JPH09161935A

JPH09161935A - 熱圧着装置

Info

Publication number: JPH09161935A
Application number: JP34523195A
Authority: JP
Inventors: Kazuaki Suzuki; 和明鈴木; Toyoji Yamazaki; 豊司山崎
Original assignee: Sony Chemicals Corp
Current assignee: Dexerials Corp
Priority date: 1995-12-06
Filing date: 1995-12-06
Publication date: 1997-06-20
Anticipated expiration: 2015-12-06
Also published as: JP3070464B2

Abstract

(57)【要約】【課題】液晶パネルと異方性導電性接着剤シートとＴ
ＡＢとの仮圧着体などを被圧着体とする熱圧着装置にお
いて、熱圧着面とステージ面との平行度を厳密に調整す
ることを可能とする。【解決手段】被圧着体１を載置するステージ２、ステ
ージ２に載置した被圧着体１を加熱加圧する熱圧着ヘッ
ド３及び熱圧着ヘッドを支持する支持体４を有する熱圧
着装置２００において、支持体４に、熱圧着ヘッド３の
熱圧着面３ａとステージ面２ａとの平行度をクサビ機構
により微調整する平行度調整手段２０を設ける。また、
同様の平行度調整手段６０をステージ２に設ける。さら
に、熱圧着面３ａとステージ面２ａとの平行をとった
後、その熱圧着ヘッド３を支持体に固定するために、偏
心カムからなるクランプ機構４０を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱圧着装置に関す
る。特に、液晶パネルとＴＡＢ（Tape AutomatedBondin
g）とを異方性導電性接着剤シート（ＡＣＦ）を介して
仮圧着したものを被圧着体とし、この被圧着体を熱圧着
ヘッドで加熱加圧して液晶パネルとＴＡＢとを本圧着す
る場合に、被圧着体に対する熱圧着ヘッドの熱圧着面の
平行度を厳密に調整できるようにした熱圧着装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルとＴＡＢとを異方性導電性接
着剤シートを介して仮圧着したものを被圧着体とし、こ
の被圧着体を熱圧着ヘッドで加熱加圧して液晶パネルと
ＴＡＢとを本圧着する場合、液晶パネルとＩＣとを接続
する場合、リジッド又はフィルム状基板とＴＡＢとを接
続する場合、リジッド又はフィルム状基板にＩＣを実装
する場合、その他種々の回路基板へ半導体素子を実装す
る等の場合においては、被着圧体の加熱加圧装置とし
て、図１０に示すような装置１００が使用されている。

【０００３】同図の熱圧着装置１００は、被圧着体１を
載置するステージ２、ステージ２に載置した被圧着体１
を加熱加圧する熱圧着ヘッド３、熱圧着ヘッド３を支持
する支持体４を有している。ここで、熱圧着ヘッド３と
支持体４とは一体で、容易に分離できないヘッドユニッ
ト５を構成している。また、支持体４は直動ガイド６を
介してシリンダ７に接続しており、シリンダ７の作用に
より、支持体４に支持されている熱圧着ヘッド３が上下
動する。熱圧着ヘッド３の内部にはヒーター８が通り、
また温度センサー（図示せず）も取り付けられ、熱圧着
ヘッド３が所定の温度に加熱されるようになっている。

【０００４】ところで、このような熱圧着装置１００に
おいては、被圧着体１の形状や大きさに応じて、熱圧着
ヘッド３の交換が必要となる場合がある。一方、このよ
うな熱圧着装置においては、熱圧着ヘッド３の被圧着体
１に対する熱圧着面３ａとステージ２の表面（ステージ
面２ａ）との平行度は、厳密に調整するほど良好に被圧
着体を熱圧着することができる。

【０００５】そこで、図１０に示した熱圧着装置１００
においては、熱圧着ヘッド３の交換時には、ヘッドユニ
ット５ごと交換することがなされている。また、この場
合の熱圧着面３とステージ面２ａとの平行度について
は、装置の加工精度や組み立て精度を向上させることに
より、より正確な平行度が得られるようにしている。

