JPH09198641A - 磁気記録媒体 - Google Patents
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- Y10T428/265—1 mil or less
Abstract
(57)【要約】
【課題】磁性層に高保磁力材料（ＣｏＣｒＰｔ系，Ｃｏ
ＮｉＣｒＴａ系，ＣｏＣｒＴａＰｔ系合金）を用いて、
高保磁力(2400 Oe≦Ｈc ≦3200) かつ、低ノイズしかも
高保磁力角形比(0.80 以上0.95以下) の磁気記録媒体を
提供する。 【解決手段】Ａｌ−Ｍｇ基体１上にＮｉ−Ｐメッキ層２
を形成し、下地層３，多層膜磁性層７，保護層５，潤滑
層６を順次積層した磁気記録媒体において、磁性膜７ａ
に高保磁力材料（ＣｏＣｒＰｔ系，ＣｏＮｉＣｒＴａ
系，ＣｏＣｒＴａＰｔ系合金）を用い、これをＣｒ−Ｘ
（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ）合金からなる中間層７ｂ
を介して２〜６層に積層形成する。
ＮｉＣｒＴａ系，ＣｏＣｒＴａＰｔ系合金）を用いて、
高保磁力(2400 Oe≦Ｈc ≦3200) かつ、低ノイズしかも
高保磁力角形比(0.80 以上0.95以下) の磁気記録媒体を
提供する。 【解決手段】Ａｌ−Ｍｇ基体１上にＮｉ−Ｐメッキ層２
を形成し、下地層３，多層膜磁性層７，保護層５，潤滑
層６を順次積層した磁気記録媒体において、磁性膜７ａ
に高保磁力材料（ＣｏＣｒＰｔ系，ＣｏＮｉＣｒＴａ
系，ＣｏＣｒＴａＰｔ系合金）を用い、これをＣｒ−Ｘ
（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ）合金からなる中間層７ｂ
を介して２〜６層に積層形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピューターの
外部記憶装置に搭載されるハードディスク等の磁気記録
媒体及びその製造方法に関し、特に、多層膜磁性層を備
えた磁気記録媒体及びその製造方法に関する。
外部記憶装置に搭載されるハードディスク等の磁気記録
媒体及びその製造方法に関し、特に、多層膜磁性層を備
えた磁気記録媒体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピューター用磁気記録媒体は
高記録密度化の進展が激しく、高記録密度の磁気記録媒
体には高保磁力（Ｈｃ）と低ノイズが要求されている。
図９は従来の一般的な磁気記録媒体の断面構造を示す断
面図である。この磁気記録媒体は、Ａｌ−Ｍｇ合金基体
１の上にＮｉ−Ｐメッキ層２を形成し、そのメッキ層２
を機械加工により鏡面仕上げをしたのち、微小凹凸（テ
クスチャー）を施して基板を形成し、その基板上にスパ
ッタ法により下地Ｃｒ層３，磁性層４，保護層５を順次
成膜した後、最後に潤滑層６を塗布したものである。磁
性層４としては例えば単層膜構造のＣｏＣｒＴａ系合金
膜が形成されている。
高記録密度化の進展が激しく、高記録密度の磁気記録媒
体には高保磁力（Ｈｃ）と低ノイズが要求されている。
図９は従来の一般的な磁気記録媒体の断面構造を示す断
面図である。この磁気記録媒体は、Ａｌ−Ｍｇ合金基体
１の上にＮｉ−Ｐメッキ層２を形成し、そのメッキ層２
を機械加工により鏡面仕上げをしたのち、微小凹凸（テ
クスチャー）を施して基板を形成し、その基板上にスパ
ッタ法により下地Ｃｒ層３，磁性層４，保護層５を順次
成膜した後、最後に潤滑層６を塗布したものである。磁
性層４としては例えば単層膜構造のＣｏＣｒＴａ系合金
膜が形成されている。
【０００３】磁性層４として単層膜構造のＣｏＣｒＴａ
系合金を用いた磁気記録媒体は、低ノイズ媒体であるも
のの、保磁力Ｈｃは２２００Ｏe が限界である。これに
対して高保磁力の磁性材料としてはＣｏＣｒＰｔ系，Ｃ
ｏＮｉＣｒＴａ系，ＣｏＣｒＴａＰｔ系があるが、Ｃｏ
ＣｒＴａ系に比べてノイズが高く、そのままでは今後の
高記録密度化に対応することは困難である。
系合金を用いた磁気記録媒体は、低ノイズ媒体であるも
のの、保磁力Ｈｃは２２００Ｏe が限界である。これに
対して高保磁力の磁性材料としてはＣｏＣｒＰｔ系，Ｃ
ｏＮｉＣｒＴａ系，ＣｏＣｒＴａＰｔ系があるが、Ｃｏ
ＣｒＴａ系に比べてノイズが高く、そのままでは今後の
高記録密度化に対応することは困難である。
【０００４】そこでこれらの課題を解決するため、本発
明の発明者らにより、上記高保磁力磁性材料を用いた磁
性層４を単層構造ではなく、非磁性中間膜を介して積層
されてなる多層構造とする研究がなされてきた。
明の発明者らにより、上記高保磁力磁性材料を用いた磁
性層４を単層構造ではなく、非磁性中間膜を介して積層
されてなる多層構造とする研究がなされてきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この多層膜磁性層によ
