KR970071536A - 디스크 조흔 패턴 형성방법 및 그 장치 - Google Patents

디스크 조흔 패턴 형성방법 및 그 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR970071536A
KR970071536A KR1019970014368A KR19970014368A KR970071536A KR 970071536 A KR970071536 A KR 970071536A KR 1019970014368 A KR1019970014368 A KR 1019970014368A KR 19970014368 A KR19970014368 A KR 19970014368A KR 970071536 A KR970071536 A KR 970071536A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
disk
ring
center
streak pattern
shaped polishing
Prior art date
Application number
KR1019970014368A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100249960B1 (ko
Inventor
키요시 이케모토
Original Assignee
오바라 히로시
스피드팜 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 오바라 히로시, 스피드팜 가부시키가이샤 filed Critical 오바라 히로시
Publication of KR970071536A publication Critical patent/KR970071536A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100249960B1 publication Critical patent/KR100249960B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/04Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
    • B24B41/047Grinding heads for working on plane surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B19/00Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
    • B24B19/02Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group for grinding grooves, e.g. on shafts, in casings, in tubes, homokinetic joint elements
    • B24B19/028Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group for grinding grooves, e.g. on shafts, in casings, in tubes, homokinetic joint elements for microgrooves or oil spots
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/10Single-purpose machines or devices
    • B24B7/16Single-purpose machines or devices for grinding end-faces, e.g. of gauges, rollers, nuts, piston rings
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/8404Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers manufacturing base layers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/82Disk carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

단일 공정으로 디스크상에 미세한 조흔 패턴을 형성할 수 있고, 조흔 패턴의 교차각도를 임의로 정확하게 조정할 수 있게 하여, 설비 코스트와 제조 코스트의 저렴화, 자기 특성과 가공 정확도의 향상을 도모한 디스크의 초흔 패턴 형성 방법 및 그 장치를 제공하는 것을 과제로 하고 있으며, 이 과제를 해결하기 위한 수단은 다음과 같다. 디스크 조흔 패턴 형성장치는(10)는, 드럼(2)과 패드 회전체(30)와 제1모터(5)와 제2모터(6)를 구비하고 있다. 패트회전체(3)에 설치된 연마 패드(4)는 자기 디스크(200) 형태의 디스크와 슬라이딩 접촉하며, 그 정보수납면(201)은 각각의 폴리싱 패드(4)의 중심 구멍(40)내에 배치된다. 이후, 드럼(2)과 패턴 회전체(3)를 제1 및 제2모터(5,6)로 회전시키므로써, 연마 패드(4)가 드럼(2)의 중심 주위로 회전하고 그 축 주위로 회전하게 되어 자기 디스크(200)에 소망의 조흔 패턴을 형성할 수 있다.

Description

디스크 조흔 패턴 형성방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시형태에 따른 디스크 조흔 패턴 형성장치를 일부 파단하여 도시하는 제1A도의 A-A선상에서 취한 측면도이며, 제1A도는 그 정면도이고, 제1B도는 제1도의 B-B선상에서 취한 단면도.

Claims (11)

