JPH09162597A - ツールヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ツールに供給されるエアーの供給等に支障を
来すことなくツールヘッドを回転させる。 【解決手段】 基軸３が支持部材４に回転自在に支持さ
れ、基軸に設けられたフランジ状の取付支持部６にその
周方向に複数並んで支持されると共にエアー供給装置か
ら供給されるエアーにより電子部品等の吸着及び離脱を
行うツール５２、５２、・・・を備えたツールヘッドで
あって、上記エアー供給装置と連結されると共に内部に
エアーが供給される連通路５０が形成された供給装置連
結部材４３が設けられ、上記基軸は略筒状に形成される
と共にその上端部が上記供給装置連結部材に回転可能に
支持され、基軸内部が上記連通路と連通されてエアー供
給路３ｃとされた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はツールヘッドに関す
る。詳しくは、ツールに供給されるエアーの供給等に支
障を来すことなくツールヘッドが回転されるようにした
技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子部品のプリント回路基板への装着は
自動機、例えば、所謂表面実装型の電子部品を対象とし
た部品装着装置により行われ、このような部品装着装置
にあっては、電子部品供給装置により所定の吸着位置に
供給された電子部品を吸着して保持しプリント回路基板
に装着するツールたる吸着ノズルを備えているものがあ
る。そして、通常、吸着ノズルは上下方向に長い略円筒
状に形成され、その中間部がツールヘッドの上下方向に
長く形成された基軸にフランジ状に設けられた取付支持
部に支持され、該取付支持部にその周方向に複数並んで
支持されている。

【０００３】吸着ノズルにはその内部に電子部品を吸着
するための負圧エアーが供給されるエアー供給室が形成
され、該エアー供給室は下方に位置しその先端で電子部
品を吸着するノズル部と連通されている。各吸着ノズル
のエアー供給室と負圧エアーを供給するエアー供給装置
とは各吸着ノズル毎に各別のエアー供給パイプにより連
結され、該エアー供給パイプは各吸着ノズルのうち上記
取付支持部の上方側に位置する部分に一端部が取り付け
られ、基軸に這うようにして設けられている。

【０００４】吸着ノズルによる電子部品の吸着は、ツー
ルヘッドが電子部品供給装置の上方に移動され、ツール
ヘッドが回転して一の吸着ノズルが電子部品供給装置の
所定の吸着位置上方に位置され、前記一の吸着ノズルが
下降され内部に負圧エアーが供給されることにより行わ
れる。

【０００５】また、電子部品のプリント回路基板への装
着は、ツールヘッドがプリント回路基板の上方に移動さ
れ、ツールヘッドが回転して一の吸着ノズルがプリント
回路基板の部品取付位置上方に位置され、前記一の吸着
ノズルが下降され内部に供給されていた負圧エアーの供
給が遮断され、それから吸着ノズルが上方に移動される
ことにより行われる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、吸着ノ
ズルによる電子部品の吸着及び装着の際には、ツールヘ
ッドが回転して一の吸着ノズルが電子部品供給装置の所
定の吸着位置上方またはプリント回路基板の所定の装着
位置上方に位置される。

【０００７】ところが、ツールヘッドには各吸着ノズル
のエアー供給室とエアー供給装置とを連結するエアー供
給パイプが基軸に這うようにしてツールヘッドに設けら
れた吸着ノズルの数だけ設けられているため、ツールヘ
ッドの回転によりエアー供給パイプ同士が接触したり、
或は、エアー供給パイプが基軸に巻き付いたり、ねじれ
てしまったりする。

【０００８】そこで、従来の部品装着装置のツールヘッ
ドにおいては、両方向に半回転ずつ回転させて上記接触
や巻き付き、ねじれを減じるようにしている。

【０００９】しかし、両方向に半回転ずつ回転する場合
であっても、依然としてこれらの問題を完全に解消する
ことは出来ない。さらに、近年の部品装着装置の高速化
の要求等から、一のツールヘッドに吸着ノズルが多数設
けられる傾向にあり、吸着ノズルの数が多くなれば、そ
の分、エアー供給パイプの数も増え、エアー供給パイプ
同士が接触する可能性が高くなる。また、エアー供給パ
イプの基軸への巻き付きやねじれによりエアー供給パイ
プが吸着ノズルからはずれてしまうという虞もある。

【００１０】また、上記のようにツールヘッドを半回転
づつ回転させて電子部品の吸着等を行う場合には、吸着
ノズルによる吸着等がツールヘッドの半回転分終了した
後には逆に半回転戻してから吸着等を行う必要があり、
半回転戻す分のタイムロスが生じ、近年要求されている
部品装着装置の高速化への対応に支障を生じている。

【００１１】そこで、本発明ツールヘッドは、上記した
問題点を克服し、ツールに供給されるエアーの供給等に
支障を来すことなくツールヘッドを回転させることを課
題とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明ツールヘッドは、
上記した課題を解決するために、エアー供給装置と連結
されると共に内部にエアーが供給される連通路が形成さ
れた供給装置連結部材が設けられ、基軸は略筒状に形成
されると共にその上端部が上記供給装置連結部材に回転
可能に支持され、基軸内部が上記連通路と連通されてエ
アー供給路とされたものである。

【００１３】従って、本発明ツールヘッドによれば、ツ
ールヘッドの基軸に這うようにしてエアー供給パイプを
設ける必要がない。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明ツールヘッドの実
施の形態を添付図面に示す実施例に従って説明する。

【００１５】尚、図示した実施例は、本発明を電子部品
等を吸着して保持しプリント回路基板等に装着する吸着
ノズルを備える所謂表面実装型の部品装着装置に適用し
たものである。

【００１６】部品装着装置にはツールヘッド１が設けら
れ、該ツールヘッド１は上下方向に長い略円筒状の外嵌
部材２と該外嵌部材２にその一部が内嵌されると共に上
下方向に長く略円筒状を為す基軸３とを有し、基軸３が
鉛直方向に対し約２５°傾けられた状態で外嵌部材２を
介して支持部材４に支持されている。

【００１７】外嵌部材２にはその下端寄りの位置に外方
に張り出し上下方向に短い略円筒状の当接部２ａが形成
され、該当接部２ａの側面は上方に行くに従って基軸３
の軸中心へ向かう外周面２ｂとされている。そして、外
嵌部材２は上記支持部材４に対し軸回りに回転し、ま
た、基軸３は外嵌部材２に対し軸回りに回転し得るよう
にされている。

【００１８】基軸３は上端側略４分の１と下端部を除く
部分が上記外嵌部材２に内嵌され、下端部には外方へ張
り出したフランジ３ａが設けられている。

【００１９】基軸３の下側にはヘッド部５が設けられて
おり、該ヘッド部５は取付支持部６とエアー回路接続部
７とから成る。

【００２０】取付支持部６は略円板状を為す被支持部８
と該被支持部８の周縁から稍斜め上方へ向けて突出する
ようにされたノズル支持部９とが一体に形成されて成
る。

【００２１】被支持部８にはその上面と下面との間を貫
通する中心孔８ａが形成されており、該中心孔８ａの内
径は上記基軸３の中心孔３ｂのそれと同じにされてい
る。

【００２２】ノズル支持部９はその外側に位置する部分
がその余の部分より下方に厚く形成された厚肉部１０と
され、該厚肉部１０のうち稍内方側へ寄った位置には上
面に開口する浅い凹部１０ａ、１０ａ、・・・が周方向
に等間隔に並んで形成されている。

