JP2832673B2 - 露光装置およびワークの露光方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、紫外線の照射により
プリント配線基板などのワークを露光する露光装置およ
びワークの露光方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、紫外線によりワークに所定パタ
ーンを焼き付ける露光装置として種々の露光装置が提案
されている。これら露光装置は、ワークを焼枠に挟持し
た際、ワークとマスクフィルムが適切な位置関係になる
ようにＣＣＤカメラなどで確認した後に紫外線を照射し
てワークを露光していた。

【０００３】このワークとマスクフィルムの確認作業
は、露光部で行ういわゆる「内合わせ方式」であるた
め、アライメントと露光とが直列シーケンスで動作する
ことからワークの生産性が上がらない欠点があった。

【０００４】そのため従来、露光部以外でワークのアラ
イメントを行ういわゆる「外合わせ方式」の利点を生か
し、かつ、正確なワークとマスクフィルムのアライメン
トを可能とした生産性の高い露光装置が本願出願人によ
り出願されている（特開平４−３５０８５７号）。

【０００５】図２６に示すように、この露光装置１００
は、直線上に搬入ステージ１０１と、アライメントステ
ージ１０２と、露光ステージ１０３および搬出ステージ
１０４とからなる上流機１０５と、この上流機１０５の
搬出ステージ１０４の後方に設置したワークＷの反転ス
テージ１０６と、この反転ステージ１０６の後方に、前
記搬入ステージ１０７、アライメントステージ１０８、
露光ステージ１０９、搬出ステージ１１０までを設置し
た下流機１１１とから構成されている。

【０００６】また、ワークＷを各ステージに搬送する上
流機１０５の搬送装置１１２は、中心に設置した一方の
焼枠１１３と、この一方の焼枠１１３の両側に設置した
ハンドラ１１４、１１５とを備えている。そして、下流
機１１１の搬送装置１２０は、その中心に設置した一方
の焼枠１２１と、この焼枠１２１の両側に設置したハン
ドラ１２２、１２３とを備えている。

【０００７】そして、各々のアライメントステージ１０
２、１０８および露光ステージ１０３、１０９間には、
それぞれ他方の焼枠１１６、１２４を保持して移動する
移動テーブル１１７、１２５を備えている。また、反転
ステージ１０６には、ワークＷを表裏反転させる反転装
置（図示せず）が設置されており、この反転装置により
反転されたワークＷは、下流機１１１の搬入ステージに
ハンドラ（図示せず）の搬送により受け渡されている。

【０００８】さらに、図２８で示すように、前記一方の
焼枠（上焼枠）１１３（１２１）には、ワークおよび他
方の焼枠（下焼枠）１１６（１２４）を真空吸着する吸
引機構１３０が設けられており、この吸引機構１３０
は、透光板１３１の四隅に取り付けた吸引支持部１３３
ａ〜１３３ｄと、前記透光板１３１のワーク当接側に取
り付けた枠状のシールゴム１３４と、前記吸引支持部１
３３ａ〜１３３ｄに支持された吸引ホースから構成され
ている。なお、透光板１３１は、真空吸着用の開閉自在
のフレーム１３２に挟持されており、透光板１３１は、
支持部１３３ａ〜１３３ｂの各位置に、貫通孔（図示せ
ず）が形成されている。

【０００９】また、図２７で示すように、下焼枠１１６
（１２４）は、複数の貫通孔１１６ａを設けた透光板１
１６ｂと、この透光板１１６ｂを支持するフレーム体１
１６ｃと、このフレーム体１１６ｃに設けられた吸引ホ
ース１１６ｅの取付部１１６ｄとから構成されている。
そして、透光板１１６ｂの各貫通孔１１６ａが真空吸着
した際に、各貫通孔１１６ａから真空吸引できるよう
に、真空溝１１６ｆを介して連通している。

【００１０】そして、ワークの表裏反転を行う場合は、
図示しない搬送手段により反転ステージに搬送され、反
転機により反転される。この反転機の構成は、実開平４
−４６４４５号に示すような構成のものが使用されてい
る。この反転装置は、ワークを受け取り所定位置まで移
動させる移動テーブルと、この移動テーブルからワーク
を真空吸着する吸着反転機とから構成されている。

【００１１】なお、上流機１０５、下流機１１１には、
図示していないが装置の動作を制御する制御装置、紫外
線照射装置がそれぞれ備えられており、前記紫外線照射
装置では、紫外線ランプが５ＫＷの前後のランプを使用
し、その紫外線ランプの再点灯がランプの構成上できな
いため、紫外線ランプは作業中は常に点灯させておき、
シャッター機構などを使用し、紫外線が必要のないとき
はシャッター機構を閉鎖して紫外線の照射をカットして
使用している。

【００１２】したがって、上記したように構成された露
光装置１００は、つぎのようにワークの搬送、位置決
め、露光、反転を行っている。はじめに、ワークＷは、
上流機１０５の搬入ステージ１０１から搬送装置１１２
のハンドラ１１５で，アライメントステージ１０２に搬
送され、アライメントステージ１０２で上下の焼枠１１
３，１１６に挟持された状態でアライメントされる。

【００１３】そして、搬送装置１１２の上焼枠１１３が
アライメント済ワークＷおよび下焼枠１１６を吸着して
露光ステージ１０３に搬送し露光する。一面の露光が終
了したワークＷは、搬送装置１１２のハンドラ１１４に
より搬出ステージ１０４に搬送され、反転ステージ１０
６でワークが表裏反転される。

【００１４】さらに、下流機１１１側に図示しない搬送
装置により搬送され、上流機１０５で行った作業を繰り
返し行うことでワークＷの他面を露光してワークを搬出
する。そのため、ワークは、正確なアライメントが行え
ると共に、生産性の向上を図ることができるものであ
る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の露光装
置の構成では、次のような改良する余地が残されてい
た。 露光装置は、ワークの表裏を露光する際、搬送装置
の構成、ワークの搬送方向、装置の配置などが直線方向
であるため、露光作業が行われるクリーンルームの作業
位置を大きく占めることになる。

【００１６】 露光装置は、その構成上、紫外線照射
装置を上流機および下流機にそれぞれ備えると共に、制
御装置もそれぞれに設置しているため、装置の構成が大
きくなり、消費電力も大きくかかる。

【００１７】 ワークは、下焼枠に保持され、あるい
は、上下の焼枠に保持された状態で搬送、露光などの作
業が行われるが、下焼枠に位置決めされたワークの位置
のズレが最小限になるように、反転機側に搬送すること
が望まれていた。

【００１８】 ワークを反転する反転ステージを設置
するには、上流機の搬出ステージ、反転ステージ、およ
び、下流機の搬入ステージを設ける必要があり、作業ス
ペースを大きく取る原因にもなっている。

【００１９】 ワークを保持する真空フレームは、上
下の焼枠が分離合体してワークを挟持してアライメント
作業および露光作業を行っている。しかし、ハンドラと
上焼枠が一体になっているため大型となり、動作制御が
大変であり、メンテナンス作業も困難であった。また、
下焼枠または上焼枠がそれぞれ単独で移動できないた
め、作業能率が向上できなかった。

【００２０】 露光装置のアライメント位置および露
光作業位置の設置位置に係わらず、ワークのより効率的
な露光作業が行えるように真空フレームおよびワークの
位置合わせの改善が望まれていた。

【００２１】この発明は、前述の問題点を解決すべく創
案されたもので、露光装置の設置スペースを小さくで
き、上焼枠は劣化の際に取り替えを容易にし、下焼枠は
ワークの吸着および離脱を適切にでき、ワークの反転装
置はスペースを取ること無くワークを反転および予備位
置決めでき、動作制御およびメンテナンスが容易である
と共に、消費電力が小さく、真空フレームの構成および
ワークの位置決めが能率よくかつ正確にできる露光装置
およびワークの露光方法を提供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、この発明は、下焼枠に保持したワークを適正位置に
移動させ位置決めするアライメント整合台、および、適
正位置を確認する撮像カメラを備える第１アライメント
ステージと、位置決め済みワークを露光する第１露光ス
テージと、露光済みワークの表裏を反転する反転ステー
ジと、前記反転ステージで表裏反転した下焼枠上のワー
クを適正位置に移動させ位置決めするアライメント整合
台、および、適正位置を確認する撮像カメラを備える第
２アライメントステージと、位置決め済みワークを露光
する第２露光ステージを備えている。

【００２３】そして、前記第１アライメントステージ、
反転ステージ、第２アライメントステージを直線方向に
配設し、前記第１および第２露光ステージのそれぞれ
は、直線方向に配置した前記各ステージに対し直交する
方向で、前記第１および第２アライメントステージのそ
れぞれに隣接して配設している。

【００２４】さらに、前記第１および第２露光ステージ
間に紫外線照射ステージを備え、前記第１アライメント
ステージから第２アライメントステージの直線位置に
は、ワークを搬送するハンドラを複数備えており、前記
両アライメントステージおよび露光ステージ間では、ワ
ークを保持して位置決め、搬送、露光を行う前記真空フ
レームを備え、前記真空フレームは、分離合体可能な二
基の下焼枠と一基の上焼枠から構成され、ワークの位置
決め作業、および、露光済みワークの搬送は、真空フレ
ームが分離し、下焼枠にワークを保持して行われる露光
装置として構成した。

【００２５】また、ワークを搬入する搬入ステージ、前
記第１アライメントステージ、反転ステージ、第２アラ
イメントステージおよびワークを搬出する搬出ステージ
間のワークを移動させるハンドラを備え、前記ハンドラ
は、ワーク当接側に形成した平面状の当接部と、この当
接部に穿設して取り付けた吸着パッドを備え、前記吸着
パッドの下端が、当接部のワーク当接面と同一もしくは
当接面より内側に設けたワークの吸着保持装置を備える
露光装置の構成としても良い。

