JPH0810709B2 - ペレツトピツクアツプ方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は、エキスパンドシート上に縦横格子状に並
んだ半導体ペレットを順次ピックアップするための方法
および装置に関し、詳しくは、ほぼ同一領域にある特性
の揃ったペレットが順次ピックアップされるように改良
されたものに関する。

【従来の技術】

ICやLSIあるいはLEDなどの半導体装置は、一枚のウエ
ハ上に多数個の半導体素子を一括して作り込み、これを
各単位半導体素子に分割したもの（ペレット）を一個一
個ピックアップしてリードフレーム上の所定のボンディ
ング位置にボンディングするという製造過程を経る。 多数個の半導体素子を縦横格子状に密集させて作り込
まれたウエハは、伸縮性を有する粘着シート上に仮接着
された後、クラッキングにより個々のペレットに分割さ
れ、さらにこのシートは加熱するなどしながら所定量伸
張（エキスパンド）させられる。このとき上記各分割さ
れたペレットの間隔は、その規則的な格子状の関係を保
持しながら広げられる。こうしてエキスパンドされたシ
ートは、たとえば円形の枠にぴんと張られ、そしてこの
枠はペレットピックアップ装置のXYテーブル上に装填さ
れる。ペレットピックアップ装置は、上記の枠をXY方向
に動かせながら各ペレットを所定のピックアップ位置に
誘導し、そしてエアピックアップがピックアップ位置に
あるペレットをペレットボンディング装置またはその位
置決め機構に搬送する。 ところで、従来の一般的なペレットピックアップ装置
では、上記エキスパンドシート上に規則正しい縦横格子
状に担持されたペレットは普通、本願の第８図に矢印で
示すように、一列毎にピックアップされるようになって
いる。

【発明が解決しようとする問題点】

しかしながら、上記のような順次でペレットをピック
アップする場合、特性の異なるペレットが同一グループ
として同一の製品に組み込まれてしまうという問題があ
る。 たとえば、LEDの場合、同一のウエハ上に作られると
はいえ、すべてのペレットが全く同じ特性となるとは限
らない。すなわち、ウエハ上のどの部位に作られたもの
であるかによって、その色調、輝度、寿命等が微妙に異
なってしまう。これは、ウエハ基板上の順次拡散形成さ
れる層の組成あるいは厚み等がウエハ上のすべての領域
で一様とはなり難いことに起因する。たとえば、第８図
において符号ａで示すペレットと符号ｂで示すペレット
は遠く離れているため、その色調、輝度等が異なってい
る可能性がある。しかしながらこれらは同一列上に存在
するので、同一グループとしてピックアップされ、８セ
グメントLED表示装置がいくつか集合して構成される同
一の装置内に組み込まれてしまう可能性があるのであ
る。同一のLED装置内に組み込まれるLEDは、その色調、
輝度、および寿命等が揃ったものが使用されることが好
ましいが、従来の方法でピックアップされたペレットの
微妙な色調の差を測定してグループ分けする作業を自動
的に行なうのは困難で、ましてや寿命を揃えることは不
可能に近い。 一方、ウエハ上での比較的狭い領域内に存在する、す
なわち、たとえば第８図に符号Ｇで示す領域内に存在す
る複数個のペレットは、その特性が全く同一ではないに
せよ、かなり近似した特性をもち、その色調、輝度、お
よび寿命が比較的揃っているということは容易に想像で
き、かつ実際上そのように確認されている。 本発明は、以上のような事情のもとで考え出されたも
のであって、ウエハ上での一定の広さの領域内に存在す
る複数個のペレットが同一グループとして順次ピックア
ップされるようにしたペレットピックアップ方法および
装置を提供することをその課題とする。