【００２３】厚肉部１０には凹部１０ａ、１０ａ、・・
・の底面の中心部に開口し後述する吸着ノズルを支持す
るためのノズル支持孔１１、１１、・・・が形成され、
該ノズル支持孔１１、１１、・・・は厚肉部１０を貫通
し、上方に行くに従って基軸３の中心軸に近づく向きに
形成されている。そして、ノズル支持孔１１、１１、・
・・はその上下両端部がそれぞれ小径部１１ａ、１１
ｂ、その余の部分が大径部１１ｃとされ、小径部１１ａ
と小径部１１ｂの内径は同じにされ、また、大径部１１
ｃの内径は小径部１１ａ、１１ｂのそれより稍大きくさ
れている。

【００２４】上記ノズル支持部９の厚肉部１０にはその
上下方向における略中央とその真下の位置にその外面と
内面との間を貫通する上側挿通孔１２、１２、・・・と
下側挿通孔１３、１３、・・・が周方向に等間隔に並ん
で形成されている（図１、図３及び図４参照）。

【００２５】各上側挿通孔１２は厚肉部１０の外面側か
ら順に、後述するバルブロッドが挿通される第１のロッ
ド移動室１４、小径部１５、後述する連結部材が取り付
けられる取付孔１６とされている。

【００２６】第１のロッド移動室１４と取付孔１６の内
径は略同じにされ、小径部１５の内径は第１のロッド移
動室１４のそれよりも稍小さくされている。そして、第
１のロッド移動室１４は上側挿通孔１２の略３分の２の
長さを占め、第１のロッド移動室１４の小径部１５寄り
に位置する部分には上記ノズル支持孔１１と連通する上
側連通口１７が形成されている。また、第１のロッド移
動室１４と小径部１５との連結面は後述する負圧エアー
の供給口となる負圧エアー供給口１８とされる。

【００２７】各下側挿通孔１３は厚肉部１０の外面側か
ら順に、後述するピストンが挿通されるシリンダ１９、
後述するバルブロッドが挿通される第２のロッド移動室
２０、小径部２１、連結部材が取り付けられる取付孔２
２とされている。

【００２８】第２のロッド移動室２０の内径は上記第１
のロッド移動室１４のそれと同じにされ、シリンダ１９
のそれよりも小さい。また、第２のロッド移動室２０と
取付孔２２の内径は略同じにされ、小径部２１の内径は
第２のロッド移動室２０のそれよりも稍小さくされてい
る。そして、シリンダ１９は下側挿通孔１３の略半分の
長さを占め、その分、第２のロッド移動室２０は第１の
ロッド移動室１４より短くされている。

【００２９】上記第２のロッド移動室２０の小径部２１
寄りに位置する部分で上側連通口１７の真下の位置には
第２のロッド移動室２０とノズル支持孔１１を連通する
下側連通口２３が形成されている。下側連通口２３の直
ぐ横にはノズル支持孔１１とシリンダ１９を連通する連
通口２４が形成されている。また、第２のロッド移動室
２０と小径部２１との連結面は後述する正圧エアーの供
給口となる正圧エアー供給口２５とされる。

【００３０】バルブロッド２６は上記第１のロッド移動
室１４の形状及び大きさに対応して略円柱状を為し、そ
の長さは第１のロッド移動室１４のそれよりも稍長くさ
れ、一方の端部は小径部１５の内径に対応してその外径
がその余の部分より稍小さくされた小径部２６ａとされ
ている。そして、バルブロッド２６は小径部２６ａの反
対側の端部（以下、「外端部」と言う。）を除いて第１
のロッド移動室１４内に摺動自在に挿入されている。

【００３１】バルブロッド２７はバルブロッド２６と同
じ形状及び大きさに形成され、その中間部に軸方向に短
いピストン２８が外嵌状に固定されている。バルブロッ
ド２７の一方の端部は小径部２１の内径に対応してその
外径がその余の部分より稍小さくされた小径部２７ａと
されている。そして、バルブロッド２７は小径部２７ａ
寄りの部分が第２のロッド移動室２０内に摺動自在に挿
入され、中間部がピストン２８と共にシリンダ１９内に
位置されている。

【００３２】バルブロッド２６とバルブロッド２７は挿
通孔１２、１３外に位置した端部間、即ち、外端部間が
リンク部材２９により連結されている。そして、リンク
部材２９の中央部が厚肉部１０の外面から外方に向かっ
て突出した図示しない支持部に回動自在に支持されるこ
とにより、ここに回動支点２９ａが形成され、両端部は
バルブロッド２６とバルブロッド２７に対し回動自在に
されている。

【００３３】シリンダ１９の内端面、即ち、奥面１９ａ
とピストン２８との間にはコイルばね３０が自然長か或
は自然長から僅かに縮んだ状態でバルブロッド２７に外
嵌状に設けられている。

【００３４】上記エアー回路接続部７は上記取付支持部
６の被支持部８の下側に位置し、その外径が上記基軸３
のそれよりも一回り大きく、上下方向に短い略円柱状に
形成されている。そして、エアー回路接続部７は略上側
半分の部分を占める上側部３１とその下側の部分を占め
る下側部３２とが一体的に結合されて成る。

【００３５】上側部３１にはその中心部に上下方向に延
びる貫通孔３３が形成され、該貫通孔３３は上側が大径
部３３ａ、下側が小径部３３ｂとされている。そして、
大径部３３ａの内径は上記被支持部８の中心孔８ａのそ
れよりも稍大きくされ、小径部３３ｂの内径は中心孔８
ａのそれよりも稍小さくされている。また、上側部３１
にはその側面に開口する取付凹部３４、３４、・・・が
周方向に等間隔に並んで形成され、該取付凹部３４、３
４、・・・にはその奥面の中央部に開口し上記貫通孔３
３の大径部３３ａと連通する連通孔３５、３５、・・・
が形成されている。

【００３６】下側部３２にはその上面の中心部に開口し
上記貫通孔３３の大径部３３ａの内径と略同じ大きさの
内径を有する凹部３６が形成されている。そして、下側
部３２には上側部３１に形成された取付凹部３４、３
４、・・・の真下の位置の側面に開口する取付凹部３
７、３７、・・・が形成され、該取付凹部３７、３７、
・・・には上記取付凹部３４、３４、・・・と同様に凹
部３６と連通する連通孔３８、３８、・・・が形成され
ている。