り、高保磁力かつ低ノイズな媒体を提供することが可能
となった。しかし、多層膜磁性層は各層が薄く、非磁性
中間層と磁性層の結晶格子ミスマッチによる結晶配向性
が不十分であるため、保磁力角形比Ｓ* が小さく（0.80
以下）、Ｏ／Ｗ・Ｐｗ５０等の記録・再生特性が不十分
であり、かつ本来の磁気特性が持つ保磁力の上限を抑制
しているという問題があった。
り、高保磁力かつ低ノイズな媒体を提供することが可能
となった。しかし、多層膜磁性層は各層が薄く、非磁性
中間層と磁性層の結晶格子ミスマッチによる結晶配向性
が不十分であるため、保磁力角形比Ｓ* が小さく（0.80
以下）、Ｏ／Ｗ・Ｐｗ５０等の記録・再生特性が不十分
であり、かつ本来の磁気特性が持つ保磁力の上限を抑制
しているという問題があった。
【０００６】そこで上記問題点に鑑み、本発明の目的
は、高保磁力材料（ＣｏＣｒＰｔ系合金，ＣｏＮｉＣｒ
Ｔａ系合金，ＣｏＣｒＴａＰｔ系合金）を用いた多層膜
構造の磁性層を有する磁気記録媒体であって、高保磁力
(2400 Oe≦Ｈc ≦3200 Oe)かつ高保磁力角形比（0.80≦
Ｓ* ≦0.95) で、しかも低ノイズＣｏＣｒＴａ系媒体と
同等、又はそれ以下の低ノイズ特性を持つ磁気記録媒体
を提供することにある。
は、高保磁力材料（ＣｏＣｒＰｔ系合金，ＣｏＮｉＣｒ
Ｔａ系合金，ＣｏＣｒＴａＰｔ系合金）を用いた多層膜
構造の磁性層を有する磁気記録媒体であって、高保磁力
(2400 Oe≦Ｈc ≦3200 Oe)かつ高保磁力角形比（0.80≦
Ｓ* ≦0.95) で、しかも低ノイズＣｏＣｒＴａ系媒体と
同等、又はそれ以下の低ノイズ特性を持つ磁気記録媒体
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、磁気記録媒体の磁性層を単層構造の磁性
層ではなく、Ｃｒ−Ｘ（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ）か
らなる非磁性中間層を介して積層された多層膜構造の磁
性層とするものである。前記磁性層材料としては、上述
の高保磁力材料（ＣｏＣｒＰｔ系合金，ＣｏＮｉＣｒＴ
ａ系合金，ＣｏＣｒＴａＰｔ系合金）を用い、これを非
磁性中間層Ｃｒ−Ｘを介した２〜６層の多層膜磁性層と
するのが望ましい。
に、本発明は、磁気記録媒体の磁性層を単層構造の磁性
層ではなく、Ｃｒ−Ｘ（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ）か
らなる非磁性中間層を介して積層された多層膜構造の磁
性層とするものである。前記磁性層材料としては、上述
の高保磁力材料（ＣｏＣｒＰｔ系合金，ＣｏＮｉＣｒＴ
ａ系合金，ＣｏＣｒＴａＰｔ系合金）を用い、これを非
磁性中間層Ｃｒ−Ｘを介した２〜６層の多層膜磁性層と
するのが望ましい。
【０００８】さらに前記非磁性中間層の膜厚を５Å以上
５０Å以下、及び各磁性膜の膜厚比（各々任意に選ばれ
た磁性膜の膜厚の比）を８０％以上１２０％以下とする
ことが望ましい。また各磁性膜の保磁力は同一になるよ
う成膜を行うのが良い。このように、非磁性中間層を介
して磁性膜同士がり離層分離した構造を有しているの
で、磁性膜内の垂直方向の磁気的相互作用が低減され
る。また非磁性中間膜を薄くし、島状構造にすることに
より、磁性粒子間の磁気的相互作用を弱めることができ
る。これら２つの要因により、媒体ノイズが低減され
る。さらに、非磁性中間膜を介して各磁性層が分離して
いるので、各磁性膜の膜厚が減少し、磁性粒子間の孤立
性を高めるため、保磁力が向上する。さらには、非磁性
中間層に、Ｃｒ−Ｘ（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ）を用
い、Ｃｏ磁性層の結晶配向性を高めることにより、高保
磁力角形比も達成された。
５０Å以下、及び各磁性膜の膜厚比（各々任意に選ばれ
た磁性膜の膜厚の比）を８０％以上１２０％以下とする
ことが望ましい。また各磁性膜の保磁力は同一になるよ
う成膜を行うのが良い。このように、非磁性中間層を介
して磁性膜同士がり離層分離した構造を有しているの
で、磁性膜内の垂直方向の磁気的相互作用が低減され
る。また非磁性中間膜を薄くし、島状構造にすることに
より、磁性粒子間の磁気的相互作用を弱めることができ
る。これら２つの要因により、媒体ノイズが低減され
る。さらに、非磁性中間膜を介して各磁性層が分離して
いるので、各磁性膜の膜厚が減少し、磁性粒子間の孤立
性を高めるため、保磁力が向上する。さらには、非磁性
中間層に、Ｃｒ−Ｘ（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ）を用
い、Ｃｏ磁性層の結晶配向性を高めることにより、高保