【課題を解決するための手段】

上記の問題を解決するため、本願の各発明では、次の
技術的手段を講じている。 すなわち、特許請求の範囲第１項に記載した発明は、
縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレットを順次
ピックアップする方法において、上記ペレットを、所定
数の列毎に分割された複数段に区分けし、各段におい
て、１行毎にジグザグ状にペレットをピックアップする
とともに、各段についての全体的なペレットピックアッ
プの進行方向が隣接する段どうしでジグザグ状に変更さ
せるようにしたことを特徴としている。 そして、特許請求の範囲第２項に記載した発明は、縦
横複数行複数列の格子状に並べられたペレットを支持す
る支持台と、 上記支持台をXY方向に移動されるXYテーブルと、 XYテーブルによってピックアップ基準位置に誘導され
たペレットをピックアップするピックアップ手段と、 ピックアップ基準位置に対して固定された一定の領域
をモニタ画面上に映し出す光学系と、 上記XYテーブルを制御する制御装置と、を備え、上記
格子状のペレットを所定数の列毎に分けられた複数の段
に分割し、各段毎に、各行のペレットを順次ピックアッ
プするペレットピックアップ装置であって、 （ａ） 画面上の所定の優先順位を与えられた所定のチ
ェック領域にペレットが存在するかどうかを順次判定す
る判定手段、 （ｂ） 上記判定手段が上記チェック領域にペレットが
存在すると判定したとき、このペレットがピックアップ
基準位置に誘導されるようにXYテーブルに対する制御指
令を発する第一の指令手段、 （ｃ） 上記ピックアップ手段によるペレットピックア
ップ後、または上記判定手段が上記チェック領域にペレ
ットが存在しないと判定したとき、XYテーブルがペレッ
トの間隔相当分行方向に移動するように制御指令を発す
る第二の指令手段、 （ｄ） 画面上のピックアップ基準位置が、各段におけ
るどの列に相当する位置にあるかを計数する第一カウン
タ、 （ｅ） チェック領域にペレットが存在しない状態でXY
テーブルが行方向に移動した回数を計数する第二カウン
タ、 （ｆ） チェック領域にペレットが存在しない状態でXY
テーブルが移動した回数を計数する第三カウンタ、 （ｇ） 上記第一カウンタが０または所定の数値となっ
たとき、または、上記第二カウンタが所定の数値となっ
たとき、ピックアップすべき行および方向を転換するよ
うに制御指令を発する第三の指令手段、 および、 （ｈ） 上記第三カウンタが所定の数値となったとき、
ピックアップすべき段を変更するように制御指令を発す
る第四の指令手段、 を備えることを特徴としている。 縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレットを支
持する支持台と、 上記支持台をXY方向に移動させるXYテーブルと、 XYテーブルによってピックアップ基準位置に誘導され
たペレットをピックアップするピックアップ手段と、 ピックアップ基準位置に対して固定された一定の領域
をモニタ画面上に映し出す化学系と、 上記XYテーブルを制御する制御装置と、 を備え、上記格子状のペレットを所定数の列毎に分けら
れた複数の段に分割し、格段毎に、各行のペレットを順
次ピックアップするペレットピックアップ装置であっ
て、 （ａ） 画面上の所定の優先順位を与えられた所定の
チェック領域にペレットが存在するかどうかを順次判定
する判定手段、 （ｂ） 上記判定手段が上記チェック領域にペレットが
存在すると判定したとき、このペレットがピックアップ
基準位置に誘導されるようにXYテーブルに対する制御指
令を発する第一の指令手段、 （ｃ） 上記ピックアップ手段によるペレットピックア
ップ後、または上記判定手段が上記チェック領域にペレ
ットが存在しないと判定したとき、XYテーブルがペレッ
トの間隔相当分行方向に移動するように制御指令を発す
る第二の指令手段、 （ｄ） 画面上のピックアップ基準位置が、各段におけ
るどの列に相当する位置にあるかを計数する第一カウン
タ、 （ｅ） チェック領域にペレットが存在しない状態でXY
テーブルが行方向に移動した回数を計数する第二カウン
タ、 （ｆ） チェック領域にペレットが存在しない状態でXY
テーブルが移動した回数を計数する第三カウンタ、 （ｇ） 上記第一カウンタが０または所定の数値となっ
たとき、または、上記第二カウンタが所定の数値となっ
たとき、ピックアップすべき行および方向を転換するよ
うに制御指令を発する第三の指令手段、 および、 （ｈ） 上記第三カウンタが所定の数値となったとき、
ピックアップすべき段を変更するように制御指令を発す
る第四の指令手段、 を備えている。