【００３７】上側部３１に形成された取付凹部３４、３
４、・・・と上記取付支持部６の厚肉部１０に形成され
た取付孔１６、１６、・・・にはそれぞれ連結部材３９
ａ、３９ａ、・・・と３９ｂ、３９ｂ、・・・が取り付
けられている。そして、それぞれ対応する位置にある連
結部材３９ａ、３９ｂ間が連結チューブ４０、４０、・
・・により連結されている。

【００３８】また、下側部３２に形成された取付凹部３
７、３７、・・・と厚肉部１０に形成された取付孔２
２、２２、・・・にはそれぞれ連結部材３９ｃ、３９
ｃ、・・・と３９ｄ、３９ｄ、・・・が取り付けられ、
それぞれ対応する位置にある連結部材３９ｃ、３９ｄ間
が連結チューブ４１、４１、・・・により連結されてい
る。

【００３９】上記基軸３の中心孔３ｂから取付支持部６
の被支持部８の中心孔８ａを経てエアー回路接続部７の
貫通孔３３までに該貫通孔３３の小径部３３ｂの内径と
略同じ外径を有する円筒状の筒状部材４２が挿通され、
該筒状部材４２の下端部は貫通孔３３の小径部３３ｂに
挿入され、オイルシールによりシールされている。そし
て、筒状部材４２に対しエアー回路接続部７は上記取付
支持部６及び基軸３と共に回転可能とされている。

【００４０】しかして、上記筒状部材４２により基軸３
の中心孔３ｂと取付支持部６の被支持部８の中心孔８ａ
とエアー回路接続部７の貫通孔３３の大径部３３ａとに
は、筒状部材４２の内側と外側とにそれぞれ別々の空室
が形成され、外側に形成された空室は上側から順に後述
する負圧エアーが供給される負圧エアー供給路３ｃ、６
ａ、７ａとされる。また、隔壁部材４２の内側は後述す
る正圧エアーが供給される正圧エアー供給路４２ａとさ
れる。

【００４１】筒状部材４２の上端部は上記基軸３の上端
から突出され、基軸３の上端部と筒状部材４２の上端部
にはこれらの部分を上側から覆うと共に後述するエアー
供給装置と連結された供給装置連結部材４３が設けられ
ている。

【００４２】供給装置連結部材４３はその上側に位置す
る蓋体４４と下側に位置する円筒体４５とが一体的に結
合されて成る。

【００４３】蓋体４４は略円板状をした支持部４４ａと
その上面の中央部から上方へ突出した突出部４４ｂとか
ら成り、支持部４４ａの外径は上記基軸３のそれの略３
倍の大きさにされ、突出部４４ｂの外径は基軸３のそれ
と略同じ大きさにされている。そして、蓋体４４には支
持部４４ａの下面に開口し突出部４４ｂの上端近くまで
延びる支持穴４４ｃが形成され、該支持穴４４ｃの内径
は上記筒状部材４２の外径と同じか僅かに小さくされて
いる。また、突出部４４ｂにはその一の側面に開口し支
持穴４４ｃの上端部側面に連通する正圧エアー連通孔４
４ｄが形成されている。

【００４４】円筒体４５は蓋体４４より上下方向に稍長
く形成され、上側略３分の１はその余の部分より稍大径
に形成された大径部４５ａとされ、該大径部４５ａの外
径は蓋体４４の支持部４４ａのそれと同じにされてい
る。円筒体４５の中心孔４５ｂは上下方向における略中
央部がその余の部分より小径に形成された小径部４５ｃ
とされ、該小径部４５ｃの内径は上記基軸３の外径と略
同じにされている。そして、中心孔４５ｂのうち小径部
４５ｃの下側の部分には軸受４５ｄが内嵌されている。
また、大径部４５ａには上記正圧エアー連通孔４４ｄの
下側に位置すると共に一の側面に開口し中心孔４５ｂの
上端部側面に連通する負圧エアー連通孔４５ｅが形成さ
れている。

【００４５】しかして、基軸３及び筒状部材４２の上端
部は供給装置連結部材４３により上側から覆うようにさ
れ、筒状部材４２の上端部は蓋体４４の支持穴４４ｃの
下側略半分の部分に圧入され、基軸３の上端部は円筒体
４５の小径部４５ｃの中心孔４５ｂのうち小径部４５ｃ
に軸受４５ｄを介して基軸３の上面と蓋体４４の下面と
の間に適当な間隔が設けられた状態で回転可能に支持さ
れる。

【００４６】供給装置連結部材４３には正圧エアー連通
孔４４ｄと負圧エアー連通孔４５ｅの外端部にそれぞれ
連結部材４６ａ、４６ｂが取り付けられている。連結部
材４６ａは図示しない正圧エアー供給装置と連結チュー
ブ４７により連結され、連結部材４６ｂは図示しない負
圧エアー供給装置と連結チューブ４８により連結されて
いる。そして、正圧エアー連通孔４４ｄと支持穴４４ｃ
のうち筒状部材４２が圧入されていない部分とが正圧エ
アー連通路４９とされ、負圧エアー連通孔４５ｅと中心
孔４５ｂのうち小径部４５ｃより上側の部分とが負圧エ
アー連通路５０とされる。

【００４７】供給装置連結部材４３の直ぐ下側にはプー
リー５１が基軸３に外嵌状に固定されており、該プーリ
ー５１と図示しないプーリー駆動部の駆動ローラとの間
に駆動ベルトが巻回されている。尚、基軸３の回転はプ
ーリー駆動部の駆動により駆動ベルトが移動されてプー
リー５１が回転することにより為される。

【００４８】ツールたる吸着ノズル５２、５２、・・・
は上下方向に長い略円柱状に形成され、取付支持部６の
厚肉部１０に形成されたノズル支持孔１１、１１、・・
・に支持されている。

【００４９】吸着ノズル５２、５２、・・・はそれぞれ
スライド部５３と、外嵌筒部５４と、受光部５５と、ノ
ズル部５６とを有している（図２参照）。

【００５０】スライド部５３は被押圧部５７とその下側
に位置するエアー供給部５８とから成る。

【００５１】被押圧部５７は上下方向に長い略円柱状を
為し、その上端部には外方に張り出したフランジ５７ａ
が形成され、下端寄りの位置には互いに１８０°隔てた
面から突出したスライドピン５７ｂが設けられている。

【００５２】エアー供給部５８は上記被押圧部５７の略
２倍の長さを有する略円柱状を為し、その外径は被押圧
部５７のそれよりも稍大きく上記厚肉部１０に形成され
たノズル支持孔１１の小径部１１ａの内径と略同じにさ
れている。そして、エアー供給部５８の上端部には上面
に開口する嵌挿穴５８ａが形成されている。

【００５３】エアー供給部５８の上下方向における略中
央部には軸中心を通り互いに１８０°隔てた面の間を貫
通した空孔５８ｂが形成され、下半部には空孔５８ｂの
中央部から下方に伸び下面に開口する空孔５８ｃが形成
されている。そして、空孔５８ｂと空孔５８ｃは正圧エ
アー又は負圧エアーが供給されるエアー供給室５９とさ
れる。また、エアー供給部５８の上端寄りで互いに１８
０°隔てた位置に、嵌挿穴５８ａに連通し上下方向に稍
長くされた挿通孔５８ｄ、５８ｄが形成されている。

