JPH09223773A - 半導体パッケージ及びそれを用いた増幅器 - Google Patents

半導体パッケージ及びそれを用いた増幅器

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JPH09223773A
JPH09223773A JP33403296A JP33403296A JPH09223773A JP H09223773 A JPH09223773 A JP H09223773A JP 33403296 A JP33403296 A JP 33403296A JP 33403296 A JP33403296 A JP 33403296A JP H09223773 A JPH09223773 A JP H09223773A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高周波用半導体パッケージ及びそれを用いた
増幅器の小型化、低コスト化。 【解決手段】 多段構造の高周波増幅器における複数の
FETを同一のデバイス構造とし、同一の半導体パッケ
ージに収納する。半導体パッケージの外部入力リード5
を増幅器の入力段と接続し、中間出力リード6及び中間
入力リード7間に段間回路を接続し、外部出力リード8
を増幅器の出力段と接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体パッケージ及
びそれを用いた増幅器に関し、高周波信号を取り扱うこ
とのできる半導体チップを収納する高周波用の半導体パ
ッケージ及びそれを用いた増幅器に関する。
【0002】
【従来の技術】近年のマイクロ波用高出力増幅器にはほ
とんどGaAs FETが使用されている。高出力Ga
As FETは通信衛星用中継器をはじめ移動、固定を
問わず各種の無線装置に使われ、又民生分野ではSiバ
イポーラ・トランジスタに比較して高出力GaAs F
ETの高効率性が注目され、最近携帯電話の送信段に大
量に使用されている。NEC技報Vol.44(199
1年11月)によれば、携帯電話の送信段に使用される
高出力増幅器はGaAs FETの1段又は2段カスケ
ード接続構成であり、厚膜基板にチップ部品とともにF
ETを搭載したモジュール構造となっている。2段カス
ケード接続を構成するGaAs FETのチップは、普
通信頼性の確保及び実装の容易さを図るため高周波用パ
ッケージに収納され、封止されたものを用いる。したが
って、2段カスケード接続を構成においては、1つのモ
ジュールに2つのFETのパッケージが個別に搭載され
ていた(National Technical Re
port Vol.36 No.4 Aug.1990
p.34−38,技術情報 Panasonicニュ
ース No.75 p.14−16)。
【0003】本願明細書中、“パッケージ”とは回路を
含まない少なくとも1種類の素子を搭載したものであ
り、“モジュール”とはパッケージを搭載したハイブリ
ッド集積回路である。カスケード接続の容易さを考慮す
ると図6に示すような構造の高周波用パッケージが考案
され、使用されている。以下では従来技術に使用されて
いる高周波用パッケージの構造を、図10を利用して説
明する。
【0004】従来の技術では、放熱するための銅ベース
1上にGaAs FETチップ2をマウントし、中心部
分をくり抜いたセラミック板(Al2 O3 )4 を設置、
そのセラミック板4上に入出力リード5,8をロー付し
ている。FET2のワイヤボンディング後にエポキシ樹
脂を使用して気密封止して用いていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体パッケー
ジにおいては、2段以上接続した構成の増幅器等の回路
をモジュール化する場合、1つのモジュール構造に複数
の半導体パッケージを搭載することになり、モジュール
を小型化することが困難であった。
【0006】更に、個別にパッケージしたものを複数用
いる場合、製造コストがかかり、製品コストを低減する
ことが困難であった。
【0007】また、デバイス構造が異なり、トランジス
タ特性の異なる半導体素子を同一のパッケージに収納す
ると、互いに干渉して発振等の不具合が発生し易く、ま
