JPH09235154A - アルミナセラミックスおよびその製造方法 - Google Patents
アルミナセラミックスおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH09235154A JPH09235154A JP8045745A JP4574596A JPH09235154A JP H09235154 A JPH09235154 A JP H09235154A JP 8045745 A JP8045745 A JP 8045745A JP 4574596 A JP4574596 A JP 4574596A JP H09235154 A JPH09235154 A JP H09235154A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- less
- firing
- alumina ceramics
- cao
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 着色アルミナセラミックスにおいて、バイン
ダー分解物が残留しやすい場合では１３５０℃以上の焼
成温度で色模様が生じるため、１３５０℃未満の焼成で
色模様のないアルミナセラミックスを得ることを目的と
する。 【解決手段】 重量比でＡｌ2Ｏ3を８３〜９７．３％、
ＴｉＯ2を１〜４％、ＭｎＯ2、ＣｕＯのいずれかもしく
は２種類の合計を１〜４ｗｔ％、ＳｉＯ2を０．２〜
７．０％、ＣａＯを０．２５〜１．０％、ＭｇＯを０〜
１％含むアルミナセラミックスでＡｌ2Ｏ3粉末や焼成助
剤を微粒子に限定する。
ダー分解物が残留しやすい場合では１３５０℃以上の焼
成温度で色模様が生じるため、１３５０℃未満の焼成で
色模様のないアルミナセラミックスを得ることを目的と
する。 【解決手段】 重量比でＡｌ2Ｏ3を８３〜９７．３％、
ＴｉＯ2を１〜４％、ＭｎＯ2、ＣｕＯのいずれかもしく
は２種類の合計を１〜４ｗｔ％、ＳｉＯ2を０．２〜
７．０％、ＣａＯを０．２５〜１．０％、ＭｇＯを０〜
１％含むアルミナセラミックスでＡｌ2Ｏ3粉末や焼成助
剤を微粒子に限定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子部品に用い
られるアルミナセラミックスおよびその製造方法に関す
るものである。
られるアルミナセラミックスおよびその製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、アルミナセラミックスは粉末
成形品を約１５５０℃〜１６００℃で焼成して生産され
ており、Ａｌ2Ｏ3にＴｉＯ2と、ＭｎＯ2もしくはＣｕＯ
とを２ｗｔ％添加して焼成温度を低くすることはよく知
られている。
成形品を約１５５０℃〜１６００℃で焼成して生産され
ており、Ａｌ2Ｏ3にＴｉＯ2と、ＭｎＯ2もしくはＣｕＯ
とを２ｗｔ％添加して焼成温度を低くすることはよく知
られている。
【０００３】しかしながら、Ａｌ2Ｏ3にＴｉＯ2と、Ｍ
ｎＯ2もしくはＣｕＯとを添加することによって焼成品
が着色し、さらに焼成時に色模様が生じやすくなり外観
不良が発生するという課題を有していた。
ｎＯ2もしくはＣｕＯとを添加することによって焼成品
が着色し、さらに焼成時に色模様が生じやすくなり外観
不良が発生するという課題を有していた。
【０００４】これを解決するために、特開昭６０−１７
６９６６号公報に記載されたアルミナセラミックスが知
られている。すなわち、色模様の原因はバインダー分解
物が残留し、これが焼成時にＴｉ，Ｍｎ，Ｃｕを還元し
てしまうことにあり、この還元を防ぐためにＳｉＯ2を
９５ｗｔ％以上含む焼成助剤を添加して、Ｔｉ，Ｍｎ，
Ｃｕと強く結合させることにより１３５０℃以上１５０
０℃以下の焼成によって生じる色模様を防ぐというもの
である。
６９６６号公報に記載されたアルミナセラミックスが知
られている。すなわち、色模様の原因はバインダー分解
物が残留し、これが焼成時にＴｉ，Ｍｎ，Ｃｕを還元し
てしまうことにあり、この還元を防ぐためにＳｉＯ2を
９５ｗｔ％以上含む焼成助剤を添加して、Ｔｉ，Ｍｎ，
Ｃｕと強く結合させることにより１３５０℃以上１５０
０℃以下の焼成によって生じる色模様を防ぐというもの
である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのアル
ミナセラミックスにおいて、バインダーが難燃性もしく
はバインダー量が多いことから、もしくは脱脂プロセス
上の制約から、バインダー分解物が残留しやすい場合に
１３５０℃以上の焼成温度で色模様が生じるという課題
を有しており、このようにバインダー分解物として残留
物が多い場合においても色模様のないアルミナセラミッ
クスが要求されている。
ミナセラミックスにおいて、バインダーが難燃性もしく
はバインダー量が多いことから、もしくは脱脂プロセス
上の制約から、バインダー分解物が残留しやすい場合に
１３５０℃以上の焼成温度で色模様が生じるという課題
を有しており、このようにバインダー分解物として残留
物が多い場合においても色模様のないアルミナセラミッ
