CN107116473B - 上下盘冷却系统及研磨抛光装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及研磨抛光技术领域，尤其是涉及一种上下盘冷却系统及研磨抛光装置，该上下盘冷却系统，包括第一冷却机构及第二冷却机构，第一冷却机构包括多个固定连接在一起的第一冷却盘，且多个第一冷却盘上下层叠设置；上下相邻的两个第一冷却盘之间具有冷却通道；多个第一冷却盘中，位于最下层的第一冷却盘的下端面用于固定上盘研磨体，且上盘研磨体上开设有流孔，流孔与冷却通道相连通；第二冷却机构包括喷嘴组件，喷嘴组件设于下盘研磨体的下方，用于向下盘研磨体喷射冷却液。该研磨抛光装置，包括所述的上下盘冷却系统。本发明具有提高对上盘研磨体的冷却效果的特点。

Description

上下盘冷却系统及研磨抛光装置

技术领域

本发明涉及研磨抛光技术领域，尤其是涉及一种上下盘冷却系统及研磨抛光装置。

背景技术

现有双面研磨抛光设备中上研磨盘的冷却方式多采用喷淋的方式，但是这种冷却方式只能对上研磨盘的表面进行冷却，不利于上研磨盘的整体的冷却，使得冷却的效果较差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种上下盘冷却系统及研磨抛光装置，以解决现有技术中存在的双面研磨抛光设备中上研磨盘采用喷淋的冷却方式不利于上研磨盘的整体的冷却，使得冷却的效果较差的技术问题。

本发明提供了一种上下盘冷却系统，包括第一冷却机构及第二冷却机构，所述第一冷却机构包括多个固定连接在一起的第一冷却盘，且多个所述第一冷却盘上下层叠设置；上下相邻的两个所述第一冷却盘之间具有冷却通道；多个所述第一冷却盘中，位于最下层的所述第一冷却盘的下端面用于固定上盘研磨体，且所述上盘研磨体上开设有流孔，所述流孔与所述冷却通道相连通；所述第二冷却机构包括喷嘴组件，所述喷嘴组件设于下盘研磨体的下方，用于向所述下盘研磨体喷射冷却液。

进一步地，上下相邻的两个所述第一冷却盘中，位于上方的所述第一冷却盘的下端面开设有第一半槽，位于下方的所述第一冷却盘的上端面开设有第二半槽；所述第一半槽与所述第二半槽相拼合形成所述冷却通道。

进一步地，所述第一冷却机构还包括冷却液储存器；所述冷却液储存器与所述第一冷却盘固定连接，且所述冷却液储存器的内腔与所述冷却通道相连通。

进一步地，当所述第一冷却盘的数量不小于3时，所述冷却通道的数量为多个，且多个所述冷却通道之间相连通。

进一步地，所述冷却通道包括多个相互连通的圆环形通道。

进一步地，所述冷却通道的长度延伸方向呈平面螺旋线形。

进一步地，所述第一冷却机构还包括外壳；多个所述第一冷却盘安装于所述外壳的内部，且所述第一冷却盘与所述外壳固定连接。

进一步地，所述喷嘴组件包括空心锥喷嘴、实心锥喷嘴、方形喷嘴、矩形喷嘴、椭圆形喷嘴或扇形喷嘴中的至少一种。

本发明还提供了一种研磨抛光装置，包括所述的上下盘冷却系统。

进一步地，还包括抛光设备箱。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

本发明提供的上下盘冷却系统，包括第一冷却机构及第二冷却机构，第一冷却机构包括多个固定连接在一起的第一冷却盘，且多个第一冷却盘上下层叠设置；上下相邻的两个第一冷却盘之间具有冷却通道；多个第一冷却盘中，位于最下层的第一冷却盘的下端面用于固定上盘研磨体，且上盘研磨体上开设有流孔，流孔与冷却通道相连通；第二冷却机构包括喷嘴组件，喷嘴组件设于下盘研磨体的下方，用于向下盘研磨体喷射冷却液。在工作状态下，上盘研磨体产生的热量传送给第一冷却盘，然后再将热量传送给冷却通道内流动的冷却液从而实现了上盘研磨体的冷却，而在上盘研磨体上开上流孔，冷却液还能从流孔流出，从而对上盘研磨体的研磨面进行冷却，并且该冷却液还有利于对工件抛光，也就是说，冷却液还充当抛光液的角色；另外，从上盘研座体的流孔的流出的冷却液还能够流到下盘研磨体的研磨面对下盘研磨体的研磨面进行冷却，而在下盘研磨体的下方设置的喷嘴组件能够对下盘研磨体的下表面进行喷淋冷却液，以实现对其冷却；综上，该上下盘冷却系统能够提高对上盘研磨体的冷却效果的特点。