【００２６】さらに、前記紫外線照射ステージは、紫外
線照射ランプおよび楕円反射鏡からなる光源装置と、こ
の光源装置からの紫外線を所定方向に反射する平面反射
鏡と、前記光源装置からの紫外線の光路に設置される紫
外線の照度分布を整えるフライアイレンズと、前記第１
および第２露光ステージ側に紫外線を切り替え照射する
切替えミラーとを有する紫外線照射装置を備える構成と
すると都合が良い。

【００２７】そして、前記アライメント整合台は、ワー
ク当接面にワークの吸引保持手段を備えると共に、下焼
枠のワーク接続部に合致する接合部を備え、前記アライ
メント整合台は、ワークを保持する下焼枠を各方向に移
動するＸ，Ｙ，θの各テーブルを備え、前記Ｘテーブル
およびＹテーブルは、平面で直交する一方と他方に移動
自在に設け、前記θテーブルは、垂直線を中心に回動す
る方向に回動自在に設け、前記アライメント整合台のワ
ーク当接面を上下に移動させる昇降機構とからなること
を特徴とするアライメント整合台を備える構成としても
良い。

【００２８】また、前記反転ステージは、ワークを載置
して昇降駆動する昇降テーブルと、この昇降テーブルか
らワークを受け取り保持してワークの表裏を反転する反
転装置と、前記昇降テーブル上の反転済みワークの予備
位置決めを行うプリアライメント機構を備える構成とす
ると都合が良い。

【００２９】さらに、前記反転装置は、ワークを吸着支
持する吸着支持アームと、この吸着支持アームの一端を
支持し回動させる回動支持部と、この回動支持部を往復
移動させる移動機構とからなる反転装置を備える構成と
すると都合が良い。

【００３０】そして、両面を露光するワークの一方面を
予備位置決め機構により予備位置決めする第１工程と、
予備位置決め済みワークを下焼枠上に保持し、第１アラ
イメント整合台および撮像カメラにより位置決めを行う
第２工程と、位置決め済みワークを下焼枠ごと上焼枠に
保持し位置決め確認したのち露光位置に搬送して露光を
行う第３工程と、露光済みワークを下焼枠ごと受け取り
搬送手段により第１アライメント整合台上に搬送する第
４工程と、第１アライメント整合台上のワークをハンド
ラにより反転機に受け渡す第５工程とを備えている。

【００３１】続けて、前記第５工程によりワークを受け
取った反転機がワークの表裏を反転すると共に、予備位
置決め機構により予備位置決めする第６工程と、予備位
置決め済みワークを下焼枠上に保持し、第２アライメン
ト整合台および撮像カメラにより位置決めを行う第７工
程と、位置決め済みワークを下焼枠ごと上焼枠に保持し
位置決め確認したのち露光位置に搬送して露光する第８
工程と、露光済みワークを下焼枠に保持した状態で受け
取り搬送手段により第２アライメント整合台上に搬送す
る第９工程と、アライメント整合台上の両面露光済みワ
ークを搬出する第１０工程とからなるワークの露光方法
として構成した。

【００３２】また、露光済みワークを受け取り保持し、
保持したワークの一端側を基準としてワークの他端側を
垂直方向に立ち上げると共に、基準となる一端側を水平
方向に移動させ、ワークの他端側を水平位置に降下させ
ることでワークを反転するワークの反転方法を備える前
記ワークの露光方法としても良い。

【００３３】

【作用】この発明は上記のように構成したので以下のよ
うな作用を有している。 (1) 露光装置で露光されるワークは、第１アライメント
ステージ、反転ステージおよび第２アライメントステー
ジ間の直線方向では、ハンドラによって移動し、第１ア
ライメントステージおよび第１露光ステージ間と、第２
アライメントステージおよび第２露光ステージ間とで
は、前記直線方向に直交する方向に、真空フレームの上
下焼枠のいずれか、または両方に保持されて移動する。

【００３４】(2) ハンドラは、ワークの吸着面を平面状
の当接部が当接するように形成しているため、ワークの
厚みに係わらずワークを変形することなく吸着保持する
ことができる。

【００３５】(3) 紫外線照射ステージの光源装置から照
射された紫外線の光軸は、平面反射鏡、フライアイレン
ズを介して切替えミラーに進む、したがって、光源装置
から切替えミラーまでの光軸の進行方向は、垂直面に沿
って進むこととなる。そして、その垂直面に沿って進ん
できた光軸を、切替えミラーを作動させ、その垂直面か
ら所定角度を有する方向に反射して光軸の方向を偏向し
て導くため、決められたスペースで両露光ステージに紫
外線を適切に導くことができる。

【００３６】(4) アライメント整合台は、ワークを載置
した下焼枠を保持手段により保持して、各Ｘ，Ｙ，θテ
ーブルを作動させ、ワークの位置合わせ作業を行う。そ
して、昇降機構により下焼枠ごとワークを上焼枠側に上
昇させ当接させる。また、露光済みワークを下焼枠ごと
移動手段から受け取る場合は、下焼枠を保持している移
動手段がアライメント整合台上に到来した後、昇降機構
によりワーク当接面を上昇させ、ワークを保持している
下焼枠ごと保持手段で保持する。それと共に、接合部を
下焼枠の接続部と合致させ、エアポンプのエア排出によ
り、ワークを下焼枠から離脱する。

【００３７】(5) 反転ステージでは、ハンドラからワー
クを昇降テーブルが上昇して受け取ると共に、下降して
反転装置に受け渡す。そして、受け取ったワークは、反
転装置で表裏が反転された状態で、プリアライメント機
構により予備位置決めが行われる。

【００３８】(6) 反転装置は、回動支持部を回動させワ
ークを保持している吸着支持アームを垂直方向に立ち上
げると共に、移動機構により一端から他端側に回動支持
部を所定間隔水平移動させる。そして、移動他端に到来
した回動支持部は、さらに回動支持部を回動させ、ワー
クを表裏反転した状態で昇降テーブルにワークを載置す
る。

【００３９】(7) ワークは、予備位置決め機構により予
備位置決めされた後、ハンドラによりアライメント整合
台上に搬送され、第１アライメント整合台上の一方の下
焼枠に保持される。そして、撮像カメラの撮像により位
置を確認して位置ズレがある場合は、第１アライメント
整合台を作動させ、ワークを適正位置に位置決めする。
また、下焼枠の上に保持されて位置決めが済んだワーク
は、アライメント整合台の上昇により、露光位置から搬
送されて来た上焼枠と合体した状態で撮像カメラにより
再び位置確認がされる。

【００４０】そして、適正位置であれば真空フレームの
状態で露光位置に搬送され、紫外線照射ステージの作動
によりワークは露光される。このとき、露光位置に設置
していた他方の下焼枠は、移動手段により第１アライメ
ント整合台上に設置されており、アライメント整合台上
では次のワークの位置決め作業が行われる。搬送手段
は、下焼枠を搬送するとすぐに露光ステージ側にもど
る。

【００４１】一方、片面を露光された下焼枠上のワーク
は、搬送手段により保持され第１アライメント整合台に
再び搬送される。このとき、アライメント整合台上の下
焼枠に保持されている次のワークは、位置確認された
後、上焼枠に保持されて露光ステージに搬送されてい
る。

【００４２】第１アライメントステージに到来した露光
済みワークは、ハンドラにより反転ステージに搬送さ
れ、ワークの表裏反転が行われる。と共に予備位置決め
が行われる。さらに、再びハンドラにより第２アライメ
ントステージに搬送される。そして、前記第１アライメ
ントステージおよび露光ステージで行った動作が繰り返
され、ワークの他の面が露光される。

【００４３】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、全体の構成を示す原理図。図２は、露
光装置全体を示す平面図、図３は、露光装置の全体を示
す正面図、図４は、露光装置の側面図である。図１およ
び図２で示すように、露光装置１の各ステージの配置位
置は、搬入ステージＡ、第１アライメントステージＢ，
反転ステージＤ、第２アライメントステージＥおよび搬
出ステージＧを直線状に配設している。そして、搬入ス
テージＡから搬出ステージＧまでの直線状の配置に対し
て直交する方向で、第１露光ステージＣを、第１アライ
メントステージに隣接して配置し、第２露光ステージＦ
を、前記第２アライメントステージＥに隣接して配設し
ている。なお、紫外線照射ステージＨは、第１露光ステ
ージＣと第２露光ステージＦの間に隣接して配設してい
る。

【００４４】図１ないし図３で示すように、前記搬入ス
テージＡには、ワークの予備位置決めを行うプリアライ
メント機構３および載置ローラ２が設置されている。そ
して、第１アライメントステージＢ（第２アライメント
ステージＥ）には、アライメント整合台１０（６０）お
よび一方の下焼枠２４（４４）が設置されている。ま
た、第１露光ステージＣ（第２露光ステージＦ）には、
大反射鏡２０ａ（７０ａ）と、上焼枠２３（４３）と、
他方の下焼枠２４（４４）と、この他方の下焼枠２４
（２４）を載置している移動手段２６（４６）と、昇降
保持台２１（２１）とが配置されている。さらに、反転
ステージＤには、反転装置５０と、昇降テーブル５１
と、予備位置決めを行うプリアライメント機構６３とを
備えている。そして、紫外線照射ステージＨは、光源装
置３３および紫外線を所定方向に導く光学系を備えてい
る。

【００４５】また、図１で示すように、各ステージにワ
ークＷを移動する手段は、搬入ステージＡから直線状に
設けた搬出ステージＧに沿って設けた複数（図面では４
ヵ所）のハンドラ１５、２５、６５、７５と、第１・第
２アライメントステージＢ・Ｅおよび第１・第２露光ス
テージＣ・Ｆ間のそれぞれに設置した２基の下焼枠２
４、２４・４４、４４および上焼枠２３・４６と、前記
上下の焼枠を搬送する搬送手段としての移動機構２８
（４８）（図７参照）および移動機構２７（４７）とを
備えている。なお、真空フレームは、下焼枠２４、２４
（４４、４４）と上焼枠２３（４６）とが合体すること
で構成される。