磁力角形比も達成された。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例を添付図面
に基づいて説明する。図１は本発明の実施例に係る磁気
記録媒体の断面構造を示す模式図である。本実施例の磁
気記録媒体は、ディスク状Ａｌ−Ｍｇ合金基体１の上に
Ｎｉ−Ｐメッキ層２を形成し、そのメッキ層２を機械加
工により鏡面仕上げした後、基板円周方向に沿って微小
凹凸（テクスチャー）を施して基板を形成し、その基板
上にスパッタ法により下地Ｃｒ層３，多層膜磁性層７，
保護層５を順次成膜した後、最後に潤滑層６を塗布した
ものである。前記基板表面へのテクスチャー加工は、そ
の上に成膜される磁性膜の磁気異方性をそろえて保磁力
向上させるとともに、基板表面の凹凸形状が成膜後の媒
体表面に反映されて、媒体表面と磁気ヘッド間の摩擦低
減に寄与するものである。
に基づいて説明する。図１は本発明の実施例に係る磁気
記録媒体の断面構造を示す模式図である。本実施例の磁
気記録媒体は、ディスク状Ａｌ−Ｍｇ合金基体１の上に
Ｎｉ−Ｐメッキ層２を形成し、そのメッキ層２を機械加
工により鏡面仕上げした後、基板円周方向に沿って微小
凹凸（テクスチャー）を施して基板を形成し、その基板
上にスパッタ法により下地Ｃｒ層３，多層膜磁性層７，
保護層５を順次成膜した後、最後に潤滑層６を塗布した
ものである。前記基板表面へのテクスチャー加工は、そ
の上に成膜される磁性膜の磁気異方性をそろえて保磁力
向上させるとともに、基板表面の凹凸形状が成膜後の媒
体表面に反映されて、媒体表面と磁気ヘッド間の摩擦低
減に寄与するものである。
【００１０】多層膜磁性層７は、非磁性中間膜７ｂを挟
んで積層された２〜６層の磁性膜７ａから成る。この磁
性膜７ａの磁性材料として、高保磁力材料であるＣｏＣ
ｒＴａＰｔ系合金(Cr:11%, Ta:4%, Pt:3%, Co:82%)を用
いた。図２は、非磁性中間層７ｂが、１８ÅのＣｒ−8a
t%Ｗ中間層である場合について、多層膜磁性層７のＣｏ
ＣｒＴａＰｔ系磁性膜７ａの膜数を変化させ、規格化
（膜数１のときを１）した媒体ノイズの変化を示すグラ
フである。膜数２以上で急激にノイズが低下しており、
膜数６以上で飽和する。磁性膜数をこれより多くしても
媒体ノイズ減少の効果は顕著でなく、成膜回数の増加に
よるコストアップを招いてしまうので、磁性膜数として
は２以上６以下が好適である。
んで積層された２〜６層の磁性膜７ａから成る。この磁
性膜７ａの磁性材料として、高保磁力材料であるＣｏＣ
ｒＴａＰｔ系合金(Cr:11%, Ta:4%, Pt:3%, Co:82%)を用
いた。図２は、非磁性中間層７ｂが、１８ÅのＣｒ−8a
t%Ｗ中間層である場合について、多層膜磁性層７のＣｏ
ＣｒＴａＰｔ系磁性膜７ａの膜数を変化させ、規格化
（膜数１のときを１）した媒体ノイズの変化を示すグラ
フである。膜数２以上で急激にノイズが低下しており、
膜数６以上で飽和する。磁性膜数をこれより多くしても
媒体ノイズ減少の効果は顕著でなく、成膜回数の増加に
よるコストアップを招いてしまうので、磁性膜数として
は２以上６以下が好適である。
【００１１】多層膜磁性層７の製作においては、スパッ
タ法により磁性膜７ａの上に非磁性中間膜７ｂを形成す
る工程を繰り返して行うが、ここで各磁性膜間の保磁力
を同一にすることが重要である。図３は、多層膜磁性層
７が２層膜の場合における磁化曲線（Ｂ−Ｈループ）を
示す。図３（ａ）に示すように、段差のある磁化曲線
（Ｂ−Ｈループ）となってしまうと、記録再生特性のオ
ーバーライト（Ｏ／Ｗ）特性、媒体ノイズ等が悪化して
しまう。そこで、多層膜磁性層７の各磁性膜７ａの成膜
条件（例えばスパッタ装置のバイアス電流，磁性体カソ
ードのマグネット電流）を調整して各磁性膜７ａ間の保
磁力が同一になるように設定することによって、図３
（ｂ）に示すような段差のない磁化曲線を実現すること
ができた。このことは、図２のように優れた磁気特性を
得るための必要条件である。
タ法により磁性膜７ａの上に非磁性中間膜７ｂを形成す
る工程を繰り返して行うが、ここで各磁性膜間の保磁力
を同一にすることが重要である。図３は、多層膜磁性層
７が２層膜の場合における磁化曲線（Ｂ−Ｈループ）を
示す。図３（ａ）に示すように、段差のある磁化曲線
（Ｂ−Ｈループ）となってしまうと、記録再生特性のオ
ーバーライト（Ｏ／Ｗ）特性、媒体ノイズ等が悪化して
しまう。そこで、多層膜磁性層７の各磁性膜７ａの成膜
条件（例えばスパッタ装置のバイアス電流，磁性体カソ
ードのマグネット電流）を調整して各磁性膜７ａ間の保
磁力が同一になるように設定することによって、図３
（ｂ）に示すような段差のない磁化曲線を実現すること
ができた。このことは、図２のように優れた磁気特性を
得るための必要条件である。