【作用】

XYテーブルが初期設定された位置に移動すると、光学
系の画面上にピックアップ基準位置を含む一定の範囲が
映し出される。このとき写し出されるいくつかのペレッ
トは、いずれもピックアップ基準位置にあるとは限らな
いが、判定手段によって存在が確認されたペレットは、
そのピックアップ基準位置に対する相対的な位置が自動
的に計算され、このデータに基づいて第一の指令手段
が、上記ペレットがピックアップ基準位置に誘導される
ようにXYテーブルを制御する。 上記ペレットがピックアップ基準位置に誘導される
と、ピックアップ手段がそのペレットをピックアップす
る。 その後第二の指令手段がXYテーブルをペレットの間隔
相当分行方向に移動させる。このとき画面上では次にピ
ックアップされるペレットがたとえば上から現れる。そ
してこの次のペレットは、上記と同様に判定手段によっ
て判定された後、ピックアップ基準位置に誘導され、ピ
ックアップされる。行方向にペレット並んでいるかぎ
り、こうして行方向のペレットが順次ピックアップさ
れ、第一カウンタが「０」「１」「２」…と歩進させら
れる。縦横格子状のペレットの分割された各段が、たと
えば６列で構成されるとすると、通常行方向には６個の
ペレットが並んでいることになる。この場合第一カウン
タの設定値は「５」となっており、上記のように行方向
にならぶ６個のペレットがすべてピックアップされたと
き、すなわち第一カウンタが「５」となったとき、第三
の指令手段が次の行のペレットを上記と逆方向に順次ピ
ックアップすべく、XYテーブルに制御指令を送る。 そして第一カウンタが「５」から「０」に戻ったと
き、さらに第三の指令手段が次の行のペレットを逆方向
にピックアップすべく、XYテーブルに制御指令を送る。
このようにして当該６列からなる当該段のペレットが、
順次ジグザグ状にピックアップされる。 当該段のペレットがすべてピックアップされると、判
定手段はペレットが存在しないと判定することになる
が、その場合であっても第二の指令手段および第三の指
令手段によって所定回数XYテーブルが移動させられる。
このXYテーブルの移動回数は、行方向に関するものは第
二カウンタにより、行方向ないし行替えを含むものは第
三カウンタにより計数されている。 このようなペレットが存在しない状態でのXYテーブル
の移動回数が所定回数となると、すなわち第三カウンタ
が所定の数値となると、当該段のすべてのペレットがピ
ックアップされたと判断され、第四の指令手段が次の段
のペレットのピックアップを開始すべく、設定された次
段の所定位置にXYテーブルを動かす。この段において
も、上記と同様、行方向に往復するようにジグザグに順
次ペレットがピックアップされる。なお、このようにピ
ックアップする段が変更されるとき、段全体としてのピ
ックアップの信号方向も、隣接する段どうしでジグザグ
状に変更される。 たとえば、こうしてピックアップされた連続する36個
のペレットは、６列６行の方形の領域から採取させたこ
とになる。

【効果】

以上のことから、本発明によれば、ウエハ上における
互いに比較的近い位置にある複数個のペレットが連続し
てピックアップされるので、一連にピックアップされる
ペレットは、ほぼ同一特性のものが続く。本発明では、
各段において、行ごとのペレットピックアップをジグザ
グ状に行うほか、段を変更する場合についても、段全体
としてのペレットピックアップの進行方向が隣合う段ど
うしでジグザグ状に変更されるようにしているので、上
記のように一連にピックアップされるペレットが略同一
特性となるという傾向は、各段内で一連にピックアップ
される場合に当てはまることはもちろん、段の変更を介
して一連にピックアップされる場合にも同様に当てはま
る。これにより、従来の一列ごとにピックアップする方
法のように特性の異なるペレットが同一グループとして
ピックアップされるという問題は、大きく改善される。

