JP4615092B2 - フレームクランプ装置及び切削装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工装置において被加工物を保持するチャックテーブルの外周に配設され、当該被加工物を支持するフレームを固定するフレームクランプ装置、及び、このフレームクランプ装置を備えた切削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、切削装置を用いて半導体ウェーハを切削する場合は、図１６に示すように、保持テープＴを介してフレームＦと一体となった状態で半導体ウェーハＷがチャックテーブル１５に保持される。
【０００３】
ここで、チャックテーブル１５には、半導体ウェーハを吸引保持する吸着部１７を備えており、その外周には、図示の例では４個のフレームクランプ装置８０が配設されている。それぞれのフレームクランプ装置は、一対のガイドレール８１と、ガイドレール８１に沿って所要範囲移動可能なクランプ部８２とから構成され、クランプ部８２は、載置されたフレームＦを下方から支持するフレーム支持部８４と、フレーム支持部８４に支持されたフレームＦを上方から押圧するフレーム押部８３と、フレーム押部８３を回転駆動する駆動部８５とから構成される。
【０００４】
フレームＦを保持する場合は、フレームＦの大きさに合わせて各クランプ部８２をガイドレール８１に沿って移動させて固定してから、フレーム押部８３を外側に開いた位置（開放位置）に位置付けた状態でフレーム支持部８４にフレームＦを載置し、駆動部８５によってフレーム押部８３を９０度回転させることによってフレーム支持部８４とフレーム押部８３とで上下方向に挟持する。
【０００５】
これを４つのフレームクランプ装置すべてについて行うと、図１７に示すように、半導体ウェーハＷがチャックテーブル１５に吸引保持されると共に、フレームＦが４つのフレームクランプ装置８０によって固定される。
【０００６】
ここで、フレームＦが切削時の邪魔にならないようにするため、及び、自重により保持テープＴを引っ張って切削精度に悪影響を及ぼすのを防止するために、フレーム支持部８４の表面は吸着部１７より下方に位置させている。
【０００７】
また、駆動部８５は図１８のように構成され、その内部は、図１９に示すように、第一のチャンバー８６と回転部８７と第二のチャンバー８８とから構成され、回転部８７の回転軸８９が第二のチャンバー８８の中心孔９０に遊嵌し、第一のチャンバー８６と第二のチャンバー８８とはネジ止めにより固定される。
【０００８】
第二のチャンバー８８には、回転軸８９の回転を規制する回転規制部（図示せず）と、正転エアー流入部９１と、逆転エアー流入部９２とを備えており、正転エアー流入部９１にエアーが吹き込まれたときは回転軸８９が図１８における矢印Ａの方向に９０度回転し、逆転エアー流入部９２にエアーが吹き込まれたときは回転軸８９が矢印Ｂの方向に９０度回転する。
【０００９】
図１８に示すように、回転軸８９にはフレーム押部８３が固定されており、回転軸８９の回転に伴って回転する。従って、正転エアー流入部９１にエアーが吹き込まれると、フレーム押部８３が挟持位置に位置付けられてフレーム支持部８４とでフレームＦを挟持し、逆転エアー流入部９２にエアーが吹き込まれると、フレーム押部８３は開放位置に位置付けられる。
【００１０】
こうして半導体ウェーハＷが吸着部１７に吸着されると共にフレームＦがフレームクランプ装置８０によって固定されると、図２０に示すように、チャックテーブル１５がＸ軸方向に移動してアライメント手段１００によって切削すべきストリートが検出された後、更にチャックテーブル１５が同方向に移動すると共に回転ブレード１０１を備えた切削手段１０２が＋Ｚ軸方向に下降することによって、切削水供給ノズル１０３から切削水を供給しながら、高速回転する回転ブレード１０１が半導体ウェーハＷのストリートに切り込んで切削が行われる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図２１に示すようにフレームクランプ装置８０がフレームＦのサイズに合った位置に固定されていない場合や、フレームＦがずれた状態で搬送され載置された場合には、フレームＦを適正に固定することができない。
【００１２】
また、エアーの供給経路の損傷等に起因して、図１８、図１９に示した正転エアー流入部９１に対するエアーの供給が不十分であったり、駆動部８５に何らかの故障が発生していたり、フレーム押部８３とフレーム支持部８４との間に障害物が介在していたりする場合は、フレーム押部８３が適正に挟持位置に位置づけられず、フレームＦを完全に固定できない。
【００１３】
このように、フレームＦが適正にクランプされていない状態で切削を行うと、切削手段１０２を構成する各部位がフレームＦと接触して損傷したり、半導体ウェーハＷ等の被加工物を損傷させることもある。従って、フレームに支持された被加工物の加工を行うにあたっては、フレームクランプ装置が正常に動作し、フレームが確実に固定されていることを確認することに課題を有している。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための具体的手段として本発明は、チャックテーブルの外周に配設されるフレームクランプ装置であって、被加工物を保持したフレームを支持する複数のフレーム支持部と、フレーム支持部とでフレームを挟持する複数のフレーム押部と、フレーム押部を挟持位置と開放位置とに位置付ける複数の駆動部とを少なくとも含み、フレーム押部が挟持位置に位置付けられているか否かを確認する複数の挟持確認手段が配設され、挟持確認手段は、エアー流入部及びエアー流出部と、エアー流入部からエアー流出部に至るまでのエアーの流通路を開放または閉塞する開閉手段とから少なくとも構成されているとともに、隣り合う挟持確認手段のエアー流入部とエアー流出部とが連結されて隣り合う挟持確認手段が直列に連結され、直列に連結された一端の挟持確認手段のエアー流入部には、エアー供給源と圧力計とが連結され、圧力計の計測値に基づいて、フレーム押部が挟持位置に位置付けられているか否かが確認されるフレームクランプ装置を提供する。
【００１５】
そしてこのフレームクランプ装置は、挟持確認手段は、駆動部に配設され、フレーム押部が挟持位置に位置付けられた際に、駆動部に形成された開閉手段によってエアー流入部からエアー流出部に至るまでのエアーの流通路が開放または閉塞されること、挟持確認手段は、フレーム支持部に配設され、開閉手段にはフレーム支持部の表面に対して進退自在なスイッチ部を備え、フレーム押部が挟持位置に位置付けられてフレーム支持部に支持されたフレームが押さえつけられた際にスイッチ部が押下されてエアー流入部からエアー流出部に至るまでのエアーの流通路が開放または閉塞されることを付加的な要件とする。
【００１６】
このように構成されるフレームクランプ装置によれば、フレームが適正に挟持されているか否かを確認することができるため、例えばフレームクランプ装置自身が故障していたり、フレームが適正な位置に載置されていなかったり、何らかの障害物によってフレームが適正に挟持されていなかったりする場合には、予めそのことを確認することによって、そのままの状態で切削が行われるのを回避することができる。
【００１７】
更に、挟持確認手段を、エアー流入部、エアー流出部、及び開閉手段を用いて構成すると、切削水が供給されても漏電することがないため、誤動作を生じることがない。
【００１８】
また本発明は、フレームに支持された被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とから少なくとも構成される切削装置であって、チャックテーブルの外周に、上記のフレームクランプ装置が配設されている切削装置を提供する。
【００１９】
このように構成される切削装置によれば、常にフレームを確実に挟持した状態で被加工物の切削を行うことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態として、図１に示す切削装置１０及びこれに搭載されるフレームクランプ装置について説明する。
【００２１】
この切削装置１０を用いて、例えば半導体ウェーハを切削する場合は、切削しようとする半導体ウェーハＷは、保持テープＴを介してフレームＦと一体となって保持された状態でカセット１１に複数収容される。
【００２２】
カセット１１にフレームＦと一体となった状態で収容された半導体ウェーハＷは、搬出入手段１２によって１枚ずつ仮置き領域１３に取り出されてから搬送手段１４によって吸着されて搬送手段１４の旋回動によってチャックテーブル１５に搬送される。
【００２３】
チャックテーブル１５は、図２に示すように、被加工物を吸引するエアーの通り道となる吸引路１６ａが中心部に形成された基台１６と、吸引路１６ａから供給される吸引力によって被加工物を吸着する吸着部１７とからなり、基台１６の外周部には、フレームクランプ装置２０がネジ止めによって固定されている。なお、図２においてはフレームクランプ装置２０を１個だけ示しているが、実際には２個以上配設され、４個配設されていることが好ましい。
【００２４】
フレームクランプ装置２０は、図３に示すように、チャックテーブル１５の外周側に突出する一対のガイドレール２１と、フレームＦを固定するクランプ部２２とから構成され、クランプ部２２に備えた摺動孔２３にガイドレール２１が遊嵌し、クランプ部２２がガイドレール２１を摺動して所要範囲移動する構成となっている。固定部材２４を引っ張るとアンロック状態となってクランプ部２２を摺動させることができ、ガイドレール２１に設けた被嵌合部２５に固定部材２４を嵌合させることによってロック状態となってクランプ部２２を固定することができる。このように、フレームＦの大きさに対応させてクランプ部２２の位置を調整することができる。
【００２５】
クランプ部２２は、載置されたフレームＦを下方から支持するフレーム支持部２６と、フレーム支持部２６に支持されたフレームＦを上方から押圧するフレーム押部２７と、フレーム押部２７を回転駆動する駆動部２８とから構成され、図４に示すように、駆動部２８に駆動されてフレーム押部２７が挟持位置に位置付けられることによって、フレーム押部２７の下面とフレーム支持部２６との間でフレームＦを挟持することができる。なお、図３はフレーム押部２７が開放状態に位置付けられた状態を示している。
【００２６】
ここで、駆動部２８は、図５に示すように、第一のチャンバー２９と、開閉手段３０と、第二のチャンバー３１とから構成されるエアーアクチュエータであって、開閉手段３０の回転軸３２が第二のチャンバー３１に形成された中心孔３３に遊嵌すると共に、第一のチャンバー２９に形成された中心孔（図示せず）にも遊嵌し、第一のチャンバー２９と第二のチャンバー３１とがネジ止めにより固定されて図６のように構成され、回転軸３２は、第一のチャンバー２９及び第二のチャンバー３１から外側に突出している。そして第一のチャンバー２９及び第二のチャンバー３１から突出した回転軸３２にはフレーム押部２７が固定され、回転軸３２の回転に伴ってフレーム押部２７が回転する構成となっている。
【００２７】
図５に示したように、第一のチャンバー２９には、管状のエアー流入部３４が背面板３５を貫通して設けられている。一方、第二のチャンバー３１にはエアー流出部３６が前面板３７を貫通して設けられている。更に、開閉手段３０には貫通孔３８が形成され、開閉手段３０が一定の位置に位置付けられたときは、エアー流入部３４とエアー流出部３６とが貫通孔３８を介して連通する構成となっている。
【００２８】
また、図５及び図６に示すように、第二のチャンバー３１には正転エアー流入部３９と逆転エアー流入部４０とが設けられ、正転エアー流入部３９にエアーが吹き込まれたときは回転軸３２が図５における矢印Ａの方向に例えば９０度回転してフレーム押部２７を矢印Ａの方向に回転させて挟持位置に位置付け、逆転エアー流入部４０にエアーが吹き込まれたときは回転軸３２が矢印Ｂの方向に回転してフレーム押部２７を矢印Ｂの方向に回転させて開放位置に位置付ける。
【００２９】
図７は、図５に示した第二のチャンバー３１を反対側から見た状態を示しており、第二のチャンバー３１の内部には、開閉手段３０の回転範囲を例えば９０度に規制する回転規制部４１が形成されている。即ち、開閉手段３０が回転した際は、図５に示した開閉手段３０に形成された２つの当接部３０ａ、３０ｂが回転規制部４１の壁部４１ａ、４１ｂに当接することによって、フレーム押部２７が挟持位置、開放位置のいずれかに位置付けられる構成となっている。
【００３０】
このように構成されるフレームクランプ装置２０は、例えば図８に示すようにチャックテーブル１５の外周に４個配設される。そして、図示したように、それぞれのフレームクランプ装置２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに備えたエアー流入部とエアー流出部とを隣り合うフレームクランプ装置についてチューブ４４を用いて例えば直列に連結し、更に、フレームクランプ装置２０ａのエアー流入部には圧力計４２を連結し、更に圧力計４２にはエアー供給源４３を連結する。
【００３１】
このような接続形態の下で、フレームクランプ装置２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄによってフレームＦを固定する場合は、各フレームクランプ装置の正転エアー流入部３９にエアーを供給することにより、各フレーム押部２７を回動させて挟持位置に位置付け、すべてのフレームクランプ装置についてフレーム支持部２６とフレーム押部２７とでフレームＦを挟持する。