  1. 표면과 중심을 갖는 디스크를 연마하기 위한 디스크 조흔 패턴 형성방법으로서, 중심축을 갖고 그 내부에 중심구멍이 형성되어 있는 링형상 연마 수단을 제공하는 단계와, 상기 링형상 연마수단을 그 중심구멍내에 디스크의 표면의 적어도 일부분이 배치되도록 디스크의 표면과 접촉 위치시키는 단계와, 상기 링형상 연마수단을 상기 디스크의 중심점 주위로 회전하도록 구동시키는 단계와, 상기 링형상 연마 수단을 그 중심축 주위로 회전하도록 구동시키는 단계를 포함하며, 상기 디스크의 표면이 링형상 연마수단에 의해 연마되어 조흔패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔 패턴 형성방법.
  2. 제1항에 있어서, 디스크의 표면은 환형이며 환형의 밴드 영역을 갖는데, 이 환형 밴드영역의 반경방향외주와 내주는 그 사이에 반경을 형성하고, 링형상 연마 수단의 중심구멍은 환형밴드영역의 반경방향 폭 이상의 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔 패턴 형성방법.
  3. 제1항에 있어서, 디스크의 표면은 환형이며 반경향 외주와 내주를 갖고, 링형상 연마 수단은 하나 이상의 연마 패드를 구비하며, 이 연마 패드는 디스크 표면의 적어도 한 부분의 반경방향 외주와 내주가 상기 하나이상의 연마 패드의 중심구멍내에 배치되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔패턴 형성방법.
  4. 제1항에 있어서, 디스크의 표면은 환형이고 반경방향 외주와 내주를 포함하며, 링형상 연마 수단은 다수의 링형상 연마 패드를 포함하고, 상기 방법은 추가로, 상기 다수의 링형상 연마패드를 디스크의 표면의 적어도 한부분의 반경방향 외주와 내주가 링형상 연마패드 각각의 중심구멍내에 배치되도록 디스크의 중심 주위에 배치하는 단계와 각각의 링형상 연마 패드를 접촉, 공전 및, 자전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔패턴 형성방법.
  5. 표면과 중심을 갖는 디스크를 연마하는데 사용되는 디스크 조흔패턴 형성 장치로서, 중심축과, 중심구멍 및, 디스크와 접촉하는 작업면을 갖는 링형상 연마 수단과, 디스크의 표면의 적어도 일부분이 링형상 연마수단의 중심구멍내에 배치되도록 링형상 연마수단을 지지하는 구동 유니트로서, 링형상 연마수단을 디스크의 표면고 접촉시키면서 디스크의 중심주위로 공전시키고 연마수단의 중심축 주위로 자전시켜 디스크 표면을 연마하여 조흔패턴을 형성하는 구동 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔패턴 형성장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 구동 유니트는, 중심을 갖고 디스크의 중심 주위로 공전할 수 있는 공전수단과, 상기 공전수단에 장착되어 그에 대해 회전하는 자전수단과, 디스크의 표면과의 접촉을 유지하면서 상기 공전수단을 디스크의 중심 주위로 회전시키고 상기 자전수단을 그 중심축 주위로 회전시켜 디스크의 표면을 연마하여 표면상에 조흔패턴을 형성하는 구동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔패턴 형성장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 디스크의 표면은 환형이며, 환형의 밴드 영역을 갖는데, 이 환형 밴드영역의 반경방향 외주와 내주는 그 사이에 반경을 형성하고, 링형상 연마 수단의 중심구멍은 환형밴드영역의 반경방향 폭이상의 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔패턴 형성장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 디스크의 표면은 환형이며 반경방향 외주와 내주를 갖고, 링형상 연마 수단은 하나이상의 링형상 연마 패드를 구비하며, 이 연마 패드는 디스크 표면의 적어도 한부분의 반경방향 외주와 내주가 상기 하나 이상의 연마 패드프의 중심구멍내에 배치되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔패턴 형성장치.
  9. 제5항에 있어서, 디스크의 표면은 환형이고 반경방향 외주와 내주를 포함하며, 링형상 연마 수단은 디스크 표면의 적어도 일부분의 방경방향 외주와 내주가 링형상 연마패드 각각의 중심 구멍내에 배치되도록 디스크의 중심 주위에 배치되는 다수의 링형상 연마 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔패턴 형성 장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 공전수단은 그 외주에 형성되는 치부를 갖고, 자전 수단은 상기 공전 수단에 회전가능하게 지지되는 샤프트 부재와, 상기 샤프트 부재의 일단부에 장착되고 그 일단부가 상기 공전수단으로부터 연장되며 이 일단부에는 링형상 연마수단이 부착되는 장착 부재와, 상기 샤프트 부재의 타단부에 장착되는 종동 기어 휠을 포함하며, 상기 구동 수단은 공전수단의 치부와 메쉬 결합하는 제1구동 기어 휠을 갖고 공전수단을 제1구동 기어 휠과 공전수단의 치부의 메쉬 결합을 통해 구동시키는 제1모터와, 자전수단의 종동 기어휠과 메쉬 결합하는 제2구동 기어 휠을 갖고 자전수단을 제2구동 기어휠과 종동 기어 휠의 메쉬 결합을 통해 구동시키는 제2모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔패턴 형성장치.
  11. 표면과 중심을 갖고 소정 크기를 갖는 디스크를 연마하는데 사용되는 디스크 조흔 패턴 형성방법으로서, 그 각각이 중심축을 갖고 중심구멍을 형성하는 다수의 링형상 연마 수단을 제공하는 단게와, 상기 다수의 링형상 연마 수단을 그 중심구멍내에 디스크 표면의 이격된 부분이 배치되도록 디스크의 표면과 접촉하여 위치시키는 단계와, 상기 다수의 링형상 연마수단을 구동시켜 디스크의 중심 주위로 이동시키는 단계와, 상기 다수의 링형상 연마수단을 디스크 표면과의 접촉을 유지하면서 그 각각의 중심축 주위로 회전하도록 구동시켜 디스크표면에 디스크 조흔 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 조흔패턴 형성방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970014368A 1996-04-15 1997-04-15 디스크 조흔패턴 형성방법 및 그 장치 KR100249960B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP96-115294 1996-04-15
JP11529496A JPH09277158A (ja) 1996-04-15 1996-04-15 ディスクの条痕パターン形成方法及びその装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970071536A true KR970071536A (ko) 1997-11-07
KR100249960B1 KR100249960B1 (ko) 2000-03-15

