JPH09186181A - ペレットピックアップ方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハ上での一定の広さの領域内に存在する
複数個のペレットが同一グループとして順次ピックアッ
プされるようにしたペレットピックアップ方法および装
置を提供することを課題とする。 【解決手段】 縦横複数行複数列の格子状に並べられた
ペレット（Ｐ１，Ｐ２…）を順次ピックアップする方法
において、上記ペレットを、所定数の列毎に分割された
複数段に区分けし、各段（Ｓ１〜Ｓ３）において、１行
毎にジグザグ状にペレットをピックアップするととも
に、各段についての全体的なペレットピックアップの進
行方向が隣接する段どうしでジグザグ状に変更されるよ
うにしたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、エキスパンドシート
上に縦横格子状に並んだ半導体ペレットを順次ピックア
ップするための方法および装置に関し、詳しくは、ほぼ
同一領域にある特性の揃ったペレットが順次ピックアッ
プされるように改良されたものに関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣやＬＳＩあるいはＬＥＤなどの半導
体装置は、一枚のウエハ上に多数個の半導体素子を一括
して作り込み、これを各単位半導体素子に分割したもの
（ペレット）を一個一個ピックアップしてリードフレー
ム上の所定のボンディング位置にボンディングするとい
う製造過程を経る。

【０００３】多数個の半導体素子を縦横格子状に密集さ
せて作り込まれたウエハは、伸縮性を有する粘着シート
上に仮接着された後、クラッキングにより個々のペレッ
トに分割され、さらにこのシートは加熱するなどしなが
ら所定量伸張（エキスパンド）させられる。このとき上
記各分割されたペレットの間隔は、その規則的な格子状
の関係を保持しながら広げられる。こうしてエキスパン
ドされたシートは、たとえば円形の枠にぴんと張られ、
そしてこの枠はペレットピックアップ装置のＸＹテーブ
ル上に装填される。ペレットピックアップ装置は、上記
の枠をＸＹ方向に動かせながら各ペレットを所定のピッ
クアップ位置に誘導し、そしてエアピックアップがピッ
クアップ位置にあるペレットをペレットボンディング装
置またはその位置決め機構に搬送する。

【０００４】ところで、従来の一般的なペレットピック
アップ装置では、上記エキスパンドシート上に規則正し
い縦横格子状に担持されたペレットは普通、本願の図９
に矢印で示すように、一列毎にピックアップされるよう
になっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、上記
のような順序でペレットをピックアップする場合、特性
の異なるペレットが同一グループとして同一の製品に組
み込まれてしまうという問題がある。

【０００６】たとえば、ＬＥＤの場合、同一のウエハ上
に作られるとはいえ、すべてのペレットが全く同じ特性
となるとは限らない。すなわち、ウエハ上のどの部位に
作られたものであるかによって、その色調、輝度、寿命
等が微妙に異なってしまう。これは、ウエハ基板上に順
次拡散形成される層の組成あるいは厚み等がウエハ上の
すべての領域で一様とはなり難いことに起因する。たと
えば、図９において符号ａで示すペレットと符号ｂで示
すペレットは遠く離れているため、その色調、輝度等が
異なっている可能性がある。しかしながらこれらは同一
列上に存在するので、同一グループとしてピックアップ
され、８セグメントＬＥＤ表示装置がいくつか集合して
構成される同一の装置内に組み込まれてしまう可能性が
あるのである。同一のＬＥＤ装置内に組み込まれるＬＥ
Ｄは、その色調、輝度、および寿命等が揃ったものが使
用されることが好ましいが、従来の方法でピックアップ
されたペレットの微妙な色調の差を測定してグループ分
けする作業を自動的に行なうのは困難で、ましてや寿命
を揃えることは不可能に近い。

【０００７】一方、ウエハ上での比較的狭い領域内に存
在する、すなわち、たとえば図９に符号Ｇで示す領域内
に存在する複数個のペレットは、その特性が全く同一で
はないにせよ、かなり近似した特性をもち、その色調、
輝度、および寿命が比較的揃っているということは容易
に想像でき、かつ実際上そのように確認されている。

【０００８】本発明は、以上のような事情のもとで考え
出されたものであって、ウエハ上での一定の広さの領域
内に存在する複数個のペレットが同一グループとして順
次ピックアップされるようにしたペレットピックアップ
方法および装置を提供することをその課題とする。