とめてパッケージすることができないという問題点があ
った。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願発明の半導体パッケ
ージは、複数の半導体素子を接続して構成した回路をモ
ジュール構造とする半導体パッケージにおいて、半導体
パッケージにデバイス構造が同一の半導体素子が複数搭
載されている。
【0009】また、本発明の増幅器は、パッケージされ
た複数の半導体素子をカスケード接続して構成する増幅
器において、複数の半導体素子が同一の半導体パッケー
ジに収納されている。具体的には、複数段のトランジス
タのみをまとめてパッケージし、抵抗及びコンデンサの
接続された回路基板上に組み込んで、モジュール構造と
する。
【0010】本発明の半導体素子はGaAs FETで
あることが望ましく、複数の半導体素子が共通の金属ベ
ース上に搭載されていることが望ましい。
【0011】上記の半導体パッケージは、第1の半導体
素子の第1の入力リードと第1の出力リード、第2の半
導体素子の第2の入力リードと第2の出力リードを有
し、第1の入力リードと第2の出力リードとが半導体パ
ッケージの第1の側面側に配置され、第1の出力リード
と第2の入力リードとが第1の側面と対向する半導体パ
ッケージの第2の側面側に配置されていることを特徴と
する。
【0012】そして、第1の入力リードと第2の出力リ
ードとは第1の側面と平行に設置されていることが望ま
しい。
【0013】第1の入力リードと第2の出力リードとの
間及び第1の出力リードと第2の入力リードとの間に、
金属ベースに接続された設置リードをそれぞれ有するこ
とも望ましい。
【0014】金属ベース上で複数の半導体素子の外周部
に絶縁体を有し、絶縁体上に第1の入力リード、第1の
出力リード、第2の入力リード、第2の出力リード、設
置リードを有し、第1の入力リードと第1の出力リード
はボンディング・ワイヤにより第1の半導体素子に接続
され、第2の入力リードと第2の出力リードはボンディ
ング・ワイヤにより第2の半導体素子に接続され、絶縁
体の内側の側壁にキャスタレーションを有し、キャスタ
レーションに金属メッキが施され、設置リードと金属ベ
ースとが金属メッキにより接続されていることも望まし
い。
【0015】また、金属ベース上で複数の半導体素子の
外周部に第1の絶縁体を有し、第1の絶縁体上に金属層
を有し、金属層上に第2の絶縁体を有し、第2の絶縁体
上に第1の入力リード、第1の出力リード、第2の入力
リード、第2の出力リード、第1の入力リードと第1の
出力リードはボンディング・ワイヤにより第1の半導体
素子に接続され、第2の入力リードと第2の出力リード
はボンディング・ワイヤにより第2の半導体素子に接続
され、金属層は金属ベースに接続されていることも望ま
しい。
【0016】また、増幅器の半導体パッケージには外部
入力リード、外部出力リード、中間入力リード及び中間
出力リードを有し、外部入力リードは第1の半導体素子
の第1の電極が接続され、中間入力リードは第1の半導
体素子の第2の電極が接続され、中間出力リードは第2
の半導体素子の第1の電極が接続され、外部出力リード
は第2の半導体素子の第2の電極が接続され、半導体パ
ッケージ外において外部入力リードは増幅器の入力段に
接続され、中間出力リードと中間入力リードとは段間回
路を介して接続され、外部出力リードは増幅器の出力段
に接続されていることが望ましい。
【0017】更に入力段、段間回路及び出力段はモジュ
ール基板上に有し、半導体パッケージはモジュール基板
上に搭載されているのが好ましい。
【0018】上記第1の半導体素子の第3の電極及び第
2の半導体素子の第3の電極は共通接地され、第1及び
第2の半導体素子の第1及び第2の電極は半導体パッケ
ージ内においてはそれぞれ電気的に接続されていないこ
とがより好ましい。
【0019】
【発明の実施の形態】本発明の第1の実施の形態例を図
1に示す。図1(a)は平面図、(b)は(a)のA−
A′,B−B′における断面図および側面図、(c)は
(a)のC−C′,D−D′における断面図および側面
図である。
【0020】第1の実施の形態例では、放熱するための
0.4mm厚の銅又は他の導電体ベース1上にGaAs