【０００６】また、従来の熱圧着装置としては、図１１
に示した装置１０１も知られている。図１２は、この装
置１０１の熱圧着ヘッド３付近の側面図である。この装
置１０１も図１０に示した熱圧着装置１００と同様に、
支持体４に支持された熱圧着ヘッド３がシリンダ７の作
用により上下動し、ステージ２に載置された被圧着体１
を熱圧着するものであるが、熱圧着ヘッド３の交換を容
易にするために、熱圧着ヘッド３を支持体４に対して着
脱可能としている。即ち、熱圧着ヘッド３はその軸方向
と直交する方向に回転シャフト９を有し、一方、支持体
４は熱圧着ヘッド３を挟持するコの字状保持部４ｈ及び
回転シャフト受け用孔部４ｉを有し、熱圧着ヘッド３の
回転シャフト９が支持体４の孔部４ｉに嵌まり、熱圧着
ヘッド３が支持体４のコの字状保持部４ｈに掛止される
ようにしている。そして、この場合に熱圧着面３ａの平
行をとりつつ熱圧着ヘッド３を支持体４に固定する方法
としては、熱圧着ヘッド３の回転シャフト９を支持体４
の孔部４ｉに嵌めた後、その状態で熱圧着ヘッド３の熱
圧着面３ａをステージ面２ａに対して平行にし、次い
で、支持体４に取付けた締め付け用ネジ１０をレンチ１
１等の工具を用いて矢印のように回わしてコの字状保持
部４ｈを締付け、熱圧着ヘッド３を固定することがなさ
れている。

【０００７】また、従来の熱圧着装置としては、図１３
に示したように、熱圧着面３ａとステージ面２ａとの平
行をとるために、ベアリング１２を用いた回転調節機構
１３を支持体４に設けたものも知られている。このよう
な回転調節機構１３を設けると、熱圧着ヘッド３がベア
リング１２を中心として矢印方向に回転し、熱圧着面３
ａは自ずと水平になろうとするので、図１１に示した装
置に比して、熱圧着面３ａとステージ面２ａとの平行を
とることが容易となる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置のうち、図１０に示した装置では、熱圧着面３ａと
ステージ面２ａとの平行度は、装置の加工精度や組み立
て精度に依存するので、熱圧着面３ａとステージ面２ａ
とを厳密に平行に調整することが困難であるという問題
があり、特に、熱圧着ヘッド３を加熱した場合の熱圧着
ヘッド３や支持体４の熱変形に対しては、調整する手段
がないという問題があった。

【０００９】また、図１１に示した装置では、熱圧着ヘ
ッド３をコの字状保持部４ｈに掛止させ、次いで熱圧着
面３ａをステージ面２ａに対して平行にし、その状態で
熱圧着ヘッド３を支持体４に固定するために、図１２に
示したように、コの字状保持部４ｈの締め付け用ネジ１
０を回し、熱圧着ヘッド３をコの字状保持部４ｈで締め
付けると、締め付けのトルクモーメントＭが、熱圧着ヘ
ッド３を当初の調整位置から図１１に矢印で示したよう
に回転させ、熱圧着面３ａの平行度を狂わせる。したが
って、熱圧着面３ａとステージ面２ａとの平行度を厳密
に調整することができないという問題があった。

【００１０】図１３に示した装置では、熱圧着面３ａと
ステージ面２ａとの平行をとるために回転調節機構１３
が設けられてはいるが、ベアリング１２を用いた回転調
節機構１３では調節範囲が大きく、調整精度が粗すぎて
微調整ができないという問題があり、しかも熱圧着時に
回転調節機構１３に圧力が加わると、ベアリング１２の
間隙の大きさが変化して平行度が狂うという問題があっ
た。