Family

ID=14659094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970014368A KR100249960B1 (ko) 1996-04-15 1997-04-15 디스크 조흔패턴 형성방법 및 그 장치

Country Status (5)

Country Link
US (2) US5690542A (ko)
JP (1) JPH09277158A (ko)
KR (1) KR100249960B1 (ko)
MY (1) MY133648A (ko)
SG (1) SG49347A1 (ko)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09277158A (ja) * 1996-04-15 1997-10-28 Speedfam Co Ltd ディスクの条痕パターン形成方法及びその装置
KR100264228B1 (ko) 1996-05-10 2000-12-01 미다라이 후지오 화학 기계 연마 장치 및 방법
US7088726B1 (en) * 1996-07-04 2006-08-08 Hitachi, Ltd. Translator for IP networks, network system using the translator, and IP network coupling method therefor
TW358764B (en) * 1997-07-07 1999-05-21 Super Silicon Crystal Res Inst A method of double-side lapping a wafer and an apparatus therefor
JPH11254314A (ja) * 1998-03-10 1999-09-21 Speedfam Co Ltd ワーク面加工装置
US6039637A (en) * 1998-05-15 2000-03-21 Cd-Rom Usa, Inc. Security device for destroying the information bearing layer and data of a compact disc
US5954569A (en) * 1998-05-15 1999-09-21 Cd Rom, Inc. Security device for removing the information bearing layer and data of a compact disc
US6676496B2 (en) * 1999-03-09 2004-01-13 Hitachi, Ltd. Apparatus for processing semiconductor wafers
US6155913A (en) * 1999-04-12 2000-12-05 Chartered Semiconductor Manuf. Ltd. Double polishing head
JP3829239B2 (ja) * 1999-09-24 2006-10-04 信越半導体株式会社 薄板円板状ワークの両面研削方法および装置
US6602121B1 (en) * 1999-10-28 2003-08-05 Strasbaugh Pad support apparatus for chemical mechanical planarization
US6858329B2 (en) * 2000-03-31 2005-02-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Master disc and method for manufacturing magnetic disc using the same
US20030168169A1 (en) * 2000-08-03 2003-09-11 Akira Ishikawa Chemical-mechanical polishing apparatus, polishing pad and method for manufacturing semiconductor device
JP2002141313A (ja) * 2000-08-22 2002-05-17 Nikon Corp Cmp装置及び半導体デバイスの製造方法
US20020098784A1 (en) * 2001-01-19 2002-07-25 Saket Chadda Abrasive free polishing in copper damascene applications
JP3746432B2 (ja) * 2001-03-01 2006-02-15 株式会社牧野フライス製作所 接合面の加工方法及び装置
US6905398B2 (en) * 2001-09-10 2005-06-14 Oriol, Inc. Chemical mechanical polishing tool, apparatus and method
CN103042448A (zh) * 2012-12-31 2013-04-17 江西稀有稀土金属钨业集团有限公司 一种双磨头立式圆盘磨床及其加工方法
CN104625907B (zh) * 2015-02-05 2016-08-10 宁波鑫其精密磁钢有限公司 一种立式双面磨床
CN108177027B (zh) * 2017-12-13 2019-08-13 中国科学院上海光学精密机械研究所 平板类光学元件环形抛光面形精调方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3813828A (en) * 1973-01-05 1974-06-04 Westinghouse Electric Corp Method for controlling finished thickness of planetary-lapped parts