【実施例の説明】

以下、本発明のペレットピックアップ装置の実施例お
よびこれによるピックアップ方法を説明する。 第１図に本発明装置の全体構成を概略的に示す。 １はXYテーブルであり、Ｘ方向移動テーブル２と、Ｙ
方向移動テーブル３とが組み合され、それぞれの駆動装
置4,5が後記する制御装置６からの制御信号によって制
御・駆動される。Ｙ方向移動テーブル３上には、ほぼコ
字状をした支持台７が固定されており、その上部に形成
された環状の保持フレーム８には、ぴんと張られたエキ
スパンドシート10上に縦横格子状に整列させられた多数
個の半導体ペレットＰ…を担持させた環状の枠９が装着
されるようになっいる。保持フレーム８の下方には、エ
キスパンドシート10上のピックアップ位置に誘導された
所定のペレットを上記エキスパンドシート10から剥離さ
せるためのテープガイド11が固定状に設けられている。
このテープガイド11は、筒状の外観を備え、その頂面の
中央部にはバキュームホール12が開けられている。そし
てこのテープガイド11の内部には、バキュームホール12
からテープガイド頂面上に出没しうるピックアップニー
ドル13が配されている。 上記テープガイド11の頂面中央のバキュームホール12
と対応する位置がピックアップ基準位置で、XYテーブル
を駆動させることにより上記エキスパンドシート10を平
面的に動かせて所定のペレットをこのピックアップ基準
位置に誘導し、そうして上記テープガイド11でそのペレ
ットをエキスパンドシート10から剥離させた後、エアピ
ックアップ14がこのペレットを所定のボンディング位置
に搬送するのである。なお、このテープガイド11および
エアピックアップ14からなるピックアップ手段15もま
た、後記する制御装置６によって制御・駆動される。 上記テープガイド11の上方には、上記ピックアップ基
準位置を含む、少なくとも方形に並ぶ４個のペレットを
写しうるTVカメラ16が配置されており、モニタ表示装置
17とともに光学系18を構成している。なおこのTVカメラ
で撮影された画像は、普通２値化処理されてモニタ表示
装置17に表示されるようになっている。このモニタ表示
装置には、第５図に示すように、４個のペレッタが映し
出させるようになっており、そして第６図に示すように
４分割されたチェック領域C1,C2,C3,C4が設定される。
なお、第４図ないし第５図において破線で囲んだ領域Ｂ
は、画面上でのピックアップ基準位置を示し、上記テー
プガイドの帳面直上と対応している。なお、この光学系
18は、所定のチェック領域にペレットが存在するかどう
かを判定する判定手段19に接続されている。この判定手
段19および後記するアルゴリズムにしたがって順序でペ
レットをピックアップするようにXYテーブル１およびピ
ックアップ手段15を制御する制御装置６は、コンピュー
タによって構成される。 本発明方法では、ウエハ上の多数個のペレットP1,P2,
P3…を、たとえば、第３図に矢印で示す順序でピックア
ップする。すなわち、縦横格子状（このペレットの横方
向の並びを列、縦方向の並びを行という）に規則的に並
べられたペレットをたとえば、第３図に示すように６列
毎に上段S1、中段S2および下段S3の複数段に分割し、こ
れら格段について、行毎にピックアップするのである。
ピックアップ基準位置Ｂは固定された位置であるから、
上記制御装置６により、XYテーブル１は、ピックアップ
基準位置Ｂが相対的に第３図に矢印で示す軌跡で移動す
るように駆動されることになる。 第２図に詳示するように、上記制御装置６内には、ま
ず、上記チェック領域C1,C2,C3,C4内にペレットが存在
すると判定されたときに、そのペレットが、ピックアッ
プ基準位置Ｂに誘導されるようにXYテーブル１の駆動装
置4,5に制御指令を送る第一の指令手段20を備える。こ
の第一の指令手段20によってピックアップ基準位置Ｂに
誘導されたペレットは、ピックアップ手段15によってピ
ックアップされる。そして上記制御装置６はさらに、上
記ピックアップ手段15によるピックアップ後、または上
記判定手段19が上記チェック領域C1,C2,C3,C4にペレッ
トが存在しないと判定したときにXYテーブル１をペレッ
トの間隔相当分行方向に移動させる第二の指令手段21、
モニタ画面上のピックアップ基準位置Ｂが、各段S1,S2,
S3のどの列に相当する位置にあるかを計数する第一カウ
ンタ22、チェック領域C1,C2,C3,C4にペレットが存在し
ない状態でXYテーブル１が行方向、すなわち上下方向に
移動した回数を計数する第二カウンタ23、チェック領域
にペレットが存在しない状態で、行方向および列方向を
ふくめてXYテーブル１が移動した回数を計数する第三カ
ウンタ24、上記第一カウンタが「０」または所定の数値
となったとき、すなわち、本例では各段S1,S2は６列で
構成されているから「５」となったとき、ピックアップ
すべき行および方向を転換するように制御指令を発する
第三の指令手段25、および、上記第三カウンタ24が所定