【０００９】

【問題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
め、本願の各発明では、次の技術的手段を講じている。

【００１０】すなわち、特許請求の範囲第１項に記載し
た発明は、縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレ
ットを順次ピックアップする方法において、上記ペレッ
トを、所定数の列毎に分割された複数段に区分けし、各
段において、１行毎にジグザグ状にペレットをピックア
ップするとともに、各段についての全体的なペレットピ
ックアップの進行方向が隣接する段どうしでジグザグ状
に変更されるようにしたことを特徴としている。

【００１１】そして、特許請求の範囲第２項に記載した
発明は、縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレッ
トを支持する支持台と、上記支持台をＸＹ方向に移動さ
せるＸＹテーブルと、ＸＹテーブルによってピックアッ
プ基準位置に誘導されたペレットをピックアップするピ
ックアップ手段と、ピックアップ基準位置に対して固定
された一定の領域をモニタ画面上に映し出す光学系と、
上記ＸＹテーブルを制御する制御装置と、を備え、上記
格子状のペレットを所定数の列毎に分けられた複数の段
に分割し、各段毎に、各行のペレットを順次ピックアッ
プするペレットピックアップ装置であって、(a) 画面上
の所定の優先順位を与えられた所定のチェック領域にペ
レットが存在するかどうかを順次判定する判定手段、
(b) 上記判定手段が上記チェック領域にペレットが存在
すると判定したとき、このペレットがピックアップ基準
位置に誘導されるようにＸＹテーブルに対する制御指令
を発する第一の指令手段、(c) 上記ピックアップ手段に
よるペレットピックアップ後、または上記判定手段が上
記チェック領域にペレットが存在しないと判定したと
き、ＸＹテーブルがペレットの間隔相当分行方向に移動
するように制御指令を発する第二の指令手段、(d) 画面
上のピックアップ基準位置が、各段におけるどの列に相
当する位置にあるかを計数する第一カウンタ、(e) チェ
ック領域にペレットが存在しない状態でＸＹテーブルが
行方向に移動した回数を計数する第二カウンタ、(f) チ
ェック領域にペレットが存在しない状態でＸＹテーブル
が移動した回数を計数する第三カウンタ、(g) 上記第一
カウンタが０または所定の数値となったとき、または、
上記第二カウンタが所定の数値となったとき、ピックア
ップすべき行および方向を転換するように制御指令を発
する第三の指令手段、および、(h) 上記第三カウンタが
所定の数値となったとき、ピックアップすべき段を変更
するように制御指令を発する第四の指令手段、を備えて
いる。

【００１２】

【作用】ＸＹテーブルが初期設定された位置に移動する
と、光学系の画面上にピックアップ基準位置を含む一定
の範囲が映し出される。このとき写し出されるいくつか
のペレットは、いずれもピックアップ基準位置にあると
は限らないが、判定手段によって存在が確認されたペレ
ットは、そのピックアップ基準位置に対する相対的な位
置が自動的に計算され、このデータに基づいて第一の指
令手段が、上記ペレットがピックアップ基準位置に誘導
されるようにＸＹテーブルを制御する。

【００１３】上記ペレットがピックアップ基準位置に誘
導されると、ピックアップ手段がそのペレットをピック
アップする。その後第二の指令手段がＸＹテーブルをペ
レットの間隔相当分行方向に移動させる。このとき画面
上では次にピックアップされるペレットがたとえば上か
ら現れる。そしてこの次のペレットは、上記と同様に判
定手段によって判定された後、ピックアップ基準位置に
誘導され、ピックアップされる。行方向にペレットが並
んでいるかぎり、こうして行方向のペレットが順次ピッ
クアップされ、第一カウンタが「０」「１」「２」…と
歩進させられる。縦横格子状のペレットの分割された各
段が、たとえば６列で構成されるとすると、通常行方向
には６個のペレットが並んでいることになる。この場合
第一カウンタの設定値は「５」となっており、上記のよ
うに行方向にならぶ６個のペレットがすべてピックアッ
プされたとき、すなわち第一カウンタが「５」となった
とき、第三の指令手段が次の行のペレットを上記と逆方
向に順次ピックアップすべく、ＸＹテーブルに制御指令
を送る。

