JP2015079828A - フレームクランプ装置 - Google Patents
フレームクランプ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015079828A JP2015079828A JP2013215465A JP2013215465A JP2015079828A JP 2015079828 A JP2015079828 A JP 2015079828A JP 2013215465 A JP2013215465 A JP 2013215465A JP 2013215465 A JP2013215465 A JP 2013215465A JP 2015079828 A JP2015079828 A JP 2015079828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressing member
- suction hole
- frame
- clamp
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 47
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 40
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 abstract description 19
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
2:X軸方向移動手段
20:ボールネジ 21:ガイドレール 22:モータ 23:基台 24:支持部
3a,3b:切削手段
30:切削ブレード 31:検出手段 32:切削液ノズル
4:Y軸方向移動手段
40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:モータ 43:基台
5:Z軸方向移動手段
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ 53:基台
6:フレームクランプ装置
60:レール 600:固定レール 601:可動レール
61:支持部材 61a:上面 610:長辺部 611:短辺部 610a:穴
62:アクチュエータ 620:本体 621:係合穴 62:回転軸
63:押さえ部材 630:固定部 630a:嵌合穴 631:押さえ部
64:検出手段
640:バキュームパッド 640a:吸引孔
641:エア通路 642:負圧生成源 643:圧力検出部
65:ブラケット 650:穴 651:係合穴
7:チャックテーブル 70:吸引部 71:枠体
70:吸引部 71:枠体
8:制御部
W:被加工物 T:粘着シート F:環状フレーム
Claims (1)
- チャックテーブルの外周に配設されて、粘着シート上に貼着された被加工物を支持する環状フレームを固定するフレームクランプ装置であって、
該環状フレームを支持する支持部材と、回転軸を有し該支持部材に固定されたアクチュエータと、該アクチュエータの回転軸に固定される固定部及び該固定部に連結され該固定部を駆動することによりクランプ位置と開放位置との間で回動する押さえ部からなる押さえ部材と、該押さえ部材が該クランプ位置に位置付けられたことを検出する検出手段と、を備え、
該検出手段は、該支持部材に配設され吸引孔を有するバキュームパッドと、該吸引孔に連通し負圧を生成する負圧生成源と、該負圧生成源と該吸引孔とを連通させる通路内の圧力を検出する圧力検出部と、を備え、
該バキュームパッドは、該押さえ部材が該クランプ位置に位置付けられた際に該吸引孔が該押さえ部材の該固定部に当接して該吸引孔が閉塞する位置に位置しており、
該押さえ部材が該クランプ位置に位置付けられたときは、該バキュームパッドの該吸引孔は、当接した該固定部によって閉塞されて負圧が発生し、該圧力検出部によって検出された圧力が所定値以下を示し、
該押さえ部材が該クランプ位置から該開放位置側に回動すると、該バキュームパッドから該固定部が離反し、該吸引孔から負圧がリークして該圧力検出部によって検出された圧力が所定値以上を示し、該押さえ部材が該クランプ位置から移動したことを検出すること、
を特徴とするフレームクランプ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013215465A JP2015079828A (ja) | 2013-10-16 | 2013-10-16 | フレームクランプ装置 |
CN201410538616.4A CN104576486A (zh) | 2013-10-16 | 2014-10-13 | 框架夹紧装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013215465A JP2015079828A (ja) | 2013-10-16 | 2013-10-16 | フレームクランプ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015079828A true JP2015079828A (ja) | 2015-04-23 |
Family
ID=53011034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013215465A Pending JP2015079828A (ja) | 2013-10-16 | 2013-10-16 | フレームクランプ装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015079828A (ja) |
CN (1) | CN104576486A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020116685A (ja) * | 2019-01-24 | 2020-08-06 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び検査方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107768264A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-03-06 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 漏电检验装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0412936A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-17 | Tokuda Seisakusho Ltd | 基板検出装置 |
JP2009010150A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の切削方法 |
JP2011014568A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011042003A (ja) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保持テーブルおよび研削装置 |
JP2012009467A (ja) * | 2010-06-22 | 2012-01-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | フレームクランプ装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003197581A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-07-11 | Fujitsu Ltd | 板状物支持部材及びその使用方法 |
-
2013
- 2013-10-16 JP JP2013215465A patent/JP2015079828A/ja active Pending
-
2014
- 2014-10-13 CN CN201410538616.4A patent/CN104576486A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0412936A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-17 | Tokuda Seisakusho Ltd | 基板検出装置 |
JP2009010150A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の切削方法 |
JP2011014568A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011042003A (ja) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保持テーブルおよび研削装置 |
JP2012009467A (ja) * | 2010-06-22 | 2012-01-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | フレームクランプ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020116685A (ja) * | 2019-01-24 | 2020-08-06 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104576486A (zh) | 2015-04-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102407413B1 (ko) | 절삭 장치 | |
US9636844B2 (en) | Cutting apparatus | |
US9455175B2 (en) | Conveying apparatus | |
TWI774771B (zh) | 切割裝置 | |
JP2010056327A (ja) | ワーク保持機構 | |
JP5340841B2 (ja) | 切削装置 | |
TW202114820A (zh) | 加工裝置 | |
JP2010247311A (ja) | 被加工物の研削方法 | |
KR102628741B1 (ko) | 처리 장치 | |
JP2015079828A (ja) | フレームクランプ装置 | |
JP2009061568A (ja) | 板状物加工用トレイおよび加工装置 | |
JP2012101293A (ja) | 加工方法 | |
JP2013158902A (ja) | 研削装置 | |
JP6226722B2 (ja) | 高さ位置検出方法 | |
JP6223862B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6847512B2 (ja) | 切削装置及び切削方法 | |
CN110076917B (zh) | 切削装置的设置方法 | |
CN110893574B (zh) | 边缘修剪装置 | |
JP5889025B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2017204615A (ja) | テープ貼着装置 | |
JP2012152859A (ja) | 研削装置 | |
JP2010272639A (ja) | 研削装置 | |
JP6808292B2 (ja) | 加工装置の診断方法 | |
JP5528245B2 (ja) | 切削方法 | |
JP2012009467A (ja) | フレームクランプ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150430 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170516 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170718 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170822 |