【００４６】つぎに、各構成の詳細を順次述べる。図１
２に示すように、前記ハンドラ１５の構成は、支持アー
ム１７に昇降ガイドバー１５ｊが昇降駆動部１６を介し
て昇降自在に保持されており、前記昇降ガイドバー１５
ｊの下端に保持部１５ｋおよび水平ガイドバー１５ｍを
介して吸着部１５ａ，１５ａが設けられている。

【００４７】そして、図１３および図１４で示すよう
に、ハンドラ１５の各吸着部１５ａ、１５ａの構成は、
箱状の本体部１５ｈと、この本体部１５ｈの下面側取付
穴に設けた開口１５ｂ′を有する複数の吸着パッド１５
ｂと、これら吸着パッド１５ｂの開口１５ｂ′に一端側
を連通した空気通路１５ｃと、この空気通路１５ｃの他
端に設けられた吸引ホース１５ｅの取付部１５ｄとから
成る。また、前記吸着パッド１５ａのワーク当接面側
は、本体部１５ｈ下面と同一面状になるように吸着パッ
ド１５ｂが併設されており、この吸着パッド１５ｂは、
ゴム、合成ゴム、などの弾性部材から構成されている。
そして，本体部１５ｈの下面は平面状に形成されたワー
クＷの当接部１５ｆを構成している。

【００４８】したがって、前記構成の吸着部１５ａ、１
５ａにより真空吸着されるワークＷが薄い場合、各吸着
パッド１５ｂが真空吸着しても、本体部１５ｈの当接部
１５ｆの平面がワークＷに当接し，この当接部１５ｆよ
り内側あるいは下面と同一面に、吸着パッド１５ｂの開
口下端部分があるため、吸引の強さでワークＷを変形さ
せることがない。なお、吸着部１５ａは、吸着パッド１
５ｂを設けなくとも、この吸着パッド１５ｂを設けてい
る本体部１５ｈの取付穴の高さ寸法を短くすることで、
ワークを変形することなく吸着できる構成としても構わ
ない。また、吸着部１５ａ，１５ａの取付間隔は、前記
水平ガイドバー１５ｍを保持部１５ｋに伸縮自在に設け
ているため、水平ガイドバー１５ｍを伸縮することで調
整可能としている。なお、他のハンドラ２５、６５、７
５も同様の構成であるため説明を省略する。そして、前
記ハンドラ１５、２５、６５、７５の移動は、図３およ
び図４で示すように、搬入ステージＡから搬出ステージ
Ｇまでの直線方向に沿って設けた搬送溝４、５に沿って
行われる。

【００４９】つぎに、図２で示すように、載置ローラ２
の構成は、複数の送りローラ２ａと、この送りローラ２
ａを支持する支持部２ｂと、前記送りローラ２ａをモー
タの回転により駆動する伝達部（図示せず）とからな
る。したがって、搬入ストッカ（図示せず）から送られ
て来たワークＷを載置ローラ２上の所定位置に設置する
ため、この載置ローラ２をモータで作動させ、ワークＷ
を送りローラ２ａで送り、センサーの感知によりモータ
の作動を止め、常に搬入ステージＡの所定位置でワーク
Ｗが停止するようにしている。また、前記載置ローラ２
の所定位置にはワークＷの予備位置決め（プリアライメ
ント）を行うプリアライメント機構３が設置されてい
る。このプリアライメント機構３は、反転ステージＤに
設置されているものと同じ構成であるため後述する。

【００５０】図３で示すように、第１アライメントステ
ージＢおよび第２アライメントステージＥには、共にア
ライメント整合台１０（６０）およびワークＷの位置確
認を行う撮像手段（撮像カメラ）としてのＣＣＤカメラ
２２（８２）とを備えている。

【００５１】前記アライメント整合台１０（６０）の構
成は、図３および図５で示すように、平面上の直交する
一方向に移動させるＸテーブル１１と、平面上の直交す
る他方向に移動させるＹテーブル１２と、垂直線の周り
を回動するθテーブル１３および垂直方向に上下動でき
る昇降機構としてのＺ軸部１４とからなる。そして、図
６で示すように、前記Ｘテーブル１１には、下焼枠２４
をＸテーブル上に保持できるように、真空吸着用の保持
手段９および、下焼枠２４の一方の接続部４５（図９参
照）に合致する接合部９ａを有している。なお、アライ
メント整合台１０は、Ｚ軸部１４を作動させない場合の
ワークＷの当接面位置は、後述する移動テーブル２６の
ワーク当接面位置よりレベルが低くなるように構成され
ている（図５参照）。

【００５２】前記保持手段９は、図６で示すように、テ
ーブルの上側に設けた吸着溝７と、この吸着溝７を取り
囲む位置で枠状に設けたシールゴム８とを備えている。
そして、図示しないエアーの吸引・排出を行うエアーポ
ンプに接続ホース（図示せず）を介して前記吸着溝７に
連通されている。なお、保持手段９の吸着溝７は、その
代わりに複数の開口孔としても構わない。

【００５３】また、図６で示すように、前記接合部９ａ
は、下焼枠２４が到来して、前記Ｘテーブル１１上に下
焼枠が保持できるように、Ｘテーブルの上面レベルから
やや下側位置で、Ｘテーブルの側面に設けられている。
そして、接合部９ａは、上面に環状のゴムパッドを備
え、図示しないエアーの吸引・排出動作を行うエアーポ
ンプにホースなどで連結されている。

【００５４】また、図６で示すように、Ｘテーブル１１
の左右には、発光テーブル６、６が設置されている。こ
の発光テーブル６、６は、ワークに設けた位置合わせ孔
（図示せず）と、マスクフィルムＭの位置決めマークの
状態をＣＣＤカメラ２２（６２）で撮像するときの照明
用の光を発し、より確実に確認できるようにするもので
ある。

【００５５】前記ワークＷの適正位置を確認するＣＣＤ
カメラ２２（８２）は、図３および図４で示すように、
アライメント整合台１０（６０）の上側で支持バー２２
ａ（８２ａ）に設置されている。そして、このＣＣＤカ
メラ２２（８２）は、ワークＷの大きさが変わっても、
ワークＷの大きさに合わせて、支持バー２２ａでの設置
位置を変えることで、各ＣＣＤカメラ２２の距離を調整
できる構成としている。また、ＣＣＤカメラ２２の設置
位置は、図面上は横並び位置に設置されているが、支持
バーを平行に２本取り付け、各支持バーの反対側端部に
ＣＣＤカメラを取り付け、対角線上に設置する構成とし
ても構わない。

【００５６】なお、ＣＣＤカメラ２２で写すワークＷと
マスクフィルムＭとの整合状態は、図３で示すモニター
８４で写し出される。そして、図５で示すように、ワー
クＷの位置決めマーク（貫通孔）（図示せず）の適正位
置の判断は、予め制御部８６に入力されている記憶デー
タと、ＣＣＤカメラ２２で撮像したワークＷの位置決め
マークの位置ズレを比較することで行われる。さらに、
位置ズレが存在する場合は、作動制御部８７からの信号
により、各Ｘ，Ｙ，θテーブル１１、１２、１３を作動
させ位置ズレを補正する構成としている。

【００５７】また、アライメント作業の終了後、上下焼
枠２３、２４でワークＷを保持した状態で、マスクフィ
ルムＭとワークＷの位置確認を再びＣＣＤカメラ２２に
より行う構成としている。したがって、真空フレームと
なった状態でワークＷは位置ズレがない状態で露光され
ることになる。

【００５８】図１５で示すように、紫外線照射ステージ
Ｈ（図２参照）の構成は、紫外線ランプ３１および楕円
反射鏡３２からなる光源装置３３と、この光源装置３３
からの紫外線を所定方向に反射する平面反射鏡３４と、
この平面反射鏡３４で反射した紫外線の照度を整えるフ
ライアイレンズ３５と、このフライアイレンズ３５から
の紫外線を両露光ステージＣ，Ｆ（図２参照）の大反射
鏡２０ａ，７０ａに切り替えて反射する切替えミラー３
６とから成る。

【００５９】そして、図１５で示すように、紫外線照射
ステージＨ（図２参照）の光源装置３３から照射される
光軸の方向（矢印で示す）は、平面反射鏡３４の傾斜角
度α₁ を２５度に設定し、光源装置３３からの光軸の方
向が平面反射鏡３４から切替えミラー３６に立ち上がる
角度α₂ を５０度になるように設定している。したがっ
て、図１５で示すように、露光ステージＣ（図２参照）
の大反射鏡２０ａから反射する光は垂直方向に落下して
ワークＷを露光する。なお，光を反射する反射鏡など
は，所望の紫外線のみを反射するコールドミラーで構成
すると，紫外線ランプから発する不必要な赤外線などを
除くことができる。

【００６０】つぎに、図２ないし図３で示すように、第
１露光ステージＣおよび第２露光ステージＦには、おの
おのその上部位置に大反射鏡２０ａ（７０ａ）を備えて
いる。そして、図５で示すように、前記大反射鏡の直下
に上焼枠２３（４３）がアライメントステージＢ側に移
動可能に配置されている。また、二基ある内の一基の下
焼枠２４が、移動手段としての移動テーブル２６（４
６）に載置されている。さらに、前記移動テーブル２６
に露光済みワークＷを受け渡す昇降保持台２１（２１）
が移動テーブルの直下に設置されている。そして、この
移動テーブル２６は、図６および図７で示すように、ア
ライメントステージＢ（Ｅ）と露光ステージＣ（Ｆ）間
を、移動機構２７により移動自在に設置されている。

【００６１】図６および図７に示すように、前記移動テ
ーブル２６の構成は、コの字形の載置台２６ａと、この
載置台２６ａを支持する支持台２６ｃと、前記載置台２
６ａの内側位置に設けた、下焼枠２４の接続部４５に合
致する接合部２６ｅとからなる。そして、前記接合部２
６ｅは、環状のゴムパッドを上面側に備え、図示しない
エアーの吸引・排出動作を行うエアーポンプにホースな
どで連結されている。