FETチップ2をマウントし、中心部分をくり抜いた
セラミック基板(Al2 O3 等)4 を設置、その(Al
2 O3 又はその他の材質からなるセラミック基板4上に
入出力リード5,6,7,8(銅又は他の導電体からな
る)をロー付けしている。リードはT型が好ましく、
0.1〜0.2mmの厚さとする。先端の長さは0.3
mmでリード5と8及びリード6と7はそれぞれ1.5
〜2.0mm離れることが好ましい。
【0021】図1の様に高周波用パッケージに2つの高
出力GaAs FETチップ2を収納し、2段カスケー
ドアンプを形成する場合、初段GaAs FET2のゲ
ート端子と外部入力リード5、初段GaAs FET2
のドレイン端子と中間出力リード6、終段GaAs F
ET3のゲート端子と中間入力リード7、終段FET3
のドレイン端子と外部出力リード8をそれぞれ金のボン
ディング・ワイヤー9で接続する。初段GaAs FE
T2、終段GaAs FET3のソース端子はそれぞれ
のチップの側面メタライズ部分、裏面メタライズ部分を
介して、銅ベース1に接続、接地している。中間出力リ
ード6と中間入力リード7を高周波用パッケージの同一
辺に設置し、互いに平行配置になっているには理由があ
る。携帯電話の送信段に使用される2段カスケード接続
の高出力増幅器モジュールでは、図5に示す等価回路図
が表わす様に、2つのGaAs FETのそれぞれの入
出力にインピーダンス整合回路が形成されている。特に
初段FET2のドレイン(中間出力)と終段FET3の
ゲート(中間入力)の間の整合回路は段間回路と呼ば
れ、段間回路を含んだ高出力増幅器モジュール全体を高
集積、小型化するためには、図4が示す様に中間出力リ
ード6と中間入力リード7を同一辺に設置し、互いに平
行配置とするのが最も効率が良い。さらにパッケージの
リードフレームは上下左右対称にリード配置されたもの
のほうが作り易く、生産性が向上するので、外部入力リ
ード5と外部出力リード8も高周波パッケージの同一辺
(中間出力リード6、中間入力リード7とは反対側の
辺)に設置し、互いに平行配置としている。
【0022】次に本願発明の増幅器について説明する。
図5は本願発明の増幅器の第1の実施例を示す回路図で
ある。
【0023】抵抗R1に入力端子が接続され、R1は、
キャパシタC1及びC2に接続され、C1は他端が接地
されている。C2の他端は初段GaAs FET2の外
部入力リード5、R2、及びR3と接続され、R3はR
4及びC3に接続されている。R3及びC3は並列にグ
ランド接地されている。R2は他端が、一端が接地され
たC7、一端が接点Dに接続されたR5及びVGGと接
続されている。
【0024】R1〜R7は例えば、5.1Ω、1000
Ω、510Ω、150Ω、1000Ω、510Ω、15
0Ωに設定され、C1〜C14は6pF、15pF、1
000pF、2pF、8pF、15pF、1000p
F、1000pF、56pF、1pF、1pF、12p
F、4pF、4pFに設定される。
【0025】初段GaAs FET2のソース端子は接
地され、中間出力リード6は接点Aを通ってC5の一端
と接続されている。接点Aにおいては、一方が接地され
たC4と接点Bとが更に中間出力リード6に接続されて
いる。接点Bには、一方が接地されたC3とVDD1と
が接続されている。
【0026】C5の他端は接点C、接点Dを通り終段G
aAs FET3の中間入力リード7と接続されてる。
接点Cには、一端が接地されたC6が接続され、接点D
には、R6の一端が接続され、R6の他端はR7及びC
8の一端と接続されている。R7及びC8の他端はそれ
ぞれ接地されている。
【0027】終段GaAs FET3のソース端子は接
地され、外部出力リード8は接点E、Fを通ってC12
の一端と接続される。接点Eには一端が接地されたC1
0とC9の一端が接続され、C9の他端は接地電位及び
VDD2に接続されている。接点Fには一端が接地され
たC11が接続されている。
【0028】C12の他端は接点G、Hを通り、出力端
子と接続され、接点Gには一端が接地されたC13が接
続され、接点Hには一端が接地されたC14が接続され
ている。
【0029】この時、破線で囲まれた初段GaAs F
ETおよび終段GaAs FETは同一のデバイス構造
