JPH09207092A - 研磨クロスの下穴切開装置及び切開方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 研磨クロスを定盤に貼付する前に、正確に研
磨クロスの中心を位置決めして中央ローラー取付用の下
穴の切開を正確に行うことができる研磨クロスの切開装
置及び切開方法を提供する 【解決手段】 研磨クロス７の中心上に回転軸１１を立
設する。回転軸１１に外周溝１３ａ、１３ｂを回設す
る。プランジャー１２に外周溝１３ａ、１３ｂへ付勢さ
れて嵌合するピン１２ａを設ける。回転軸１１にカッタ
ー１４ａを連結する。回転軸１１の下部に回転自在なク
ロス押圧盤１５を設ける。プランジャー１２が外周溝１
３ａへ移動することにより、昇降アーム２からクロス押
圧盤１５までの距離を変化させ、研磨クロス７を強制的
に加圧する。研磨クロス７の下に切開台５を配置し、切
開面を周囲より高くする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】本発明は、半導体ウェハの研磨装
置の定盤に研磨クロスを貼着する前に研磨クロスの中心
部分を切開して、研磨装置の中央ローラーを定盤に取り
付けるための下穴部分を切開する研磨クロスの切開装置
及び切開方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハの研磨装置の定盤に研磨ク
ロスを貼着する際は、研磨クロスの中心部分を切断して
研磨装置の中央ローラーを挿通するための受け架台に相
当する下穴を切除する必要がある。従来、この下穴の切
除は、研磨クロスを定盤に貼付した後に、サークルカッ
ターの中心軸を定盤の取付孔に嵌入し、サークルカッタ
ーの刃を回転させることにより切断していた。

【０００３】このサークルカッターの中心軸を取付孔へ
嵌入する際は、研磨クロスの略中心に予め芯出しをし
て、取付孔が見える状態で研磨クロスを定盤に貼付する
か、または貼付した後に手さぐりでこの取付孔を捜し出
して行っていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このサ
ークルカッターによる下穴部分の切除作業は、研磨装置
の上という限られた狭い場所での作業で行うことから、
指を怪我したり、定盤をキズ付けたりするという問題点
があった。また、予め芯出しをする場合でも正確な芯だ
しする工程が必要であったり、貼付する前にその芯だし
をせずに取付孔を手さぐりで捜し出すには熟練を要する
という理由から、作業効率が悪いという問題点があっ
た。本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、研磨
クロスを定盤に貼付する前に、正確に研磨クロスの中心
を位置決めして中央ローラー取付用の下穴の切開を正確
に行うことができる研磨クロスの切開装置及び切開方法
を提供することを目的とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このため本発明では、研
磨クロスの下穴切開装置を、研磨クロスの周縁部が当接
する当接面と、前記研磨クロスの略中心が位置する上部
に立設して回動自在に設けられた回転軸と、一端に該回
転軸が挿通され、他端が軸支されて揺動可能に設けられ
た昇降アームと、該昇降アームを任意の揺動角で保持す
るクランプと、該回転軸の下端に設けられ前記研磨クロ
スの中心を通刺する中心針と、前記回転軸に連結されて
水平方向に回動するカッター取付フレームと、該カッタ
ー取付フレームの回転面に略垂直に固定されたカッター
と、前記回転軸が挿通されてその回転軸回りに回転自在
に設けられ、その底面が中心針の針先より上に位置する
クロス押圧盤と、前記回転軸の外周部に沿って設けられ
た少なくとも１本の外周溝と、前記回転軸に周回すると
共に、前記外周溝に嵌合するように付勢されたピンを備
え、前記昇降アームに連接して設けられたプランジャー
とからなるようにしたものである。

【０００６】また、位置決めができる載置面に載置され
た研磨クロスを、研磨クロスの略中心が位置する上部に
立設して回動自在に設けられた回転軸と、該回転軸に連
結されて水平方向に回動するカッター取付フレームと、
該カッター取付フレームの回転面に略垂直に固定された
カッターと、前記回転軸が挿通されてその回転軸回りに
回転自在に設けられたクロス押圧盤とからなる切開部に
より下穴を切開する研磨クロスの切開方法において、カ
ッターにより切開される研磨クロスの切開面をその周囲
より高くして切開するようにしたものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は本発明に係る切開装置の切
開部を示す部分側断面図、図２は本発明に係る切開装置
を示す一部破断斜視図、図３は切開装置の昇降アームを
持ち上げた状態を示す部分側面図、図４は切開装置によ
る切断工程を示す部分側断面図、図５は切開装置により
研磨クロスを切開している状態を示す部分斜視図であ
る。