【００５４】そして、上記被押圧部５７の下端部がエア
ー供給部５８の嵌挿穴５８ａに摺動自在に嵌挿され、ス
ライドピン５７ｂの両端部は挿通孔５８ｄ、５８ｄから
突出された状態とされている。また、被押圧部５７の下
面と嵌挿穴５８ａの底面との間に第１のばね６０が縮設
され、第１のばね６０の反発力により被押圧部５７に上
方向への移動力が付勢され、スライドピン５７ｂはその
両端部稍内側の部分が挿通孔５８ｄ、５８ｄ上端に当接
されている。

【００５５】外嵌筒部５４は上下方向に長い略円筒状を
為し、上記エアー供給部５８の長さの略半分の長さを有
している。外嵌筒部５４の中央部稍下側の位置には下方
に行くに従って次第にその径が大きくなる突出部５４ａ
が形成されている。そして、上下両端部を除く部分で互
いに１８０°隔てた位置には中心孔４５ｂに連通し上下
方向に長いスライド孔５４ｃ、５４ｃが形成されてい
る。また、上端部には硬質ゴムにより形成されたリング
状部材５４ｄが外嵌状に取着されている。尚、外嵌筒部
５４の中心孔４５ｂの内径はエアー供給部５８の外径と
略同じにされている。

【００５６】しかして、エアー供給部５８の略上半部に
外嵌筒部５４が外嵌され、外嵌筒部５４とエアー供給部
５８とは相互に摺動可能とされている。また、エアー供
給部５８の略上半部に外嵌筒部５４が外嵌されることに
より、被押圧部５７の下側略４分の１の部分が外嵌筒部
５４内に位置され、スライドピン５７ｂの両端部はスラ
イド孔５４ｃ、５４ｃ内に位置される。

【００５７】被押圧部５７のフランジ５７ａの下面と外
嵌筒部５４の上面との間には第２のばね６１が被押圧部
５７に外嵌状に縮設されている。そして、第２のばね６
１の反発力により被押圧部５７に上方向への移動力が付
勢され、スライドピン５７ｂはその両端部がスライド孔
５４ｃ、５４ｃ上端に当接される。尚、第２のばね６１
は上記第１のばね６０よりもばね力が弱くされている。

【００５８】スライド部５３のエアー供給部５８の略下
半部のうち下端部を除く部分が厚肉部１０のノズル支持
孔１１に摺動自在に挿入されている。これにより、エア
ー供給部５８の下端部はノズル支持孔１１から下方に突
出し、スライド部５３のうち被押圧部５７とエアー供給
部５８の略上半部及び外嵌筒部５４がノズル支持孔１１
の上側に位置される。

【００５９】厚肉部１０の凹部１０ａの底面の外縁には
上下方向に短い略円筒状のシール部材６２が外嵌筒部５
４の下端部に外嵌された状態で載置され、シール部材６
２の上面と外嵌筒部５４の突出部５４ａの下面との間に
第３のばねである付勢手段６３（以下、「第３のばね６
３」と言う。）が外嵌筒部５４に外嵌状に縮設されてい
る。尚、第３のばね６３のばね力は上記第１のばね力よ
りも強くされている。

【００６０】ノズル部５６はエアー供給部５８よりも細
径の略円筒状を為し、上端寄りの位置に外方に張り出し
たフランジ５６ａが形成されている。そして、透明材料
により形成された受光部５５がその上面がフランジ５６
ａの下面に当接した状態でノズル部５６の中間部に外嵌
状に取り付けられている。

【００６１】そして、エアー供給部５８の下端部にノズ
ル部５６の上端部が取り付けられ、ノズル部５６内部と
上記エアー供給室５９とが連通される。

【００６２】尚、上記の通り、ノズル支持孔１１、１
１、・・・は上方に行くに従って基軸３の中心軸に近づ
く向きに形成されているため、これに挿通された吸着ノ
ズル５２、５２、・・・も上方に行くに従って基軸３の
中心軸に近づくようにされる。このため、外嵌筒部５４
の上端部に取着されたリング状部材５４ｄの外面は上記
外嵌部材２の当接部２ａの外周面２ｂと当接され（図
１、図５及び図６参照）、外嵌部材２の回転によって吸
着ノズル５２が軸回りに回転される。

【００６３】尚、吸着ノズル５２の回転は後述するよう
に吸着ノズル５２に吸着された電子部品がプリント回路
基板に装着される際に正しい向きで装着されるようにす
るために為される。

【００６４】また、外嵌部材２の回転は該外嵌部材２の
上端部と図示しない外嵌部材駆動部の駆動ローラとの間
に巻回された駆動ベルトが外嵌部材駆動部の駆動により
移動されることにより為される。

【００６５】上記の通り、当接部２ａの外周面２ｂと吸
着ノズル５２は共に上方へ行くに従って基軸３の中心軸
に近づくようにされているが、図７に示すように基軸３
の中心軸Ｘに対する傾斜角は吸着ノズル５２の方が稍大
きくされている。即ち、当接部２ａの外周面２ｂの傾斜
角Ｙは上方へ行くに従って吸着ノズル５２の中心軸Ｚに
近づき、これにより当接部２ａの外周面２ｂは上方へ行
くに従って吸着ノズル５２との距離が短くなるようにさ
れている。そして、シール部材６２の上面と外嵌筒部５
４の突出部５４ａの下面との間に第３のばね６３が外嵌
筒部５４に外嵌状に縮設されていることから、外嵌筒部
５４に上方向への移動力が付勢されている。従って、例
えば、外嵌部材２の回転によって吸着ノズル５２が回転
されることにより上記の通りゴム材料により形成された
リング状部材５４ｄの当接部２ａとの当接部分が磨耗し
ても、リング状部材５４ｄは当接部２ａの外周面２ｂに
対し僅かに上方へ移動されたところで外周面２ｂに当接
し、リング状部材５４ｄの磨耗によって吸着ノズル５２
の回転が為されなくなってしまうようなことはない。

【００６６】また、上記の通り、上記基軸３が鉛直方向
に対し約２５°傾斜され、取付支持部６はノズル支持部
９が被支持部８から稍斜め上方へ向けて突出するように
されているため、図１に示すように取付支持部６のノズ
ル支持孔１１、１１、・・・に支持された吸着ノズル５
２、５２、・・・が基軸３の回転に伴う取付支持部６の
回転中に最下端に位置した場合（図１の右側に位置する
吸着ノズル５２）にのみ、吸着ノズル５２は鉛直方向を
向く。そして、この位置は吸着ノズル５２、５２、・・
・が後述する電子部品を吸着したり、或は、プリント回
路基板へ電子部品を装着する際の吸着位置及び装着位置
とされる。