の数値となったとき、ピックアップすべき段を次段に変
更するように制御指令を発する第四の指令手段26が構成
される。 次に、本例の装置の動作を、第７図に示すフローチャ
ートに沿って説明する。 なお、本例では、第３図に示すように、第一段S1につ
いて右方向にピックアップを進めてゆき、第一段S1のピ
ックアップ後第二段S2については方向を転換して左方向
にピックアップを進め、そして第三段S3については再び
方向を転換して右方向にピックアップを進めるものとす
る。なお、右方向にピックアップを進めるということ
は、実際上はXYテーブル１は、支持台７を左方向に移動
させるように制御されることを意味するが、ここでは、
説明の都合上、XYテーブルの移動方向等は、縦列させら
れたペレットに対するXYテーブル１ないしモニタ画面あ
るいはピックアップ基準位置の相対的な移動方向として
表現する。 装置が始動すると、まず、ステップ101により、XYテ
ーブル１の初期位置、第一カウンタ22、第二カウンタ2
3、第三カウンタ24の設定値読み込み、ないしリセット
等の初期化が行なわれる。このとき、XYテーブル１は、
第３図に破線a1で囲む領域がモニタ画面上に映しだされ
る位置に移動させられる。そしてステップ102で右方向
移動か左方向移動か判断される。上述したように第一段
S1は、右方向にペレットピックアップを進めてゆくか
ら、次のステップ104で右方向用のチェック領域がセッ
トされる。この場合のチェック領域は、第６図に示すよ
うに、左上、左下、右下、右上の順に優先順位が与えら
れた４分割されたものとする。ピックアップ基準位置Ｂ
は、C3のチェック領域に設定されているから、通常右方
向にピックアップを進める場合、第４図に示すようにC
3,C4の領域にそれぞれペレットP1,P2が存在することに
なる。もし、C1,S2のチェック領域にペレットが存在す
る場合、そのペレットは取残しのペレットであり、この
場合にはサブルーチンを作ってその取残しのペレットを
優先してピックアップするようにすると好適である。 この場合、ステップ105で判定手段19がC3のチェック
領域内にペレットP1が存在すると判定する。始動時、こ
のペレットP1はピックアップ基準位置に正確に位置して
いるとは限らないが、ステップ106でこのペレットP1と
ピックアップ基準位置Ｂとの相対的な位置のずれが自動
的に計測され、そのデータに基づいて第一の指令手段20
がこのC3の領域にあるペレットP1を正確に上記ピックア
ップ基準位置Ｂ上に誘導する。そしてステップ107でこ
のペレットP1がピックアップ手段15によりピックアップ
される。このこのとき、第一段S1の一列目のペレットを
ピックアップしたので、第一カウンタ22は「０」となっ
ている。 さらにステップ108で、XYテーブル１が行方向の上に
移動しているか、下に移動しているかが判定される。こ
の場合上方向に移動しているので、ステップ112に進
み、第一カウンタが設定値、すなわち「５」となってい
るかが判定される。いま、第一番目のペレットP1がピッ
クアップされただけなので、ステップ113が第二の指令
手段21がXYテーブル１をＹ方向上、すなわち、行方向の
上方に１ステップ移動させるとともに、ステップ114で
第一カウンタ22に１が加えられる。そしてそしてステッ
プ102に戻り、上記と同様に第二番目のペレットP2がピ
ックアップされる。 本例の場合、第１行目にはペレットは２個しか存在し
ないから、XYテーブル１が２ステップ移動した時点、す
なわち第一カウンタ22が「２」となっているときには、
チェック領域にはペレットが存在しなくなる。この場
合、ステップ105からステップ115、ステップ116と進
み、ペレットが存在しない状態でのXYテーブル１の行方
向、すなわち上下方向の移動回数を数える第二カウンタ
23が所定値、たとえば「１」となるまでステップ117,ス
テップ127,ステップ128、ステップ129に沿って第二の指
令手段21がXYテーブル１を上方向に動かす。ステップ11
6で第二カウンタ23が「１」またはそれ以上となったと
判定されると、ステップ124、ステップ125、ステップ13
2、ステップ133により、第三の指令手段25がXYテーブル
１をＸ方向、すなわち列方向右に１ステップ移動させ
る。この時点で、XYテーブル１は、上移動モードから下
移動モードに転換される。すなわち、ここで装置は一行
目のペレットを上方向にピックアップしたことに続き、
二行目のペレットを下方向にピックアップする態勢とな
る。 この時点では、モニタ画面には、第３図において破線
a2で示す領域が映しだされている。この場合、どのチェ
ック領域にもペレットは存在しないから、ステップ115,
ステップ116、ステップ117、ステップ118、ステップ11
9、ステップ120およびステップ121にそって、第二の指
令手段21がXYテーブル１を下方向に１ステップずつ移動
させる。このときステップ121で第二カウンタ23がクリ
アされるので、XYテーブル１は、C3の領域にペレットが