【００１２】図４は多層膜磁性層７が２層膜である場合
であって、Ｃｒ−8at%Ｗを非磁性中間膜７ｂとした場合
の中間膜膜厚に対するノイズ特性と信号対雑音比（ＳＮ
比）を示すグラフである。図中の比較例１は低ノイズの
ＣｏＣｒＴａ媒体のノイズ特性とＳＮ比である。このグ
ラフより明らかなように、中間Ｃｒ−Ｗ層の膜厚が５〜
５０Åのほぼ全域において、本例の多層磁性層７の方
が、比較例のＣｏＣｒＴａ媒体よりも低ノイズを示し
た。
であって、Ｃｒ−8at%Ｗを非磁性中間膜７ｂとした場合
の中間膜膜厚に対するノイズ特性と信号対雑音比（ＳＮ
比）を示すグラフである。図中の比較例１は低ノイズの
ＣｏＣｒＴａ媒体のノイズ特性とＳＮ比である。このグ
ラフより明らかなように、中間Ｃｒ−Ｗ層の膜厚が５〜
５０Åのほぼ全域において、本例の多層磁性層７の方
が、比較例のＣｏＣｒＴａ媒体よりも低ノイズを示し
た。
【００１３】図５は、膜厚１８ÅのＣｒ−Ｘ非磁性中間
層（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ）のＣｒに添加するＸ元
素の添加量と保磁力角形比Ｓ* の関係を示すものであ
る。これより、いずれの元素を添加しても、ある添加量
でＳ* は、最大となり、それ以上添加するとＳ* は低下
する。これはＣｒ中間層とＣｏ系磁性層との結晶格子の
ミスマッチがＣｒ中間層にＸ元素の添加により減少する
が、ある量以上に添加すると再び、結晶格子のミスマッ
チが増加するためである。高保磁力角形比Ｓ* （0.80以
上）が得られる好適な添加量は、2at%≦Ｍｏ≦12at% ，
2at%≦Ｔａ≦12at% ，2at%≦Ｔｉ≦15at% ，1at%≦Ｗ≦
20at% であり、より好ましくは、6at%≦Ｔａ≦8at%，4a
t%≦Ｔｉ≦11at% ，3at%≦Ｗ≦15at% を添加することで
Ｓ* ≧0.85を実現できた。
層（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ）のＣｒに添加するＸ元
素の添加量と保磁力角形比Ｓ* の関係を示すものであ
る。これより、いずれの元素を添加しても、ある添加量
でＳ* は、最大となり、それ以上添加するとＳ* は低下
する。これはＣｒ中間層とＣｏ系磁性層との結晶格子の
ミスマッチがＣｒ中間層にＸ元素の添加により減少する
が、ある量以上に添加すると再び、結晶格子のミスマッ
チが増加するためである。高保磁力角形比Ｓ* （0.80以
上）が得られる好適な添加量は、2at%≦Ｍｏ≦12at% ，
2at%≦Ｔａ≦12at% ，2at%≦Ｔｉ≦15at% ，1at%≦Ｗ≦
20at% であり、より好ましくは、6at%≦Ｔａ≦8at%，4a
t%≦Ｔｉ≦11at% ，3at%≦Ｗ≦15at% を添加することで
Ｓ* ≧0.85を実現できた。
【００１４】図６は、多層膜磁性層７が２層膜である場
合における、各磁性膜の膜圧比に対するノイズ特性を示
したものである。これから、膜厚比が１００％即ち、各
磁性膜の膜厚が同一の時にノイズは極小となる。また膜
厚比７０〜１３０％の範囲において良好なノイズ特性が
得られ、スパッタプロセス工程のばらつき（±１０％）
を考慮しても良好な低ノイズ媒体を作製することが可能
となった。
合における、各磁性膜の膜圧比に対するノイズ特性を示
したものである。これから、膜厚比が１００％即ち、各
磁性膜の膜厚が同一の時にノイズは極小となる。また膜
厚比７０〜１３０％の範囲において良好なノイズ特性が
得られ、スパッタプロセス工程のばらつき（±１０％）
を考慮しても良好な低ノイズ媒体を作製することが可能
となった。
【００１５】図７は、多層膜磁性層７を２層膜とし、中
間層だけでなく下地層もＣｒ層からＣｒ−Ｘ層に変えた
場合の、下地Ｃｒ−Ｘ層の膜厚と保磁力の関係を示した
ものである。下地Ｃｒ−Ｘ層膜厚の増加に伴って保磁力
が増加し、下地Ｃｒ−Ｘ層膜厚２０００Åで３０００Ｏ
e 以上の保磁力をしめす。このように非磁性中間層だけ
でなく、さらに下地Ｃｒ層の代わりに、Ｃｒ−Ｘ層を下
地層として用いることにより、さらに高保磁力の媒体を
得ることができた。
間層だけでなく下地層もＣｒ層からＣｒ−Ｘ層に変えた
場合の、下地Ｃｒ−Ｘ層の膜厚と保磁力の関係を示した
ものである。下地Ｃｒ−Ｘ層膜厚の増加に伴って保磁力
が増加し、下地Ｃｒ−Ｘ層膜厚２０００Åで３０００Ｏ
e 以上の保磁力をしめす。このように非磁性中間層だけ
でなく、さらに下地Ｃｒ層の代わりに、Ｃｒ−Ｘ層を下
地層として用いることにより、さらに高保磁力の媒体を
得ることができた。
【００１６】図８は、多層膜磁性層７が２層膜である媒
体（実施例）、及び低ノイズＣｏＣｒＴａ媒体（比較
例）の記録密度に対する非線形遷移シフト(Non-linear
Transition Shift:NLTS)について示したものである。高