クスが要求されている。
【０００６】本発明はＣａＯを０．２５ｗｔ％以上とし
て１３５０℃未満の低温で焼成することにより、色模様
のないアルミナセラミックスを得ることを目的とするも
のである。
て１３５０℃未満の低温で焼成することにより、色模様
のないアルミナセラミックスを得ることを目的とするも
のである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明のアルミナセラミックスは、Ａｌ2Ｏ3を８３〜
９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2を１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2、Ｃ
ｕＯのいずれかもしくは２種類の合計を１〜４ｗｔ％、
ＳｉＯ2を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯを０．２５〜
１．０ｗｔ％、ＭｇＯを０〜１ｗｔ％含む組成としたも
のである。
に本発明のアルミナセラミックスは、Ａｌ2Ｏ3を８３〜
９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2を１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2、Ｃ
ｕＯのいずれかもしくは２種類の合計を１〜４ｗｔ％、
ＳｉＯ2を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯを０．２５〜
１．０ｗｔ％、ＭｇＯを０〜１ｗｔ％含む組成としたも
のである。
【０００８】これにより、焼成温度を１３５０℃未満に
低温化して色模様の発生を防ぎ、さらに焼結助剤中のＳ
ｉＯ2の含有量が９５ｗｔ％未満の場合においても色模
様のないアルミナセラミックスが得られることになる。
低温化して色模様の発生を防ぎ、さらに焼結助剤中のＳ
ｉＯ2の含有量が９５ｗｔ％未満の場合においても色模
様のないアルミナセラミックスが得られることになる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、Ａｌ2Ｏ3を８３〜９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ 2を１〜
４ｗｔ％、ＭｎＯ2、ＣｕＯのいずれかもしくは２種類
の合計を１〜４ｗｔ％、ＳｉＯ2を０．２〜７．０ｗｔ
％、ＣａＯを０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯを０〜１
ｗｔ％含むアルミナセラミックスとしたものであり、Ｃ
ａＯを０．２５ｗｔ％以上にすることにより１３５０℃
未満で焼成を可能とすることによってＴｉ，Ｍｎ，Ｃｕ
の還元を防止することによって色模様の発生を防ぐとい
う作用を有する。
は、Ａｌ2Ｏ3を８３〜９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ 2を１〜
４ｗｔ％、ＭｎＯ2、ＣｕＯのいずれかもしくは２種類
の合計を１〜４ｗｔ％、ＳｉＯ2を０．２〜７．０ｗｔ
％、ＣａＯを０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯを０〜１
ｗｔ％含むアルミナセラミックスとしたものであり、Ｃ
ａＯを０．２５ｗｔ％以上にすることにより１３５０℃
未満で焼成を可能とすることによってＴｉ，Ｍｎ，Ｃｕ
の還元を防止することによって色模様の発生を防ぐとい
う作用を有する。
【００１０】本発明の請求項２に記載の発明は、１μｍ
径以下の粒子が８０％以上占めるＡｌ2Ｏ3粉末を８３〜
９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2粉末を１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2
粉末もしくはＣｕＯ粉末の少なくとも１つを１〜４ｗｔ
％、ＳｉＯ2粉末を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯ粉末
を０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯ粉末を０〜１ｗｔ％
の比で混合する第一工程と、第一工程で得られた混合粉
末を成形する第二工程と、第二工程で得られた成型品を
１３５０℃未満で焼成する第三工程を有することを特徴
とするアルミナセラミックスの製造方法であり、ＣａＯ
を０．２５ｗｔ％以上にして１３５０℃未満で焼成を可
能とすることによってＴｉ，Ｍｎ，Ｃｕの還元を防止す
ることによって色模様の発生を防ぐという作用を有す
る。
径以下の粒子が８０％以上占めるＡｌ2Ｏ3粉末を８３〜
９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2粉末を１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2
粉末もしくはＣｕＯ粉末の少なくとも１つを１〜４ｗｔ