現れるまで下方向に移動させられる。 やがてステップ105でC3の領域にペレットP3が存在す
ると判定されると、ステップ106およびステップ107でペ
レットP3に対するピックアップ基準位置の位置決めおよ
びピックアップが行なわれる。そしてステップ108で
は、下方向移動なのでステップ109に進み、第一カウン
タ22が「０」に戻ったかどうかが判定される。上記を繰
り返して第二行の最下列のペレットP5のピックアップが
終わると、第一カウンタ22が「０」となり、ステップ10
9からステップ126、ステップ132およびステップ133に移
り、第三の指令手段25ががXYテーブル１をＸ方向、すな
わち配列方向に１ステップ移動させる。この時点でXYテ
ーブル１は、下移動モードから再び１行目のピックアッ
プと同様、上移動モードに転換される。 以上のようにして、第一段のペレットは、各行毎に、
ジグザグに順次ピックアップされることになる。そし
て、第一段のすべてペレットのピックアップ後、自動的
に第二段のピックアップに進むが、これは次のようにし
て行なわれる。 第一段S1の最後のペレットP9がピックアップされた後
は、チェック領域にペレットが存在しない状態で、続け
て第二カウンタ23、第三の指令手段25、第一カウンタ2
2、第二の指令手段の作用により、しばらく第３図に矢
印で示すようにXYテーブル１が移動させられる。その間
第三カウンタ24がペレットがモニタ画面上に存在しない
状態でのXYテーブル１の左右方向および上下方向の移動
回数を計数しており、ステップ115でこの第三カウンタ2
4が所定値、たとえば「５」またはそれ以上となった時
点でステップ122により、第四の指令手段26がXYテーブ
ル１を第二段S2についての初期設定位置、すなわちたと
えば第二段S2の右端における最初のペレットP11がモニ
タ画面上のC3のチェック領域に映し出される位置（第３
図に破線a3で囲む領域が映し出させる位置）に移動させ
るとともに、ステップ123により第一カウンタ22,第二カ
ウンタ23および第三カウンタ24がクリヤされる。 第二段S2では、XYテーブル１は左方向に移行するの
で、ステップ103で左方向用のチェック領域が設定され
る。左方向移動時は、第５図に示すように、C1およびC2
のチェック領域に当然にピックアップを待つ次行のペレ
ットが映し出されるので、このC1およびC2のチェック領
域のチェックは行なわず、最初からC3,C4の順でチェッ
クを行なうようにしている。したがって左方向移動時に
は、右方向移動の第一段S1の場合のように取残しペレッ
トの優先ピックアップは行なわれない。この第二段S2に
ついても、モニタ画面上のC3およびC4チェック領域にペ
レットが映し出される限り、第一段S1と同様に行毎にジ
グザグに順次ピックアップが行なわれる。 第二段S2のすべてのペレットのピックアップ終了後
は、第三段S3に移り、右方向にジグジグにピックアップ
が進められる。ただし、第７図のフローチャートに示し
ていないが、第三段S3のピックアップでは、上記取残し
ペレットの優先ピックアップ機能がその機能を発揮しな
がらピックアップが進められることになる。 以上のように本発明によるペレットピックアップ方法
では、いくつかの列ごとの複数段に分割された縦横格子
状のペレットを、その各段について行毎にピックアップ
を進めるので、たとえば列を６列に設定した場合、６列
６行の方形の領域にある、互いに距離的に近い36個のペ
レットが連続してピックアップされるので、このように
連続してピックアップされたペレットを同一の装置に組
み込んだ場合、その装置に使用される36個の半導体装置
の特性がほぼ揃という顕著な効果がある。 もちろん、本発明の範囲は上述し実施例に限定されな
い。たとえば、図示例では、説明を簡単化するために、
段を形成する列数を６列に設定し、上下３段としている
が、この列数および段数は、ウエハ上に形成される半導
体素子の数に応じて適宜決定すればよい。 また、ペレットの認識のときに、不良品と良品を判別
し、すなわちたとえばバッドマークの付いたペレットを
飛ばしてピックアップする機能を付加することも、もち
ろ可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の実施例の全体構成図、第２図は制
御装置を構成する各手段の関係を示すブロック図、第３
図は本発明方法によるピックアップの順序の例の説明
図、第４図は右方向にピックアップを進める場合のモニ
タ画面、第５図は左方向にピックアップを進める場合の
モニタ画面、第６図はモニタ画面のチェック領域および
ピックアップ基準位置の説明図、第７図は本発明装置の
動作フローチャート例、第８図は従来のピックアップ方
法の説明図である。 １……XYテーブル、６……制御装置、７……支持台、15
……ピックアップ手段、17……モニタ表示装置、18……
光学系、19……判定手段、20……第一の指令手段、21…
…第二の指令手段、22……第一カウンタ、23……第二カ
ウンタ、24……第三カウンタ、25……第三の指令手段、
26……第四の指令手段