密度化において使用される磁気抵抗型薄膜ヘッド（ＭＲ
ヘッド）では、非線形遷移シフトが小さいことが必要と
される。これから、線記録密度１９５ｋＦＣＩにおい
て、ＮＬＴＳはＣｏＣｒＴａ媒体の４６．４％に比べ
て、８．０％と高記録密度でも良好な特性を示すことが
確認された。
体（実施例）、及び低ノイズＣｏＣｒＴａ媒体（比較
例）の記録密度に対する非線形遷移シフト(Non-linear
Transition Shift:NLTS)について示したものである。高
密度化において使用される磁気抵抗型薄膜ヘッド（ＭＲ
ヘッド）では、非線形遷移シフトが小さいことが必要と
される。これから、線記録密度１９５ｋＦＣＩにおい
て、ＮＬＴＳはＣｏＣｒＴａ媒体の４６．４％に比べ
て、８．０％と高記録密度でも良好な特性を示すことが
確認された。
【００１７】以上、上述の多層膜磁性層７は、ＣｏＣｒ
ＴａＰｔ系媒体での実施例について述べたが、ＣｏＮｉ
ＣｒＴａ(Ni:25at%, Cr:10at%, Ta:2at%, Co:63at%)
系，ＣｏＣｒＰｔ(Cr:14at%, Pt:7at%, Co:79at%) 系媒
体でも同様な特性が得られた。
ＴａＰｔ系媒体での実施例について述べたが、ＣｏＮｉ
ＣｒＴａ(Ni:25at%, Cr:10at%, Ta:2at%, Co:63at%)
系，ＣｏＣｒＰｔ(Cr:14at%, Pt:7at%, Co:79at%) 系媒
体でも同様な特性が得られた。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明は、磁気記録媒体
の磁性層を非磁性中間層を介して２〜６層の多層膜磁性
層とし、非磁性中間層にＣｒ−Ｘ（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔ
ｉ，Ｗ）を用いることにより、高保磁力角形比の媒体を
作製できた。前記磁性層としては、高保磁力材料である
ＣｏＮｉＣｒＴａ系，ＣｏＣｒＰｔ系，ＣｏＣｒＴａＰ
ｔ系の磁性層を用い、その各磁性層の保磁力を同一に、
また各磁性膜膜厚比を８０％以上１２０％以下とし、さ
らには中間層の膜厚を５Å以上５０Å以下とすることに
より、高保磁力角形比であり、その上、高保磁力（３０
００Ｏe 以上）かつ低ノイズの磁気記録媒体を提供する
ことが可能となった。
の磁性層を非磁性中間層を介して２〜６層の多層膜磁性
層とし、非磁性中間層にＣｒ−Ｘ（Ｘ：Ｍｏ，Ｔａ，Ｔ
ｉ，Ｗ）を用いることにより、高保磁力角形比の媒体を
作製できた。前記磁性層としては、高保磁力材料である
ＣｏＮｉＣｒＴａ系，ＣｏＣｒＰｔ系，ＣｏＣｒＴａＰ
ｔ系の磁性層を用い、その各磁性層の保磁力を同一に、
また各磁性膜膜厚比を８０％以上１２０％以下とし、さ
らには中間層の膜厚を５Å以上５０Å以下とすることに
より、高保磁力角形比であり、その上、高保磁力（３０
００Ｏe 以上）かつ低ノイズの磁気記録媒体を提供する
ことが可能となった。
【図１】本発明の実施例に係る磁気記録媒体の構成を示
す断面図
す断面図
【図２】多層膜磁性層の膜数と規格化したノイズとの関
係を示すグラフ
係を示すグラフ
【図３】成膜条件の異なる媒体の磁化曲線の比較図
【図４】中間Ｃｒ−Ｗ層膜厚とノイズ特性の関係を示す
グラフ
グラフ
【図５】非磁性中間層材料及びその添加量とＳ* との関
係を示すグラフ
係を示すグラフ
【図６】各磁性膜の膜厚比とノイズ特性との関係を示す
グラフ
グラフ
【図７】下地Ｃｒ−Ｘ層膜厚と保磁力との関係を示すグ
ラフ
ラフ
【図８】線記録密度と非線形遷移シフトとの関係を示す
グラフ
グラフ
【図９】従来の一般的な磁気記録媒体の構成を示す断面
図
図
１…Ａｌ−Ｍｇ合金基体，２…Ｎｉ−Ｐメッキ層，３…
下地層，５…保護層，６…潤滑層，７…多層膜磁性層，
７ａ…磁性膜，７ｂ…非磁性中間膜
下地層，５…保護層，６…潤滑層，７…多層膜磁性層，
７ａ…磁性膜，７ｂ…非磁性中間膜
Claims (7)
- 【請求項１】基板上に少なくとも下地層及び多層膜磁性
層を有する磁気記録媒体において、前記多層膜磁性層
は、ＣｏＮｉＣｒＴａ系，ＣｏＣｒＰｔ系，ＣｏＣｒＴ
ａＰｔ系材料のいずれかよりなる磁性膜を、非磁性中間
層を介して２〜６層に積層して形成され、前記非磁性中
間層がＭｏ，Ｔａ，Ｔｉ及びＷのいずれか１元素含有す
るＣｒ合金よりなることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】請求項１に記載の磁気記録媒体において、
前記添加元素の添加量が、2at%≦Ｍｏ≦12at% ，2at%≦
Ｔａ≦12at% ，2at%≦Ｔｉ≦15at% ，1at%≦Ｗ≦20at%
であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項３】請求項１または２に記載の磁気記録媒体に