からなり、同一のトランジスタ特性を有する。同一のト
ランジスタ特性を有するため、互いに干渉することが無
く、同一のパッケージに収納することが可能となった。
その結果、コストが低減し、パッケージ及び増幅器全体
の小型化が可能となる。
【0030】即ち、多段構造の増幅器において、複数の
FETを同一のパッケージに収納し、パッケージの外部
入力リードは増幅器の入力段と接続し、パッケージの中
間出力リード及び中間入力リード間には段間回路を接続
し、パッケージの外部出力リードには増幅器の出力段と
接続すれば、小型化が可能となる。この時、入力段、段
間回路、出力段をモジュール基板上に形成し、そこにF
ETのパッケージを組み込めば、更に小型化が可能とな
る。
【0031】図6(a)〜(c)は、図1(a)〜
(c)の構造を樹脂20でモールドした後の構造を示し
ている。樹脂20はエポキシその他の熱硬化性樹脂を用
いる。
【0032】高周波用パッケージにおける外部入力リー
ド5と外部出力リード8間のアイソレーションの周波数
特性を図4に示す。周波数0.5GHz以上の高周波信
号ではアイソレーションは−33dB以上となり、低出
力(0.1W以下程度)の増幅器では使用可能だが、携
帯電話の送信段に使用される様な高出力増幅器(1.5
W以上)では、外部入出力のアイソレーションは−38
dB以下を確保しなければならず、それより大きいアイ
ソレーション2では出力リードから入力リードへの負帰
還が発生し、安定性は増すが、利得は低下する結果とな
る。従って周波数帯1.5GHz付近を使用する国内デ
ジタル携帯電話システムの高出力増幅器には、あまり適
しているとは言えない。
【0033】入出力リード間のアイソレーションが劣化
する原因は、外部入力リード5と外部出力リード8が相
対して平行に配置されている部分が長く、そこにそれぞ
れに伝幡方向が逆になった高周波信号が伝送線路を通過
する際発生する磁界同士て結合し易くなっているからで
ある。磁界結合が発生しなければアイソレーションの劣
化は生じない。磁界結合は入出力リード間の距離を大き
くとれば弱まるが、高周波用パッケージの小型化とは相
反する。
【0034】次に、本発明の第2の実施の形態例につい
て図面を参照して詳細に説明する。図2は本発明の第2
の実施の形態例を表わしているプラスチックパッケージ
用のリードフレームである。初段、終段2つのFETを
1つのチップ上に配置したGaAs FETチップ10
をアイランド部11に載せたリードフレームであり、ア
イランド部11の下は放熱特性を良くするため銅等の導
電体からなるヒートシンク13が設置されている。第2
の実施例の特徴は外部入力リード5と外部出力リード8
が相対して平行になる部分を極力小さくなる様に配置し
ていることである。すなわち、高周波用パッケージの外
形の一辺にその辺と平行になる様に外部入力リード5を
設置し、又同一辺に外部出力リード8をやはりその辺と
平行に配置している。これにより、入出力リードから発
生する磁界が結合する面積は最小となり、磁界結合によ
るアイソレーションの劣化は防止できる。入出力リード
の幅は0.2〜0.4mmであり、1.5mm以上の距
離をおいて設置している。さらに外部入力リード5と外
部出力リード8に接続されたボンディング・ワイヤー9
同士の磁界結合を防止するために、外部入力リード5と
外部出力リード8の間に接地リード12を設置してい
る。接地リード12はアイランド部11と電気的に接続
されており、GaAs FETチップ10の2つのFE
Tのソース端子はチップ側面、裏面のメタライズ層によ
ってアイランド部11と接続しているため、接地リード
12自体がソース端子となっている。接地リード12の
幅は0.2〜0.4mmで、リード5,8とは約0.5
mm離れている。図2のリードフレームでは、GaAs
FETチップ10をマウント・ボンディングした後、
トランスファーモールディングによって最終的にプラス
チックパッケージとなる(図7(a)〜(c))。
【0035】数回の試行実験の結果、1.5GHzの高
周波信号を増幅する際、入出力間のアイソレーション−
40dBを確保するためには、外部入力リード5と外部
出力リード8の間の距離14は1.5mm、ヒートシン
クの高さ15は0.6mm以下であることが必要と判明
した。