％、ＳｉＯ2粉末を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯ粉末
を０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯ粉末を０〜１ｗｔ％
の比で混合する第一工程と、第一工程で得られた混合粉
末を成形する第二工程と、第二工程で得られた成型品を
１３５０℃未満で焼成する第三工程を有することを特徴
とするアルミナセラミックスの製造方法であり、ＣａＯ
を０．２５ｗｔ％以上にして１３５０℃未満で焼成を可
能とすることによってＴｉ，Ｍｎ，Ｃｕの還元を防止す
ることによって色模様の発生を防ぐという作用を有す
る。
【００１１】本発明の請求項３に記載の発明は、１μｍ
径以下の粒子が８０％以上占めるＡｌ2Ｏ3粉末を８３〜
９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2粉末を１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2
粉末もしくはＣｕＯ粉末の少なくとも１つを１〜４ｗｔ
％、ＳｉＯ2粉末を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯ粉末
を０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯ粉末を０〜１ｗｔ％
の比で混合する第一工程と、第一工程で得られた混合粉
末を成形する第二工程と、第二工程で得られた成型品を
１２００℃以上かつ１３５０℃未満で焼成する第三工程
を有することを特徴とするアルミナセラミックスの製造
方法であり、ＣａＯを０．２５ｗｔ％以上にして１３５
０℃未満で焼成を可能とすることによってＴｉ，Ｍｎ，
Ｃｕの還元を防止することによって色模様の発生を防ぐ
という作用を有するとともに１２００℃以上で焼成する
ことによって焼結を完了させて焼成品の寸法精度を高め
るという作用を有する。
径以下の粒子が８０％以上占めるＡｌ2Ｏ3粉末を８３〜
９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2粉末を１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2
粉末もしくはＣｕＯ粉末の少なくとも１つを１〜４ｗｔ
％、ＳｉＯ2粉末を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯ粉末
を０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯ粉末を０〜１ｗｔ％
の比で混合する第一工程と、第一工程で得られた混合粉
末を成形する第二工程と、第二工程で得られた成型品を
１２００℃以上かつ１３５０℃未満で焼成する第三工程
を有することを特徴とするアルミナセラミックスの製造
方法であり、ＣａＯを０．２５ｗｔ％以上にして１３５
０℃未満で焼成を可能とすることによってＴｉ，Ｍｎ，
Ｃｕの還元を防止することによって色模様の発生を防ぐ
という作用を有するとともに１２００℃以上で焼成する
ことによって焼結を完了させて焼成品の寸法精度を高め
るという作用を有する。
【００１２】本発明の請求項４に記載の発明は、１μｍ
径以下の粒子が８０％以上占めるＡｌ2Ｏ3粉末を８３〜
９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2粉末を１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2
粉末もしくはＣｕＯ粉末の少なくとも１つを１〜４ｗｔ
％、ＳｉＯ2粉末を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯ粉末
を０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯ粉末を０〜１ｗｔ％
の比で混合する第一工程と、第一工程で得られた混合粉
末を成形する第二工程と、第二工程で得られた成型品を
焼成する第三工程を有し、第一工程で混合するＳｉＯ2
粉末もしくはＣａＯ粉末の粒度分布が０．１μｍ径以下
を９０％以上占め、第三工程での焼成温度が１１５０℃
以上かつ１３５０℃未満であることを特徴とするアルミ
ナセラミックスの製造方法であり、ＣａＯを０．２５ｗ
ｔ％以上にして１３５０℃未満で焼成を可能とすること
によってＴｉ，Ｍｎ，Ｃｕの還元を防止することによっ
て色模様の発生を防ぐという作用を有するとともに１１
５０℃以上で焼成することによって焼結を完了させて焼
成品の寸法精度を高めるという作用を有する。
径以下の粒子が８０％以上占めるＡｌ2Ｏ3粉末を８３〜
９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2粉末を１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2
粉末もしくはＣｕＯ粉末の少なくとも１つを１〜４ｗｔ
％、ＳｉＯ2粉末を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯ粉末