【００６２】また、前記移動テーブル２６は、露光ステ
ージＢおよびアライメントステージＣ間に沿って設けた
エアーシリンダ２７ａおよびリニアガイド２７ｂ、支持
台２６ｃの車輪などの移動機構２７により両ステージ
Ｃ，Ｂ間を往復移動するよう構成されている。なお、前
記移動テーブル２６の移動に伴い、昇降保持台２１は、
降下した状態では、支持台２６ｃより低い位置になるよ
うに設置されているため、移動テーブル２６の移動を妨
げることはない。

【００６３】また、図５ないし図７で示すように、前記
昇降保持台２１の構成は、焼枠載置テーブル２１ａと、
この焼枠載置テーブル２１ａを昇降駆動するシリンダ装
置２１ｂと，前記焼枠載置テーブル２１ａの中央位置に
形成した一方の切欠部２１ｃから横方向に突設した接合
部２１ｄとを備えている。そして、前記接合部２１ｄ
は、上面に環状のゴムパッドを備え、図示しないエアー
の吸引・排出動作を行うエアーポンプにホースなどで連
結されている。また、この結合部２１ｄの設置位置は、
前記Ｘテーブル１１の接合部９ａの位置と離間した同位
置に設置されている。そのため、後述する下焼枠２４が
移動しても下焼枠２４の接続部４５と各接合部９ａ，２
１ｄが当接合致できるように構成されている。なお、各
接合部９ａ…は、下焼枠の当接部の突設寸法によって設
置高さを決めている。

【００６４】図９ないし図１１で示すように、前記下焼
枠２４の構成は、ワークＷを載置する複数の貫通孔２４
ｂを備える透光板２４ａと、この透光板２４ａに重ねて
取り付けた給出入孔２４ｄを形成した透光板２４ｅとか
ら成る。そして、前記透光板２４ａには、各貫通孔２４
ｂからの空気の流出入ができるように溝部２４ｃが形成
されている。また、前記透光板２４ｅの給出入孔２４ｄ
の位置には、前記接続部４５が複数（図面では２ヵ所、
図７参照）に設けられている。この接続部４５、４５
は、前記した各位置の接合部９ａ、２１ｄ，２６ｅと下
焼枠が移動するごとに当接合致する。

【００６５】前記下焼枠２４の接続部４５の構成は、図
９ないし図１１で示すように、ボール弁４５ｂが自由に
移動できる空間を備える接続部本体４５ａと、この接続
部本体４５ａの下部側に設けた前記ボール弁４５ｂの直
径より小さな径で形成された複数の開口孔４５ｃとから
なる。そして、前記接続部本体２６ａの下部には、ボー
ル弁４５ｂが納まる凹部４５ｄが形成されている。

【００６６】一方、上焼枠２３は、図７で示すように、
上焼枠２３の左右位置に、取り付け部２３ｎ，２３ｎを
介してエアーシリンダ２８ａおよびリニアガイド２８ｂ
などの移動機構２８により接続されてアライメントステ
ージＢおよび露光ステージＣ間を移動するように設けら
れている。

【００６７】そして、上焼枠２３の構成は、図８で示す
ように、透光板２３ａと、この透光板２３ａを挟持する
上下の枠体２３ｂ，２３ｃとから成る。また、前記透光
板２３ａの縁側には、ワークＷを真空吸着するための貫
通孔２３ｅ、２３ｅが穿設されており、ワーク当接面に
は、枠状に取り付けたシールゴム２３ｄを有している。
なお、マスクフィルムＭを真空吸着するための吸着溝２
３ｆ（図９参照）などの吸着機構をワーク当接面の透光
板２３ａおよび枠体２３ｂ側に備えている（ガラス乾板
を使用する場合は、マスクフィルムＭの吸着機構は必要
ない）。

【００６８】また、図８および図９で示すように、前記
枠体２３ｂには、真空吸着用の接続パット４０、４０
が、取付アーム４０ａを介して取り付けられている。こ
の接続パット４０、４０は、枠体２３ｂで透光板２３ａ
を挟持した際、前記透光板２３ａの貫通孔２３ｅ，２３
ｅに到来する位置に設置されている。そして、接続パッ
ト４０、４０に連結されているホース４１、４１は、前
記枠体２３ｂ側に取付具（図８参照）を介して取り付け
られている。また、図９で示すように、接続パット４０
は、透光板２３ａに当接するゴムなどの弾性部材で形成
した当接部４０ｂと、この当接部４０ｂを支持する部分
にスプリング４０ｃが取り付けられている。なお、上下
の枠体２３ｂ、２３ｃは、図示しない蝶番とは反対側端
部に設けた手回しボルトなどで止め付けられている。ま
た、図８で示す、ホース４１、４１は、上枠体２３ｂ内
に収納される構成としても良い。

【００６９】したがって、透光板２３ａを取り替える場
合は、手回しボルトを外せば、上枠体２３ｂが蝶番を支
点に上昇して開口できるため、透光板２３ａをスライド
して外し、所望の透光板２３ａを入れ換えることがで
き、容易に交換可能である。なお、マスクフィルムＭ
は、透光板２３ａの吸着溝２３ｆにより吸着する構成と
しているが、透光板２３ａにテープなどで止め付ける構
成としても構わない。

【００７０】上記したように、上下焼枠２３、２４は、
その真空吸着手段の接続部４５などの構成により、次の
ように、ワークＷが位置ズレが最小限で各ステージ間を
移動し、上下焼枠２３、２４に保持でき、あるいは、強
制的に離脱することができる。

【００７１】図６で示すように、アライメント整合台１
０側の接合部９ａからの吸引動作を停止するとほぼ同時
に、図９で示すように、上焼枠２３の接続パッド４０を
介して真空吸引すると、矢印で示すように透光板２３ａ
およびシールゴム２３ｄおよび下焼枠２４で囲まれた空
間の空気が吸引される。このとき、下焼枠２４の接続部
４５のボール弁４５ｂが、透光板２４ｅの貫通穴２４ｄ
側に吸い上げられ、貫通穴２４ｄを塞ぐことで、前記空
間の真空吸引が達成でき、ワークＷを上焼枠２３と下焼
枠２４間に挟持可能とする（アライメントステージＢか
ら露光ステージＣに移動の際）。

【００７２】そして、露光ステージＣから移動テーブル
２６にワークＷが受け渡される場合は、つぎの手順によ
る。図６および図１０で示すように、昇降保持台２１が
上昇し、その接合部２６ｅを下焼枠２４の一方の接続部
４５に当接合致させた後、上焼枠２３の真空吸着動作を
中止する。と同時に接合部２１ｄ側が吸引を開始する
と、図１０で示すように、接続部４５のボール弁４５ｂ
が透光板２４ｅの貫通穴２４ｄから解放され降下し、矢
印で示すように空気が、接続部本体４５ａの開口孔４５
ｃを介して吸引される。そして、ボール弁４５ｄは、接
続部本体４５ａの凹部４５ｄに嵌合して吸引動作を邪魔
することがない。そのため、ワークＷは、矢印で示す吸
引動作により、下焼枠２４の透光板２４ａに吸着保持さ
れる。

【００７３】また、昇降保持台２１から移動テーブル２
６に下焼枠２４を受け渡す場合は、図６および図７で示
すように、昇降保持台２１が降下して移動テーブル２６
の接合部２６ｅが下焼枠２４の他方の接続部４５に当接
合致した瞬間に接合部２６ｅ側からエアーの吸引を行う
と共に、今までエアーの吸引を行っていた昇降保持台２
１の接合部２１ｄのエアーの吸引を停止することによっ
て行われる。

【００７４】さらに、移動テーブル２６が移動後、下焼
枠２４を再びアライメント整合台１０に引き渡すと共
に、下焼枠２４からワークＷを離脱させる場合は、図６
に示すように、移動テーブル２６が下焼枠２４を保持し
た状態でアライメント整合台１０の位置に到来する。そ
して、アライメント整合台１０のＺ軸部１４を上昇させ
る。そして、Ｘテーブル１１の保持手段９にワークの下
面側が当接すると共に、接合部９ａに下焼枠２４の一方
の接続部が当接合致したとき、移動テーブル２６側の接
合部２６ｅの吸引動作を停止するとほぼ同時に、保持手
段９の吸引動作を行い、さらに接合部９ａからエアーの
吹き出しを行う。

【００７５】したがって、図１１の矢印で示すように、
送り込まれたエアーは、開口孔４５ｃから透光板２４ｅ
の貫通穴２４ｄを経て、透光板２４ａの各貫通孔２４ｂ
から噴出し、ワークＷを透光板２４ｅから強制的に離脱
させることができる。なお、上記エアーポンプのエアー
の吸引・吹き出し動作、および、各位置での切換え動作
は、図示しない電磁弁の作動により行われる構成として
いる。また、ステージＢ，Ｃ間とステージＥ，Ｆ間のワ
ークＷの移動、位置決め、露光するための構成は同じで
あるため、ステージＥ，Ｆ間の説明は省略する。

【００７６】また、露光作業がクリーンルームで行われ
るため、常に除湿されている状態となり、乾燥しすぎる
と、マスクフィルムＭ上面が変形破損の原因になると共
に、静電気が発生し易くなり、露光装置にとって、ワー
クの受け渡し時の不具合を起こす原因となる。そのた
め、図示してはいないが、各露光ステージＣ，Ｆには、
加湿器のノズルを突出させており、適切な湿度を保つよ
うに構成されている。そして、露光位置では、光源装置
３３からの紫外線その他の光線（赤外線など）などによ
り、上焼枠側が熱を持つため、マスクフィルムＭの変形
が起こり易い。そのため、上焼枠側を冷却するため、冷
風を吹きつける構成としている。さらに、静電気による
弊害を除去するために、帯電防止の手段を備えている。