【0036】図2に示す本発明の第2の実施の形態例を
使用した高周波用パッケージにおいて、外部入力リード
5と外部出力リード8間のアイソレーションの周波数特
性を図4に示す。第2の実施の形態例では周波数1.5
GHz以上で−40dB程度のアイソレーションが確保
されている。1.5W以上の出力を有する高出力増幅器
では、入出力リード間のアイソレーションは−38dB
以上あれば所望の利得(20dB以上)が得られるた
め、本発明の第2の実施の形態例を使用すれば、充分実
用可能な高出力増幅器用の高周波用パッケージが形成可
能となる。
【0037】なお、図2に示す第2の実施の形態例のア
イソレーション周波数特性は、ヒートシンク高さ15が
0.6mmの場合の結果であるが、このヒートシンク高
さ15をさらに小さくすることでアイソレーションはよ
り向上することを確認している。その理由は、ヒートシ
ンク高さ15を小さくすることで、接地面が近くなり、
ボンディング・ワイヤー9から発生する磁力線が接地面
で終端され易くなって、磁界結合が発生しにくくなるか
らである。
【0038】次に、本発明の第3の実施の形態例につい
て図面を参照して説明する。図3は本発明の第3の実施
の形態例を示すセラミックパッケージの構造図である。
初段、終段2つのFETを1つのチップ上に配置したG
aAs FETチップ10をマウントし、放熱するため
の銅ベース1上にその中心部分をくり抜いたセラミック
板(Al2 O3 )16,17を設置し、そのセラミック
板16上に入出力リード5〜8をロー付けしている。外
部入力リード5と外部出力リード8の配置は本発明の第
1の実施の形態例と同じで、セラミック板16の一辺に
その辺と平行になる様に外部入力リード5を設置し、又
同一辺に外部出力リード8をやはりその辺と平行に配置
する。さらに外部入力リード5と外部出力リード8の間
に接地リード12を設置している。接地リード12はセ
ラミック板16,17に設けられたキャスタレーション
18の側壁部の金メッキ部分を介して、銅ベース1と電
気的に接続されている。又セラミック板は厚さ0.2m
mの上層16と同じく0.2mmの厚さの下層17の2
層構造となっており、セラミック板上層16と下層17
の間には銀・銅ロー材19を一面に塗布して接着してお
り、その銀・銅ロー材19はキャスタレーション18の
側面金メッキ部分を通して銅ベース1と電気的に接続さ
れている。
【0039】図8(a)〜(c)は図3(a)〜(c)
の樹脂モールド後の構造を示す。樹脂20はエポキシ等
の熱硬化性樹脂を用いる。
【0040】本例2ではキャスタレーション18の側壁
が銅ベース1と電気的に接続されているため接地状態と
なっている。又セラミック板16,17の中間にやはり
銅ベース1と電気的に接続された銀・銅ロー材面19が
あり、これも接地面となっている。これらにより、ボン
ディング・ワイヤー9及び外部入力リード5、外部出力
リード8から放出される磁力線は本発明の第1の実施の
形態例よりもさらに多く終端される。従って磁界結合も
より効果的に防止されるため、実施例1よりも入出力リ
ードのアイソレーションの劣化は抑止される。
【0041】第3の実施の形態例を使用した高周波用パ
ッケージにおける入出力リード間のアイソレーション周
波数特性を図4に示す。周波数1.5GHzでアイソレ
ーション−50dbが得られており、第1の実施の形態
例よりもさらにアイソレーションは改善されている。
【0042】図9(a),(b)は本発明による高出力
アンプモジュールを示す平面図及び断面図である。端子
22,23(VGG),24(VDD1 ),25(VDD2
),26が引き出され、放熱板27がプリント回路基
板28の裏面に形成されている。半導体パッケージ29
には、本発明によるGaAs FETパッケージが搭載
されている。
【0043】
【発明の効果】第1の効果は、半導体パッケージ及び増
幅器の小型化、低コスト化が可能となることである。
【0044】また、リード配置により、磁界結合による
入出力間のアイソレーションの劣化を防止することがで
きることである。これにより高出力増幅器の利得の低下
を抑止できるようになる。
【0045】その理由は、外部入力リードと外部出力リ
ードが相対して平行になる部分を極力最小となる柾に、