を０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯ粉末を０〜１ｗｔ％
の比で混合する第一工程と、第一工程で得られた混合粉
末を成形する第二工程と、第二工程で得られた成型品を
焼成する第三工程を有し、第一工程で混合するＳｉＯ2
粉末もしくはＣａＯ粉末の粒度分布が０．１μｍ径以下
を９０％以上占め、第三工程での焼成温度が１１５０℃
以上かつ１３５０℃未満であることを特徴とするアルミ
ナセラミックスの製造方法であり、ＣａＯを０．２５ｗ
ｔ％以上にして１３５０℃未満で焼成を可能とすること
によってＴｉ，Ｍｎ，Ｃｕの還元を防止することによっ
て色模様の発生を防ぐという作用を有するとともに１１
５０℃以上で焼成することによって焼結を完了させて焼
成品の寸法精度を高めるという作用を有する。
【００１３】以下、本発明の実施の形態について説明す
る。 （実施の形態１）本発明の実施の形態１におけるアルミ
ナセラミックスは、１μｍ径以下の粒子で占められるＡ
ｌ2Ｏ3粉末とＴｉＯ2粉末、ＭｎＯ2粉末、ＳｉＯ2粉
末、ＣａＯ粉末、ＭｇＯ粉末を９２：１．５：１．５：
４．０：０．６：０．４の重量比で混合した粉末１００
重量部に対してバインダーとしてブチラール樹脂を１２
重量部と可塑剤８重量部と溶剤４０重量部とを添加して
ボールミルにて４８時間分散してスラリーを得る。この
スラリーからドクターブレー ド法にて０．４ｍｍのグ
リーンシートを成形して２ｔ／ｃｍ2で６０×５０ｍｍ
の成型品を打ち抜く。この成型品を４５０℃で脱脂し、
その後１３００℃で焼成することによってアルミナセラ
ミックスを得る（試料１）。
る。 （実施の形態１）本発明の実施の形態１におけるアルミ
ナセラミックスは、１μｍ径以下の粒子で占められるＡ
ｌ2Ｏ3粉末とＴｉＯ2粉末、ＭｎＯ2粉末、ＳｉＯ2粉
末、ＣａＯ粉末、ＭｇＯ粉末を９２：１．５：１．５：
４．０：０．６：０．４の重量比で混合した粉末１００
重量部に対してバインダーとしてブチラール樹脂を１２
重量部と可塑剤８重量部と溶剤４０重量部とを添加して
ボールミルにて４８時間分散してスラリーを得る。この
スラリーからドクターブレー ド法にて０．４ｍｍのグ
リーンシートを成形して２ｔ／ｃｍ2で６０×５０ｍｍ
の成型品を打ち抜く。この成型品を４５０℃で脱脂し、
その後１３００℃で焼成することによってアルミナセラ
ミックスを得る（試料１）。
【００１４】また、比較のために平均粒子径が２．２μ
ｍ（１μｍ径以下の粒子が３３％を占める）のＡｌ2Ｏ3
粉末を用いて前記と同様な条件で成型品を作成し、１３
００℃と１４００℃で焼成した（比較品１，２）。
ｍ（１μｍ径以下の粒子が３３％を占める）のＡｌ2Ｏ3
粉末を用いて前記と同様な条件で成型品を作成し、１３
００℃と１４００℃で焼成した（比較品１，２）。
【００１５】その結果を（表１）に比較して示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】本発明の試料１に対し比較品１は色模様の
発生率に差はないが物性値が劣り、比較品１は十分に焼
結が進んでいないことがわかる。また、比較品２は本発
明とでは物性値に大きな差は認められないが、色模様の
発生率に差があり、すなわち、本発明は焼成温度を低く
しても十分な物性値を確保しつつ色模様のないアルミナ
セラミックスとすることができるものである。
発生率に差はないが物性値が劣り、比較品１は十分に焼
結が進んでいないことがわかる。また、比較品２は本発
明とでは物性値に大きな差は認められないが、色模様の
発生率に差があり、すなわち、本発明は焼成温度を低く
しても十分な物性値を確保しつつ色模様のないアルミナ
セラミックスとすることができるものである。
【００１８】（実施の形態２）実施の形態２で用いるア
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、Ａｌ2Ｏ3粉
末とＴｉＯ2粉末、ＭｎＯ2粉末、ＳｉＯ2粉末、ＣａＯ
粉末、ＭｇＯ粉末の混合比を変更した以外は実施の形態
１と略同等なので省略する。
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、Ａｌ2Ｏ3粉
末とＴｉＯ2粉末、ＭｎＯ2粉末、ＳｉＯ2粉末、ＣａＯ
粉末、ＭｇＯ粉末の混合比を変更した以外は実施の形態
１と略同等なので省略する。
【００１９】（表２）に示すように、いずれの組成にお
いても十分な物性値を確保しつつ色模様のないアルミナ
セラミックスが得られた（試料２〜１１）。
いても十分な物性値を確保しつつ色模様のないアルミナ
セラミックスが得られた（試料２〜１１）。
【００２０】
【表２】
【００２１】（実施の形態３）実施の形態３で用いるア
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、１μｍ径以
下の粒子が１００〜５０％占めるＡｌ2Ｏ3粉末を用いる
こと以外は実施の形態１と略同等なので省略する。
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、１μｍ径以