【００７７】帯電防止手段としては、イオン化された空
気を吹きつける構成としている。すなわち、露光ステー
ジ側に向かって、ノズル（図示せず）を設置し、このノ
ズルからプラスとマイナスのイオン化された空気を吹き
つけることで、マスクフィルムＭおよびワークＷの密着
による静電気が帯電されているものを中和することがで
きる。

【００７８】次に、反転ステージＤの構成および動作を
説明する。アライメントステージＢから反転ステージＤ
にハンドラ２５により搬送されたワークＷは、表裏が反
転装置５０により反転される。図１７で示すように、反
転ステージＤの反転装置５０の構成は、ワークを吸着支
持する吸着パッド５２ａを有する支持アーム５２と、こ
の支持アーム５２の基端を取付板５３を介して回動自在
に支持する回動支持部５４と、この回動支持部５４を回
転駆動させる駆動モータ５５と、前記回動支持部５４お
よび駆動モータ５５を載置する支持台５６と、この支持
台５６を所定方向に移動させる移動機構としてのラック
５８、ピニオンおよびその駆動モータ５７、ガイド５９
とから成る。

【００７９】また、図１６および図１８に示すように、
前記反転装置５０の両側には、昇降テーブル５１、５１
が配置されている。この昇降テーブル５１は、ワークＷ
の載置テーブル５１ｄと、この載置テーブル５１ｄを昇
降駆動する駆動装置５１ｃとから構成されている。そし
て、前記載置テーブル５１ｄは、その上にワークＷを載
置した際、ワークＷの予備位置決めをプリアライメント
機構６３が行えるように、所定位置に切欠溝部５１ａ，
５１ｂを形成している。この切欠溝部５１ａ，５１ｂ
は、プリアライメント機構６３の各押動装置６１、６２
の押動突起６１ａ，６２ａの数に対応して形成されてい
る。なお、載置テーブル５１ｄは、予備位置決めおよび
ワークの載置が可能であれば、形状を問うものではな
い。

【００８０】前記プリアライメント機構６３は、図１６
で示すように、ワークＷを四方からワーク中心方向に押
動する押動装置６１、６２を備えている。前記押動装置
６１は、図１９で示すように、ワークＷの厚みに対応し
てワークを押動する押動部分と、この押動部分を移動さ
せる移動機構部分とから構成されている。そして、前記
押動部分は、基台６１ｅ上に左右対称に設けた、ワーク
Ｗに当接して押動する押動突起６１ａと、この押動突起
６１ａを支持する支持板６１ｂと、この支持板６１ｂを
回動自在に留め付ける支持ピン６１ｃと、前記支持板６
１ｂの後部側に設けたスプリング６１ｄとから構成され
ている。

【００８１】また、前記移動機構部分は、基台６１ｅを
支持する両脚部を有する架台６１ｎと、この架台６１ｎ
の一方の脚部に設けた車輪部６１ｐと、他方の脚部に設
けた駆動連結部６１ｑとを備えている。そして、この駆
動連結部６１ｑは、ガイド棒６１ｆを摺動自在に保持し
ている。さらに、前記ガイド棒６１ｆは、その両端に立
設した支持部６１ｇ，６１ｈに支持されている。また、
前記架台６１ｎの他方の脚部先端は、タイミングベルト
６１ｋに接続されている。そして、このタイミングベル
ト６１ｋは、駆動モータ６１ｊを備える一方のプーリ
と、他方のプリー６１ｍの間に懸け渡されている。

【００８２】したがって、駆動モータ６１ｊが、駆動し
てプーリを回転させタイミングベルト６１ｋを駆動させ
ると、このタイミングベルト６１ｋの駆動にしたがっ
て、押動部分がワークＷ側に移動し、駆動モータ６１ｊ
の反転駆動によりタイミングベルト６１ｊは、反転する
ため、押動装置６１の押動部分がワークＷから離間する
方向に移動する。

【００８３】また、押動突起６１ａを支持している支持
板６１ｂは、支持ピン６１ｃを支点として回動自在に取
り付けられ、その支持板６１ｃの後部側にスプリングが
伸長方向に付勢されている。そのため、ワークＷの厚み
が薄い場合でも、押動突起６１ａがワークを押動する際
に、ワークＷを必要以上の力で押して変形させることは
ない。

【００８４】なお、図１９で示す６１ｒは、押動突起６
１ａの上下方向の突出レベルがワークＷの予備位置決め
の動作以外で邪魔な場合に、基台６１ｅを上下動させる
ためのシリンダ装置である。

【００８５】また、押動装置６２は、図２０で示すよう
に、基台６２ｅの支持板６２ｂ、スプリング６２ｄおよ
び押動突起６２ａが、一つだけの構成としている以外
は、前記押動装置６１と同じ構成のため、説明は省略す
る。なお、押動装置６２の各アルファベットを付した符
号は、押動装置６１の各アルファベットの符号と対応し
ている。

【００８６】上記したプリアライメント機構６３は、搬
入ステージＡの所定位置に設置されるものと同じ構成と
している。そして、図２で示すように、搬入ステージＡ
のプリアライメント機構３は、その押動装置３ａ，３ｂ
および押動装置３ｃ，３ｄが上記した押動装置６１、６
１、６２、６２と同じ構成に形成されている。また、設
置位置により押動装置６１、３ａ…は、対面する押動装
置６１、３ａ…の駆動源を共有した構成とし、対面する
押動装置６１…の各プーリに掛け渡したタイミングベル
トに架台の一端をそれぞれ取り付けた構成としてもよ
い。

【００８７】なお、各ステージの作動開始・終了および
ワークＷの移動開始・終了、設置位置などは、図示しな
い各種センサにより行われており、また、各装置の動作
を制御する制御部は、予め入力された装置全体のプログ
ラムおよび加工データのプログラムなどを、図２で示す
キーボードから入力して記憶部に記憶している。

【００８８】上記した露光装置１を使用してワークＷの
表裏面を露光する際は、つぎの手順による。はじめに、
図１および図２で示すように、ワークＷの流れ、およ
び、作業位置の関係を説明する（なお、ワークＷ₁ から
ワークＷ₆ は、ワークＷの搬入順序を示すが図面では搬
入位置でのワークＷとしてのみ図示する）。ワークＷ₁
は、搬入ステージＡで予備位置決め後、ハンドラ１５に
より第１アライメントステージＢに搬送される（矢印
（イ）で示す）。そして、第１アライメントステージＢ
でアライメント作業中に、次のワークＷ₂ が搬入ステー
ジＡに配置される。

【００８９】アライメントが終了したワークＷ₁ は、露
光ステージＣに搬送される（矢印（ロ））。そして、搬
入ステージのワークＷ₂ は、ハンドラ１５により第１ア
ライメントステージＢに搬送され（矢印（あ））、アラ
イメント作業が行われる。

【００９０】このとき、搬入ステージにはワークＷ₃ が
配置され予備位置決めされる。そして、露光ステージＢ
で露光されたワークＷ₁ は、移動テーブル２６により第
１アライメントステージＢに搬送されると共に、第１ア
ライメントステージＢに位置しているアライメント済み
ワークＷ₂ が、露光ステージＣに搬送される（矢印
（い））。

【００９１】第１アライメントステージに戻った露光済
みワークＷ₁ は、ハンドラ２５により反転ステージＤに
搬送される（矢印（ニ））。そして、次のワークＷ
₃ は、ハンドラ１５により第１アライメントステージに
搬送されアライメント作業が行われる。このとき、第１
露光ステージＣでは、ワークＷ₂ が露光された後移動テ
ーブル２６に載置される。

【００９２】一方、反転ステージに搬送されたワークＷ
₁ は、表裏が反転され（矢印（ホ））、予備位置決めさ
れた後、ハンドラ６５により第２アライメントステージ
Ｅに搬送される（矢印（ヘ））。また、搬入ステージＡ
には、ワークＷ₄ が配置されている。

【００９３】そして、露光済みワークＷ₂ は、第１アラ
イメントステージＢに搬送される（矢印（う））と共
に、アライメント済みワークＷ₃ は、第１露光ステージ
Ｃに搬送される。さらに、第１アライメントステージＢ
のワークＷ₂ は、ハンドラ２５により反転ステージＤに
搬送される（矢印（え））と共に、搬入ステージのワー
クＷ₄ が、第１アライメントステージＢにハンドラ１５
により搬送される。

【００９４】また、ワークＷ₁ は、アライメント作業
後、第２露光ステージに搬送される（矢印（ト））。そ
して、ワークＷ₂ は、表裏反転され（矢印（お））、予
備位置決めされた後、第２アライメントステージＥに、
ハンドラ６５により搬送される（矢印（か））。このと
き、ワークＷ₅ が搬入ステージＡに配置される。ワーク
Ｗ₃ は、露光後、移動テーブル２６により第１アライメ
ントステージＢに搬送され、アライメント済みワークＷ
₄ は、第１露光ステージＣに搬送される。

【００９５】ワークＷ₁ は、露光後、第２アライメント
ステージＥに搬送され（矢印（チ））、アライメント済
みワークＷ₂ は、第２露光ステージＥに搬送される（矢
印（き））。そして、第１アライメントステージＢに位
置するワークＷ₃ は、ハンドラ２５により反転ステージ
Ｄに搬送されると共に、搬入ステージＡに位置している
ワークＷ₅ は、第１アライメントステージにハンドラ１
５により搬送される。

【００９６】また、第２アライメントステージに位置す
るワークＷ₁ は、ハンドラ７５により搬出ステージＧに
搬送され（矢印（リ））、反転ステージのワークＷ
₃ は、第２アライメントステージＥに搬送される。この
とき、搬入ステージＡには、ワークＷ₆ が配置される。
このように順次各ステージにワークＷを位置決め、搬
送、露光などの作業をしながら、ワークの表裏を露光し
ていく。なお、ワークＷの各位置での作業が的確に行わ
れない場合は、図３および図４の符号８９で示す表示灯
が点滅あるいは、警報をならし異常を知らせる構成とし
ている。