【００１４】そして第一カウンタが「５」から「０」に
戻ったとき、さらに第三の指令手段が次の行のペレット
を逆方向にピックアップすべく、ＸＹテーブルに制御指
令を送る。このようにして当該６列からなる当該段のペ
レットが、順次ジグザグ状にピックアップされる。

【００１５】当該段のペレットがすべてピックアップさ
れると、判定手段はペレットが存在しないと判定するこ
とになるが、その場合であっても第二の指令手段および
第三の指令手段によって所定回数ＸＹテーブルが移動さ
せられる。このＸＹテーブルの移動回数は、行方向に関
するものは第二カウンタにより、行方向ないし行替えを
含むものは第三カウンタにより計数されている。

【００１６】このようなペレットが存在しない状態での
ＸＹテーブルの移動回数が所定回数となると、すなわち
第三カウンタが所定の数値となると、当該段のすべての
ペレットがピックアップされたと判断され、第四の指令
手段が次の段のペレットのピックアップを開始すべく、
設定された次段の所定位置にＸＹテーブルを動かす。こ
の段においても、上記と同様、行方向に往復するように
ジグザグに順次ペレットがピックアップされる。なお、
このようにピックアップする段が変更されるとき、段全
体としてのピックアップの進行方向も、隣接する段どう
しでジグザグ状に変更される。

【００１７】たとえば、こうしてピックアップされた連
続する３６個のペレットは、６列６行の方形の領域から
採取されたことになる。

【００１８】

【効果】以上のことから、本発明によれば、ウエハ上に
おける互いに比較的近い位置にある複数個のペレットが
連続してピックアップされるので、一連にピックアップ
されるペレットは、ほぼ同一特性のものが続く。本発明
では、各段において、行ごとのペレットピックアップを
ジグザグ状に行うほか、段を変更する場合についても、
段全体としてのペレットピックアップの進行方向が隣合
う段どうしでジグザグ状に変更されるようにしているの
で、上記のように一連にピックアップされるペレットが
略同一特性となるという傾向は、各段内で一連にピック
アップされる場合に当てはまることはもちろん、段の変
更を介して一連にピックアップされる場合にも同様に当
てはまる。これにより、従来の一列ごとにピックアップ
する方法のように特性の異なるペレットが同一グループ
としてピックアップされるという問題は、大きく改善さ
れる。

【００１９】

【実施例の説明】以下、本発明のペレットピックアップ
装置の実施例およびこれによるピックアップ方法を説明
する。

【００２０】図１に本発明装置の全体構成を概略的に示
す。１はＸＹテーブルであり、Ｘ方向移動テーブル２
と、Ｙ方向移動テーブル３とが組み合され、それぞれの
駆動装置４，５が後記する制御装置６からの制御信号に
よって制御・駆動される。Ｙ方向移動テーブル３上に
は、ほぼコ字状をした支持台７が固定されており、その
上部に形成された環状の保持フレーム８には、ぴんと張
られたエキスパンドシート１０上に縦横格子状に整列さ
せられた多数個の半導体ペレットＰ…を担持させた環状
の枠９が装着されるようになっいる。保持フレーム８の
下方には、エキスパンドシート１０上のピックアップ位
置に誘導された所定のペレットを上記エキスパンドシー
ト１０から剥離させるためのテープガイド１１が固定状
に設けられている。このテープガイド１１は、筒状の外
観を備え、その頂面の中央部にはバキュームホール１２
が開けられている。そしてこのテープガイド１１の内部
には、バキュームホール１２からテープガイド頂面上に
出没しうるピックアップニードル１３が配されている。

【００２１】上記テープガイド１１の頂面中央のバキュ
ームホール１２と対応する位置がピックアップ基準位置
で、ＸＹテーブルを駆動させることにより上記エキスパ
ンドシート１０を平面的に動かせて所定のペレットをこ
のピックアップ基準位置に誘導し、そうして上記テープ
ガイド１１でそのペレットをエキスパンドシート１０か
ら剥離させた後、エアピックアップ１４がこのペレット
を所定のボンディング位置に搬送するのである。なお、
このテープガイド１１およびエアピックアップ１４から
なるピックアップ手段１５もまた、後記する制御装置６
によって制御・駆動される。