下の粒子が１００〜５０％占めるＡｌ2Ｏ3粉末を用いる
こと以外は実施の形態１と略同等なので省略する。
【００２２】（表３）に示すように、１３５０℃未満で
焼成しているため色模様の発生は認められないものの、
１μｍ径以下の粒子の占める割合が少なくなるに従っ
て、物性値の低下が認められ特に７５％以下で著しい。
従って、用いるＡｌ2Ｏ3粉末の粒度分布では１μｍ径以
上の粒子の占める割合は７５％より多いことが望まし
い。
焼成しているため色模様の発生は認められないものの、
１μｍ径以下の粒子の占める割合が少なくなるに従っ
て、物性値の低下が認められ特に７５％以下で著しい。
従って、用いるＡｌ2Ｏ3粉末の粒度分布では１μｍ径以
上の粒子の占める割合は７５％より多いことが望まし
い。
【００２３】
【表３】
【００２４】（実施の形態４）実施の形態４で用いるア
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、ＣａＯ粉末
の混合比がｘ％、Ａｌ2Ｏ3粉末の混合比が９２．４−ｘ
％（ｘ；０〜２）であること以外は実施の形態１と略同
等なので省略する。
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、ＣａＯ粉末
の混合比がｘ％、Ａｌ2Ｏ3粉末の混合比が９２．４−ｘ
％（ｘ；０〜２）であること以外は実施の形態１と略同
等なので省略する。
【００２５】（表４）に示すように、１３５０℃未満の
焼成であるにも関わらず０．２５％未満では色模様の発
生が認められ、また１ｗｔ％より多くなると物性値の低
下が認められることから、ＣａＯ粉末の添加量は０．２
５〜１ｗｔ％が望ましい。
焼成であるにも関わらず０．２５％未満では色模様の発
生が認められ、また１ｗｔ％より多くなると物性値の低
下が認められることから、ＣａＯ粉末の添加量は０．２
５〜１ｗｔ％が望ましい。
【００２６】
【表４】
【００２７】（実施の形態５）実施の形態５で用いるア
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、焼成温度が
１１００℃〜１４００℃であること以外は実施の形態１
と略同等なので省略する。
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、焼成温度が
１１００℃〜１４００℃であること以外は実施の形態１
と略同等なので省略する。
【００２８】（表５）に示すように、１３５０℃以上で
色模様の発生が認められるが、１３５０℃未満では色模
様の発生は認められない。また、１２００℃以上での焼
成において、物性値、寸法変化率がほぼ同じ値であるこ
とから、１２００℃で焼結が完了しており１２００℃以
上１３５０℃未満で焼成することによって焼成温度によ
る寸法ばらつきの少ない高寸法精度のアルミナセラミッ
クスが得られることを示唆している。
色模様の発生が認められるが、１３５０℃未満では色模
様の発生は認められない。また、１２００℃以上での焼
成において、物性値、寸法変化率がほぼ同じ値であるこ
とから、１２００℃で焼結が完了しており１２００℃以
上１３５０℃未満で焼成することによって焼成温度によ
る寸法ばらつきの少ない高寸法精度のアルミナセラミッ
クスが得られることを示唆している。
【００２９】
【表５】
【００３０】（実施の形態６）実施の形態６で用いるア
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、ＣａＯ粉末
もしくはＳｉＯ2粉末の粒子径が０．１μｍ以下である
こと以外は実施の形態１と略同等なので省略する。
ルミナセラミックスおよびその製造方法は、ＣａＯ粉末
もしくはＳｉＯ2粉末の粒子径が０．１μｍ以下である
こと以外は実施の形態１と略同等なので省略する。
【００３１】（表６）に示すように、１３５０℃未満で
は色模様の発生は認められず、またＣａＯ粉末もしくは
ＳｉＯ2粉末の粒子径が０．１μｍ以下であることによ
り焼結完了の温度が１１５０℃となり、１１５０℃以上
１３５０℃未満で焼成することによって焼成温度による
寸法ばらつきの少ない高寸法精度のアルミナセラミック
スが得られることを示唆している。
は色模様の発生は認められず、またＣａＯ粉末もしくは
ＳｉＯ2粉末の粒子径が０．１μｍ以下であることによ
り焼結完了の温度が１１５０℃となり、１１５０℃以上
１３５０℃未満で焼成することによって焼成温度による
寸法ばらつきの少ない高寸法精度のアルミナセラミック
スが得られることを示唆している。
【００３２】
【表６】
【００３３】なお、以上の説明では、分散方法としてボ
ールミルを用いているが、ミキサーやシェーカー、媒体
攪拌ミル等の方法を用いても良い。
ールミルを用いているが、ミキサーやシェーカー、媒体
攪拌ミル等の方法を用いても良い。
【００３４】成型方法として以上の説明ではドクターブ
レード法を用いているが、成型品の形態に合わせて射出
成形、圧縮成型等の方法を用いても良く、また成型方法
に合わせてバインダーとして適量のポリビニールアルコ
ール、アクリル樹脂、エポキシ樹脂を用いても良く、ま
たバインダーに合わせて溶剤として水、エチルアルコー