【００９７】このように、各ステージでは、常にワーク
が作業されており、生産性を高めることができる。つぎ
に、各ステージの各装置の作動を説明する。図２で示す
ように、搬入ステージＡのワークＷは、載置ローラ２が
駆動モータの駆動により回転して搬入ステージＡの所定
位置に設置される。そして、ワークＷが、所定位置に到
来すると、各載置ローラの間に設置されたプリアライメ
ント機構３の押動装置３ｃ，３ｄ、３ａ，３ｂは、ワー
クＷの中心点に向かって、ワークＷの四方から押動す
る。そのためワークＷは、そのワーク中心点側に予備位
置決めされる。ワークＷの予備位置決めが終了した時点
で、必要があれば、各押動装置の押動突起部分をシリン
ダ装置６１ｒ、６２ｒの駆動により降下させる（図１
９、図２０参照）。

【００９８】ワークＷの予備位置決めが終了すると、ハ
ンドラ１５は、降下しての吸着部１５ａにワークＷを吸
着して上昇し、アライメントステージＢにワークＷを搬
送する。そして、ハンドラ１５が降下して吸着部１５ａ
が、ワークＷを、アライメント整合台１０上の一方の下
焼枠２４の上に載置する。

【００９９】下焼枠２４に載置されたワークＷは、下焼
枠２４に真空吸着されて保持され（図１０参照）、図５
で示すように、ＣＣＤカメラ２２によりワークＷの位置
決めマーク（貫通孔、図示せず）が撮像される、このと
き、アライメント整合台１０に設置した発光テーブル
６，６が黄色の光を発して、ワークＷの位置決めマーク
の確認を正確かつ容易にしている（図６参照）。図５で
示すように、ＣＣＤカメラ２２により撮像されたワーク
の位置決めマークは、制御部８６で確認される。

【０１００】そして、位置ズレが無い場合は、露光ステ
ージＣに位置している上焼枠２３が、アライメント整合
台１０の位置に移動機構２８により搬送されて来る。上
焼枠２３がアライメント整合台１０上に到来すると、図
５で示すように、アライメント整合台１０のＺ軸部１４
が仮想線で示すように、下焼枠２４を上昇させて、上焼
枠２３とワークＷを当接させ、下焼枠２４側の真空吸着
を解除する。そこで、上焼枠２３の真空吸着作動によ
り、下焼枠２４およびワークＷを真空吸着する（図９の
状態）。

【０１０１】ＣＣＤカメラ２２は、ワークＷが上下焼枠
２３、２４で固定された状態で再度位置ズレの確認を行
い、適正であれば、上焼枠２３の移動機構２８により露
光ステージＣにワークＷおよび下焼枠２４ごと搬送す
る。

【０１０２】なお、上下焼枠２３、２４でワークＷを保
持した後に、位置ズレが生じた場合は、Ｚ軸部１４が上
昇して下焼枠２４を保持（ワークも保持）する。そし
て、上焼枠２３の真空吸着を解除すると共に、アライメ
ント整合台１０のＺ軸部１４を降下させ、上焼枠２３を
露光ステージＣに移動手段で移動させ、再びアライメン
ト作業をＣＣＤカメラ２２を介して行う。

【０１０３】一方、位置決めが完了し上焼枠２３によっ
てワークＷ、下焼枠２４が露光ステージＣに搬送される
と、図５で示すように、露光ステージに配置している移
動テーブル２６は、他方の下焼枠２４を載置台２６ａに
載置しており、移動機構２７により第１アライメントス
テージＢのアライメント整合台１０側に、その他方の下
焼枠２４を搬送する。そして、移動テーブル２６は、再
び、露光ステージＣ側に移動機構２７により搬送され
る。

【０１０４】なお、図５ないし図７で示すように、移動
テーブル２６からアライメント整合台１０に下焼枠２４
を受け渡す場合は、移動テーブル２６に載置されたワー
クの下面位置より、アライメント整合台１０のワーク載
置面位置のレベルが低く設置されているため、移動テー
ブル２６に載置されたワークＷが、アライメント整合台
１０の直上に移動された後、アライメント整合台１０
は、Ｚ軸部１４をやや上昇させワークＷをＸテーブル１
１の保持手段９などにより下焼枠２４を吸着保持する。
そして、アライメント整合台１０がやや上昇している間
に、移動テーブル２６は、再び、露光ステージＣ側に搬
送されて行く。移動テーブル２６が移動すると、アライ
メント整合台１０は、Ｚ軸部１４を降下させて次のワー
クＷの到来を待機している。

【０１０５】つぎに、ワークＷがアライメントステージ
Ｂから露光ステージＣに移動すると、紫外線照射ステー
ジＨの光源装置３３から紫外線が照射される。そして、
図４および図１５で示すように、紫外線は、反射鏡３
４、フライアイレンズ３５および切替えミラー３６を介
して大反射鏡２０ａに導かれる。さらに、大反射鏡２０
ａから垂直光が、上下焼枠２３、２４で挟持されている
ワークＷに照射して露光作業が行われる。したがって、
光源装置から照射された光軸の方向は、切替えミラー３
６までは、垂直面に沿って進行し、切替えミラー３６か
らは、垂直面から角度をもって進行する。そのため、光
源装置３３からワークＷまでが、狭い範囲に収納されて
いても、投射露光を可能としている。

【０１０６】図５で示すように、ワークＷの一方面が露
光されると、露光ステージＣに位置している昇降保持台
２１の焼枠載置テーブル２１ａがシリンダ装置２１ｂの
作動により上昇して下焼枠２４の下面側に当接する。そ
して、上焼枠の真空吸着が解除され、ワークＷは、下焼
枠２４に真空吸着された状態で（図９から図１０の状
態）、焼枠載置テーブル２１ａがシリンダ装置２１ｂの
作動により降下し、移動テーブル２６の載置台２６ａに
受け渡される。さらに、移動テーブル２６は、下焼枠２
４を載置した状態で、移動機構２７により再びアライメ
ントステージＢに移動する。移動テーブル２６により搬
送されるワークＷを保持した下焼枠２４は、移動機構２
７により、アライメント整合台１０のＸテーブル１１上
の所定位置に常に搬送される。

【０１０７】Ｘテーブル１１上に到来した下焼枠２４
は、Ｘテーブル１１の保持手段９により保持される。そ
して、下焼枠２４に真空吸着されているワークＷは、下
焼枠２４の接続部４５と当接合致している接合部９ａ側
から、エアーを吹き出すことにより、（図１１参照）下
焼枠２４の透光板２４ａから離脱する。その後、ワーク
Ｗは、ハンドラ２５により反転ステージに搬送される。
なお、ワークＷがズレることなく真空吸着された状態で
の各ステージ間に受け渡される詳細は、前記したので省
略している。

【０１０８】つぎに、図１８（ａ），（ｂ），（ｃ）で
示すように、反転ステージＤに到来したワークＷは、ワ
ークを保持しているハンドラ２５が降下し、上昇してき
た昇降テーブル５１の載置テーブル５１ｄに受け渡す。
そして、ワークＷを載置した昇降テーブル５１が降下
し、反転装置５０の支持アーム５２の吸着パッド５２ａ
にワークＷを吸着させることで受け渡す（図１８（ａ）
の状態）。

【０１０９】そして、支持アーム５２を支持する回動支
持部５４を駆動モータ５５の駆動により回動させ、ワー
クを保持したまま支持アーム５２を直立させると共に、
ガイド５９およびラック５８に沿って、駆動モータ５７
の駆動によりピニオン５７を回転させて、全体をラック
５８の一端から他端側まで移動させる（図１８（ｂ）か
ら（ｃ）の実線状態）。

【０１１０】さらに、移動端部で連続して駆動モータ５
４を駆動させ、ワークＷを保持している支持アームを矢
印の方向に回動させ、昇降テーブル５１の載置台５１ｄ
に表裏反転したワークＷを載置して、支持アーム５２の
吸着パッド５２ａの真空吸着を解除する（図１８（ｃ）
の仮想線の状態）。したがって、ワークＷは、その表裏
が反転される。

【０１１１】また、ワークＷを表裏反転した反転装置５
０は、支持アームを図１８（ｃ）の実線で示すように直
立させた状態に作動する。そして、プリアライメント機
構６３によりワークＷの予備位置決め作業が行われる。
この予備位置決め作業は、図１６で示すように、各押動
装置６１、６２が、実線から仮想線の位置に移動してワ
ークＷの四方からワークＷの中心側にワークＷを押動し
て位置決めする。この作業は、図１９および図２０で示
すように、各押動装置６１、６２の駆動モータ６１ｊ、
６２ｊを駆動させ、タイミングベルト６１を回動させる
ことで、各押動装置６１、６２をワークＷ側に移動させ
て行うものである。

【０１１２】予備位置決めが終了したワークＷは、昇降
テーブル５１の上昇と、ハンドラ６５の下降によりハン
ドラ６５の吸着部６５ａに吸着され、ハンドラ６５が上
昇して、第２アライメントステージＥに搬送されること
になる。なお、アライメント作業および露光作業は、前
記第１アライメントステージＢおよび第１露光ステージ
Ｃで説明した動作を繰り返し行いワークＷの裏面が露光
される。そして、両面が露光されたワークＷは、第２ア
ライメントステージＥからハンドラ７５により搬出ステ
ージＧに搬出される。したがって、ワークＷの表裏が露
光され、一連の露光作業が終了する。

【０１１３】なお、この発明は、上記した実施例に限ら
れるものではなく、例えば、二基の下焼枠と一基の上焼
枠の構成では、露光ステージとアライメントステージと
が同一にある露光装置に使用することも可能である。図
２２で示すように、露光装置１４０は、搬入ステージ１
４１と、露光アライメントステージ１４２と、搬出ステ
ージ１４３とから構成され、真空フレームの上焼枠１４
４ａと、下焼枠１４４ｂとが分離して設置され、アライ
メント整合台１４５の上昇により合体して真空フレーム
となる構成としている。そして、下焼枠１４４ｂ、１４
４ｂは、アライメント整合台１４５の上と、搬出側（次
作業位置）に配置されている。