本发明还提供的研磨抛光装置，包括所述的上下盘冷却系统。基于上述分析可知，该研磨抛光装置具有提高对上盘研磨体的冷却效果的特点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例一提供的上下盘冷却系统的结构示意图；

图2为本发明实施例一提供的上下盘冷却系统另一视角的结构示意图；

图3为本发明实施例一中外壳、上盘研磨体及第一冷却盘组装在一起的结构示意图；

图4为本发明实施例一中外壳、上盘研磨体及第一冷却盘组装在一起后的另一视角的结构示意图；

图5为本发明实施例一中上盘研磨体及多个第一冷却盘组装在一起后的结构示意图；

图6为本发明实施一中位于最上层的第一冷却盘的结构示意图；

图7为本发明实施一中冷却液储存器的结构示意图；

图8为本发明实施例二提供的旋转门的立体结构示意图；

图9为本发明实施例二提供的旋转门的主视图；

图10为本发明实施例二提供的抛光设备箱的立体结构示意图；

图11为本发明实施例二提供的抛光设备箱的主视图。

图中：

101-顶板；102-第一子板；103-第二子板；104-第一挡板；105-第二挡板；106-固定轴；107-立柱；108-支撑板；109-箱壳；110-工作台；112-锁舌；113-箱门；114-把手；115-电控部；116-边板；117-防护板；201-第一冷却盘；202-上盘研磨片；203-流孔；204-喷嘴组件；205-下盘研磨片；206-第一半槽；207-冷却液储存器；208-管道；209-安装盘；210-调平螺栓；211-支撑架；212-外壳；213-驱动轴；214-内腔；215-安装孔位；216-第一进液孔；217-第一出液孔。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例一

参见图1至图7所示，本发明实施例一提供了一种上下盘冷却系统，包括第一冷却机构及第二冷却机构，第一冷却机构包括多个固定连接在一起的第一冷却盘201，且多个第一冷却盘201上下层叠设置，也就是说，多个第一冷却盘201由下至上依次堆叠在一起；上下相邻的两个第一冷却盘201之间具有冷却通道；多个第一冷却盘201中，位于最下层的第一冷却盘201的下端面用于固定上盘研磨体，且上盘研磨体上开设有流孔203，流孔203与冷却通道相连通；第二冷却机构包括喷嘴组件204，喷嘴组件204设于下盘研磨体的下方，用于向下盘研磨体喷射冷却液。

具体而言，多个第一冷却盘201之间固定连接的方式可以为卡合的方式、螺栓连接的方式或螺纹连接的方式。上盘研磨体通过粘接的方式或螺栓连接的方式与位于最下方的第一冷却盘201固定连接。上盘研磨体上的流孔203的数量为一个或多个，当流孔203的数量为多个时，多个流孔203在上盘研磨体的研磨面上均匀分布。

该实施例可选的方案中，上盘研磨体可以由多个上盘研磨片202拼接而成，采用分片的形式，便于更换损坏的一块，节约成本，另外，采用拼接而成时，多个上盘研磨片202之间会有缝隙，有利于散热，流孔203开设于上盘研磨片202上。下盘研磨体也可以由多个下盘研磨片205拼接而成，采用分片的形式，便于更换损坏的一块，节约成本，另外，采用拼接而成时，多个下盘研磨片205之间会有缝隙，有利于散热。下盘研磨体与支撑架211通过粘接的方式或螺栓连接的方式固定连接，支撑架211位于下盘研磨体的下方。

该实施例提供的上下盘冷却系统，在工作状态下，上盘研磨体产生的热量传送给第一冷却盘201，然后再将热量传送给冷却通道内流动的冷却液从而实现了上盘研磨体的冷却，而在上盘研磨体上开上流孔203，冷却液还能从流孔203流出，从而对上盘研磨体的研磨面进行冷却，并且该冷却液还有利于对工件抛光，也就是说，冷却液还充当抛光液的角色；另外，从上盘研座体的流孔203的流出的冷却液还能够流到下盘研磨体的研磨面对下盘研磨体的研磨面进行冷却，而在下盘研磨体的下方设置的喷嘴组件204能够对下盘研磨体的下表面进行喷淋冷却液，以实现对其冷却；综上，该上下盘冷却系统能够提高对上盘研磨体的冷却效果的特点。