ル、アセトンなどを用いても良い。成型品の大きさや形
状は本発明の本質とは異なる。
レード法を用いているが、成型品の形態に合わせて射出
成形、圧縮成型等の方法を用いても良く、また成型方法
に合わせてバインダーとして適量のポリビニールアルコ
ール、アクリル樹脂、エポキシ樹脂を用いても良く、ま
たバインダーに合わせて溶剤として水、エチルアルコー
ル、アセトンなどを用いても良い。成型品の大きさや形
状は本発明の本質とは異なる。
【００３５】脱脂はできる限り残留カーボンが生じない
ように温度プロフィールを調整して行う。焼成はＭｎ，
Ｔｉ，Ｃｕが著しく還元されて色模様の生じる１３５０
℃以上の温度を避けて行うことが望ましい。焼成時間は
通常最高温度で１〜６時間保持するが、組成に依存する
ために焼結が完了する範囲で調整する。
ように温度プロフィールを調整して行う。焼成はＭｎ，
Ｔｉ，Ｃｕが著しく還元されて色模様の生じる１３５０
℃以上の温度を避けて行うことが望ましい。焼成時間は
通常最高温度で１〜６時間保持するが、組成に依存する
ために焼結が完了する範囲で調整する。
【００３６】また、以上の説明ではすべて酸化物粉末を
用いたが、相当量の炭酸化物粉末などに置き換えても良
く、例えばＭｎＯ2をそれに相当する量のＭｎＯやＭｎ2
Ｏ3、ＭｎＣＯ3に置き換えても同様な効果を示す。
用いたが、相当量の炭酸化物粉末などに置き換えても良
く、例えばＭｎＯ2をそれに相当する量のＭｎＯやＭｎ2
Ｏ3、ＭｎＣＯ3に置き換えても同様な効果を示す。
【００３７】ＴｉＯ2粉末とＭｎＯ2粉末もしくはＣｕＯ
粉末は、１ｗｔ％未満では１４００℃以下で十分に焼結
が進行しなくなってしまい、また４％より多くなると熱
伝導率の著しい低下をまねき、アルミナセラミックスと
しての物性値を確保することができないために１〜４ｗ
ｔ％の範囲が望ましく、ＭｎＯ2粉末とＣｕＯ粉末を同
時に添加する場合は、いずれかが１ｗｔ％より多くなる
と熱伝導率の著しい低下をまねく。また、ＳｉＯ2粉末
も前記粉末と同様な理由で１〜７ｗｔ％の範囲が望まし
い。ＭｇＯ粉末は０〜１ｗｔ％の範囲で物理特性に影響
を与えることなく焼成品のグレインサイズを調整するこ
とが可能であり、求められる基板特性としての表面性状
や分割性に応じて添加量を調整する。
粉末は、１ｗｔ％未満では１４００℃以下で十分に焼結
が進行しなくなってしまい、また４％より多くなると熱
伝導率の著しい低下をまねき、アルミナセラミックスと
しての物性値を確保することができないために１〜４ｗ
ｔ％の範囲が望ましく、ＭｎＯ2粉末とＣｕＯ粉末を同
時に添加する場合は、いずれかが１ｗｔ％より多くなる
と熱伝導率の著しい低下をまねく。また、ＳｉＯ2粉末
も前記粉末と同様な理由で１〜７ｗｔ％の範囲が望まし
い。ＭｇＯ粉末は０〜１ｗｔ％の範囲で物理特性に影響
を与えることなく焼成品のグレインサイズを調整するこ
とが可能であり、求められる基板特性としての表面性状
や分割性に応じて添加量を調整する。
【００３８】用いた粉末の粒度分布は２０μｍ径以下の
ものを用いたが、ＴｉＯ2粉末、ＭｎＯ2粉末、ＣｕＯ粉
末の粒子径は２０μｍ以下のものであれば特性に何ら影
響を与えない。
ものを用いたが、ＴｉＯ2粉末、ＭｎＯ2粉末、ＣｕＯ粉
末の粒子径は２０μｍ以下のものであれば特性に何ら影
響を与えない。
【００３９】また、実施の形態１〜６において、物性値
の測定はＥＭＡＳ−９１０１，９１０３，９１０８に従
い行った。寸法変化率は焼成前後での寸法変化の比から
算出し、マイナス符号は収縮を表す。寸法ばらつきは１
００個の試料の寸法変化率の３σ（標準偏差の３倍）で
表した。色模様の発生率は１００個の試料の外観検査に
より行った。
の測定はＥＭＡＳ−９１０１，９１０３，９１０８に従
い行った。寸法変化率は焼成前後での寸法変化の比から
算出し、マイナス符号は収縮を表す。寸法ばらつきは１
００個の試料の寸法変化率の３σ（標準偏差の３倍）で
表した。色模様の発生率は１００個の試料の外観検査に
より行った。
【００４０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、Ａｌ2Ｏ3
を８３〜９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2を１〜４ｗｔ％、Ｍ
ｎＯ2、ＣｕＯのいずれかもしくは２種類の合計を１〜
４ｗｔ％、ＳｉＯ2を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯを
０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯを０〜１ｗｔ％含むア
ルミナセラミックスでＡｌ2Ｏ3粉末や焼成助剤を微粒子
に限定することにより、焼成温度を１３５０℃未満に低
温化して色模様の発生を防ぎ、さらに焼結助剤中のＳｉ
Ｏ2の含有量が９５ｗｔ％未満の場合においても色模様
のないアルミナセラミックスを作成できるという有利な
効果が得られる。
を８３〜９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2を１〜４ｗｔ％、Ｍ