【００１１】本発明は以上のような従来技術の問題点を
解決しようとするものであり、液晶パネルと異方性導電
性接着剤シートとＴＡＢとの仮圧着体などを被圧着体と
する熱圧着装置において、熱圧着面とステージ面との平
行度を厳密に調整できるようにすることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、被圧着体
を載置するステージ、ステージに載置した被圧着体を加
熱加圧する熱圧着ヘッド、及び熱圧着ヘッドを支持する
支持体を有する熱圧着装置において、(i) クサビ機構を
用いた平行度調整手段を支持体に設けることにより、熱
圧着面とステージ面との平行度を微調整できること、(i
i)同様に、ステージにクサビ機構を用いた平行度調整手
段を設けることによっても、熱圧着面とステージ面との
平行度を微調整できること、(iii) また、熱圧着ヘッド
を支持体に固定するに際して、トルクモーメントＭを発
生させる締め付け用ネジを使用することなく、偏心カム
からなるクランプ機構を使用することにより、当初の調
整位置に熱圧着ヘッドを固定できることを見出し、本発
明を完成させるに至った。

【００１３】すなわち、本発明は、第１の発明として、
被圧着体を載置するステージ、ステージに載置した被圧
着体を加熱加圧する熱圧着ヘッド及び熱圧着ヘッドを支
持する支持体を有する熱圧着装置において、熱圧着ヘッ
ドの熱圧着面とステージ面との平行度をクサビ機構によ
り微調整する平行度調整手段が、支持体に設けられてい
ることを特徴とする熱圧着装置を提供する。

【００１４】特にこのような熱圧着装置として、平行度
調整手段が、Ｖ字状溝を有するブラケットと、そのＶ字
状溝内をＶ字の深さ方向に移動することによりＶ字状溝
の開きを変える可動部材と、可動部材に螺合して可動部
材をＶ字の深さ方向に移動させる可動部材移動ネジとか
らなり、該可動部材移動ネジが、Ｖ字状溝を有するブラ
ケットに接触することなく設けられているものを提供
し、中でも、(a) 可動部材が、ブラケットのＶ字状溝の
溝面と面接触するクサビであり、そのクサビのＶ字状溝
内の位置に応じて定まるＶ字状溝の開き度合いを固定す
る固定手段が設けられている態様、(b) 可動部材が、ブ
ラケットのＶ字状溝の溝面と点接触する球体と、その球
体を保持し、可動部材移動ネジに螺合している球体保持
部材からなる態様、(c) Ｖ字状溝を有するブラケット
が、Ｖ字状溝の一方の溝面を構成する上部ブラケット
と、Ｖ字状溝の他方の溝面を構成する下部ブラケット
と、上部ブラケットと下部ブラケットとを互いに押し付
ける加圧ボルトとを有し、上部ブラケットと下部ブラケ
ットとの接合部には、上部ブラケットと下部ブラケット
とのそれぞれにＶ字状小溝が対向して設けられ、この対
向するＶ字状小溝から形成される中空部に丸シャフトが
通っている態様を提供する。

【００１５】また、本発明は第２の発明として、被圧着
体を載置するステージ、ステージに載置した被圧着体を
加熱加圧する熱圧着ヘッド及び熱圧着ヘッドを支持する
支持体を有する熱圧着装置において、熱圧着ヘッドの熱
圧着面とステージ面との平行度をクサビ機構により微調
整する平行度調整手段が、ステージに設けられているこ
とを特徴とする熱圧着装置を提供する。

【００１６】第３の発明として、被圧着体を載置するス
テージ、ステージに載置した被圧着体を加熱加圧する熱
圧着ヘッド及び熱圧着ヘッドを支持する支持体を有する
熱圧着装置において、支持体が熱圧着ヘッドを掛止する
コの字状保持部を有し、該コの字状保持部には、そこに
掛止されている熱圧着ヘッドを締め付けてコの字状保持
部に固定する、偏心カムからなるクランプ機構が設けら
れていることを特徴とする熱圧着装置を提供する。