【００２２】上記テープガイド１１の上方には、上記ピ
ックアップ基準位置を含む、少なくとも方形に並ぶ４個
のペレットを写しうるＴＶカメラ１６が配置されてお
り、モニタ表示装置１７とともに光学系１８を構成して
いる。なおこのＴＶカメラで撮影された画像は、普通２
値化処理されてモニタ表示装置１７に表示されるように
なっている。このモニタ表示装置には、図５に示すよう
に、４個のペレットが映し出されるようになっており、
そして図６に示すように４分割されたチェック領域Ｃ
１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が設定される。なお、図４ないし
図５において破線で囲んだ領域Ｂは、画面上でのピック
アップ基準位置を示し、上記テープガイド１１の頂面直
上と対応している。なお、この光学系１８は、所定のチ
ェック領域にペレットが存在するかどうかを判定する判
定手段１９に接続されている。この判定手段１９および
後記するアルゴリズムにしたがった順序でペレットをピ
ックアップするようにＸＹテーブル１およびピックアッ
プ手段１５を制御する制御装置６は、コンピュータによ
って構成される。

【００２３】本発明方法では、ウエハ上の多数個のペレ
ットＰ１，Ｐ２，Ｐ３…を、たとえば、図３に矢印で示
す順序でピックアップする。すなわち、縦横格子状（こ
のペレットの横方向の並びを列、縦方向の並びを行とい
う）に規則的に並べられたペレットをたとえば、図３に
示すように６列毎に上段Ｓ１、中段Ｓ２および下段Ｓ３
の複数段に分割し、これら各段について、行毎にピック
アップするのである。ピックアップ基準位置Ｂは固定さ
れた位置であるから、上記制御装置６により、ＸＹテー
ブル１は、ピックアップ基準位置Ｂが相対的に図３に矢
印で示す軌跡で移動するように駆動されることになる。

【００２４】図２に詳示するように、上記制御装置６内
には、まず、上記チェック領域Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４
内にペレットが存在すると判定されたときに、そのペレ
ットが、ピックアップ基準位置Ｂに誘導されるようにＸ
Ｙテーブル１の駆動装置４，５に制御指令を送る第一の
指令手段２０を備える。この第一の指令手段２０によっ
てピックアップ基準位置Ｂに誘導されたペレットは、ピ
ックアップ手段１５によってピックアップされる。そし
て上記制御装置６はさらに、上記ピックアップ手段１５
によるピックアップ後、または上記判定手段１９が上記
チェック領域Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４にペレットが存在
しないと判定したときにＸＹテーブル１をペレットの間
隔相当分行方向に移動させる第二の指令手段２１、モニ
タ画面上のピックアップ基準位置Ｂが、各段Ｓ１，Ｓ
２，Ｓ３のどの列に相当する位置にあるかを計数する第
一カウンタ２２、チェック領域Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４
にペレットが存在しない状態でＸＹテーブル１が行方
向、すなわち上下方向に移動した回数を計数する第二カ
ウンタ２３、チェック領域にペレットが存在しない状態
で、行方向および列方向をふくめてＸＹテーブル１が移
動した回数を計数する第三カウンタ２４、上記第一カウ
ンタが「０」または所定の数値となったとき、すなわ
ち、本例では各段Ｓ１，Ｓ２は６列で構成されているか
ら「５」となったとき、ピックアップすべき行および方
向を転換するように制御指令を発する第三の指令手段２
５、および、上記第三カウンタ２４が所定の数値となっ
たとき、ピックアップすべき段を次段に変更するように
制御指令を発する第四の指令手段２６が形成される。

【００２５】次に、本例の装置の動作を、図７および図
８に示すフローチャートに沿って説明する。

【００２６】なお、本例では、図３に示すように、第一
段Ｓ１については右方向にピックアップを進めてゆき、
第一段Ｓ１のピックアップ後第二段Ｓ２については方向
を転換して左方向にピックアップを進め、そして第三段
Ｓ３については再び方向を転換して右方向にピックアッ
プを進めるものとする。なお、右方向にピックアップを
進めるということは、実際上はＸＹテーブル１は、支持
台７を左方向に移動させるように制御されることを意味
するが、ここでは、説明の都合上、ＸＹテーブルの移動
方向等は、縦列させられたペレットに対するＸＹテーブ
ル１ないしモニタ画面あるいはピックアップ基準位置の
相対的な移動方向として表現する。