おいて、基板がＮｉ−Ｐメッキを施したＡｌ−Ｍｇ合金
基板よりなり、前記基板表面に鏡面加工を施したのち、
微小凹凸を施したものであることを特徴とする磁気記録
媒体。 - 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載の磁気記
録媒体において、前記多層膜磁性層の各磁性膜の保磁力
が同一であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気記
録媒体において、前記多層膜磁性層の各磁性層の膜厚比
を８０％以上１２０％以下とすることを特徴とする磁気
記録媒体。 - 【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載の磁気記
録媒体において、前記非磁性中間層の膜厚を５Å以上５
０Å以下とすることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項７】請求項１乃至６のいずれかに記載の磁気記
録媒体において、下地層が前記中間層と同じＣｒ合金よ
りなることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8003517A JPH09198641A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 磁気記録媒体 |
| DE19700506A DE19700506A1 (de) | 1996-01-12 | 1997-01-09 | Magnetisches Speichermedium |
| US08/782,744 US5851656A (en) | 1996-01-12 | 1997-01-13 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8003517A JPH09198641A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09198641A true JPH09198641A (ja) | 1997-07-31 |
Family
ID=11559567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8003517A Pending JPH09198641A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5851656A (ja) |
| JP (1) | JPH09198641A (ja) |
| DE (1) | DE19700506A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6602612B2 (en) | 1999-06-08 | 2003-08-05 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
| US6645646B1 (en) | 1999-06-08 | 2003-11-11 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
| US6689495B1 (en) | 1999-06-08 | 2004-02-10 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
| US6753101B1 (en) | 1999-06-08 | 2004-06-22 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium, magnetic storage apparatus, recording method and method of producing magnetic recording medium |
| US6821652B1 (en) | 1999-06-08 | 2004-11-23 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW390998B (en) | 1996-05-20 | 2000-05-21 | Hitachi Ltd | Magnetic recording media and magnetic recording system using the same |
| US6150015A (en) * | 1997-12-04 | 2000-11-21 | Komag, Incorporated | Ultra-thin nucleation layer for magnetic thin film media and the method for manufacturing the same |