【００１７】第１の本発明によれば、支持体に、クサビ
機構による平行度調整手段が設けられているので、熱圧
着面のステージ面に対する平行度を微調整することが可
能となる。この平行度調整手段は、Ｖ字状溝を有するブ
ラケットと、そのＶ字状溝内をＶ字の深さ方向に移動す
ることによりＶ字状溝の開きを変える可動部材と、可動
部材に螺合して可動部材をＶ字の深さ方向に移動させる
可動部材移動ネジとから構成することができるが、ここ
で、可動部材移動ネジを、Ｖ字状溝を有するブラケット
に接触することなく設けることにより、熱圧着ヘッドが
加熱され、その熱によって可動部材移動ネジが熱膨張し
ても、可動部材のＶ字状溝内における位置は変わらない
ようにし、したがって、Ｖ字状溝の開き度合いが、熱圧
着ヘッドの加熱状態によらず、当初設定した平行度が安
定的に保持されるようになる。

【００１８】本発明において、平行度調整手段に使用す
る可動部材としては、ブラケットのＶ字状溝の溝面と面
接触するクサビや、Ｖ字状溝の溝面と点接触する球体で
あって球体保持部材に保持されたものを使用することが
できるが、可動部材として、後者の球体を使用すること
により、Ｖ字状溝の開きをより容易に精密に調整するこ
とが可能となる。

【００１９】第２の本発明においては、このようなクサ
ビ機構による平行度調整手段をステージに設けるが、こ
れによりステージ面の熱圧着面に対する平行度を調整す
ることによっても、熱圧着面とステージ面との平行度を
厳密に調整することが可能となる。

【００２０】また第３の本発明においては、支持体が熱
圧着ヘッドを掛止するコの字状保持部を有し、そのコの
字状保持部に掛止されている熱圧着ヘッドを固定するた
めに、偏心カムからなるクランプ機構が設けられてい
る。このクランプ機構によると、熱圧着ヘッドを支持体
に固定するときに偏心カムを回転させても、その偏心カ
ムの回転モーメントが、熱圧着ヘッドの回転シャフトを
中心として熱圧着ヘッドを回転させることを防止でき
る。したがって、熱圧着体を支持体に固定するときに、
熱圧着体が初期の調整位置から回転して熱圧着面の平行
度が狂うという問題を解消させることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の態様を図面
に基づいて説明する。なお、前述の従来例も含めて、各
図中、同一符号は同一又は同等の構成要素を表してい
る。

【００２２】図１は、本発明の熱圧着装置の一実施例の
説明図である。この熱圧着装置２００も図１１に示した
熱圧着装置１０１と同様に、被圧着体１を載置するステ
ージ２、ヒーター８を内蔵した熱圧着ヘッド３、コの字
状保持部４ｈで熱圧着ヘッド３を挟持する支持体４、支
持体４に接続した直動ガイド６、及びシリンダ７を有し
ており、熱圧着ヘッド３は、その回転シャフト９を支持
体４のコの字状保持部４ｈに設けられたシャフト受け用
孔部４ｉに嵌入させることにより、コの字状保持部４ｈ
内に掛止される。

【００２３】しかし、この熱圧着装置２００において
は、第１に、支持体４に、クサビ機構による平行度調整
手段２０Ａが設けられていること、第２に、支持体４の
コの字状保持部４ｈに掛止された熱圧着ヘッド３を固定
する手段として、偏心カムからなるクランプ機構４０が
設けられていること、第３に、ステージにもクサビ機構
による平行度調整手段６０が設けられていることを特徴
としている。