该实施例可选的方案中，上下相邻的两个第一冷却盘201中，位于上方的第一冷却盘201的下端面开设有第一半槽206，位于下方的第一冷却盘201的上端面开设有第二半槽；第一半槽206与第二半槽相拼合形成冷却通道。通过在两个不同的第一冷却盘201上分别开设第一半槽206和第二半槽，这样便于加工。

具体而言，冷却通道的截面呈圆形。第一半槽206与第二半槽上下相对以拼合成一个完整的冷却通道。

该实施例可选的方案中，冷却通道包括多个相互连通的圆环形通道，多个圆环形通道的圆心共心；或，冷却通道的长度延伸方向呈平面螺旋线形，采用平面螺旋线形更有利于冷却液的流动及对第一冷却盘201的冷却，从而有利于对上盘研磨体的冷却。具体的，该实施例中，冷却通道的长度延伸方向呈平面螺旋线形，该平面螺旋线可以为阿基米德螺线、费马螺线、等角螺线、双曲螺线、圆内螺线、弯曲螺线、连锁螺线、柯奴螺线或欧拉螺线。

该实施例可选的方案中，第一冷却机构还包括冷却液储存器207；冷却液储存器207与第一冷却盘201固定连接，且冷却液储存器207的内腔与冷却通道相连通。

具体而言，冷却液储存器207呈环状，冷却液储存器207的内腔214也呈环状，用于储存冷却液；冷却液储存器207设于最上层的第一冷却盘201的上方，且与最上层的第一冷却盘201固定连接；冷却液储存器207设置有多个第一出液孔217，位于最上层的第一冷却盘201上的第一半槽206的槽底开设有与所述第一出液孔相对应的第一进液孔216，也就是说，第一出液孔的数量与第一进液孔的数量相等；多个第一进液孔沿第一半槽206的长度延伸方向分布，且第一出液孔通过管道208与第一进液孔相连通，也就就是说，第一出液孔也冷却通道相连通；通过在冷却液储存器207上开设多个第一出液孔便于增加进入冷却通道内的冷却液的量，从而有利于冷却。

该实施例可选的方案中，当第一冷却盘201的数量不小于3时，冷却通道的数量为多个，且多个冷却通道之间相连通。具体的，该实施例中，第一冷却盘201的数量为3个，为了便于区分三个第一冷却盘201，位于最上层的第一冷却盘201称为最上层冷却盘，位于中层的第一冷却盘201称为中层冷却盘，而位于最下层的第一冷却盘201称为最下层冷却盘；最上层冷却盘与中层冷却盘之间有一个冷却通道，中层冷却盘与最下层冷却盘之间有一个冷却通道，也就是说，冷却通道的数量为两个，两个冷却通道之间相连通；最上层冷却盘的下端面开设有第一半槽206，中层冷却盘的上端面开设有第二半槽，中层冷却盘的下端面开设有第一半槽206，最下层冷却盘的上端面开设有第二半槽，具体的，可以在中层冷却盘的第二半槽与中层冷却盘的第一半槽206之间开设通孔，以实现两个冷却通道之间的连通，通孔的数量至少为一个。

该实施例可选的方案中，第一冷却机构还包括外壳212；多个第一冷却盘201安装于外壳的内部，且第一冷却盘201与外壳固定连接。具体而言，第一冷却盘201与外壳通过螺栓固定连接。冷却液储存器207位于外壳的上方。

该实施例可选的方案中，喷嘴组件204包括空心锥喷嘴、实心锥喷嘴、方形喷嘴、矩形喷嘴、椭圆形喷嘴或扇形喷嘴中的至少一种。需要说明的是，在研磨抛光过程中，研磨抛光装置的驱动轴213从下盘研磨体的中心孔中穿出，带动上盘研磨体旋转，而下盘研磨体固定不转，因此，也可以在下盘研磨体的下端面固定多个上下层叠设置的第一冷却盘201，上下相邻的两个第一冷却盘201之间具有冷却通道，并在冷却通道内通过冷却液实现对下盘研磨体的冷却，冷却通道的长度延伸方向呈平面螺旋线形。上盘研磨体旋转时，外壳、冷却液储存器也随之一起转动。