【００６７】尚、この吸着位置（装着位置）における厚
肉部１０の外側には、厚肉部１０の外側面に近接して上
記支持部材４に設けられた上下方向に延びる支持柱６４
が位置し、該支持柱６４には後述する吸着ノズル５２、
５２、・・・による電子部品の離脱又は吸着の際にバル
ブロッド２６又はバルブロッド２７の外端面を押圧する
上側プッシャー６５及び下側プッシャー６６が上下に離
間して設けられている。そして、支持柱６４の上方側に
は該支持柱６４に上下方向に摺動自在に支持された押圧
部材６７が設けられ、該押圧部材６７は吸着位置に位置
した吸着ノズル５２の上端を下方へ押圧する押圧部６７
ａを有している。尚、押圧部材６７の下方への移動は該
押圧部材６７と連結された図示しない移動機構により為
される。

【００６８】尚、支持柱６４は支持部材４と共にツール
ヘッド１の後述する移動に伴って該ツールヘッド１との
位置関係を保ったまま移動される。

【００６９】しかして、電子部品の吸着や吸着された電
子部品のプリント回路基板への装着の際には、吸着ノズ
ル５２のノズル部５６がスライド部５３と共に上下動さ
れる。

【００７０】ノズル部５６の下方への移動は被押圧部５
７の上端部がその上方に位置する押圧部材６７により下
方へ押圧されることにより為される。即ち、被押圧部５
７が押圧部材６７により押圧されると、上記第１のばね
乃至第３のばね６０、６１、６３のうちばね力の最も弱
い第２のばね６１が圧縮されることによって被押圧部５
７が外嵌部材２に対して下方に移動され、該被押圧部５
７がエアー供給部５８の嵌挿穴５８ａ内に位置する第１
のばね６０を下方へ押圧し、エアー供給部５８と受光部
５５とノズル部５６とが被押圧部５７と共に一体的に下
方へ移動する。このとき、スライドピン５７ｂの両端部
は、外嵌筒部５４のスライド孔５４ｃ、５４ｃに案内さ
れて下方へ移動する。

【００７１】尚、第１のばね６０はノズル部５６が下方
に移動され、その先端面が電子部品に当接したときに電
子部品に加わる衝撃を弱めるためのクッションとしての
役割を果たしている。即ち、ノズル部５６の先端面が電
子部品に当接したときにさらに被押圧部５７が押圧部材
６７により押圧されても、第１のばね６０が圧縮され被
押圧部５７のみが第１のばね６０の圧縮分下方に移動さ
れ、ノズル部５６とエアー供給部５８はそれ以上下方へ
は移動しない。

【００７２】ノズル部５６の上方への移動は、被押圧部
５７への上記押圧部材６７による押圧が解除され、圧縮
されていた第２のばね６１が元の状態に復することによ
り為される。即ち、押圧部材６７による押圧が解除され
ると、圧縮されていた第２のばね６１の反発力により被
押圧部５７が上方に移動され、スライドピン５７ｂの両
端部がエアー供給部５８の挿通孔５８ｄ、５８ｄの上端
に当接されているためエアー供給部５８と受光部５５と
ノズル部５６が被押圧部５７と共に一体的に上方へ移動
される。

【００７３】尚、吸着ノズル５２が下方に移動されて電
子部品を吸着する際には、負圧エアー供給装置から吸着
ノズル５２内に負圧エアーが供給される。即ち、負圧エ
アーは、負圧エアー供給装置−連結チューブ４８−供給
装置連結部材４３の負圧エアー連通路５０−基軸３の負
圧エアー供給路３ｃ−取付支持部６の負圧エアー供給路
６ａ−エアー回路接続部７の上側部３１の負圧エアー供
給路７ａ−上側部３１の連通孔３５−連結チューブ４０
−取付支持部６の上側挿通孔１２の小径部１５という経
路を通って負圧エアー供給口１８から上側連通口１７及
びノズル支持孔１１の大径部１１ｃを介して吸着ノズル
５２のエアー供給室５９内に供給される。そして、上記
経路のうち負圧エアー供給装置から負圧エアー供給口１
８までが負圧エアー供給ライン６８とされる。

【００７４】また、電子部品の吸着がされていないとき
には、図示しない正圧エアー供給装置から吸着ノズル５
２内に正圧エアーが供給される。即ち、正圧エアーは、
正圧エアー供給装置−連結チューブ４７−供給装置連結
部材４３の正圧エアー連通路４９−正圧エアー供給路４
２ａ−エアー回路接続部７の下側部３２の凹部３６−下
側部３２の連通孔３８−連結チューブ４１−取付支持部
６の下側挿通孔１３の小径部２１という経路を通って正
圧エアー供給口２５から下側連通口２３及びノズル支持
孔１１の大径部１１ｃを介して吸着ノズル５２のエアー
供給室５９内に供給される。そして、上記経路のうち正
圧エアー供給装置から正圧エアー供給口２５までが正圧
エアー供給ライン６９とされる。また、供給される正圧
エアーはノズル支持孔１１とシリンダ１９とを連通させ
ている連通口２４からシリンダ１９内にも供給されるこ
とになる。

【００７５】以下に、図３及び図４に従って吸着ノズル
５２内部の空気圧の切換機構の動作について説明をす
る。

【００７６】尚、図３及び図４においては、それぞれ上
側に上側挿通孔１２の位置で切断した厚肉部１０の横断
面を示し、下側に下側挿通孔１３の位置で切断した厚肉
部１０の横断面を示し、リンク部材２９については説明
の便宜のためバルブロッド２６、２７間を連結した状態
で示してある。また、正圧エアーについては△を付し、
負圧エアーについては梨字を付して示してある。

【００７７】図示しない電子部品供給装置の部品供給位
置上方にツールヘッド１が移動される。

【００７８】上記基軸３が上記支持部材４に対して回転
され、該基軸３の回転に伴いヘッド部５が基軸３と一体
的に回転して一の吸着ノズル５２が上記吸着位置に位置
される。尚、吸着ノズル５２が電子部品を吸着していな
い状態においては、上記の通り、吸着ノズル５２内には
正圧エアーが供給されており、図３に示すようにバルブ
ロッド２６はその小径部２６ａが負圧エアーに吸引され
て負圧エアー供給口１８が閉塞され、バルブロッド２７
はその小径部２７ａが正圧エアーに押圧されて正圧エア
ー供給口２５と下側連通口２３が開放された状態とされ
ている。

【００７９】しかして、電子部品の吸着が行われていな
い吸着ノズル５２、５２、・・・においては、バルブロ
ッド２７、２７、・・・により下側連通口２３、２３、
・・・が開放されているため、各エアー供給室５９、５
９、・・・は正圧エアー供給ライン６９を介して連通さ
れることになる。そして、上側連通口１７、１７、・・
・はバルブロッド２６、２６、・・・により閉塞されて
いるため、各エアー供給室５９、５９、・・・は負圧エ
アー供給ライン６８を介しては連通されていない。

【００８０】尚、正圧エアーと負圧エアーはツールヘッ
ド１の動作中には吸着ノズル５２、５２、・・・の電子
部品の吸着、離脱に拘わらず正圧エアー供給ライン６９
又は負圧エアー供給ライン６８に供給されている。