【００２７】装置が始動すると、まず、ステップ１０１
により、ＸＹテーブル１の初期位置、第一カウンタ２
２、第二カウンタ２３、第三カウンタ２４の設定値読み
込み、ないしリセット等の初期化が行なわれる。このと
き、ＸＹテーブル１は、図３に破線ａ１で囲む領域がモ
ニタ画面上に映しだされる位置に移動させられる。そし
てステップ１０２で右方向移動か左方向移動か判断され
る。上述したように第一段Ｓ１は、右方向にペレットピ
ックアップを進めてゆくから、次のステップ１０４で右
方向用のチェック領域がセットされる。この場合のチェ
ック領域は、図６に示すように、左上、左下、右下、右
上の順に優先順位が与えられた４分割されたものとす
る。ピックアップ基準位置Ｂは、Ｃ３のチェック領域に
設定されているから、通常右方向にピックアップを進め
る場合、図４に示すようにＣ３，Ｃ４の領域にそれぞれ
ペレットＰ１，Ｐ２が存在することになる。もし、Ｃ
１，Ｓ２のチェック領域にペレットが存在する場合、そ
のペレットは取残しのペレットであり、この場合にはサ
ブルーチンを作ってその取残しのペレットを優先してピ
ックアップするようにすると好適である。

【００２８】この場合、ステップ１０５で判定手段１９
がＣ３のチェック領域内にペレットＰ１が存在すると判
定する。始動時、このペレットＰ１はピックアップ基準
位置に正確に位置しているとは限らないが、ステップ１
０６でこのペレットＰ１とピックアップ基準位置Ｂとの
相対的な位置のずれが自動的に計測され、そのデータに
基づいて第一の指令手段２０がこのＣ３の領域にあるペ
レットＰ１を正確に上記ピックアップ基準位置Ｂ上に誘
導する。そしてステップ１０７でこのペレットＰ１がピ
ックアップ手段１５によりピックアップされる。このこ
のとき、第一段Ｓ１の一列目のペレットをピックアップ
したので、第一カウンタ２２は「０」となっている。

【００２９】さらにステップ１０８で、ＸＹテーブル１
が行方向の上に移動しているか、下に移動しているかが
判定される。この場合上方向に移動しているので、ステ
ップ１１２に進み、第一カウンタが設定値、すなわち
「５」となっているかが判定される。いま、第一番目の
ペレットＰ１がピックアップされただけなので、ステッ
プ１１３で第二の指令手段２１がＸＹテーブル１をＹ方
向上、すなわち、行方向の上方に１ステップ移動させる
とともに、ステップ１１４で第一カウンタ２２に１が加
えられる。そしてステップ１０２に戻り、上記と同様に
第二番目のペレットＰ２がピックアップされる。

【００３０】本例の場合、第一行目にはペレットは２個
しか存在しないから、ＸＹテーブル１が２ステップ移動
した時点、すなわち第一カウンタ２２が「２」となって
いるときには、チェック領域にはペレットが存在しなく
なる。この場合、ステップ１０５からステップ１１５、
ステップ１１６と進み、ペレットが存在しない状態での
ＸＹテーブル１の行方向、すなわち上下方向の移動回数
を数える第二カウンタ２３が所定値、たとえば「１」と
なるまでステップ１１７，ステップ１２７，ステップ１
２８、ステップ１２９に沿って第二の指令手段２１がＸ
Ｙテーブル１を上方向に動かす。ステップ１１６で第二
カウンタ２３が「１」またはそれ以上となったと判定さ
れると、ステップ１２４、ステップ１２５、ステップ１
３２、ステップ１３３により、第三の指令手段２５がＸ
Ｙテーブル１をＸ方向、すなわち列方向右に１ステップ
移動させる。この時点で、ＸＹテーブル１は、上移動モ
ードから下移動モードに転換される。すなわち、ここで
装置は一行目のペレットを上方向にピックアップしたこ
とに続き、二行目のペレットを下方向にピックアップす
る態勢となる。