该实施例可选的方案中，外壳的上方可以设置一个安装盘209，安装盘209与外壳之间通过调平螺栓210固定连接，这样便于对外壳进行调平，从而实现对下盘研磨体的研磨而进行调平。

实施例二

本发明实施例二还提供了一种研磨抛光装置，包括实施例一提供的上下盘冷却系统。

参见图10和图11所示，该实施例可选的方案中，研磨抛光装置还包括抛光设备箱，抛光设备箱，包括旋转门、箱壳109及工作台110，箱壳109固定于工作台110的台面上；旋转门用于保护将上下盘冷却系统，也就是说，在研磨抛光过程中，可以保护上盘研磨体及下盘研磨体。

参见图8和图9所示，旋转门，具有占用空间小，使用安全可靠，空间利用率高的特点。该旋转门包括门体及支架，门体包括顶板101及门板，门板固定于顶板101的周向，且门板的横截面呈弧形，该弧形为一个半圆弧；顶板101安装于支架的顶部的固定轴106上，固定轴106的轴线垂直于顶板101的板面，且顶板101能够绕固定轴106的轴线转动；门板包括第一子板102及第二子板103，第一子板102与顶板101固定连接，第二子板103固定于第一子板102的下边缘；第一子板102的两个竖直边上分别设置有第一挡板104和第二挡板105；第一挡板104的板面、第二挡板105的板面均与第一子板102的竖直边相平行。

参见图8所示，具体而言，顶板101呈半圆形，门板的横截面，即与门板的长度方向相垂直的平面截门板所得的面。门板为一柱面。第一挡板104固定于其中一个竖直边上，第二挡板105固定于另一个竖直边上。通过设置第一挡板104和第二挡板105便于通过拉它们，以实现门板的旋转。需要说明的是，该实施例中，第二子板103的两个竖直边还可以设置边板116，通过设置边板116以保护第二子板103。

该实施例提供的旋转门，通过将门体设置于支架，使门体悬吊于支架上后，并使门体的门板的横截面呈弧形，这样当转动门体时，门体绕支架上的固定轴106的轴线转动时，门体的门板便能旋转至研磨抛光设备的设备箱内，且不占用空间、打开不受空间限制，另外当门板旋转至设备箱内时，由于支架的支撑，门板不会掉落且不会发生旋转门意外关闭的情况，使用安全可靠，能够充分利用有限的空间。

该实施例可选的方案中，第一子板102的材质为金属，第二子板103由透明材质制成。

具体而言，金属为铝合金或不锈钢；透明材质为钢化玻璃、PMMA或ABS。第一子板102采用金属一方面便于固定在顶板101上，另一方面可以提供可靠的连接强度。第二子板103采用透明材质制成便于在加工时查看工件的研磨状况。

需要说明的是，该实施例中透明材质不仅局限于以上三种，也可以根据实际情况自由选取其他形式的透明材质，用以实现透明的功能；对于其他形式的透明材质该实施例不再一一具体赘述。

参见图8和图9所示，该实施可选的方案中，顶板101通过轴承安装于固定轴106上，这样顶板101能够绕固定轴106任意转动。轴承的内圈与固定轴106固定连接，轴承的外圈与顶板101固定连接。需要说明的是，该实施例中，顶板101还可以通过平面轴承安装于固定轴106上，采用平面轴承可以提高载荷，保证顶板101转动的平稳性。

参见图9所示，该实施例可选的方案中，第一挡板104沿第一子板102的竖直边的长度方向延伸，第二挡板105沿第一子板102的竖直边的长度方向延伸，且第一挡板104的长度大于第二挡板105的长度，其中，第一挡板104的长度方向、第二挡板105的长度方向均与第一子板102的竖直边的长度方向相平行。

需要说明的是，第二挡板105和第一挡板104的材质还可以均为能够被磁铁吸引的金属制成，这样可以在打开旋转门，通过在设备箱的箱壳109上安装磁铁，使用时，使磁铁吸引第二挡板105或第一挡板104，从而使旋转门保持开启的状态。

参见图8所示，该实施例可选的方案中，第二子板103的下边缘固定安装有防护板117。通过设置防护板117，该防护板117的材质为金属，通过设置防护板117一方面可以保护第二子板103，另一方面可以保证门板整体的稳定性。