【００３２】
フレーム押部２７が開放位置に位置付けられているときは、貫通孔３８が図９のように位置し、エアー流入部３４からエアー流出部３６に至るまでのエアーの流通路が閉塞しているが、フレーム押部２７が挟持位置に位置付けられたときは、貫通孔３８が図１０に示す位置まで回転し、エアー流入部３４からエアー流出部３６に至るまでのエアーの流通路が連通孔３８を介して開放される。
【００３３】
図８に示した接続形態においては、すべてのフレームクランプ装置のフレーム押部２７が適正に挟持位置に位置付けられていれば、エアー供給源４３から圧力計４２を介してフレームクランプ装置２０ａのエアー流入部から流入したエアーは、フレームクランプ装置２０ａの貫通孔及びエアー流出部、フレームクランプ装置２０ｂのエアー流入部、貫通孔及びエアー流出部、フレームクランプ装置２０Ｃのエアー流入部、貫通孔及びエアー流出部、フレームクランプ装置２０ｄのエアー流入部及び貫通孔を通ってフレームクランプ装置２０ｄのエアー流出部に達し、ここから排出される。
【００３４】
一方、フレームクランプ装置２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのうち、ひとつでもフレーム押部２７が適正に挟持位置に位置付けられていない場合は、そのフレームクランプ装置においてエアー流入部とエアー流出部とが連通しないためにエアーの流通が妨げられ、エアーがフレームクランプ装置２０ｄのエアー流出部まで達しない。
【００３５】
従って、フレームクランプ装置２０ａのエアー流入部から流入したエアーがフレームクランプ装置２０ｄのエアー流出部に達するか否かによって、すべてのフレーム押部２７が適正に挟持位置に位置付けられているかどうかを判断することができる。即ち、エアー流入部３４とエアー流出部３６と開閉手段３０とで挟持確認手段を構成する。
【００３６】
図８の例では、すべてのフレーム押部２７が適正に挟持位置に位置付けられているときは圧力計４２によるエアーの圧力の計測値は低くなり、いずれかのフレーム押部が適正に挟持位置に位置付けられていないときは圧力の計測値は高くなるため、この圧力の計測値に基づいて、すべてのフレーム押部２７が挟持位置に位置付けられているか、即ちフレームＦが適正に固定されているかどうかを判断することができる。
【００３７】
このようにして判断を行うことにより、フレームＦが固定されていない状態で切削が行われるのを防止することができるため、切削の途中で半導体ウェーハＷがずれて、本来切削してはならないストリート以外の領域を切削してしまうという問題が発生しない。また、フレームＦが浮き上がった状態となっている場合でも、フレームＦと切削手段とが接触して切削手段を構成する各部位が損傷したりするということがない。
【００３８】
なお、図５に示した開閉手段３０に代えて、図１１に示す開閉手段５０を用いてもよい。この図１１の開閉手段５０は、図５に示した開閉手段３０における貫通孔３８の代わりに長孔５１を設けると共に遮断部５２を設けたものであり、開閉手段５０が矢印Ａの方向に回転してフレーム押部２７が挟持位置に位置付けられた際は、遮断部５２によって図５に示した第一のチャンバー２９に形成されたエアー流入部３４と第二のチャンバー３１に形成されたエアー流出部３６との連通が遮断される。一方、開閉手段５０が開放位置を含む挟持位置以外に位置付けられている際は、長孔５１によってエアー流入部３４とエアー流出部３６とが連通するように構成されている。
【００３９】
このように構成することによって、フレーム押部２７が挟持位置に位置付けられているときは遮断部５２によってエアーの流れが妨げられてエアー流出部３６からエアーが排出されない。一方、フレーム押部２７が少しでも挟持位置からずれているときはエアーがエアー流出部３６から排出される。
【００４０】
従って、フレーム押部２７が挟持位置に位置付けられているときは圧力の計測値が高くなり、挟持位置に位置付けられていないときは圧力の計測値が低くなるため、この圧力の計測値に基づいてフレームＦが適正に挟持されているか否かを確認することができる。
【００４１】
次に、本発明の第二の実施の形態として、図１２に示すフレームクランプ装置６０について説明する。なお、図３に示したフレームクランプ装置２０と同様に構成される部位については同一の符号を付して説明する。
【００４２】
図１２のフレームクランプ装置６０は、一対のガイドレール２１と、ガイドレール２１を摺動することにより所要範囲移動してフレームＦを固定するクランプ部６１とから構成されており、クランプ部６１は、回動するフレーム押部２７が挟持位置に位置付けられた際にフレームＦを上方から押圧して固定する点において図３に示したフレームクランプ装置２０と同様であるが、フレーム支持部６２及び駆動部６３の構成が異なっている。
【００４３】
フレーム支持部６２は、ガイドレール２１に遊嵌する一対の摺動孔６２ａの他に、エアー流入部６４及びエアー流出部６５を備え、図１３に示すように、通常はエアー流入部６４とエアー流出部６５とは内部において流通路６６を介して連通している。
【００４４】
流通路６６には、弾性部６７及びスイッチ部６８とからなる開閉手段６９が介在しており、図１４に示すように、フレームＦが適正にフレーム支持部６２に載置され、その上からフレーム押部２７によって押さえつけられたときは、弾性部６７によって流通路６６が遮断されてエアーが流通しないよう構成されている。
【００４５】
従って、フレームＦ及びフレーム押部２７の双方による荷重があった場合にのみ流通路６６が閉塞され、フレームＦのみによる荷重、フレーム押部２７のみによる荷重があった場合は流通路６６が開放されるように弾性部６７を構成しておけば、図１２に示したエアー流入部６４から流入したエアーがエアー流出部６５から流出した場合は、フレームＦが適正に載置されていないか、フレーム押部２７が挟持位置にないか、または、フレームＦが適正に載置されておらず、かつ、フレーム押部２７が挟持位置にないと判断することができる。即ち、エアー流入部６４とエアー流出部６６と開閉手段６９とで挟持確認手段を構成している。
【００４６】
一方、エアー流入部６４から流入したエアーがエアー流出部６５から流出しない場合は、フレームＦが適正に載置され、かつ、フレーム押部２７が挟持位置に位置付けられていると判断することができる。
【００４７】
このように構成されるフレームクランプ装置６０は、例えば図１５に示すようにチャックテーブル１５の周囲に４個配設され、それぞれのフレームクランプ装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃ、６０ｄに備えたエアー流入部を隣り合うフレームクランプ装置についてチューブ７０を用いて例えば並列に連結し、更に、フレームクランプ装置６０ａのエアー流入部には圧力計４２を連結し、更に圧力計４２にはエアー供給源４３を連結する。