ｎＯ2、ＣｕＯのいずれかもしくは２種類の合計を１〜
４ｗｔ％、ＳｉＯ2を０．２〜７．０ｗｔ％、ＣａＯを
０．２５〜１．０ｗｔ％、ＭｇＯを０〜１ｗｔ％含むア
ルミナセラミックスでＡｌ2Ｏ3粉末や焼成助剤を微粒子
に限定することにより、焼成温度を１３５０℃未満に低
温化して色模様の発生を防ぎ、さらに焼結助剤中のＳｉ
Ｏ2の含有量が９５ｗｔ％未満の場合においても色模様
のないアルミナセラミックスを作成できるという有利な
効果が得られる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 隆一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 Ａｌ2Ｏ3を８３〜９７．３ｗｔ％、Ｔｉ
Ｏ2を１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2、ＣｕＯのいずれかもしく
は２種類の合計を１〜４ｗｔ％、ＳｉＯ2を０．２〜
７．０ｗｔ％、ＣａＯを０．２５〜１．０ｗｔ％、Ｍｇ
Ｏを０〜１ｗｔ％含むアルミナセラミックス。 - 【請求項２】 １μｍ径以下の粒子が８０％以上占める
Ａｌ2Ｏ3粉末を８３〜９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2粉末を
１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2粉末もしくはＣｕＯ粉末の少な
くとも１つを１〜４ｗｔ％、ＳｉＯ2粉末を０．２〜
７．０ｗｔ％、ＣａＯ粉末を０．２５〜１．０ｗｔ％、
ＭｇＯ粉末を０〜１ｗｔ％の比で混合する第一工程と、
第一工程で得られた混合粉末を成形する第二工程と、第
二工程で得られた成型品を１３５０℃未満で焼成する第
三工程を有することを特徴とするアルミナセラミックス
の製造方法。 - 【請求項３】 １μｍ径以下の粒子が８０％以上占める
Ａｌ2Ｏ3粉末を８３〜９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2粉末を
１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2粉末もしくはＣｕＯ粉末の少な
くとも１つを１〜４ｗｔ％、ＳｉＯ2粉末を０．２〜
７．０ｗｔ％、ＣａＯ粉末を０．２５〜１．０ｗｔ％、
ＭｇＯ粉末を０〜１ｗｔ％の比で混合する第一工程と、
第一工程で得られた混合粉末を成形する第二工程と、第
二工程で得られた成型品を１２００℃以上かつ１３５０
℃未満で焼成する第三工程を有することを特徴とするア
ルミナセラミックスの製造方法。 - 【請求項４】 １μｍ径以下の粒子が８０％以上占める
Ａｌ2Ｏ3粉末を８３〜９７．３ｗｔ％、ＴｉＯ2粉末を
１〜４ｗｔ％、ＭｎＯ2粉末もしくはＣｕＯ粉末の少な
くとも１つを１〜４ｗｔ％、ＳｉＯ2粉末を０．２〜
７．０ｗｔ％、ＣａＯ粉末を０．２５〜１．０ｗｔ％、
ＭｇＯ粉末を０〜１ｗｔ％の比で混合する第一工程と、
第一工程で得られた混合粉末を成形する第二工程と、第
二工程で得られた成型品を焼成する第三工程を有し、第
一工程で混合するＳｉＯ2粉末もしくはＣａＯ粉末の粒
度分布が０．１μｍ径以下を９０％以上占め、第三工程
での焼成温度が１１５０℃以上かつ１３５０℃未満であ
ることを特徴とするアルミナセラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8045745A JPH09235154A (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | アルミナセラミックスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8045745A JPH09235154A (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | アルミナセラミックスおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09235154A true JPH09235154A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=12727863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8045745A Pending JPH09235154A (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | アルミナセラミックスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09235154A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005053758A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Ngk Spark Plug Co Ltd | アルミナ焼結体、およびｉｃ基板 |