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】縦横複数行複数列の格子状に並べられたペ
   レットを順次ピックアップする方法において、上記ペレ
   ットを、所定数の列毎に分割された複数段に区分けし、
   各段において、１行毎にジグザグ状にペレットをピック
   アップするとともに、各段についての全体的なペレット
   ピックアップの進行方向が隣接する段どうしでジグザグ
   状に変更されるようにしたことを特徴とする、ペレット
   ピックアップ方法。
2. 【請求項２】縦横複数行複数列の格子状に並べられたペ
   レットを支持する支持台と、 上記支持台をXY方向に移動されるXYテーブルと、 XYテーブルによってピックアップ基準位置に誘導された
   ペレットをピックアップするピックアップ手段と、 ピックアップ基準位置に対して固定された一定の領域を
   モニタ画面上に映し出す光学系と、 上記XYテーブルを制御する制御装置と、を備え、上記格
   子状のペレットを所定数の列毎に分けられた複数の段に
   分割し、各段毎に、各行のペレットを順次ピックアップ
   するペレットピックアップ装置であって、 （ａ） 画面上の所定の優先順位を与えられた所定のチ
   ェック領域にペレットが存在するかどうかを順次判定す
   る判定手段、 （ｂ） 上記判定手段が上記チェック領域にペレットが
   存在すると判定したとき、このペレットがピックアップ
   基準位置に誘導されるようにXYテーブルに対する制御指
   令を発する第一の指令手段、 （ｃ） 上記ピックアップ手段によるペレットピックア
   ップ後、または上記判定手段が上記チェック領域にペレ
   ットが存在しないと判定したとき、XYテーブルがペレッ
   トの間隔相当分行方向に移動するように制御指令を発す
   る第二の指令手段、 （ｄ） 画面上のピックアップ基準位置が、各段におけ
   るどの列に相当する位置にあるかを計数する第一カウン
   タ、 （ｅ） チェック領域にペレットが存在しない状態でXY
   テーブルが行方向に移動した回数を計数する第二カウン
   タ、 （ｆ） チェック領域にペレットが存在しない状態でXY
   テーブルが移動した回数を計数する第三カウンタ、 （ｇ） 上記第一カウンタが０または所定の数値となっ
   たとき、または、上記第二カウンタが所定の数値となっ
   たとき、ピックアップすべき行および方向を転換するよ
   うに制御指令を発する第三の指令手段、 および、 （ｈ） 上記第三カウンタが所定の数値となったとき、
   ピックアップすべき段を変更するように制御指令を発す
   る第四の指令手段、 を備えることを特徴とする、ペレットピックアップ装
   置。