【０１１４】したがって、送りローラ１４６により搬入
ステージに到来したワークＷは、ハンドラ１４７により
吸着され、下焼枠１４４ｂ上に載置される。そして、撮
像カメラ１４８により位置決めマークが確認されると共
に、位置決めが行われる。さらに、アライメント整合台
１４５の上昇により、上下焼枠１４４ａ，１４４ｂが合
体した状態で再び撮像カメラ１４８により確認され、適
正であれば露光作業が行われる。

【０１１５】一方、降下したアライメント整合台１４５
は、搬送側に設置されている他の下焼枠１４４ｂを載置
可能としている。そのため、搬送手段（図面では送りロ
ーラ１４９の駆動を図示しているが、下焼枠の両側を保
持して搬送する搬送ハンドラなどその他の構成でもよ
い）により搬出位置にある他の下焼枠１４４ｂを搬送し
てアライメント整合台１４５の上に載置する。そして、
ハンドラ１４７によりつぎのワークを下焼枠１４４ｂの
上に載置する。

【０１１６】また、露光済みワークは、上焼枠１４４ａ
が搬送手段（図示せず）により搬出側に移動してワーク
Ｗを下焼枠１４４ｂに保持した状態で送りローラ１４９
上に昇降手段（図示せず）などを介して載置する（上焼
枠が移動しない場合は、上記搬送ハンドラなどの搬送手
段により、ワークと下焼枠が搬送される）。そして、搬
出口側に移動していたハンドラ１５０が到来してワーク
を吸着し、搬出搬送する。したがって、上焼枠と二基の
下焼枠の構成がワークの露光作業効率を向上することが
できる。

【０１１７】また、前記大反射鏡は、ワークＷが求める
露光精度により、平面反射鏡を使用したり、垂直光を反
射する放物面鏡、疑似球面鏡あるいは擬似放物面鏡であ
っても構わない。そして、光源装置３３は、隣接する露
光ステージＣ，Ｆ側に開閉扉を形成し、スライドレー
ル、移動機構などにより各露光ステージＣ，Ｆ側に移動
可能な構成としても良い。したがって、必要に応じて露
光ステージＣ，Ｆ側に移動させ、その位置で、紫外線照
射をしてワークを露光することを可能とする。そのた
め、ワークから光源までが、狭い範囲に設置されていて
も、投射露光を可能としている。

【０１１８】また、下焼枠の接続部４５は、開口孔４５
ｃが、エアーの送り込み、吸引動作の際、ボール弁でそ
の開口孔４５ｃを塞ぐことがない構成であればよいた
め、例えば、開口孔４５ｃの近傍に突起を設け、この突
起が、ボール弁で開口孔を塞ぐことができない構成とす
ることでも良い。

【０１１９】また、図２３に示すように、接続部４５′
の構成は、下焼枠の透光板に当接する側に、開口部４５
ｆを設けた取付板４５ｅを接続部本体４５′に設け、他
方の開口孔４５ｃ₁ を実線で示すように側面側に設けた
構成とすることや、他方の開口孔４５ｃ₂ を仮想線で示
すように傾斜させて側面側に設けることにしても良い。
この際、各位置の接続部４５′の構成は、垂直断面形状
がコ字形に形成され、接続部の開口孔４５ｃ₁ にエアー
の吸引・送り出し動作ができるように開口が形成される
構成としている。

【０１２０】さらに、図２４で示すように、接続部を下
焼枠の透光板２４ｅ′の板厚内に埋設する構成としても
よく、接続部の各構成は、上記したようにボール弁４５
ｂ′と、接続部本体４５ａ′と、複数の開口孔４５ｃ′
と、傾斜面２４ｄ′を有する開口部などから成る。

【０１２１】また、図２１に示すように、上焼枠の構成
は、上フレーム２３ｂ′と、透光板２３ａ′と、下フレ
ーム２３ｃ′とから成るようにしても良く。そして、上
フレーム２３ｂ′には、真空吸着用の接続パット４
０′、４０′が設けられている。なお、下フレーム２３
ｃ′には、上フレーム２３ｂ′と嵌合する嵌合ピン２３
ｇが設けられいる。そして、このピン２３ｇの反対側端
部に設けた止付部分により、上下のフレーム２３ｃ′、
２３ｂ′を透光板２３ａ′を間にして一体に止め付けて
いる。なお、接続パット４０、その他の構成は、前記し
た上焼枠と同じ構成としている。

【０１２２】したがって、上下方向にフレームを移動さ
せることで、上焼枠の透光板が容易に取り外し可能とな
り、透光板を自動装置により取り替えする場合には最適
な構造とすることになる。なお，透光板は上フレームの
みで保持可能な構成，例えば，透光板の側面周囲に縁枠
を取り付け，この縁枠を上フレームに設けた爪部で着脱
自在に保持する構成にすることでも良い。したがって，
上焼枠の構成は，上フレームと透光板のみで構成でき
る。

【０１２３】また、露光ステージに設けられている昇降
保持台（２１）は、移動テーブル（２６）の載置台（２
６ａ）と支持台（２６ｃ）の間に一体に設けた構成と
し、移動テーブルが、アライメント整合台側に移動した
際、邪魔にならない形状、例えばコ字形（載置台より小
さな形状）として構成しても良い。

【０１２４】そして、図２５（ａ）（ｂ）で示すよう
に、上焼枠２３がアライメント終了後のワークＷおよび
下焼枠２４を吸着保持して露光ステージに搬送する場合
は、上焼枠２３側の真空吸着手段によりワークＷおよび
下焼枠２４を保持するが、予期せぬ原因により（例えば
停電、故障など）、真空吸着状態が解除されてワークＷ
ごと下焼枠２４を落下させない構成としても良い。その
ため、保持補助手段１９、１９を上焼枠２３側に設けた
構成としている。

【０１２５】この保持補助手段１９は、上焼枠２３側に
設けた本体部１９ａと、この本体部１９ａから水平方向
に出没自在に設けた支持部１９ｂなどから構成されてい
る。そのため、下焼枠２４をワークＷごと上焼枠２３の
接続パット４０などの吸着手段で吸着保持すると、左右
の保持補助手段１９、１９の支持部１９ｂ．１９ｂが下
焼枠２４の中心方向に突出して、下焼枠２４の下面側を
当接支持する。したがって、上焼枠２３の吸着手段が途
中で停止しても、保持補助手段１９により下焼枠２４お
よびワークＷは、落下することはない。なお、上焼枠２
３が下焼枠２４およびワークＷを適切に搬送し、露光終
了後、保持補助手段１９の支持部１９ｂを没入して解除
し、下焼枠２４が上焼枠２３と分離可能な状態になる構
成としている。

【０１２６】また、上焼枠は、ワークおよび下焼枠の保
持手段として上記した保持補助手段を複数取り付けて代
わりとしても構わない（この場合、下焼枠の構成は、ボ
ールＦを接続部に必要としない構成で足りる）こと等、
この発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変更
ができることは勿論である。

【０１２７】

【発明の効果】以上に述べたごとく本発明は次の優れた
効果を発揮する。 (1) 露光装置は、各ステージの配置および装置を所定の
構成にしているため、露光作業が行われるクリーンルー
ムの作業位置を従来の露光装置に比べ４０パーセント以
上縮小することができる。また、一基の上焼枠と二基の
下焼枠が各位置 で分離・合体を繰り返し、ワークを位置
決め・搬送・露光などの作業を行っており、ワークの処
理能力を向上させることができる。さらに、ワークを保
持する下焼枠は、下焼枠の接続部と、各位置に設置した
接合部が当接合体してエアーポンプの吸引・排出作業を
可能にしているため、下焼枠上のワークは位置ズレをお
こすことが無い。そして、直線方向に配置した各ステー
ジ間では、ワークをハンドラにより搬送する構成として
いるため、ワークの処理能力のさらなる向上を図ること
ができる。

【０１２８】 (2) 露光装置は、一つの光源装置により、
ワークの両面を露光するため、装置の構成が小さくて済
み、消費電力も半減することができる。

【０１２９】 (3) ワークを吸引して搬送する下焼枠は、
接続部を備えているためワークと下焼枠の透光板に吸引
保持すると共に、強制的に離脱することができ、作業性
の向上を可能とする。また、露光装置の構成上複数（二
基以上）の下焼枠を使用する場合となっても対応するこ
とができる。

【０１３０】 (4) ワークを反転する反転ステージは、プ
リアライメント機構、ワークの反転装置を備えているた
め、作業スペースを取ることなくワークの表裏を反転す
ることができる。

【０１３１】 (5) 反転ステージで使用される反転装置
は、ワークを吸着支持アームで支持し、回動支持部を回
動させながら、移動機構により回動支持部を移動端まで
移動させ、ワークの表裏反転を行うため、反転作業が的
確で、また作業スペースをとることがない。

【０１３２】 (6) 紫外線照射ステージは、光源装置から
の紫外線を平面反射鏡、フライアイレンズを経て、左右
に紫外線の方向を切り替える切替えミラーを介して各露
光ステージに照射しているため、光源からワークまでの
紫外線の照射距離が短くなり、装置の小型化、ワークの
露光作業の時間的促進を図ることができる。

【０１３３】 (7) ハンドラは、当接部のワーク当接面よ
り内側に吸着パッドの下端を設置しているため、ワーク
の厚みが薄い場合でもワークを吸着力で変形することな
く保持して搬送することができる。

【０１３４】 (8) アライメント整合台は、下焼枠を分離
保持自在とし、下焼枠のワーク当接面から連通した接続
部に合致する接合部を備えているため、下焼枠上ワーク
のアライメント作業および露光済みワークを保持してい
る下焼枠からワークの分離を容易にすることが可能であ
る。