【００３１】この時点では、モニタ画面には、図３にお
いて破線ａ２で示す領域が映しだされている。この場
合、どのチェック領域にもペレットは存在しないから、
ステップ１１５，ステップ１１６、ステップ１１７、ス
テップ１１８、ステップ１１９、ステップ１２０および
ステップ１２１にそって、第二の指令手段２１がＸＹテ
ーブル１を下方向に１ステップずつ移動させる。このと
きステップ１２１で第二カウンタ２３がクリアされるの
で、ＸＹテーブル１は、Ｃ３の領域にペレットが現れる
まで下方向に移動させられる。

【００３２】やがてステップ１０５でＣ３の領域にペレ
ットＰ３が存在すると判定されると、ステップ１０６お
よびステップ１０７でペレットＰ３に対するピックアッ
プ基準位置の位置決めおよびピックアップが行なわれ
る。そしてステップ１０８では、下方向移動なのでステ
ップ１０９に進み、第一カウンタ２２が「０」に戻った
かどうかが判定される。上記を繰り返して第二行の最下
列のペレットＰ５のピックアップが終わると、第一カウ
ンタ２２が「０」となり、ステップ１０９からステップ
１２６、ステップ１３２およびステップ１３３に移り、
第三の指令手段２５ががＸＹテーブル１をＸ方向、すな
わち列方向に１ステップ移動させる。この時点でＸＹテ
ーブル１は、下移動モードから再び１行目のピックアッ
プと同様、上移動モードに転換される。

【００３３】以上のようにして、第一段のペレットは、
各行毎に、ジグザグに順次ピックアップされることにな
る。そして、第一段のすべてのペレットのピックアップ
後、自動的に第二段のピックアップに進むが、これは次
のようにして行なわれる。

【００３４】第一段Ｓ１の最後のペレットＰ９がピック
アップされた後は、チェック領域にペレットが存在しな
い状態で、続けて第二カウンタ２３、第三の指令手段２
５、第一カウンタ２２、第二の指令手段の作用により、
しばらく図３に矢印で示すようにＸＹテーブル１が移動
させられる。その間第三カウンタ２４がペレットがモニ
タ画面上に存在しない状態でのＸＹテーブル１の左右方
向および上下方向の移動回数を計数しており、ステップ
１１５でこの第三カウンタ２４が所定値、たとえば
「５」またはそれ以上となった時点でステップ１２２に
より、第四の指令手段２６がＸＹテーブル１を第二段Ｓ
２についての初期設定位置、すなわちたとえば第二段Ｓ
２の右端における最初のペレットＰ１１がモニタ画面上
のＣ３のチェック領域に映し出される位置（図３に破線
ａ３で囲む領域が映し出される位置）に移動させるとと
もに、ステップ１２３により第一カウンタ２２，第二カ
ウンタ２３および第三カウンタ２４がクリヤされる。

【００３５】第二段Ｓ２では、ＸＹテーブル１は左方向
に移行するので、ステップ１０３で左方向用のチェック
領域が設定される。左方向移動時は、図５に示すよう
に、Ｃ１およびＣ２のチェック領域に当然にピックアッ
プを待つ次行のペレットが映し出されるので、このＣ１
およびＣ２のチェック領域のチェックは行なわず、最初
からＣ３，Ｃ４の順でチェックを行なうようにしてい
る。したがって左方向移動時は、右方向移動の第一段Ｓ
１の場合のように取残しペレットの優先ピックアップは
行なわれない。この第二段Ｓ２についても、モニタ画面
上のＣ３およびＣ４のチェック領域にペレットが映し出
される限り、第一段Ｓ１と同様に行毎にジグザグに順次
ピックアップが行なわれる。

【００３６】第二段Ｓ２のすべてのペレットのピックア
ップ終了後は、第三段Ｓ３に移り、右方向にジグジグに
ピックアップが進められる。ただし、図７および図８の
フローチャートに示していないが、第三段Ｓ３のピック
アップでは、上記取残しペレットの優先ピックアップ機
能がその機能を発揮しながらピックアップが進められる
ことになる。

【００３７】以上のように本発明によるペレットピック
アップ方法では、いくつかの列ごとの複数段に分割され
た縦横格子状のペレットを、その各段について行毎にピ
ックアップを進めるので、たとえば列を６列に設定した
場合、６列６行の方形の領域にある、互いに距離的に近
い３６個のペレットが連続してピックアップされるの
で、このように連続してピックアップされたペレットを
同一の装置に組み込んだ場合、その装置に使用される３
６個の半導体装置の特性がほぼ揃という顕著な効果があ
る。