【００８１】厚肉部１０の外側面に近接して位置する支
持柱６４に設けられた下側プッシャー６６によってバル
ブロッド２７の外端面が押圧される。そして、正圧エア
ー供給口２５と下側連通口２３を開放する位置に位置し
ていたバルブロッド２７は正圧エアー供給口２５側に移
動され正圧エアー供給口２５と下側連通口２３が閉塞さ
れる。また、バルブロッド２７に設けられたピストン２
８はバルブロッド２７の移動に伴って移動されコイルば
ね３０が圧縮される（図４参照）。

【００８２】一方、負圧エアー供給口１８と上側連通口
１７を閉塞していたバルブロッド２６は、リンク部材２
９によりバルブロッド２７の移動方向と反対の方向に移
動され負圧エアー供給口１８と上側連通口１７が開放さ
れる（図４参照）。

【００８３】これにより、吸着ノズル５２内に供給され
ていた正圧エアーの供給が遮断されると共に負圧エアー
供給口１８から上側連通口１７を介して負圧エアーが吸
着ノズル５２内に供給される。

【００８４】負圧エアーが吸着ノズル５２内に供給され
ると、上記したように押圧部材６７により吸着ノズル５
２の被押圧部５７の上端部が押圧され、ノズル部５６が
下方に移動される。そして、ノズル部５６の先端面で電
子部品供給装置の部品供給位置にある電子部品が吸着さ
れる。

【００８５】電子部品が吸着されると下側プッシャー６
６によるバルブロッド２７の押圧が解除される。

【００８６】そして、ノズル部５６に電子部品が吸着さ
れた状態においては、ノズル部５６内とエアー供給室５
９内と該エアー供給室５９と連通しているシリンダ１９
内は密閉状態となり所定の負圧に至る。従って、下側プ
ッシャー６６によるバルブロッド２７の押圧が解除され
ても、ピストン２８への負圧エアーの吸引力がコイルば
ね３０のばね力に打ち勝って、ピストン２８がコイルば
ね３０を圧縮した状態即ち、図４の状態が維持され、正
圧エアー供給口２５が閉塞され、負圧エアー供給口１８
が開放された状態が維持される。

【００８７】尚、吸着ノズル５２内に負圧エアーが供給
された場合には、バルブロッド２６の小径部２６ａも負
圧エアーによって吸引されるが、バルブロッド２６より
もシリンダ１９の方が負圧エアーに接する面積が大き
く、バルブロッド２６の負圧エアー供給口１８側への移
動力よりもシリンダ１９の正圧エアー供給口２５側への
それの方が大きく、また、コイルばね３０の反発力とバ
ルブロッド２６の負圧エアー供給口１８側への移動力の
合計よりもシリンダ１９の正圧エアー供給口２５側への
移動力が大きくなるようにシリンダ１９の大きさが決定
されており、バルブロッド２６が負圧エアー供給口１８
側へ移動してしまうようなことはない。

【００８８】上記一の吸着ノズル５２が電子部品を吸着
すると、押圧部材６７による吸着ノズル５２の上端部へ
の押圧が解除され、圧縮されていた第２のばね６１の反
発力により被押圧部５７と共にノズル部５６が上方に移
動される。そして、基軸３が所定の角度だけ回転し電子
部品の吸着が為されていない他の吸着ノズル５２が吸着
位置に位置される。そして、上記と同様にして吸着ノズ
ル５２が下方に移動され電子部品を吸着し、それから上
方に移動される。

【００８９】全ての吸着ノズル５２、５２、・・・に電
子部品が吸着されると、ツールヘッド１はプリント回路
基板の部品取付位置上方へ移動される。尚、上記したよ
うに上記支持柱６４はツールヘッド１の移動に伴って該
ツールヘッド１との位置関係を保ったまま移動される。

【００９０】そして、ツールヘッド１がプリント回路基
板の部品取付位置上方へ移動されると装着位置に位置さ
れた一の吸着ノズル５２に吸着されている電子部品がプ
リント回路基板に正しい向きで装着されるように外嵌部
材２が回転して吸着ノズル５２を回転させる。尚、基軸
３が回転されて吸着ノズル５２が装着位置に位置された
ときの吸着された電子部品の向きの認識は、部品装着装
置に設けられた図示しない監視カメラにより電子部品を
撮像して電子部品の状態を認識する部品認識装置により
為されている。

【００９１】本発明ツールヘッドにあっては、上記支持
部材４に回転自在に支持された外嵌部材２の回転により
吸着ノズル５２が回転されるため、例えば、吸着ノズル
５２を回転させるための回転装置を吸着ノズル５２に設
け該回転装置とこれを駆動させるための駆動部を電気的
に接続し、吸着ノズル５２を回転させる等の機構を設け
る必要がない。

【００９２】そして、上記のように吸着ノズル５２に設
けられた回転装置と駆動部を電気的に接続する場合に
は、回転装置と駆動部との間に配される電線により基軸
３の回転の自由度が低くなってしまうが、本発明ツール
ヘッドにあってはこのような問題を生じることもなく、
比較的簡単な機構により吸着ノズル５２、５２、・・・
を回転させることが出来る。

【００９３】ところで、吸着ノズル５２、５２、・・・
の回転は外嵌部材２とリング状部材５４ｄとを当接させ
外嵌部材２を回転させることにより行うようにしている
ため、上記に示したように回転を繰り返すにつれリング
状部材５４ｄが磨耗して外嵌部材２の外周面２ｂに対す
るリング状部材５４ｄの当接位置が変化してしまう（図
５及び図６参照）。そして、リング状部材５４ｄの磨耗
前後において、外嵌部材２の回転軸から当接位置までの
距離と吸着ノズル５２の回転軸から当接位置までの距離
との比が異なる場合には外嵌部材２と吸着ノズル５２の
回転比が変化し、即ち、外嵌部材２の回転角度に対する
吸着ノズル５２の回転角度が変化し吸着された電子部品
の正しい向きへの修正に支障を来してしまう。

【００９４】ところが、本発明ツールヘッドにあって
は、図７に示すように外嵌部材２の外周面２ｂとリング
状部材５４ｄとの当接位置が変化して当接位置が何れの
位置にあっても外嵌部材２の回転軸から当接位置までの
距離と吸着ノズル５２の回転軸から当接位置までの距離
との比が異ならないように外周面２ｂの基軸３に対する
傾斜角と吸着ノズル５２、５２、・・・の基軸３に対す
る傾斜角が決定されている。図７に当接位置が変化して
当接位置が何れの位置に移動しても外嵌部材２の回転軸
から当接位置までの距離と吸着ノズル５２の回転軸から
当接位置までの距離との比が変わらないことを例示して
おり、図７（ａ）のＡ１対Ｂ１と図７（ｂ）のＡ２対Ｂ
２は同じである。