【０００８】図２に示すように、本実施の形態の研磨ク
ロスの下穴切開装置は、切開部１と、この切開部１が一
端に取り付けられた昇降アーム２と、この昇降アーム２
の他端を軸支すると共に任意の揺動角度で保持するクラ
ンプ３と、クランプ３が固定され研磨クロスの直径と略
同じ長さを有するベース４と、ベース４と切開部１との
間に載置された切開台５と、切開する研磨クロス７を載
置する載置台６により構成されている。

【０００９】図１に示すように、切開部１は、研磨クロ
ス７（図示せず）の中心上に立設するように設けられた
回転軸１１と、回転軸１１の頂部に設けられ回転軸１１
を水平方向に回転させるハンドル１７と、回転軸１１に
回設された２本の外周溝１３ａ）１３ｂと、外周溝１３
ａ、１３ｂに嵌合するピン１２ａを備え回転軸１１に対
して回転自在に設けられたプランジャー１２と、回転軸
１１に連結され回転軸１１と共に回転するカッター取付
フレーム１４と、カッター取付フレーム１４の先端に垂
直に固定されたカッター１４ａと、回転軸１１の下部が
挿通して設けられ、回転軸１１に対して回転自在に設け
られたクロス押圧盤１５と、回転軸１１の下端部にクロ
ス押圧盤１５の底面中心から突出するように設けられた
中心針１６により構成されている。

【００１０】切開部１の昇降アーム２への取付部分に
は、樹脂製の連結部材２１が設けられ、回転軸１１が容
易に回転できるようにされている。

【００１１】プランジャー１２のピン１２ａはバネ１２
ｂにより回転軸１１方向に付勢されて、バネ１２ｂはボ
ルト１２ｃにより固定されている。また、プランジャー
１２と回転軸１１との間にはベアリング１２ｄが介在し
て設けられている。これらにより、ピン１２ａの先端が
外周溝１３ａ又は外周溝１３ｂに嵌合した状態で、プラ
ンジャー１２が回転軸１１回りで回転できるように設け
られている。また、プランジャー１２が一方の外周溝か
ら他方の外周溝へ移動することにより、昇降アーム２か
らクロス押圧盤１５までの距離を変化させることができ
る。

【００１２】クロス押圧盤１５と回転軸１１の間にはベ
アリング１５ａが介在して設けられ、クロス押圧盤１５
が円滑に回転できるようにされている。

【００１３】図３に示すように、昇降アーム２の外側端
部２２が軸支ボルト２３により軸支され、外側端部２２
に近接した昇降アーム２の中間部分がクランプ３により
保持できるように設けられている。これにより昇降アー
ム２が揺動して昇降し、クランプ３のクランプハンドル
３１を操作することにより、切開部１を任意の高さで保
持できるように設けられている。

【００１４】図２に示すように、載置台６はベース４の
上面と面一になるように形成された載置面６２と、その
外周部に立設された当接面６１とからなる。当接面６１
の立設位置は研磨クロス７の外縁部と一致する位置であ
り、研磨クロス７を載置する際は、この当接面６１にそ
の外縁部を当接させることにより正確な位置決めができ
る。

【００１５】図２及び図３に示すように、ベース４は、
口径の大きいＵ字管４１と口径の小さいＵ字管４２によ
り構成され、Ｕ字管４２がＵ字管４１に嵌入してスライ
ドすることにより収縮自在に設けられており、これを固
定する固定ボルト４３を弛めて、ベース４の長さを短く
することにより移動を容易に行うことができる。

【００１６】図１及び図２に示すように、切開台５はベ
ース４の上に載置され、切開する下穴とほぼ同じ直径の
環状溝５１がその上面に設けられ、環状溝５１にカッタ
ー１４ａが嵌入するように設けられている。また、図４
（ａ）に示すように、研磨クロス７の中心に相当する位
置には中央孔５２が設けられ、研磨クロス７を切断する
際に、研磨クロス７を通剌した中心針１６が嵌入するよ
うに設けられ、カッター１４ａはこの中心針１６を中心
とした円を描いて回転する。

