JP2013033883A - フレームクランプ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】環状フレームを支持するフレーム支持部38と、該環状フレームを該フレーム支持部38と協働して挟持するフレーム押さえ部46と、該フレーム押さえ部46を挟持位置と解放位置に位置付けるロータリーアクチュエータとを具備し、該ロータリーアクチュエータは、上端を切り取られた平面を有する円筒形状のエアシリンダ40と、該エアシリンダ40を貫通するように装着された回転軸42と、該チャンバー内に収容され該回転軸42に固定されたベーンと、一端が該回転軸42に固定され他端が該フレーム押さえ部46に固定されたアーム44とを含んだクレームクランプ装置で構成される。
【選択図】図6
Description
T 粘着シート(ダイシングテープ)
F 環状フレーム
15 ウエーハユニット
18 チャックテーブル機構
19 チャックテーブル
21 フレームクランプ装置
35 エアシリンダ
36 ピストンロッド
38 フレーム支持部
40 エアシリンダ
40a 平坦面
44 アーム
46 フレーム押さえ部
Claims (1)
- チャックテーブルの外周に配設され、粘着シートを介して被加工物を開口内に支持した環状フレームを固定するフレームクランプ装置であって、
該環状フレームを支持するフレーム支持部と、
該環状フレームを該フレーム支持部と協働して挟持するフレーム押さえ部と、
該フレーム押さえ部を挟持位置と解放位置に位置付けるロータリーアクチュエータとを具備し、
該ロータリーアクチュエータは、内部にチャンバーを有する円筒形状のシリンダと、該シリンダを貫通するように該シリンダに装着された回転軸と、該チャンバー内に収容され該回転軸に固定されたベーンと、一端が該回転軸に固定され他端が該フレーム押さえ部に固定されたアームとを含み、
該シリンダは該チャンバーに達しない程度まで上端を切り取られた平面を有し、該平面は該チャックテーブルの保持面及び該回転軸と平行であり、
該フレーム押さえ部が挟持位置に回動されたとき、該アームの上端は該平面と同等程度の高さに設定されており、
該フレーム押さえ部は、該解放位置に回動されたとき該シリンダが嵌合する切欠きを有していることを特徴とするフレームクランプ装置。
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2011
- 2011-08-03 JP JP2011169936A patent/JP5822589B2/ja active Active
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