【００２４】そこで、次に、本発明の熱圧着装置に特徴
的な、クサビ機構による平行度調整手段及び偏心カムか
らなるクランプ機構について、順次詳細に説明する。

【００２５】図２（ａ）は支持体４に設けられている平
行度調整手段２０Ａの斜視図であり、図２（ｂ）はその
断面図である。同図の平行度調整手段２０Ａは、Ｖ字状
溝Ａ（開き角α＝５°程度）を有するブラケット２１
と、クサビ２２、クサビ移動ネジ２３を有している。

【００２６】ここで、クサビ２２は、Ｖ字状溝Ａ内をＶ
字の深さ方向ｘに移動することによりＶ字状溝の開きＢ
を変え、それにより熱圧着ヘッド３の熱圧着面３ａを図
１の矢印β方向に回転させる可動部材として設けられて
いる。また、クサビ２２は、ブラケット２１のＶ字状溝
の溝面２１ａと面接触しており、ブラケット２１に形成
されたガイド２４に沿って、距離Ｃの範囲を移動できる
ようになっている。なお、ブラケット２１には、サラネ
ジ２５により、常時、Ｖ字状溝の開きＢを閉じる方向に
圧力が加えられている。したがって、クサビ２２がＶ字
状溝Ａ内を移動しても、クサビ２２とブラケット２１の
Ｖ字状溝の溝面２１ａとの面接触は維持される。

【００２７】クサビ移動ネジ２３は、クサビ２２と螺合
しているが、ブラケット２１には直接接することなく設
けられている。クサビ移動ネジ２３には、その端部にハ
ンドル２６が設けられ、また、ブラケット２１の内部に
形成されている空間Ｄ内で、当て板２７が固着されてい
る。したがって、ハンドル２６を回すことにより、クサ
ビ移動ネジ２３も回転し、クサビ２２がｘ方向に移動す
る。

【００２８】ブラケット２１の内部には、上述の空間Ｄ
の他に、図示したように空間Ｅも形成されている。

【００２９】このような平行度調整手段２０Ａを用い
て、熱圧着ヘッド３の熱圧着面３ａとステージ２のステ
ージ面２ａとの平行度を調整する方法としては、まず、
ハンドル２６を回すことにより、ブラケット２１のＶ字
状溝Ａ内でクサビ２２をｘ方向に移動させ、それにより
Ｖ字状溝の開きＢを変え、即ち、熱圧着面３ａをβ方向
に回転させ、熱圧着面３ａとステージ面２ａとが平行と
なる大きさに調整する（図１参照）。この場合、螺合し
ているクサビ２２とクサビ移動ネジ２３とのネジピッチ
を細かくすることにより、クサビ２２の移動距離を微調
整することができ、したがってＶ字状溝の開きＢも微調
整することができる。

【００３０】このようにＶ字状溝の開きＢを調整した後
は、その調整したＶ字状溝の開きＢの大きさを固定す
る。この場合の固定方法としては、上述のＶ字状溝の開
きＢの調整時にハンドル２６を回した方向と逆方向にそ
のハンドル２６を回転させ、当て板２７がブラケット２
１内の空間Ｄの側壁２１d1、２１d2と接触しないように
する。例えば、当て板２７と空間Ｄの側壁２１d1、２１
d2との間隙Ｆ1 、Ｆ2 が、０．１〜０．５ｍｍ程度とな
るようにする。そして、固定用ボルト２８でＶ字状溝の
開きＢの大きさを固定する。これにより熱圧着ヘッド３
の熱圧着面３ａとステージ２のステージ面２ａとの平行
度を精度よく調整することが可能となる。

【００３１】即ち、このような平行度調整手段２０Ａに
よると、熱圧着時に熱圧着ベッド３が加熱され、それに
より平行度調整手段２０Ａへ熱が伝搬してきても、ブラ
ケット２１内に空間Ｄがあるので、クサビ移動ネジ２３
が熱膨脹してそのヨークがｘ方向に伸びたとしても、ク
サビ２２の位置は変化しない。したがって、熱圧着時の
平行度の狂いを大きく抑制することが可能となる。