US4211041A (en) * 1978-06-16 1980-07-08 Kozhuro Lev M Rotor-type machine for abrasive machining of parts with ferromagnetic abrasive powders in magnetic field
US4393628A (en) * 1981-05-04 1983-07-19 International Business Machines Corporation Fixed abrasive polishing method and apparatus
JPH01306167A (ja) * 1988-06-06 1989-12-11 Sony Corp ハードディスク用基板研磨装置
JPH02199617A (ja) * 1989-01-28 1990-08-08 Speedfam Co Ltd 磁気記録用基板とそのテクスチャリング加工方法及び加工装置
JPH0767663B2 (ja) * 1989-06-23 1995-07-26 株式会社精工技研 光ファイバ端面研磨装置
US5167096A (en) * 1990-02-26 1992-12-01 Hmt Technology Corporation Method for texturing a magnetic disc substrate
JPH05303740A (ja) * 1992-04-24 1993-11-16 Mitsubishi Kasei Corp 磁気デイスク用基板およびその製造方法ならびに前記基板を用いた磁気デイスク
US5259144A (en) * 1992-08-17 1993-11-09 Yeh Wen An Planetary-type lapping device for finish-grinding the valve seat of a safety relief valve
JPH09277158A (ja) * 1996-04-15 1997-10-28 Speedfam Co Ltd ディスクの条痕パターン形成方法及びその装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5690542A (en) 1997-11-25
SG49347A1 (en) 1998-05-18
JPH09277158A (ja) 1997-10-28
KR100249960B1 (ko) 2000-03-15
US5800253A (en) 1998-09-01
MY133648A (en) 2007-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970071536A (ko) 디스크 조흔 패턴 형성방법 및 그 장치
SE501448C2 (sv) Anordning vid en mobil slipmaskin för slipning av stengolv
JPS62176755A (ja) 平面研磨装置
SU1306595A1 (ru) Дезинтегратор
JPH02167674A (ja) 研磨装置
GB1465570A (en) Balancing of rotating bodies
CN110394697B (zh) 一种钢管打磨设备
FR2853371B1 (fr) Mecanisme de support d'un arbre rotatif, notamment d'un arbre d'entrainement d'une roue de vehicule
US3297475A (en) Coating method and apparatus employing rotating workholder
KR860008002A (ko) 통상 또는 주상물(株狀物)의 외주면 연마방법 및 장치
CN215357703U (zh) 用于旋转磨盘的离心式排布研磨处理治具
KR20040025080A (ko) 음극선관용 유리 연마장치의 연마툴
JP3365425B2 (ja) 内・外径研削砥石付き加工装置及びその加工方法
US2308512A (en) Grinding machine
KR900001724B1 (ko) 평면연마장치
JPS6210778B2 (ko)
US6086463A (en) Tester with interchangeable inserts for grinding wheels
FI67500C (fi) Anordning foer vaessning av stiftkrona foer bergsborr
JP4070205B2 (ja) 研磨装置
TH31722A (th) วิธีการและอุปกรณ์สำหรับสร้างตัวแบบของแถบบนแผ่นดิสค์
TH9463B (th) วิธีการและอุปกรณ์สำหรับสร้างตัวแบบของแถบบนแผ่นดิสค์
JPS5828759Y2 (ja) ケンマバンノ ジ コウテンウンドウソウチ
US2022819A (en) Grinding apparatus
SU424697A1 (ru) Шлифовально-полировальная головка
JPS62264862A (ja) 研摩装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee