JPH057414U - ダイシング装置におけるフレームのクランプ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、クランプ機構に設けられた保持部
材、即ちフレームを押し下げて挟持する爪部を、開閉状
態のいずれの位置においても、搬送手段による半導体ウ
エーハの搬送又は装置として誤動作があった場合でも爪
部によって周辺機器に損傷を与えないようにしたもので
ある。 【構成】 本考案は、半導体ウエーハが載置されたフレ
ームを押し下げて挟持するクランプ機構の爪部を回転式
にし、略９０°の回転で爪部の開閉動作をし、開放位置
においてチャックテーブルの上面の高さよりも低い位置
に爪部を位置させるように構成したクランプ機構であ
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、テープを介して所定のフレームに載置された半導体ウエーハをチャ ックテーブル上に保持し、所定のブレードなどにより切削するダイシング装置で あって、前記フレームをチャックテーブル上に保持するためのクランプ機構に関 するものである。

【０００２】

【従来技術】

一般にこの種のダイシング装置としては、特開昭６２−５３８０４号公報に開 示された構成を有し、このダイシング装置におけるクランプ機構としては、第５ 〜６図に示した構成のものが従来例として周知である。同図において、１はダイ シング装置のチャックテーブルであり、該チャックテーブル１は任意に吸引作用 が付与できる所謂吸引部１ａを有し、適宜の基台２上に回転自在に載置されてい る。

【０００３】 このチャックテーブル１の周側面の複数箇所（４箇所）において、適宜の支持 部材３を介してクランプ機構４が配設され、該クランプ機構４の上面にはシーソ ー運動等により起伏自在に配設された爪部５と、該爪部に対峙してホルダー部６ が設けられている。

【０００４】 この爪部５は２点ａ，ｂで支持され、その内の一点ａがロッド７に係合し、該 ロッド７は例えば電磁弁のような適宜の駆動部８により出没されるように構成さ れ、ロッド７が突出した時に爪部５が伏倒してホルダー部６に当接し、ロッド６ が没入した時に起立するようになっており、所謂点ｂを支点としてシーソー運動 するものである。

【０００５】 このようなチャックテーブル１上に載置保持されて切削される半導体ウエーハ ９はテープ１０を介してフレーム１１に載置されており、そのフレーム１１をチ ャックテーブル１上に載せ、半導体ウエーハ９に対応する部分は吸引部１ａで吸 着保持され、フレーム１１の部分は前記爪部５によって押し下げられ、チャック テーブル１の上面よりも低い位置においてホルダー部６との間で挟持されるもの である。この状態で、適宜のブレード１２によって半導体ウエーハ９が切削され る。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来例において、クランプ機構４が作動し、爪部５がフレーム１１を挟持 し、切削工程を行っている時には、爪部５はチャックテーブル１よりも低い位置 にあって何ら影響することはないが、切削工程終了後に、次の工程に移行する場 合、フレーム１１を抑え込んでいた爪部５を起立させて開放し、フレーム１１と 共に半導体ウエーハ９をバキュウムパッド等の搬送手段で吸着して、次工程に搬 送しなければならない。この搬送時において、爪部５が起立状態にあるため、搬 送手段に接触したり、又は誤動作があった場合にブレード１２又はブレードを支 持しているスピンドル等にも接触したりし、周辺機器を損傷すると言う問題点を 有している。 従って、従来例においてはクランプ機構の構成、特に半導体ウエーハを搬送す る際に、爪部を開放状態にしなければならず、その開放状態において生ずる種々 の不都合に解決しなければならない課題を有している。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