【００９５】従って、リング状部材５４ｄが磨耗して外
嵌部材２の外周面２ｂとリング状部材５４ｄとの当接位
置が変化しても、外嵌部材２の回転軸から当接位置まで
の距離と吸着ノズル５２の回転軸から当接位置までの距
離との比が変化せず、即ち、外嵌部材２と吸着ノズル５
２の回転比が変化するようなことはなく、吸着された電
子部品の正しい向きへの修正に支障を来たすことがな
い。

【００９６】上記装着位置に位置された一の吸着ノズル
５２の被押圧部５７の上端部が押圧部材６７により押圧
され、ノズル部５６が下方に移動される。吸着ノズル５
２が下方へ移動されプリント回路基板に電子部品が当接
されると、支持柱６４に設けられた上側プッシャー６５
によってバルブロッド２６の外端面が押圧される。

【００９７】そして、負圧エアー供給口１８と上側連通
口１７を開放する位置に位置していたバルブロッド２６
は負圧エアー供給口１８側に移動され負圧エアー供給口
１８と上側連通口１７を閉塞する（図３参照）。

【００９８】一方、正圧エアー供給口２５と下側連通口
２３を閉塞していたバルブロッド２７は、リンク部材２
９によりバルブロッド２６の移動方向と反対の方向に移
動され正圧エアー供給口２５と下側連通口２３が開放さ
れる。また、バルブロッド２７に設けられたピストン２
８はバルブロッド２７の移動に伴って移動され圧縮され
ていたコイルばね３０が元の状態に復する（図３参
照）。

【００９９】これにより、吸着ノズル５２内に供給され
ていた負圧エアーの供給が遮断されると共に正圧エアー
供給口２５から下側連通口２３を介して正圧エアーが吸
着ノズル５２内に供給される。

【０１００】正圧エアーが吸着ノズル５２内に供給され
るとノズル部５６から電子部品が離脱されプリント回路
基板に電子部品が装着される。

【０１０１】プリント回路基板へ電子部品が装着される
と押圧部材６７による被押圧部５７への押圧が解除さ
れ、圧縮されていた第２のばね６１の反発力により被押
圧部５７と共にノズル部５６は上方へ移動され元の位置
へ戻る。

【０１０２】また、上側プッシャー６５のバルブロッド
２６への押圧も解除されるが、上側プッシャー６５の押
圧が解除されても、バルブロッド２６は負圧エアー供給
口１８を閉塞する位置に移動された状態で負圧エアーに
吸引されており、また、ピストン２８とバルブロッド２
７は正圧エアー供給口２５を開放する位置に移動された
状態で正圧エアーに押圧され、さらに、ピストン２８は
コイルばね３０によって正圧エアー供給口２５を開放す
る方向に付勢されているため、負圧エアー供給口１８が
閉塞され正圧エアー供給口２５が開放された状態が維持
される。

【０１０３】上記一の吸着ノズル５２がプリント回路基
板に電子部品を装着すると、基軸３が所定の角度だけ回
転し電子部品を吸着している他の吸着ノズル５２が装着
位置に位置され、上記と同様にして装着位置に位置され
た吸着ノズル５２に吸着されている電子部品がプリント
回路基板に正しい向きで装着されるように外嵌部材２が
回転して吸着ノズル５２を回転させる。そして、吸着ノ
ズル５２が下方に移動されプリント回路基板に電子部品
を装着し、それから上方に移動される。

【０１０４】全ての吸着ノズル５２、５２、・・・の電
子部品がプリント回路基板に装着されると、再度、電子
部品供給装置の部品供給位置上方にツールヘッド１が移
動される。そして、吸着ノズル５２、５２、・・・によ
る電子部品の吸着が為され、その後、吸着された電子部
品のプリント回路基板への装着が為され、これらの吸着
及び装着が繰り返し行われる。

【０１０５】しかして、本発明ツールヘッドにあって
は、基軸３内部にエアーの供給路を形成して各吸着ノズ
ル５２、５２、・・・内部にエアーを供給するようにし
ているため、従来のツールヘッドのように各吸着ノズル
のエアー供給室とエアー供給装置とを連結する基軸に這
うようにして設けられるエアー供給パイプの必要がな
く、従来のツールヘッドが有していたツールヘッドの回
転によるエアー供給パイプ同士の接触、エアー供給パイ
プの基軸への巻き付き、或は、エアー供給パイプのねじ
れ等の問題は発生せず、吸着ノズル５２、５２、・・・
に供給されるエアーの供給等に支障を来すことなくツー
ルヘッド１を回転させることが出来る。

【０１０６】そして、基軸３がヘッド部５と共に両方向
に何度でも回転可能であることからツールヘッド１の回
転の自由度が高まり、これにより従来のツールヘッドの
ようにツールヘッドを半回転づつ回転させて電子部品の
吸着等を行う必要がなく、近年要求されている部品装着
装置の高速化を図ることが出来る。

【０１０７】また、基軸３内部に筒状部材４２を配設し
て基軸３内部における筒状部材４２の内外に正圧エアー
供給路４２ａと負圧エアー供給路３ｃを形成し、正圧エ
アーと負圧エアーとが電子部品等を離脱させるモードと
吸着するモードに応じて各別に吸着ノズル５２、５２、
・・・内部に供給されるようにしていることから、電子
部品の離脱は正圧エアーにより、また、電子部品の吸着
は負圧エアーにより行うことが出来る。

【０１０８】尚、かかる場合のように電子部品の離脱を
正圧エアーによって行うようにすれば、電子部品の離脱
を吸着ノズル内部への負圧エアーの遮断により行う方法
に比し、電子部品を離脱させる速度が速くなることによ
る部品装着装置の高速化や電子部品の離脱の確実性の向
上に寄与する。

【０１０９】

【発明の効果】以上に記載したことから明らかなよう
に、本発明ツールヘッドは、基軸が支持部材に回転自在
に支持され、基軸に設けられたフランジ状の取付支持部
にその周方向に複数並んで支持されると共にエアー供給
装置から供給されるエアーにより電子部品等を保持する
ツールを備えたツールヘッドであって、上記エアー供給
装置と連結されると共に内部にエアーが供給される連通
路が形成された供給装置連結部材が設けられ、上記基軸
は略筒状に形成されると共にその上端部が上記供給装置
連結部材に回転可能に支持され、基軸内部が上記連通路
と連通されてエアー供給路とされたことを特徴とする。

【０１１０】従って、本発明ツールヘッドにあっては、
基軸内部にエアーの供給路を形成して各ツール内部にエ
アーを供給するようにしているため、従来のツールヘッ
ドのように各ツールのエアー供給室とエアー供給装置と
を連結する基軸に這うようにして設けられるエアー供給
パイプの必要がなく、従来のツールヘッドが有していた
ツールヘッドの回転によるエアー供給パイプ同士の接
触、エアー供給パイプの基軸への巻き付き、或は、エア
ー供給パイプのねじれ等の問題は発生せず、ツールに供
給されるエアーの供給等に支障を来すことなくツールヘ
ッドを回転させることが出来る。