【００４８】
この接続形態においては、４個のフレームクランプ装置のうち１つでもフレームＦを適正に挟持していない場合は、そのフレームクランプ装置のエアー流出部からエアーが流出するため、圧力計４２による圧力の計測値が低くなる。一方、すべてのフレームクランプ装置において適正にフレームＦが挟持されている場合は、いずれのエアー流出部からもエアーが流出しないため、圧力の計測値が高くなる。このように、圧力の計測値に基づいてフレームＦが適正に挟持されているか否かを確認することができる。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るフレームクランプ装置によれば、フレームが適正に挟持されているか否かを確認することができるため、例えばフレームクランプ装置自身が故障していたり、フレームが適正な位置に載置されていなかったり、何らかの障害物によってフレームが適正に挟持されていなかったりする場合には、予めそのことを確認することによって、そのままの状態で切削が行われるのを回避することができる。従って、フレームが安定して固定されず浮き上がっている場合に切削手段とフレームとが接触して切削手段を損傷させたり、フレームの位置がずれている場合に切削すべき領域以外の領域を切削してしまうということがなくなる。
【００５０】
また、挟持確認手段を、エアー流入部、エアー流出部、及び開閉手段を用いて構成すると、切削水が供給されても漏電することがないため、誤動作を生じることなく確実に挟持状態を確認することができる。
【００５１】
更に、上記のフレームクランプ装置を備えた切削装置によれば、常にフレームを確実に挟持した状態で被加工物の切削を行うことができるため、切削手段や被加工物を損傷させることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る切削装置の実施の形態の一例を示す斜視図である。
【図２】同切削装置を構成するチャックテーブル及び本発明に係るフレームクランプ装置の一例を示す斜視図である。
【図３】同フレームクランプ装置の構成を示す斜視図である。
【図４】同フレームクランプ装置を構成するフレーム押部が挟持位置に位置付けられた状態を示す斜視図である。
【図５】同フレームクランプ装置を構成する駆動部の構成を示す分解斜視図である。
【図６】同駆動部及びフレーム押部を示す斜視図である。
【図７】同駆動部を構成する第一のチャンバーを示す斜視図である。
【図８】フレームクランプ装置をチャックテーブルの周囲に４個配設した例を示す斜視図である。
【図９】同フレームクランプ装置を構成するフレーム押部が開放位置に位置付けられた際の開閉手段の状態を示す正面図である。
【図１０】同フレームクランプ装置を構成するフレーム押部が挟持位置に位置付けられた際の開閉手段の状態を示す正面図である。
【図１１】同開閉手段の第二の例を示す斜視図である。
【図１２】本発明に係るフレームクランプ装置の第二の実施の形態を示す斜視図である。
【図１３】同第二の実施の形態におけるフレームクランプ装置を構成する挟持確認手段を示す断面図である。
【図１４】フレーム押部が挟持位置に位置付けられた際の同挟持確認手段の状態を示す断面図である。
【図１５】第二の実施の形態におけるフレームクランプ装置をチャックテーブルの周囲に４個配設した例を示す斜視図である。
【図１６】保持テープを介してフレームと一体となった半導体ウェーハ、チャックテーブル及び従来のフレームクランプ装置を示す斜視図である。
【図１７】同従来のフレームクランプ装置を用いてフレームを固定した状態を示す正面図である。
【図１８】同従来のフレームクランプ装置を構成する駆動部及びフレーム押部を示す斜視図である。
【図１９】同駆動部の構成を示す分解斜視図である。
【図２０】従来のフレームクランプ装置を用いてフレームを固定した状態で切削手段を用いて半導体ウェーハを切削する様子を示す斜視図である。
【図２１】フレームがずれて固定された状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０…切削装置 １１…カセット １２…搬出入手段
１３…仮置き領域 １４…搬送手段
１５…チャックテーブル １６…基台 １７…吸着部
２０…フレームクランプ装置 ２１…ガイドレール
２２…クランプ部 ２３…摺動孔 ２４…固定部材
２５…被嵌合部 ２６…フレーム支持部
２７…フレーム押部 ２８…駆動部
２９…第一のチャンバー ３０…開閉手段
３０ａ、３０ｂ…当接部 ３１…第二のチャンバー
３２…回転軸 ３３…中心孔 ３４…エアー流入部
３５…背面板 ３６…エアー流出部 ３７…前面板
３８…貫通孔 ３９…正転エアー流入部
４０…逆転エアー流入部 ４１…回転規制部
４１ａ、４１ｂ…壁部 ４２…圧力計
４３…エアー供給源 ４４…チューブ
５０…開閉手段 ５１…長孔 ５２…遮断部
６０…フレームクランプ装置 ６１…クランプ部
６２…フレーム支持部 ６２ａ…摺動孔
６３…駆動部 ６４…エアー流入部
６５…エアー流出部 ６６…流通路 ６７…弾性部
６８…スイッチ部 ６９…開閉手段…
８０…フレームクランプ装置 ８１…ガイドレール
８２…クランプ部 ８３…フレーム押部
８４…フレーム支持部 ８５…駆動部
８６…第一のチャンバー ８７…回転部
８８…第二のチャンバー ８９…回転軸
９０…中心孔 ９１…正転エアー流入部
９２…逆転エアー流入部
１００…アライメント手段 １０１…回転ブレード
１０２…切削手段 １０３…切削水供給ノズル
Ｗ…半導体ウェーハ Ｔ…保持テープ Ｆ…フレーム
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工装置において被加工物を保持するチャックテーブルの外周に配設され、当該被加工物を支持するフレームを固定するフレームクランプ装置、及び、このフレームクランプ装置を備えた切削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、切削装置を用いて半導体ウェーハを切削する場合は、図１６に示すように、保持テープＴを介してフレームＦと一体となった状態で半導体ウェーハＷがチャックテーブル１５に保持される。
【０００３】
ここで、チャックテーブル１５には、半導体ウェーハを吸引保持する吸着部１７を備えており、その外周には、図示の例では４個のフレームクランプ装置８０が配設されている。それぞれのフレームクランプ装置は、一対のガイドレール８１と、ガイドレール８１に沿って所要範囲移動可能なクランプ部８２とから構成され、クランプ部８２は、載置されたフレームＦを下方から支持するフレーム支持部８４と、フレーム支持部８４に支持されたフレームＦを上方から押圧するフレーム押部８３と、フレーム押部８３を回転駆動する駆動部８５とから構成される。