【０１３５】 (9) 上下焼枠で構成される真空フレーム
は、ワークの位置決め確認作業および露光作業中は、ワ
ークを挟持して真空フレームの状態で作業し、位置決め
作業および露光済みワークの搬送は、２基の下焼枠に載
置した状態で行われるため、ワークの位置決めおよび露
光作業が効率良く行える。さらに、２基の下焼枠と１基
の上焼枠から構成される真空フレームは、２基の下焼枠
が露光位置およびアライメント位置を順次往復するた
め、露光装置の露光ステージおよびアライメントステー
ジの位置にかからわず、作業効率を高めることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の露光装置の全体およびワークの作業
順序を示す原理図である。

【図２】この発明の露光装置の全体を示す平面図であ
る。

【図３】この発明の露光装置の全体を示す正面図であ
る。

【図４】この発明の露光装置の側面図である。

【図５】この発明のアライメントステージおよび露光ス
テージの状態を示す原理図である。

【図６】この発明のアライメントステージおよび露光ス
テージ間を移動する下焼枠を示す平面図である。

【図７】この発明の露光ステージ位置での上下焼枠、移
動テーブルおよびおのおの搬送手段を示す一部断面図で
ある。

【図８】この発明の上焼枠の構成を示す斜視図である。

【図９】この発明の上下焼枠の吸着状態を示す要部の断
面図である。

【図１０】この発明の下焼枠の要部の断面図である。

【図１１】この発明の下焼枠の要部の断面図である。

【図１２】この発明のハンドラの全体を示す斜視図であ
る。

【図１３】この発明のハンドラの吸着部を示す斜視図で
ある。

【図１４】この発明のハンドラの吸着部の断面図であ
る。

【図１５】この発明の紫外線照射ステージの構成を示す
斜視図である。

【図１６】この発明の反転ステージの配置を示す斜視図
である。

【図１７】この発明の反転装置の全体を示す斜視図であ
る。

【図１８】（ａ），（ｂ），（ｃ）は、この発明の反転
ステージの反転動作を示す側面図である。

【図１９】この発明のプリアライメント機構の押動装置
を示す斜視図である。

【図２０】この発明のプリアライメント機構の押動装置
を示す斜視図である。

【図２１】この発明の上焼枠の応用例を示す分解斜視図
である。

【図２２】この発明の上下焼枠の応用例を示す原理図で
ある。

【図２３】この発明の下焼枠の接続部の応用例を示す要
部の断面図である。

【図２４】この発明の下焼枠の接続部の応用例を示す要
部の断面図である。

【図２５】（ａ），（ｂ）は、この発明の上下焼枠の接
続状態を現わす平面図および側面図である。

【図２６】従来の露光装置の全体を示す原理図である。

【図２７】従来の下焼枠の一部を示す斜視図である。

【図２８】従来の上焼枠の全体を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 露光装置 Ａ 搬入ステージ Ｂ 第１アライメントステージ Ｃ 第１露光ステージ Ｄ 反転ステージ Ｅ 第２アライメントステージ Ｆ 第２露光ステージ Ｇ 搬出ステージ Ｈ 紫外線照射ステージ ３、６３ プリアライメント機構 ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，６１，６２ 押動装置 ９ 保持手段 ９ａ 接合部 １９ 保持補助手段 １０、６０ アライメント整合台 １５、２５、６５、７５ ハンドラ １５ｂ 吸着パッド １５ｆ 当接部 ２１ 昇降保持台 ２１ｄ 接合部 ２３ 上焼枠 ２３ａ 透光板 ２３ｂ，２３ｃ 上焼枠の上下のフレーム ２４ 下焼枠 ２６ 移動テーブル（移動手段） ２６ｅ 接合部 ２７、４７ 下焼枠の移動機構（搬送手段） ２８、４８ 上焼枠の移動機構（搬送手段） ３３ 光源装置 ３４ 平面反射鏡 ３５ フライアイレンズ ３６ 切替えミラー ４０ 接続パット ４５ 接続部 ４５ａ 接続部本体 ４５ｂ ボール弁 ４５ｆ 一側の開口孔 ４５ｃ，４５ｃ₁ ，４５ｃ₂ 他側の開口孔 ５０ 反転装置 ５１ 昇降テーブル ５２ 吸着支持アーム ５４ 回動支持部 ５７ ピニオンおよび駆動モータ ５８ ラック ５９ ガイド

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−184821（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−7635（ＪＰ，Ａ) 特公 昭55−40859（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G03F 9/00 G03F 7/20 H01L 21/30

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】下焼枠に保持したワークを適正位置に移動
   させ位置決めするアライメント整合台、および、適正位
   置を確認する撮像カメラを備える第１アライメントステ
   ージと、位置決め済みワークを露光する第１露光ステー
   ジと、露光済みワークの表裏を反転する反転ステージ
   と、前記反転ステージで表裏反転した下焼枠上のワーク
   を適正位置に移動させ位置決めするアライメント整合
   台、および、適正位置を確認する撮像カメラを備える第
   ２アライメントステージと、位置決め済みワークを露光
   する第２露光ステージを備え、 前記第１アライメントステージ、反転ステージ、第２ア
   ライメントステージを直線方向に配設し、前記第１およ
   び第２露光ステージのそれぞれは、直線方向に配置した
   前記各ステージに対し直交する方向で、前記第１および
   第２アライメントステージのそれぞれに隣接して配設
   し、前記第１および第２露光ステージ間に紫外線照射ス
   テージを備え、 前記第１アライメントステージから第２アライメントス
   テージの直線位置には、ワークを搬送するハンドラを複
   数備えており、前記両アライメントステージおよび露光ステージ間で
   は、ワークを保持して位置決め、搬送、露光を行う前記
   真空フレームを備え、前記真空フレームは、分離合体可
   能な二基の下焼枠と一基の上焼枠から構成され、ワーク
   の位置決め作業、および、露光済みワークの搬送は、真
   空フレームが分離し、下焼枠にワークを保持して行われ
   る ことを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 ワークを搬入する搬入ステージ、前記第１
   アライメントステージ、反転ステージ、第２アライメン
   トステージおよびワークを搬出する搬出ステージ間のワ
   ークを移動させるハンドラを備え、前記ハンドラは、ワ
   ーク当接側に形成した平面状の当接部と、この当接部に
   穿設して取り付けた吸着パッドを備え、前記吸着パッド
   の下端が、当接部のワーク当接面と同一もしくは当接面
   より内側に設けたワー クの吸着保持装置を備える請求項
   １に記載の露光装置。
3. 【請求項３】 前記紫外線照射ステージは、紫外線照射ラ
   ンプおよび楕円反射鏡からなる光源装置と、この光源装
   置からの紫外線を所定方向に反射する平面反射鏡と、前
   記光源装置からの紫外線の光路に設置される紫外線の照
   度分布を整えるフライアイレンズと、前記第１および第
   ２露光ステージ側に紫外線を切り替え照射する切替えミ
   ラーとを有する紫外線照射装置を備える請求項１に記載
   の露光装置。
4. 【請求項４】 前記アライメント整合台は、ワーク当接面
   にワークの吸引保持手段を備えると共に、下焼枠のワー
   ク接続部に合致する接合部を備え、 前記アライメント整合台は、ワークを保持する下焼枠を
   各方向に移動するＸ，Ｙ，θの各テーブルを備え、 前記ＸテーブルおよびＹテーブルは、平面で直交する一
   方と他方に移動自在に設け、前記θテーブルは、垂直線
   を中心に回動する方向に回動自在に設け、 前記アライメント整合台のワーク当接面を上下に移動さ
   せる昇降機構とからなることを特徴とするアライメント
   整合台を備える請求項１または２に記載の露光装置。
5. 【請求項５】 前記反転ステージは、ワークを載置して昇
   降駆動する昇降テーブルと、この昇降テーブルからワー
   クを受け取り保持してワークの表裏を反転する反転装置
   と、前記昇降テーブル上の反転済みワークの予備位置決
   めを行うプリアライメント機構を備える請求項１または
   ２に記載の露光装置。
6. 【請求項６】 前記反転装置は、ワークを吸着支持する吸
   着支持アームと、この吸着支持アームの一端を支持し回
   動させる回動支持部と、この回動支持部を往復移動させ
   る移動機構とからなる反転装置を備える請求項５に記載
   の露光装置。
7. 【請求項７】 両面を露光するワークの一方面を予備位置
   決め機構により予備位置決めする第１工程と、予備位置
   決め済みワークを下焼枠上に保持し、第１アライメント
   整合台および撮像カメラにより位置決めを行う第２工程
   と、位置決め済みワークを下焼枠ごと上焼枠に保持し位
   置決め確認したのち露光位置に搬送して露光を行う第３
   工程と、露光済みワークを下焼枠ごと受け取り搬送手段
   により第１アライメント整合台上に搬送する第４工程
   と、第１アライメント整合台上のワークをハンドラによ
   り反転機に受け渡す第５工程と、ワークを受け取った反
   転機がワークの表裏を反転すると共に、予備位置決め機
   構により予備位置決めする第６工程と、予備位置決め済
   みワークを下焼枠上に保持し、第２アライメント整合台
   および撮像カメラにより位置決めを行う第７工程と、位
   置決め済みワークを下焼枠ごと上焼枠に保持し位置決め
   確認したのち露光位置に搬送して露光する第８工程と、
   露光済みワークを下焼枠に保持した状態で受け取り搬送
   手段により第２アライメント整合台上に搬送する第９工
   程と、アライメント整合台上の両面露光済みワークを搬
   出する第１０工程とからなるワークの露光方法。
8. 【請求項８】 露光済みワークを受け取り保持し、保持し
   たワークの一端側を基準としてワークの他端側を垂直方
   向に立ち上げると共に、基準となる一端側を水平方向に
   移動させ、ワークの他端側を水平位置に降下させること
   でワークを反転するワークの反転方法を備える請求項７
   に記載のワークの露光方法。