该实施例可选的方案中，支架包括支撑板108及多根立柱107；支撑板108固定安装于立柱107的顶部；固定轴106固定于支撑板108上。

参见图8所示，具体而言，立柱107的数量为三根。支撑板108呈菱形，支撑板108由于三根立柱107所支撑，且三根立柱107分别位于呈菱形的支撑板108的三个角上。固定轴106通过螺栓固定于支撑板108上。

需要说明的是，该实施例中，旋转门还可以包括电动驱动装置，电动驱动装置包括电机和减速机，电机的输出轴与减速机的输入轴连接，减速机的输出轴与旋转门的顶板101之间通过皮带或齿轮传动，这样可以实现自动打开旋转门。另外，还可以在第二子板103上设置一个平开窗，通过平开窗可以便于在不开门板的情况下进行其它操作。

该实施例中，旋转门的支架固定于工作台110的台面上，支架的三根立柱可通过插装于工作台上，且通过螺栓固定。

该实施例可选的方案中，固定轴106还与箱壳109的顶部固定连接。

该实施例可选的方案中，旋转门与箱壳109之间设置有机械锁。

参见图10所示，该实施例可选的方案中，旋转门与箱壳109之间还设置有电子锁，其中电子锁的锁舌112安装于门板上，电子锁的电控部115设置于箱壳109上。通过设置电子锁，可以保证使用安全，一方面可以结合机械锁实现双重保险，另一方面可以避免机械锁失效的情况下，旋转门不能锁闭。

需要说明的是，该实施例中，可以将电子锁与研磨抛光装置的控制器电连接，通过控制器控制电子锁，实现在研磨时，无法打开旋转门。

参见图10和图11所示，该实施例可选的方案中，工作台110的侧面设置有箱门113，箱门113上设置有把手114，通过设置箱门113便于对研磨机构进行检修。需要说明的是，该实施例中，可以在箱门113上开设百叶窗，通过百叶窗可以实现排气。

该实施例中，工作台上的安装孔位215安装下盘研磨体。

需要说明的是，该实施例中，对于其它未改进的零部件，并未示出。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在下面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

Claims (8)

1.一种上下盘冷却系统，其特征在于，包括第一冷却机构及第二冷却机构，所述第一冷却机构包括多个固定连接在一起的第一冷却盘，且多个所述第一冷却盘上下层叠设置；上下相邻的两个所述第一冷却盘之间具有冷却通道；多个所述第一冷却盘中，位于最下层的所述第一冷却盘的下端面用于固定上盘研磨体，且所述上盘研磨体上开设有流孔，所述流孔与所述冷却通道相连通；所述第二冷却机构包括喷嘴组件，所述喷嘴组件设于下盘研磨体的下方，用于向所述下盘研磨体喷射冷却液；上下相邻的两个所述第一冷却盘中，位于上方的所述第一冷却盘的下端面开设有第一半槽，位于下方的所述第一冷却盘的上端面开设有第二半槽；所述第一半槽与所述第二半槽相拼合形成所述冷却通道；所述第一冷却机构还包括外壳；多个所述第一冷却盘安装于所述外壳的内部，且所述第一冷却盘与所述外壳固定连接；所述外壳的上方设置有安装盘，所述安装盘与所述外壳之间通过调平螺栓固定连接。

2.根据权利要求1所述的上下盘冷却系统，其特征在于，所述第一冷却机构还包括冷却液储存器；所述冷却液储存器与所述第一冷却盘固定连接，且所述冷却液储存器的内腔与所述冷却通道相连通。

3.根据权利要求1所述的上下盘冷却系统，其特征在于，当所述第一冷却盘的数量不小于3时，所述冷却通道的数量为多个，且多个所述冷却通道之间相连通。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的上下盘冷却系统，其特征在于，所述冷却通道包括多个相互连通的圆环形通道。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的上下盘冷却系统，其特征在于，所述冷却通道的长度延伸方向呈平面螺旋线形。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的上下盘冷却系统，其特征在于，所述喷嘴组件包括空心锥喷嘴、实心锥喷嘴、方形喷嘴、矩形喷嘴、椭圆形喷嘴或扇形喷嘴中的至少一种。

7.一种研磨抛光装置，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的上下盘冷却系统。

8.根据权利要求7所述的研磨抛光装置，其特征在于，还包括抛光设备箱。