【００１７】ここで、この切開装置による下穴の切開方
法を説明する。 （１）プランジャー１２のピン１２ａが外周溝１３ｂに
嵌合した状態にする（図１参照）。 （２）昇降アーム２を上の位置でクランプレバ−３１に
より固定し、研磨クロス７を位置決めして載置する（図
３参照）。 （３）クランプレバー３１を弛めて昇降アーム２を下
げ、クロス押圧盤１５を研磨クロス７に当接させると同
時に、カッター１４ａと中心針１６を研磨クロス７に通
剌させて、それぞれ環状溝５１及び中央孔５２に嵌入さ
せる〔図４（ａ）参照〕。この状態でクランプレバー３
１を締めて昇降アーム２を固定する。 （４）プランジャー１２を引き上げてピン１２ａを外周
溝１３ａに嵌合させる。これにより昇降アーム２からク
ロス押圧盤１５までの距離が大きくなり、昇降アーム２
が既にクランプ３により固定されていることから、昇降
アーム２が僅かに撓り、その反発力によりクロス押圧盤
１５を切開台５の方向へ強制的に加圧する〔図４（ｂ）
参照〕。 （５）ハンドル１７によりカッター１４ａを回転させ、
研磨クロス７を切開する（図５参照）。

【００１８】これにより、クロス押圧盤１５と切開台５
により研磨クロス７を強く挟持した状態で、研磨クロス
７の下穴部分７２を切開できるため、腕などで研磨クロ
ス７を押さえる必要がない。

【００１９】さらに、図３に示すように、切開台５はベ
ース４より僅かに高い位置となるため、研磨クロス７の
切開面がその部分だけ持ち上げられた状態となる。これ
により、図５に示すように切開中において研磨クロス７
の切開口７１が開きや易くなり、外周部７３から下穴部
分７２が容易に離脱すると共に、切り離される寸前に外
周部７３が動いて切開口７１が乱れることも防止でき
る。

【００２０】

【発明の効果】本発明では以上のように構成したので、
正確に研磨クロスの中心を位置決めした後に、クロス押
圧盤と切開台により研磨クロスを強く挟持した状態で研
磨クロスを切開できるため、中央ローラー取付用の下穴
の切開を正確に行うことができるという優れた効果があ
る。また、研磨クロスの切開面がその外側の載置面より
僅かに高い位置となるため、切開中において切開口が開
きや易くなり、外周部から下穴部分が容易に離脱すると
共に、切り離される寸前に外周部が動いて切開口が乱れ
ることも防止できるという優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る切開装置の切開部を示す部分側断
面図である。

【図２】本発明に係る切開装置を示す一部破断斜視図で
ある。

【図３】切開装置の昇降アームを持ち上げた状態を示す
部分側面図である。

【図４】切開装置による切断工程を示す部分側断面図で
ある。

【図５】切開装置により研磨クロスを切開している状態
を示す部分斜視図である。

【符号の説明】 １‥‥‥切開部 １１‥‥回転軸 １２‥‥プランジャー １２ａ‥ピン １２ｂ‥バネ １２ｃ‥ボルト １２ｄ‥ベアリング １３ａ‥外周溝 １３ｂ‥外周溝 １４‥‥カッター取付フレーム １４ａ‥カッター １５‥‥クロス押圧盤 １６‥‥中心針 ２‥‥‥昇降アーム ２２‥‥外側端部 ３‥‥‥クランプ ４‥‥‥ベース ５‥‥‥切開台 ６‥‥‥載置台 ６１‥‥当接面 ６２‥‥載置面 ７‥‥‥研磨クロス

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨クロスの周縁部が当接する当接面
   と、前記研磨クロスの略中心が位置する上部に立設して
   回動自在に設けられた回転軸と、一端に該回転軸が挿通
   され、他端が軸支されて揺動可能に設けられた昇降アー
   ムと、該昇降アームを任意の揺動角で保持するクランプ
   と、該回転軸の下端に設けられ前記研磨クロスの中心を
   通剌する中心針と、前記回転軸に連結されて水平方向に
   回動するカッター取付フレームと、該カッター取付フレ
   ームの回転面に略垂直に固定されたカッターと、前記回
   転軸が挿通されてその回転軸回りに回転自在に設けら
   れ、その底面が中心針の針先より上に位置するクロス押
   圧盤と、前記回転軸の外周部に沿って設けられた少なく
   とも１本の外周溝と、前記回転軸に周回すると共に、前
   記外周溝に嵌合するように付勢されたピンを備え、前記
   昇降アームに連接して設けられたプランジャーとからな
   ることを特徴とする研磨クロスの下穴切開装置。
2. 【請求項２】 位置決めができる載置面に載置された研
   磨クロスを、研磨クロスの略中心が位置する上部に立設
   して回動自在に設けられた回転軸と、該回転軸に連結さ
   れて水平方向に回動するカッター取付フレームと、該カ
   ッター取付フレームの回転面に略垂直に固定されたカッ
   ターと、前記回転軸が挿通されてその回転軸回りに回転
   自在に設けられたクロス押圧盤とからなる切開部により
   下穴を切開する研磨クロスの切開方法において、カッタ
   ーにより切開される研磨クロスの切開面をその周囲より
   高くして切開する研磨クロスの切開方法。