【０００４】
フレームＦを保持する場合は、フレームＦの大きさに合わせて各クランプ部８２をガイドレール８１に沿って移動させて固定してから、フレーム押部８３を外側に開いた位置（開放位置）に位置付けた状態でフレーム支持部８４にフレームＦを載置し、駆動部８５によってフレーム押部８３を９０度回転させることによってフレーム支持部８４とフレーム押部８３とで上下方向に挟持する。
【０００５】
これを４つのフレームクランプ装置すべてについて行うと、図１７に示すように、半導体ウェーハＷがチャックテーブル１５に吸引保持されると共に、フレームＦが４つのフレームクランプ装置８０によって固定される。
【０００６】
ここで、フレームＦが切削時の邪魔にならないようにするため、及び、自重により保持テープＴを引っ張って切削精度に悪影響を及ぼすのを防止するために、フレーム支持部８４の表面は吸着部１７より下方に位置させている。
【０００７】
また、駆動部８５は図１８のように構成され、その内部は、図１９に示すように、第一のチャンバー８６と回転部８７と第二のチャンバー８８とから構成され、回転部８７の回転軸８９が第二のチャンバー８８の中心孔９０に遊嵌し、第一のチャンバー８６と第二のチャンバー８８とはネジ止めにより固定される。
【０００８】
第二のチャンバー８８には、回転軸８９の回転を規制する回転規制部（図示せず）と、正転エアー流入部９１と、逆転エアー流入部９２とを備えており、正転エアー流入部９１にエアーが吹き込まれたときは回転軸８９が図１８における矢印Ａの方向に９０度回転し、逆転エアー流入部９２にエアーが吹き込まれたときは回転軸８９が矢印Ｂの方向に９０度回転する。
【０００９】
図１８に示すように、回転軸８９にはフレーム押部８３が固定されており、回転軸８９の回転に伴って回転する。従って、正転エアー流入部９１にエアーが吹き込まれると、フレーム押部８３が挟持位置に位置付けられてフレーム支持部８４とでフレームＦを挟持し、逆転エアー流入部９２にエアーが吹き込まれると、フレーム押部８３は開放位置に位置付けられる。
【００１０】
こうして半導体ウェーハＷが吸着部１７に吸着されると共にフレームＦがフレームクランプ装置８０によって固定されると、図２０に示すように、チャックテーブル１５がＸ軸方向に移動してアライメント手段１００によって切削すべきストリートが検出された後、更にチャックテーブル１５が同方向に移動すると共に回転ブレード１０１を備えた切削手段１０２が＋Ｚ軸方向に下降することによって、切削水供給ノズル１０３から切削水を供給しながら、高速回転する回転ブレード１０１が半導体ウェーハＷのストリートに切り込んで切削が行われる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図２１に示すようにフレームクランプ装置８０がフレームＦのサイズに合った位置に固定されていない場合や、フレームＦがずれた状態で搬送され載置された場合には、フレームＦを適正に固定することができない。
【００１２】
また、エアーの供給経路の損傷等に起因して、図１８、図１９に示した正転エアー流入部９１に対するエアーの供給が不十分であったり、駆動部８５に何らかの故障が発生していたり、フレーム押部８３とフレーム支持部８４との間に障害物が介在していたりする場合は、フレーム押部８３が適正に挟持位置に位置づけられず、フレームＦを完全に固定できない。
【００１３】
このように、フレームＦが適正にクランプされていない状態で切削を行うと、切削手段１０２を構成する各部位がフレームＦと接触して損傷したり、半導体ウェーハＷ等の被加工物を損傷させることもある。従って、フレームに支持された被加工物の加工を行うにあたっては、フレームクランプ装置が正常に動作し、フレームが確実に固定されていることを確認することに課題を有している。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための具体的手段として本発明は、チャックテーブルの外周に配設されるフレームクランプ装置であって、被加工物を保持したフレームを支持する複数のフレーム支持部と、フレーム支持部とでフレームを挟持する複数のフレーム押部と、フレーム押部を挟持位置と開放位置とに位置付ける複数の駆動部とを少なくとも含み、フレーム押部が挟持位置に位置付けられているか否かを確認する複数の挟持確認手段が配設され、挟持確認手段は、エアー流入部及びエアー流出部と、エアー流入部からエアー流出部に至るまでのエアーの流通路を開放または閉塞する開閉手段とから少なくとも構成されているとともに、隣り合う挟持確認手段のエアー流入部とエアー流出部とが連結されて隣り合う挟持確認手段が直列に連結され、直列に連結された一端の挟持確認手段のエアー流入部には、エアー供給源と圧力計とが連結され、圧力計の計測値に基づいて、フレーム押部が挟持位置に位置付けられているか否かが確認されるフレームクランプ装置を提供する。
【００１５】
そしてこのフレームクランプ装置は、挟持確認手段は、駆動部に配設され、フレーム押部が挟持位置に位置付けられた際に、駆動部に形成された開閉手段によってエアー流入部からエアー流出部に至るまでのエアーの流通路が開放または閉塞されること、挟持確認手段は、フレーム支持部に配設され、開閉手段にはフレーム支持部の表面に対して進退自在なスイッチ部を備え、フレーム押部が挟持位置に位置付けられてフレーム支持部に支持されたフレームが押さえつけられた際にスイッチ部が押下されてエアー流入部からエアー流出部に至るまでのエアーの流通路が開放または閉塞されることを付加的な要件とする。
【００１６】
このように構成されるフレームクランプ装置によれば、フレームが適正に挟持されているか否かを確認することができるため、例えばフレームクランプ装置自身が故障していたり、フレームが適正な位置に載置されていなかったり、何らかの障害物によってフレームが適正に挟持されていなかったりする場合には、予めそのことを確認することによって、そのままの状態で切削が行われるのを回避することができる。
【００１７】
更に、挟持確認手段を、エアー流入部、エアー流出部、及び開閉手段を用いて構成すると、切削水が供給されても漏電することがないため、誤動作を生じることがない。
【００１８】
また本発明は、フレームに支持された被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とから少なくとも構成される切削装置であって、チャックテーブルの外周に、上記のフレームクランプ装置が配設されている切削装置を提供する。
【００１９】
このように構成される切削装置によれば、常にフレームを確実に挟持した状態で被加工物の切削を行うことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態として、図１に示す切削装置１０及びこれに搭載されるフレームクランプ装置について説明する。
