットギアの歯
部とサンギア及びインターナルギアの歯部との間の摩擦
力による影響を著しく減少させることができ、この結
果、各ギアの長寿化を図ることができるという優れた効
果がある。また、摩擦力がほとんど生じないことから、
磨耗による磨耗粉の飛散が無くがなく、この結果、ワー
ク汚染の防止を図ることができる。さらに、歯部の磨耗
がほとんど生じないことから、プラネットギアのガタつ
きを防止することができ、ワークの加工精度の向上を図
ることができる。

【００２３】請求項２の発明によれば、第１及び第２の
回転部材を第１及び第２の支持部材に対して着脱自在に
した構成にしたので、従来の研磨装置のように、サンギ
アやインターナルギア全体を取り外さなくとも、第１及
び第２の回転部材のみを、第１及び第２の支持部材から
取り外して、新しい第１及び第２の回転部材を第１及び
第２の支持部材に取り付けることができ、この結果、メ
インテナンスの簡略化を図ることができるという効果が
ある。

【００２４】請求項３の発明によれば、サンギア及びイ
ンターナルギアの歯部を、第１及び第２のピン体とこれ
らに遊嵌した第１及び第２のリング体とで形成したの
で、歯部構造が非常に単純になり、その分、製造コスト
の削減を図ることができるという効果がある。また、第
１及び第２のリング体の回転時における抜けを、抜け止
め用部材によって防止するので、装置の動作信頼性の向
上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る研磨装置の全体を一
部破断して示す概略図である。

【図２】サンギアとキャリアとインターナルギアとの噛
み合い状態を示す平面図である。

【図３】サンギアの歯部を示す断面図である。

【図４】サンギアの歯部の取り外し状態を示す断面図で
ある。

【図５】インターナルギアの歯部を示す断面図である。

【図６】インターナルギアの歯部の取り外し状態を示す
断面図である。

【図７】サンギアの歯部の作用を示す平面図である。

【図８】従来の研磨装置を示す概略平面図である。

【図９】図８の矢視Ａ−Ａ断面図である。

【符号の説明】

１・・・装置本体、 ２・・・上定盤移動機構、 ３・
・・サンギア、 ４・・・インターナルギア、 ５・・
・下定盤、 ６・・・上定盤、 ７・・・キャリア、
３０，４０・・・歯部、 ３１、４１・・・ピン体、
３２，４２・・・リング体、 ３３，４３・・・キャッ
プ、 ２００・・・ワーク。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 サンギアと、このサンギアと係合するプ
   ラネットギアと、このプラネットギアと内周部で係合す
   るインターナルギアと、これらのギアの上下に配された
   上定盤及び下定盤とを具備し、上記プラネットギアに保
   持されたワークを上記上，下定盤とで研磨する研磨装置
   において、 上記サンギアの歯部を、 上記プラネットギアの歯部との係合時に摩擦方向に回転
   する第１の回転部材と、この第１の回転部材を回転可能
   に支持する第１の支持部材とで形成し、 上記インターナルギアの歯部を、 上記プラネットギアの歯部との係合時に摩擦方向に回転
   する第２の回転部材と、この第２の回転部材を回転可能
   に支持する第２の支持部材とで形成した、 ことを特徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の研磨装置において、 上記第１及び第２の回転部材は、上記第１及び第２の支
   持部材に対して着脱自在である、 ことを特徴とする研磨装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の研磨装置において、 上記第１の支持部材を、上記サンギアの外周縁部に立設
   した第１のピン体で形成すると共に、上記第１の回転部
   材を、この第１のピン体に遊嵌された第１のリング体で
   形成し、 上記第２の支持部材を、上記インターナルギアの内周縁
   部に立設した第２のピン体で形成すると共に、上記第２
   の回転部材を、この第２のピン体に遊嵌された第２のリ
   ング体で形成し、 上記第１及び第２のピン体の上部の各々に、上記第１及
   び第２のリング体の抜け止め用部材を着脱自在に取り付
   けた、 ことを特徴とする研磨装置。