リード配置を工夫しているからである。又、磁力線を終
端する様に、接地面、接地部分を設置している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態例を示す構造図であ
り、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A′におけ
る断面図及びB−B′における側面図、(c)は(a)
のC−C′における断面図及びD−D′における側面図
である。
【図2】本発明の第2の実施の形態例を示す構造図であ
り、(a)は平面図、(b),(c)はヒートシンク部
分のモデル断面図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態例を示す構造図であ
り、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A′におけ
る断面図及びB−B′における側面図、(c)は(a)
のC−C′における断面図及びD−D′における側面図
である。
【図4】本発明の第1,2,3の実施の形態例における
入出力アイソレーション周波数特性を示すグラフであ
る。
【図5】本発明の携帯電話送信段用高出力増幅器の回路
図である。
【図6】図1のパッケージを樹脂モールドした後の構造
を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA
−A′における断面図及びB−B′における側面図、
(c)は(a)のC−C′における断面図及びD−D′
における側面図である。
【図7】図2のパッケージを樹脂モールドした後の構造
を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA
−A′における断面図及びB−B′における側面図、
(c)は(a)のC−C′における断面図及びD−D′
における側面図である。
【図8】図3のパッケージを樹脂モールドした後の構造
を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA
−A′における断面図及びB−B′における側面図、
(c)は(a)のC−C′における断面図及びD−D′
における側面図である。
【図9】本発明による高出力アンプモジュールを示す
(a)平面図、(b)断面図である。
【図10】従来のGaAs FETパッケージを示す平
面図である。
【符号の説明】
1 銅ベース 2 初段GaAs FETチップ 3 終段GaAs FETチップ 4 セラミック板 5 外部入力リード 6 中間出力リード 7 中間入力リード 8 外部出力リード 9 ボンディング・ワイヤー 10 GaAs FETチップ 11 アイランド部 12 接地リード 13 ヒートシンク 14 入出力リード間距離 15 ヒートシンク高さ 16 上層セラミック板 17 下層セラミック板 18 キャスタレーション 19 銀・銅ロー材 R1〜R7 抵抗 C1〜C14 コンデンサ A〜G 接点

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パッケージした複数の半導体素子を接続
    して構成した回路をモジュール構造とする半導体パッケ
    ージにおいて、前記半導体パッケージにデバイス構造が
    同一の前記半導体素子が複数搭載されていることを特徴
    とする半導体パッケージ。
  2. 【請求項2】 パッケージされた複数の半導体素子をカ
    スケード接続して構成する増幅器において、前記複数の
    半導体素子が同一の半導体パッケージに収納されている
    ことを特徴とする増幅器。
  3. 【請求項3】 前記半導体素子がGaAs FETであ
    ることを特徴とする請求項1記載の半導体パッケージ。
  4. 【請求項4】 前記複数の半導体素子が共通の金属ベー
    ス上に搭載されていることを特徴とする請求項1記載の
    半導体パッケージ。
  5. 【請求項5】 前記半導体パッケージが、第1の半導体
    素子の第1の入力リードと第1の出力リード、第2の半
    導体素子の第2の入力リードと第2の出力リードを有
    し、前記第1の入力リードと前記第2の出力リードとが