【００２１】
この切削装置１０を用いて、例えば半導体ウェーハを切削する場合は、切削しようとする半導体ウェーハＷは、保持テープＴを介してフレームＦと一体となって保持された状態でカセット１１に複数収容される。
【００２２】
カセット１１にフレームＦと一体となった状態で収容された半導体ウェーハＷは、搬出入手段１２によって１枚ずつ仮置き領域１３に取り出されてから搬送手段１４によって吸着されて搬送手段１４の旋回動によってチャックテーブル１５に搬送される。
【００２３】
チャックテーブル１５は、図２に示すように、被加工物を吸引するエアーの通り道となる吸引路１６ａが中心部に形成された基台１６と、吸引路１６ａから供給される吸引力によって被加工物を吸着する吸着部１７とからなり、基台１６の外周部には、フレームクランプ装置２０がネジ止めによって固定されている。なお、図２においてはフレームクランプ装置２０を１個だけ示しているが、実際には２個以上配設され、４個配設されていることが好ましい。
【００２４】
フレームクランプ装置２０は、図３に示すように、チャックテーブル１５の外周側に突出する一対のガイドレール２１と、フレームＦを固定するクランプ部２２とから構成され、クランプ部２２に備えた摺動孔２３にガイドレール２１が遊嵌し、クランプ部２２がガイドレール２１を摺動して所要範囲移動する構成となっている。固定部材２４を引っ張るとアンロック状態となってクランプ部２２を摺動させることができ、ガイドレール２１に設けた被嵌合部２５に固定部材２４を嵌合させることによってロック状態となってクランプ部２２を固定することができる。このように、フレームＦの大きさに対応させてクランプ部２２の位置を調整することができる。
【００２５】
クランプ部２２は、載置されたフレームＦを下方から支持するフレーム支持部２６と、フレーム支持部２６に支持されたフレームＦを上方から押圧するフレーム押部２７と、フレーム押部２７を回転駆動する駆動部２８とから構成され、図４に示すように、駆動部２８に駆動されてフレーム押部２７が挟持位置に位置付けられることによって、フレーム押部２７の下面とフレーム支持部２６との間でフレームＦを挟持することができる。なお、図３はフレーム押部２７が開放状態に位置付けられた状態を示している。
【００２６】
ここで、駆動部２８は、図５に示すように、第一のチャンバー２９と、開閉手段３０と、第二のチャンバー３１とから構成されるエアーアクチュエータであって、開閉手段３０の回転軸３２が第二のチャンバー３１に形成された中心孔３３に遊嵌すると共に、第一のチャンバー２９に形成された中心孔（図示せず）にも遊嵌し、第一のチャンバー２９と第二のチャンバー３１とがネジ止めにより固定されて図６のように構成され、回転軸３２は、第一のチャンバー２９及び第二のチャンバー３１から外側に突出している。そして第一のチャンバー２９及び第二のチャンバー３１から突出した回転軸３２にはフレーム押部２７が固定され、回転軸３２の回転に伴ってフレーム押部２７が回転する構成となっている。
【００２７】
図５に示したように、第一のチャンバー２９には、管状のエアー流入部３４が背面板３５を貫通して設けられている。一方、第二のチャンバー３１にはエアー流出部３６が前面板３７を貫通して設けられている。更に、開閉手段３０には貫通孔３８が形成され、開閉手段３０が一定の位置に位置付けられたときは、エアー流入部３４とエアー流出部３６とが貫通孔３８を介して連通する構成となっている。
【００２８】
また、図５及び図６に示すように、第二のチャンバー３１には正転エアー流入部３９と逆転エアー流入部４０とが設けられ、正転エアー流入部３９にエアーが吹き込まれたときは回転軸３２が図５における矢印Ａの方向に例えば９０度回転してフレーム押部２７を矢印Ａの方向に回転させて挟持位置に位置付け、逆転エアー流入部４０にエアーが吹き込まれたときは回転軸３２が矢印Ｂの方向に回転してフレーム押部２７を矢印Ｂの方向に回転させて開放位置に位置付ける。
【００２９】
図７は、図５に示した第二のチャンバー３１を反対側から見た状態を示しており、第二のチャンバー３１の内部には、開閉手段３０の回転範囲を例えば９０度に規制する回転規制部４１が形成されている。即ち、開閉手段３０が回転した際は、図５に示した開閉手段３０に形成された２つの当接部３０ａ、３０ｂが回転規制部４１の壁部４１ａ、４１ｂに当接することによって、フレーム押部２７が挟持位置、開放位置のいずれかに位置付けられる構成となっている。
【００３０】
このように構成されるフレームクランプ装置２０は、例えば図８に示すようにチャックテーブル１５の外周に４個配設される。そして、図示したように、それぞれのフレームクランプ装置２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに備えたエアー流入部とエアー流出部とを隣り合うフレームクランプ装置についてチューブ４４を用いて例えば直列に連結し、更に、フレームクランプ装置２０ａのエアー流入部には圧力計４２を連結し、更に圧力計４２にはエアー供給源４３を連結する。
【００３１】
このような接続形態の下で、フレームクランプ装置２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄによってフレームＦを固定する場合は、各フレームクランプ装置の正転エアー流入部３９にエアーを供給することにより、各フレーム押部２７を回動させて挟持位置に位置付け、すべてのフレームクランプ装置についてフレーム支持部２６とフレーム押部２７とでフレームＦを挟持する。
【００３２】
フレーム押部２７が開放位置に位置付けられているときは、貫通孔３８が図９のように位置し、エアー流入部３４からエアー流出部３６に至るまでのエアーの流通路が閉塞しているが、フレーム押部２７が挟持位置に位置付けられたときは、貫通孔３８が図１０に示す位置まで回転し、エアー流入部３４からエアー流出部３６に至るまでのエアーの流通路が連通孔３８を介して開放される。
【００３３】
図８に示した接続形態においては、すべてのフレームクランプ装置のフレーム押部２７が適正に挟持位置に位置付けられていれば、エアー供給源４３から圧力計４２を介してフレームクランプ装置２０ａのエアー流入部から流入したエアーは、フレームクランプ装置２０ａの貫通孔及びエアー流出部、フレームクランプ装置２０ｂのエアー流入部、貫通孔及びエアー流出部、フレームクランプ装置２０Ｃのエアー流入部、貫通孔及びエアー流出部、フレームクランプ装置２０ｄのエアー流入部及び貫通孔を通ってフレームクランプ装置２０ｄのエアー流出部に達し、ここから排出される。
【００３４】