【００３８】もちろん、本発明の範囲は上述し実施例に
限定されない。たとえば、図示例では、説明を簡単化す
るために、段を形成する列数を６列に設定し、上下３段
としているが、この列数および段数は、ウエハ上に形成
される半導体素子の数に応じて適宜決定すればよい。

【００３９】また、ペレットの認識のときに、不良品と
良品を判別し、すなわちたとえばバッドマークの付いた
ペレットを飛ばしてピックアップする機能を付加するこ
とも、もちろん可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明装置の実施例の全体構成図である。

【図２】制御装置を構成する各手段の関係を示すブロッ
ク図である。

【図３】本発明方法によるピックアップの順序の例の説
明図である。

【図４】右方向にピックアップを進める場合のモニタ画
面である。

【図５】左方向にピックアップを進める場合のモニタ画
面である。

【図６】モニタ画面のチェック領域およびピックアップ
基準位置の説明図である。

【図７】本発明装置の動作フローチャート例である。

【図８】本発明装置の動作フローチャート例である。

【図９】従来のピックアップ方法の説明図である。

【符号の説明】

１ ＸＹテーブル ６ 制御装置 ７ 支持台 １５ ピックアップ手段 １７ モニタ表示装置 １８ 光学系 １９ 判定手段 ２０ 第一の指令手段 ２１ 第二の指令手段 ２２ 第一カウンタ ２３ 第二カウンタ ２４ 第三カウンタ ２５ 第三の指令手段 ２６ 第四の指令手段

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 縦横複数行複数列の格子状に並べられた
   ペレットを順次ピックアップする方法において、上記ペ
   レットを、所定数の列毎に分割された複数段に区分け
   し、各段において、１行毎にジグザグ状にペレットをピ
   ックアップするとともに、各段についての全体的なペレ
   ットピックアップの進行方向が隣接する段どうしでジグ
   ザグ状に変更されるようにしたことを特徴とする、ペレ
   ットピックアップ方法。
2. 【請求項２】 縦横複数行複数列の格子状に並べられた
   ペレットを支持する支持台と、 上記支持台をＸＹ方向に移動させるＸＹテーブルと、 ＸＹテーブルによってピックアップ基準位置に誘導され
   たペレットをピックアップするピックアップ手段と、 ピックアップ基準位置に対して固定された一定の領域を
   モニタ画面上に映し出す光学系と、 上記ＸＹテーブルを制御する制御装置と、を備え、上記
   格子状のペレットを所定数の列毎に分けられた複数の段
   に分割し、各段毎に、各行のペレットを順次ピックアッ
   プするペレットピックアップ装置であって、(a) 画面
   上の所定の優先順位を与えられた所定のチェック領域に
   ペレットが存在するかどうかを順次判定する判定手段、
   (b) 上記判定手段が上記チェック領域にペレットが存在
   すると判定したとき、このペレットがピックアップ基準
   位置に誘導されるようにＸＹテーブルに対する制御指令
   を発する第一の指令手段、(c) 上記ピックアップ手段に
   よるペレットピックアップ後、または上記判定手段が上
   記チェック領域にペレットが存在しないと判定したと
   き、ＸＹテーブルがペレットの間隔相当分行方向に移動
   するように制御指令を発する第二の指令手段、(d) 画面
   上のピックアップ基準位置が、各段におけるどの列に相
   当する位置にあるかを計数する第一カウンタ、(e) チェ
   ック領域にペレットが存在しない状態でＸＹテーブルが
   行方向に移動した回数を計数する第二カウンタ、(f) チ
   ェック領域にペレットが存在しない状態でＸＹテーブル
   が移動した回数を計数する第三カウンタ、(g) 上記第一
   カウンタが０または所定の数値となったとき、または、
   上記第二カウンタが所定の数値となったとき、ピックア
   ップすべき行および方向を転換するように制御指令を発
   する第三の指令手段、 および、(h) 上記第三カウンタが所定の数値となったと
   き、ピックアップすべき段を変更するように制御指令を
   発する第四の指令手段、 を備えることを特徴とする、ペレットピックアップ装
   置。