前記課題を解決する具体的手段として本考案は、テープを介してフレームに載 置された半導体ウエーハをチャックテーブルに保持してダイシングするダイシン グ装置であって、前記チャックテーブルには、ウエーハ部を吸引保持する吸引部 とフレーム部を下方に押し下げて保持する爪部を有するクランプ機構とが配設さ れ、その保持動作において爪部は閉状態と開状態とに変位するが、いずれの状態 においても前記チャックテーブルの上面より上方に突出しないように構成したこ とを特徴とするダイシング装置におけるフレームのクランプ機構を提供するもの であり、前記爪部はアームに支持され、該アームに所定の回転が付与されること で前記爪部を開閉すると共に、その回転は少なくとも９０°であり、又回転を付 与する駆動部がロータで構成されたものである。

【０００８】

【作用】

フレームを押し下げて挟持する爪部を回転式にし、略９０°の回転で開閉動作 をし、開放位置においてチャックテーブルの上面の高さよりも低い位置に位置さ せることで、フレームの搬送時に搬送手段と接触したり、又は機械的な誤動作も しくは不注意による操作ミスがあってもブレード又はスピンドルとの接触がなく なるのである。

【０００９】

【実施例】

次に本考案を図示に実施例により更に詳しく説明する。尚、理解を容易にする ため従来例と同一部分には同一符号を付して説明する。

【００１０】 図１〜３に示した第１実施例において、一般的なダイシング装置のチャックテ ーブル１は任意に吸引作用が付与できる所謂吸引部１ａを有し、適宜の基台２上 に回転自在に載置されている。そして、このチャックテーブル１の周側面の複数 箇所において、適宜の支持部材３を介してクランプ機構４が配設されている。

【００１１】 このクランプ機構４は、従来例と同様の爪部５及びホルダー部６を有するもの であるが、前記爪部５はその基部側をアーム２１の先端に取り付けられ、その爪 部５とアーム２１とで略直角になるように構成される。

【００１２】 前記アーム２１は、前記支持部材３にブラケット２２等を介して取り付けられ た、例えばロータ等の駆動部８の両端を跨ぐようにして駆動軸８ａに取り付けら れ、駆動軸８ａの回転によってアーム２１及び爪部５が回転して開閉するように 構成される。

【００１３】 この開閉は、図３に示したように、略９０°の回転によってなされるものであ り、閉の状態においては爪部５の先端がホルダー部６と当接し、開の状態におい ては爪部５の先端が前記チャックテーブル１の上面よりも低い位置に来るように 構成されている。

【００１４】 図４に示した第２実施例においては、クランプ機構４の構成を前記第１実施例 のものと若干変更したものである。即ち、爪部５は基板２３上に取り付けられ、 該基板は複数のクランクアーム２４により支持されると共に、一方の端部にヒン ジ部２５を介してロッド２６の一端が取り付けられ、該ロッドの他端はヒンジ部 ２７を介してピストンロッド２８の先端部に係合させてある。

【００１５】 前記ピストンロッド２８は、例えばエアーシリンダー２９により駆動されるも のであり、該エアーシリンダーは適宜の駆動部により選択的に駆動されるように なっており、図示の実線位置にある時に、フレーム１１を爪部５が押圧して保持 し、前記ピストンロッド２８が前進した（突き出た）時に、仮想線で示したよう に、基板２３がクランクアーム２４により円弧状の移動をして爪部５がフレーム １１を開放するものであり、この開放した状態にあっても、爪部５はチャックテ ーブル１の上面の高さよりも低い位置にある。

【００１６】 これらのダイシング装置によって切削される半導体ウエーハ９はテープ１０を 介してフレーム１１に載置され、且つ適宜のブレード１２等により切削されるこ とは従来例と同様である。

【００１７】 このようにクランプ機構４を構成することにより、フレーム１１を挟持保持す る場合でも、フレーム１１を開放して次工程に搬送する場合でも、爪部５は常に チャックテーブル１の上面の高さよりも低い位置にあって、搬送の妨げにならな いばかりでなく、誤動作があっても爪部５とその周辺にある機器との接触又は衝 突がなく、爪部の開放による支障は生じないのである。又、本考案に係るクラン プ機構は図示の実施例に限定されるものではなく、考案の趣旨に反しない範囲に おいて実施できる種々の構成も含まれるものである。