一方、フレームクランプ装置２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのうち、ひとつでもフレーム押部２７が適正に挟持位置に位置付けられていない場合は、そのフレームクランプ装置においてエアー流入部とエアー流出部とが連通しないためにエアーの流通が妨げられ、エアーがフレームクランプ装置２０ｄのエアー流出部まで達しない。
【００３５】
従って、フレームクランプ装置２０ａのエアー流入部から流入したエアーがフレームクランプ装置２０ｄのエアー流出部に達するか否かによって、すべてのフレーム押部２７が適正に挟持位置に位置付けられているかどうかを判断することができる。即ち、エアー流入部３４とエアー流出部３６と開閉手段３０とで挟持確認手段を構成する。
【００３６】
図８の例では、すべてのフレーム押部２７が適正に挟持位置に位置付けられているときは圧力計４２によるエアーの圧力の計測値は低くなり、いずれかのフレーム押部が適正に挟持位置に位置付けられていないときは圧力の計測値は高くなるため、この圧力の計測値に基づいて、すべてのフレーム押部２７が挟持位置に位置付けられているか、即ちフレームＦが適正に固定されているかどうかを判断することができる。
【００３７】
このようにして判断を行うことにより、フレームＦが固定されていない状態で切削が行われるのを防止することができるため、切削の途中で半導体ウェーハＷがずれて、本来切削してはならないストリート以外の領域を切削してしまうという問題が発生しない。また、フレームＦが浮き上がった状態となっている場合でも、フレームＦと切削手段とが接触して切削手段を構成する各部位が損傷したりするということがない。
【００３８】
なお、図５に示した開閉手段３０に代えて、図１１に示す開閉手段５０を用いてもよい。この図１１の開閉手段５０は、図５に示した開閉手段３０における貫通孔３８の代わりに長孔５１を設けると共に遮断部５２を設けたものであり、開閉手段５０が矢印Ａの方向に回転してフレーム押部２７が挟持位置に位置付けられた際は、遮断部５２によって図５に示した第一のチャンバー２９に形成されたエアー流入部３４と第二のチャンバー３１に形成されたエアー流出部３６との連通が遮断される。一方、開閉手段５０が開放位置を含む挟持位置以外に位置付けられている際は、長孔５１によってエアー流入部３４とエアー流出部３６とが連通するように構成されている。
【００３９】
このように構成することによって、フレーム押部２７が挟持位置に位置付けられているときは遮断部５２によってエアーの流れが妨げられてエアー流出部３６からエアーが排出されない。一方、フレーム押部２７が少しでも挟持位置からずれているときはエアーがエアー流出部３６から排出される。
【００４０】
従って、フレーム押部２７が挟持位置に位置付けられているときは圧力の計測値が高くなり、挟持位置に位置付けられていないときは圧力の計測値が低くなるため、この圧力の計測値に基づいてフレームＦが適正に挟持されているか否かを確認することができる。
【００４１】
次に、本発明の第二の実施の形態として、図１２に示すフレームクランプ装置６０について説明する。なお、図３に示したフレームクランプ装置２０と同様に構成される部位については同一の符号を付して説明する。
【００４２】
図１２のフレームクランプ装置６０は、一対のガイドレール２１と、ガイドレール２１を摺動することにより所要範囲移動してフレームＦを固定するクランプ部６１とから構成されており、クランプ部６１は、回動するフレーム押部２７が挟持位置に位置付けられた際にフレームＦを上方から押圧して固定する点において図３に示したフレームクランプ装置２０と同様であるが、フレーム支持部６２及び駆動部６３の構成が異なっている。
【００４３】
フレーム支持部６２は、ガイドレール２１に遊嵌する一対の摺動孔６２ａの他に、エアー流入部６４及びエアー流出部６５を備え、図１３に示すように、通常はエアー流入部６４とエアー流出部６５とは内部において流通路６６を介して連通している。
【００４４】
流通路６６には、弾性部６７及びスイッチ部６８とからなる開閉手段６９が介在しており、図１４に示すように、フレームＦが適正にフレーム支持部６２に載置され、その上からフレーム押部２７によって押さえつけられたときは、弾性部６７によって流通路６６が遮断されてエアーが流通しないよう構成されている。
【００４５】
従って、フレームＦ及びフレーム押部２７の双方による荷重があった場合にのみ流通路６６が閉塞され、フレームＦのみによる荷重、フレーム押部２７のみによる荷重があった場合は流通路６６が開放されるように弾性部６７を構成しておけば、図１２に示したエアー流入部６４から流入したエアーがエアー流出部６５から流出した場合は、フレームＦが適正に載置されていないか、フレーム押部２７が挟持位置にないか、または、フレームＦが適正に載置されておらず、かつ、フレーム押部２７が挟持位置にないと判断することができる。即ち、エアー流入部６４とエアー流出部６６と開閉手段６９とで挟持確認手段を構成している。
【００４６】
一方、エアー流入部６４から流入したエアーがエアー流出部６５から流出しない場合は、フレームＦが適正に載置され、かつ、フレーム押部２７が挟持位置に位置付けられていると判断することができる。
【００４７】
このように構成されるフレームクランプ装置６０は、例えば図１５に示すようにチャックテーブル１５の周囲に４個配設され、それぞれのフレームクランプ装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃ、６０ｄに備えたエアー流入部を隣り合うフレームクランプ装置についてチューブ７０を用いて例えば並列に連結し、更に、フレームクランプ装置６０ａのエアー流入部には圧力計４２を連結し、更に圧力計４２にはエアー供給源４３を連結する。
【００４８】
この接続形態においては、４個のフレームクランプ装置のうち１つでもフレームＦを適正に挟持していない場合は、そのフレームクランプ装置のエアー流出部からエアーが流出するため、圧力計４２による圧力の計測値が低くなる。一方、すべてのフレームクランプ装置において適正にフレームＦが挟持されている場合は、いずれのエアー流出部からもエアーが流出しないため、圧力の計測値が高くなる。このように、圧力の計測値に基づいてフレームＦが適正に挟持されているか否かを確認することができる。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るフレームクランプ装置によれば、フレームが適正に挟持されているか否かを確認することができるため、例えばフレームクランプ装置自身が故障していたり、フレームが適正な位置に載置されていなかったり、何らかの障害物によってフレームが適正に挟持されていなかったりする場合には、予めそのことを確認することによって、そのままの状態で切削が行われるのを回避することができる。従って、フレームが安定して固定されず浮き上がっている場合に切削手段とフレームとが接触して切削手段を損傷させたり、フレームの位置がずれている場合に切削すべき領域以外の領域を切削してしまうということがなくなる。