    前記半導体パッケージの第1の側面側に配置され、前記
    第1の出力リードと前記第2の入力リードとが前記第1
    の側面と対向する前記半導体パッケージの第2の側面側
    に配置されていることを特徴とする請求項1記載の半導
    体パッケージ。
  6. 【請求項6】 前記第1の入力リードと前記第2の出力
    リードとが前記第1の側面と平行に設置されていること
    を特徴とする請求項5記載の半導体パッケージ。
  7. 【請求項7】 前記第1の入力リードと前記第2の出力
    リードとの間及び前記第1の出力リードと前記第2の入
    力リードとの間に、接地リードをそれぞれ有することを
    特徴とする請求項5記載の半導体パッケージ。
  8. 【請求項8】 金属ベース上で前記複数の半導体素子の
    外周部に絶縁体を有し、前記絶縁体上に前記第1の入力
    リード、前記第1の出力リード、前記第2の入力リー
    ド、前記第2の出力リード、前記設置リードを有し、前
    記第1の入力リードと前記第1の出力リードはボンディ
    ング・ワイヤーにより前記第1の半導体素子に接続さ
    れ、前記第2の入力リードと前記第2の出力リードはボ
    ンディング・ワイヤーにより前記第2の半導体素子に接
    続され、前記絶縁体の内側の側壁にキャスタレーション
    を有し、前記キャスタレーションに金属メッキが施さ
    れ、前記設置リードと前記金属ベースとが前記金属メッ
    キにより接続されていることを特徴とする請求項5記載
    の半導体パッケージ。
  9. 【請求項9】 前記金属ベース上で前記複数の半導体素
    子の外周部に第1の絶縁体を有し、前記第1の絶縁体上
    に金属層を有し、前記金属層上に第2の絶縁体を有し、
    前記第2の絶縁体上に前記第1の入力リード、前記第1
    の出力リード、前記第2の入力リード、前記第2の出力
    リード、前記第1の入力リードと前記第1の出力リード
    はボンディング・ワイヤーにより前記第1の半導体素子
    に接続され、前記第2の入力リードと前記第2の出力リ
    ードはボンディング・ワイヤーにより前記第2の半導体
    素子に接続され、前記金属層は前記金属ベースに接続さ
    れていることを特徴とする請求項4記載の半導体パッケ
    ージ。
  10. 【請求項10】 前記半導体パッケージは外部入力リー
    ド、外部出力リード、中間入力リード及び中間出力リー
    ドを有し、前記外部入力リードは第1の半導体素子の第
    1の電極が接続され、前記中間入力リードは前記第1の
    半導体素子の第2の電極が接続され、前記中間出力リー
    ドは第2の半導体素子の第1の電極が接続され、前記外
    部出力リードは前記第2の半導体素子の第2の電極が接
    続され、前記半導体パッケージ外において前記外部入力
    リードは増幅器の入力段に接続され、前記中間出力リー
    ドと前記中間入力リードとは段間回路を介して接続さ
    れ、前記外部出力リードは増幅器の出力段に接続されて
    いることを特徴とする請求項2記載の増幅器。
  11. 【請求項11】 前記入力段、段間回路及び出力段はモ
    ジュール基板上に有し、前記半導体パッケージは前記モ
    ジュール基板上に搭載されていることを特徴とする請求
    項10記載の増幅器。
  12. 【請求項12】 前記第1の半導体素子の第3の電極及
    び前記第2の半導体素子の第3の電極は共通接地され、
    前記第1及び第2の半導体素子の前記第1及び第2の電
    極は前記半導体パッケージ内においてはそれぞれ電気的
    に接続されていないことを特徴とする請求項10記載の
    増幅器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015139207A (ja) * 2014-01-24 2015-07-30 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 増幅装置

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