| US6218003B1 (en) * | 1998-02-10 | 2001-04-17 | Seagate Technology, Llc | Magnetic recording medium containing a Cr(TiO2) underlayer |
| JPH11238221A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-08-31 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及び磁気ディスク装置 |
| US6261681B1 (en) | 1998-03-20 | 2001-07-17 | Asahi Komag Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US6461750B1 (en) | 1998-09-30 | 2002-10-08 | Seagate Technology, Inc. | Magnetic recording medium with dual magnetic layers and high in-plane coercivity |
| EP1302932B1 (en) * | 1999-06-08 | 2004-10-13 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium |
| US6280813B1 (en) | 1999-10-08 | 2001-08-28 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording media with antiferromagnetically coupled ferromagnetic films as the recording layer |
| US6372330B1 (en) * | 1999-10-08 | 2002-04-16 | International Business Machines Corporation | Laminated magnetic recording media with antiferromagnetically coupled layers as the individual magnetic layers in the laminate |
| US6645614B1 (en) | 2000-07-25 | 2003-11-11 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording media having enhanced coupling between magnetic layers |
| US6730420B1 (en) | 2000-10-31 | 2004-05-04 | Komag, Inc. | Magnetic thin film recording media having extremely low noise and high thermal stability |
| WO2002045080A1 (en) * | 2000-11-29 | 2002-06-06 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
| US7041394B2 (en) | 2001-03-15 | 2006-05-09 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording media having self organized magnetic arrays |
| US7153597B2 (en) * | 2001-03-15 | 2006-12-26 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording media having chemically modified patterned substrate to assemble self organized magnetic arrays |
| US6899959B2 (en) | 2002-02-12 | 2005-05-31 | Komag, Inc. | Magnetic media with improved exchange coupling |
| US7382590B2 (en) | 2005-01-31 | 2008-06-03 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | MR sensor and thin film media having alloyed Ru antiparallel spacer layer for enhanced antiparallel exchange coupling |