【００１８】

【考案の効果】

以上説明したように本考案に係るクランプ機構は、テープを介してフレームに 載置された半導体ウエーハをチャックテーブルに保持してダイシングするダイシ ング装置であって、前記チャックテーブルには、ウエーハ部を吸引保持する吸引 部とフレーム部を下方に押し下げて保持する爪部を有するクランプ機構とが配設 され、その保持動作において爪部は閉状態と開状態とに変位するが、いずれの状 態においても前記チャックテーブルの上面より上方に突出しないように構成した ことにより、特に爪部の開状態において、搬送手段により半導体ウエーハを次工 程に搬送しようとする際に、吸着してピックアップする高さが僅かであっても爪 部との接触が生じなくなり、作業性が著しく向上するばかりでなく、仮に誤動作 があっても爪部の端部がチャックテーブルの上面よりも低い位置にあるので、ブ レード又はスピンドルと衝突することが回避され、周辺機器を破損することがな くなると言う優れた効果を奏する。

【００１９】 又、爪部は一対のアームで支持され、該アームに所定の回転が付与されること で前記爪部を開閉すると共に、その回転は少なくとも９０°であり、又回転を付 与する駆動部がロータで構成されことにより、構成が簡単で且つ常に正確に作動 して爪部をチャックテーブルの上面よりも低い位置に保持し、どのような場合又 は状況であっても爪部による支障を生じさせないと言う優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る第１実施例のクランプ機構を備え
たチャックテーブルの一部を断面で示した平面図であ
る。

【図２】本考案に係る第１実施例のクランプ機構を備え
たチャックテーブルの要部のみを断面で示した一部側面
図である。

【図３】本考案に係る第１実施例のクランプ機構の動作
状況を示す要部のみを断面で示した側面図である。

【図４】本考案に係る第２実施例のクランプ機構を備え
たチャックテーブルの要部のみを断面で示した一部側面
図である。

【図５】従来例に係るクランプ機構を備えたチャックテ
ーブルの要部のみを断面で示した一部側面図である。

【図６】従来例に係るクランプ機構の動作状況を示す要
部のみを断面で示した側面図である。

【符号の説明】

１ チャックテーブル １ａ 吸引部 ２ 基台 ３ 支持部材 ４ クランプ機構 ５ 爪部 ６ ホルダー部 ８ 駆動部 ８ａ 駆動軸 ９ 半導体ウエーハ １０ テープ １１ フレーム １２ ブレード ２１ アーム ２２ ブラケット ２３ 基板 ２４ クランクアーム ２５，２７ ヒンジ部 ２６ ロッド ２８ ピストンロッド ２９ エアーシリンダー

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 テープを介してフレームに載置された半
   導体ウエーハをチャックテーブルに保持してダイシング
   するダイシング装置であって、前記チャックテーブルに
   は、ウエーハ部を吸引保持する吸引部とフレーム部を下
   方に押し下げて保持する爪部を有するクランプ機構とが
   配設され、その保持動作において爪部は閉状態と開状態
   とに変位するが、いずれの状態においても前記チャック
   テーブルの上面より上方に突出しないように構成したこ
   とを特徴とするダイシング装置におけるフレームのクラ
   ンプ機構。
2. 【請求項２】 爪部はアームに支持され、該アームに所
   定の回転が付与されることで前記爪部を開閉する請求項
   １に記載のダイシング装置におけるフレームのクランプ
   機構。
3. 【請求項３】 前記爪部及びアームには少なくとも９０
   °の回転が付与される請求項２に記載のダイシング装置
   におけるフレームのクランプ機構。
4. 【請求項４】 回転を付与する駆動部がロータである請
   求項２又は３に記載のダイシング装置におけるフレーム
   のクランプ機構。