【０１１１】そして、基軸がヘッド部と共に両方向に何
度でも回転可能であることからツールヘッドの回転の自
由度が高まり、これにより従来のツールヘッドのように
ツールヘッドを半回転づつ回転させて電子部品の吸着等
を行う必要がなく、近年要求されている部品装着装置の
高速化を図ることが出来る。

【０１１２】尚、上記した実施の形態に示した各部の形
状及び構造は、何れも本発明を実施するに際しての具体
化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって
本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあって
はならない。

【図面の簡単な説明】

【図１】図２乃至図７と共に本発明ツールヘッドの実施
の形態を示すものであり、本図はツールヘッドが支持部
材に支持された状態を示す縦断面図である。

【図２】吸着ノズルと空気圧の切換機構とを拡大して示
す縦断面図である。

【図３】図４と共に空気圧の切換機構の動作を説明する
ための図であり、本図は負圧エアー供給口が閉塞され正
圧エアー供給口が開放された状態を拡大して示す断面図
である。

【図４】負圧エアー供給口が開放され正圧エアー供給口
が閉塞された状態を拡大して示す断面図である。

【図５】図６と共に吸着ノズルのリング状部材と外嵌部
材の当接部が当接した状態を示すものであり、本図はリ
ング状部材が磨耗する前の状態を示す拡大縦断面図であ
る。

【図６】リング状部材が磨耗した後の状態を示す拡大縦
断面図である。

【図７】外嵌部材の当接部と吸着ノズルのリング状部材
との当接位置が変化した場合において、外嵌部材の回転
軸から当接位置までの距離と吸着ノズルの回転軸から当
接位置までの距離との比の関係を示すものであり、
（ａ）はリング状部材が磨耗する前の状態、（ｂ）はリ
ング状部材が磨耗した後の状態を示す概略拡大側面図で
ある。

【符号の説明】

１ ツールヘッド ２ 外嵌部材 ２ａ 当接部 ２ｂ 外周面 ３ 基軸 ３ｃ エアー供給路 ３ｃ 負圧エアー供給路 ４ 支持部材 ６ 取付支持部 ４２ 筒状部材 ４２ａ 正圧エアー供給路 ４９ 正圧エアー連通路 ５０ 連通路 ５０ 負圧エアー連通路 ５２ 吸着ノズル ５４ｄ リング状部材 ６３ 付勢手段

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基軸が支持部材に回転自在に支持され、
   基軸に設けられたフランジ状の取付支持部にその周方向
   に複数並んで支持されると共にエアー供給装置から供給
   されるエアーにより電子部品等を保持するツールを備え
   たツールヘッドであって、 上記エアー供給装置と連結されると共に内部にエアーが
   供給される連通路が形成された供給装置連結部材が設け
   られ、 上記基軸は略筒状に形成されると共にその上端部が上記
   供給装置連結部材に回転可能に支持され、基軸内部が上
   記連通路と連通されてエアー供給路とされたことを特徴
   とするツールヘッド。
2. 【請求項２】 上記ツールは電子部品等を吸着する吸着
   ノズルであることを特徴とする請求項１に記載のツール
   ヘッド。
3. 【請求項３】 上記エアー供給路内に筒状部材を配設し
   て基軸内部における筒状部材の内外に正圧エアー供給路
   と負圧エアー供給路を形成し、 上記連通路は正圧エアー連通路と負圧エアー連通路の２
   つの連通路として形成され、 上記正圧エアー供給路は正圧エアー連通路と連通され、 上記負圧エアー供給路は負圧エアー連通路と連通され、 正圧エアー供給路に供給され電子部品等を離脱させるた
   めの正圧エアーと負圧エアー供給路に供給され電子部品
   等を吸着するための負圧エアーとが電子部品等を離脱さ
   せるモードと吸着するモードに応じて各別に吸着ノズル
   内部に供給されるようにしたことを特徴とする請求項２
   に記載のツールヘッド。
4. 【請求項４】 上記基軸のうち上記取付支持部の上方側
   に外嵌されて基軸と各別に回転可能にされた外嵌部材が
   設けられ、 該外嵌部材はフランジ状の当接部を有し、 上記吸着ノズルはその中間部が上記取付支持部に回転自
   在に支持されると共に取付支持部の上方側に突出する部
   分に外嵌状にリング状部材が設けられ、 該リング状部材が上記外嵌部材の当接部の外周面に当接
   し、 外嵌部材の回転によりリング状部材を介してツールが回
   転されるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の
   ツールヘッド。
5. 【請求項５】 上記基軸のうち上記取付支持部の上方側
   に外嵌されて基軸と各別に回転可能にされた外嵌部材が
   設けられ、 該外嵌部材はフランジ状の当接部を有し、 上記吸着ノズルはその中間部が取付支持部に回転自在に
   支持されると共に取付支持部の上方側に突出する部分に
   外嵌状にリング状部材が設けられ、 該リング状部材が上記外嵌部材の当接部の外周面に当接
   し、 外嵌部材の回転によりリング状部材を介して吸着ノズル
   が回転されるようにしたことを特徴とする請求項２に記
   載のツールヘッド。
6. 【請求項６】 上記基軸のうち上記取付支持部の上方側
   に外嵌されて基軸と各別に回転可能にされた外嵌部材が
   設けられ、 該外嵌部材はフランジ状の当接部を有し、 上記吸着ノズルはその中間部が取付支持部に回転自在に
   支持されると共に取付支持部の上方側に突出する部分に
   外嵌状にリング状部材が設けられ、 該リング状部材が上記外嵌部材の当接部の外周面に当接
   し、 外嵌部材の回転によりリング状部材を介して吸着ノズル
   が回転されるようにしたことを特徴とする請求項３に記
   載のツールヘッド。
7. 【請求項７】 上記外嵌部材の当接部の外周面は上方へ
   行くに従って吸着ノズルとの距離が短くなるような傾斜
   面として形成され、 上記リング状部材は付勢手段により上方への移動力が付
   勢されていることを特徴とする請求項４に記載のツール
   ヘッド。
8. 【請求項８】 上記外嵌部材の当接部の外周面は上方へ
   行くに従って吸着ノズルとの距離が短くなるような傾斜
   面として形成され、 上記リング状部材は付勢手段により上方への移動力が付
   勢されていることを特徴とする請求項５に記載のツール
   ヘッド。
9. 【請求項９】 上記外嵌部材の当接部の外周面は上方へ
   行くに従って吸着ノズルとの距離が短くなるような傾斜
   面として形成され、 上記リング状部材は付勢手段により上方への移動力が付
   勢されていることを特徴とする請求項６に記載のツール
   ヘッド。
10. 【請求項１０】 上記当接部の外周面は上方へ行くに従
    って基軸との距離が短くなるように形成されていること
    を特徴とする請求項７に記載のツールヘッド。
11. 【請求項１１】 上記当接部の外周面は上方へ行くに従
    って基軸との距離が短くなるように形成されていること
    を特徴とする請求項８に記載のツールヘッド。
12. 【請求項１２】 上記当接部の外周面は上方へ行くに従
    って基軸との距離が短くなるように形成されていること
    を特徴とする請求項９に記載のツールヘッド。