【００５０】
また、挟持確認手段を、エアー流入部、エアー流出部、及び開閉手段を用いて構成すると、切削水が供給されても漏電することがないため、誤動作を生じることなく確実に挟持状態を確認することができる。
【００５１】
更に、上記のフレームクランプ装置を備えた切削装置によれば、常にフレームを確実に挟持した状態で被加工物の切削を行うことができるため、切削手段や被加工物を損傷させることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る切削装置の実施の形態の一例を示す斜視図である。
【図２】同切削装置を構成するチャックテーブル及び本発明に係るフレームクランプ装置の一例を示す斜視図である。
【図３】同フレームクランプ装置の構成を示す斜視図である。
【図４】同フレームクランプ装置を構成するフレーム押部が挟持位置に位置付けられた状態を示す斜視図である。
【図５】同フレームクランプ装置を構成する駆動部の構成を示す分解斜視図である。
【図６】同駆動部及びフレーム押部を示す斜視図である。
【図７】同駆動部を構成する第一のチャンバーを示す斜視図である。
【図８】フレームクランプ装置をチャックテーブルの周囲に４個配設した例を示す斜視図である。
【図９】同フレームクランプ装置を構成するフレーム押部が開放位置に位置付けられた際の開閉手段の状態を示す正面図である。
【図１０】同フレームクランプ装置を構成するフレーム押部が挟持位置に位置付けられた際の開閉手段の状態を示す正面図である。
【図１１】同開閉手段の第二の例を示す斜視図である。
【図１２】本発明に係るフレームクランプ装置の第二の実施の形態を示す斜視図である。
【図１３】同第二の実施の形態におけるフレームクランプ装置を構成する挟持確認手段を示す断面図である。
【図１４】フレーム押部が挟持位置に位置付けられた際の同挟持確認手段の状態を示す断面図である。
【図１５】第二の実施の形態におけるフレームクランプ装置をチャックテーブルの周囲に４個配設した例を示す斜視図である。
【図１６】保持テープを介してフレームと一体となった半導体ウェーハ、チャックテーブル及び従来のフレームクランプ装置を示す斜視図である。
【図１７】同従来のフレームクランプ装置を用いてフレームを固定した状態を示す正面図である。
【図１８】同従来のフレームクランプ装置を構成する駆動部及びフレーム押部を示す斜視図である。
【図１９】同駆動部の構成を示す分解斜視図である。
【図２０】従来のフレームクランプ装置を用いてフレームを固定した状態で切削手段を用いて半導体ウェーハを切削する様子を示す斜視図である。
【図２１】フレームがずれて固定された状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０…切削装置 １１…カセット １２…搬出入手段
１３…仮置き領域 １４…搬送手段
１５…チャックテーブル １６…基台 １７…吸着部
２０…フレームクランプ装置 ２１…ガイドレール
２２…クランプ部 ２３…摺動孔 ２４…固定部材
２５…被嵌合部 ２６…フレーム支持部
２７…フレーム押部 ２８…駆動部
２９…第一のチャンバー ３０…開閉手段
３０ａ、３０ｂ…当接部 ３１…第二のチャンバー
３２…回転軸 ３３…中心孔 ３４…エアー流入部
３５…背面板 ３６…エアー流出部 ３７…前面板
３８…貫通孔 ３９…正転エアー流入部
４０…逆転エアー流入部 ４１…回転規制部
４１ａ、４１ｂ…壁部 ４２…圧力計
４３…エアー供給源 ４４…チューブ
５０…開閉手段 ５１…長孔 ５２…遮断部
６０…フレームクランプ装置 ６１…クランプ部
６２…フレーム支持部 ６２ａ…摺動孔
６３…駆動部 ６４…エアー流入部
６５…エアー流出部 ６６…流通路 ６７…弾性部
６８…スイッチ部 ６９…開閉手段…
８０…フレームクランプ装置 ８１…ガイドレール
８２…クランプ部 ８３…フレーム押部
８４…フレーム支持部 ８５…駆動部
８６…第一のチャンバー ８７…回転部
８８…第二のチャンバー ８９…回転軸
９０…中心孔 ９１…正転エアー流入部
９２…逆転エアー流入部
１００…アライメント手段 １０１…回転ブレード
１０２…切削手段 １０３…切削水供給ノズル
Ｗ…半導体ウェーハ Ｔ…保持テープ Ｆ…フレーム
Claims (4)
- チャックテーブルの外周に配設されるフレームクランプ装置であって、被加工物を保持したフレームを支持する複数のフレーム支持部と、該フレーム支持部とで該フレームを挟持する複数のフレーム押部と、該フレーム押部を挟持位置と開放位置とに位置付ける複数の駆動部とを少なくとも含み、該フレーム押部が挟持位置に位置付けられているか否かを確認する複数の挟持確認手段が配設され、
該挟持確認手段は、エアー流入部及びエアー流出部と、該エアー流入部から該エアー流出部に至るまでのエアーの流通路を開放または閉塞する開閉手段とから少なくとも構成されているとともに、隣り合う該挟持確認手段の該エアー流入部と該エアー流出部とが連結されて隣り合う該挟持確認手段が直列に連結され、直列に連結された一端の該挟持確認手段のエアー流入部には、エアー供給源と圧力計とが連結され、該圧力計の計測値に基づいて、該フレーム押部が挟持位置に位置付けられているか否かが確認されるフレームクランプ装置。 - 挟持確認手段は、駆動部に配設され、フレーム押部が挟持位置に位置付けられた際に、駆動部に形成された開閉手段によってエアー流入部から該エアー流出部に至るまでのエアーの流通路が開放または閉塞される請求項１に記載のフレームクランプ装置。
- 挟持確認手段は、フレーム支持部に配設され、開閉手段にはフレーム支持部の表面に対して進退自在なスイッチ部を備え、フレーム押部が挟持位置に位置付けられて該フレーム支持部に支持されたフレームが押さえつけられた際に該スイッチ部が押下されてエアー流入部から該エアー流出部に至るまでのエアーの流通路が開放または閉塞される請求項１に記載のフレームクランプ装置。
- フレームに支持された被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とから少なくとも構成される切削装置であって、該チャックテーブルの外周には、請求項１乃至３に記載のフレームクランプ装置が配設されている切削装置。
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- 2000-06-02 JP JP2000165859A patent/JP4615092B2/ja not_active Expired - Lifetime
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