| JP2008031025A (ja) * | 2005-12-20 | 2008-02-14 | Sanyo Electric Co Ltd | セラミックグリーンシート及びセラミック基板 |
| JP2017218368A (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | 絶縁体組成物及びこれを用いた電子部品の製造方法 |
| WO2020085148A1 (ja) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | 日本碍子株式会社 | セラミック素地 |
-
1996
- 1996-03-04 JP JP8045745A patent/JPH09235154A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005053758A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Ngk Spark Plug Co Ltd | アルミナ焼結体、およびｉｃ基板 |
| JP4578076B2 (ja) * | 2003-08-07 | 2010-11-10 | 日本特殊陶業株式会社 | アルミナ焼結体、およびｉｃ基板 |
| JP2008031025A (ja) * | 2005-12-20 | 2008-02-14 | Sanyo Electric Co Ltd | セラミックグリーンシート及びセラミック基板 |
| US7446067B2 (en) | 2005-12-20 | 2008-11-04 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Ceramic green sheet and ceramic substrate |
| JP2017218368A (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | 絶縁体組成物及びこれを用いた電子部品の製造方法 |
| WO2020085148A1 (ja) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | 日本碍子株式会社 | セラミック素地 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100496115B1 (ko) | 고강도유전체스퍼터링타겟및그의제조방법 | |
| CN1117708C (zh) | 可低温烧结的低损耗介质陶瓷组合物及其制备方法 | |
| KR20070018025A (ko) | 고결정성 은분 및 그 제조 방법 | |
| JP2001114569A (ja) | セラミックスラリー組成物、セラミックグリーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP2013053030A (ja) | 板状酸化ルテニウム粉末とその製造方法、それを用いた厚膜抵抗組成物 | |
| JPH0122225B2 (ja) | ||
| CN112876229B (zh) | 一种微波陶瓷及其制备方法 | |
| JPH09235154A (ja) | アルミナセラミックスおよびその製造方法 | |
| KR900004078B1 (ko) | 저항기 조성물 | |
| JPS6360106A (ja) | スピネル粉体およびその製造方法 | |
| CN108275996B (zh) | 调色组合物、氧化锆陶瓷原料组合物、氧化锆陶瓷及其制备方法 | |
| JP2000327405A (ja) | 着色アルミナ質焼結体 | |
| JPH0733516A (ja) | ＭｇＯ−ＳｉＯ２ 系磁器及びその製造方法 | |
| JPH06100359A (ja) | セラミックス焼結助剤の製造方法及びこれを用いたムライトセラミックスの製造方法 | |
| JP4238554B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物 | |
| KR101166709B1 (ko) | 저항체용 페이스트 조성물 제조방법, 이를 이용한 후막 저항체 및 그 제조방법 | |
| JP3117535B2 (ja) | アルミナ基板の製造方法 | |
| JPH0672756A (ja) | グリーンシートの製造方法 | |
| CN101700975B (zh) | 一种用于氧化锌电阻制造的组合产品 | |
| JP2001002466A (ja) | 高耐電圧性アルミナ基焼結体およびその製造方法 | |
| JPH113801A (ja) | 厚膜抵抗ペーストおよびその製造方法 | |
| JP2626478B2 (ja) | 低温焼成基板用コンデンサ材料の製造方法 | |
| JP2003063857A (ja) | 低誘電率磁器組成物とその製造方法 | |
| JP2006225228A (ja) | スラリー組成物及びその製造方法 | |
| JP3336176B2 (ja) | ガラスセラミック焼結体 |