| JP5964121B2 (ja) * | 2012-04-18 | 2016-08-03 | 山陽特殊製鋼株式会社 | 磁気記録媒体に用いる密着膜層用ＣｒＴｉ系合金およびスパッタリング用ターゲット材並びにそれを使用した垂直磁気記録媒体 |
| JP2022028410A (ja) * | 2020-08-03 | 2022-02-16 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体用基板、磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5051288A (en) * | 1989-03-16 | 1991-09-24 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic recording disk comprising alternating layers of a CoNi or CoPt alloy and a non-magnetic spacer layer |
| JPH07118417B2 (ja) * | 1990-12-21 | 1995-12-18 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 磁気記録媒体 |
| JP2684457B2 (ja) * | 1991-02-15 | 1997-12-03 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JPH05101366A (ja) * | 1991-10-07 | 1993-04-23 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
| JPH0644548A (ja) * | 1992-02-06 | 1994-02-18 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
| US5580667A (en) * | 1992-06-30 | 1996-12-03 | Hmt Technology Corporation | Multilayered medium with gradient isolation layer |
| JPH07121863A (ja) * | 1993-10-20 | 1995-05-12 | Sony Corp | 磁気ディスク |
-
1996
- 1996-01-12 JP JP8003517A patent/JPH09198641A/ja active Pending
-
1997
- 1997-01-09 DE DE19700506A patent/DE19700506A1/de not_active Ceased
- 1997-01-13 US US08/782,744 patent/US5851656A/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| US6602612B2 (en) | 1999-06-08 | 2003-08-05 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
| US6645646B1 (en) | 1999-06-08 | 2003-11-11 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
| US6689495B1 (en) | 1999-06-08 | 2004-02-10 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
| US6753101B1 (en) | 1999-06-08 | 2004-06-22 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium, magnetic storage apparatus, recording method and method of producing magnetic recording medium |
| US6821652B1 (en) | 1999-06-08 | 2004-11-23 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5851656A (en) | 1998-12-22 |
| DE19700506A1 (de) | 1997-07-17 |
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