【００３２】また、ブラケット２１の内部には、Ｖ字状
溝Ａ、空間Ｅ、空間Ｄと多くの空間が形成されているこ
とによりブラケットの放熱作用が促進されるので、ブラ
ケット２１やこの内部に設けられているクサビ２２やク
サビ移動ネジ２３等の熱膨脹が抑制される。したがっ
て、これによっても熱圧着時の平行度の狂いを一層抑制
することが可能となる。

【００３３】熱圧着時の平行度の狂いを抑制する点から
は、さらに、クサビ２２、クサビ移動ネジ２３、ブラケ
ット２１は同一材料から形成することが好ましい。これ
により、熱圧着時にこれらが熱膨張しても、その膨脹度
合いは均一となるので、平行度の狂いをより一層抑制す
ることが可能となる。

【００３４】以上、図１に示した熱圧着装置２００の支
持体４に設けられている平行度調整手段２０Ａについて
説明したが、本発明においては、平行度調整手段とし
て、図３に示した調整手段２０Ｂも使用することができ
る。図３の平行度調整手段２０Ｂも図２に示した平行度
調整手段２０Ａと同様に、Ｖ字状溝Ａを有するブラケッ
ト２１、Ｖ字状溝Ａ内をＶ字の深さ方向ｘに移動するこ
とによりＶ字状溝の開きＢを変える可動部材及びその可
動部材を移動させるネジ２３を有しており、クサビ機構
を用いた平行度調整手段である点では同一である。

【００３５】しかし、可動部材として、ブラケット２１
のＶ字状溝Ａの溝面２１ａと面接触するクサビではな
く、球体３０が使用されており、この球体３０が球体保
持部材３１に保持され、球体保持部材３１が球体移動ネ
ジ２３と螺合しており、球体移動ネジ２３の回転により
球体保持部材３１がガイド３２に沿って移動する点で異
なっている。

【００３６】このように可動部材として球体３０を使用
することにより、Ｖ字状溝の開きＢの調整をより滑らか
に行うことができ、熱圧着面３ａとステージ面２ａとの
平行度をより正確に調整することが可能となる。

【００３７】また、この平行度調整手段２０Ｂは、ブラ
ケット２１が、上部ブラケット２１ｘと下部ブラケット
２１ｙとからなり、これらが丸シャフト３３を介して接
合している点でも異なっている。即ち、上部ブラケット
２１ｘと下部ブラケット２１ｙとの接合部にはそれぞれ
Ｖ字状小溝Ｇｘ、Ｇｙが対向して設けられ、この対向す
るＶ字状溝Ｇｘ、Ｇｙにより形成される中空部に丸シャ
フト３３が通っている。そして、上部ブラケット２１
ｘ、下部ブラケット２１ｙ及び丸シャフト３３が、図３
の断面図において、丸シャフト３３と、Ｖ字状小溝Ｇ
ｘ、Ｇｙとの合計４点で接し、密着している。このよう
に丸シャフト３３とＶ字状溝Ｇｘ、Ｇｙとを用いて上部
ブラケット２１ｘと下部ブラケット２１ｙとを接合する
ことにより、上部ブラケット２１ｘと下部ブラケット２
１ｙとをベアリングなどを用いて接合した場合に比し
て、ベアリング内部の内輪と外輪との間隙による狂いが
ないので、熱圧着面３ａとステージ面２ａとの平行度を
安定的に正確に調整することが可能となる。

【００３８】また、図３の平行度調整手段２０Ｂのブラ
ケットには、スプリング３４を嵌めた加圧ボルト３５が
設けられ、この加圧ボルト３５により上部ブラケット２
１ｘと下部ブラケット２１ｙとが互いに押し付けられ
る。したがって、この平行度調整手段２０Ｂを用いて熱
圧着面３ａとステージ面２ａとの平行度を調整するため
に、球体３０を移動させてＶ字状溝の開きＢを調整した
後、その開きＢを固定する手段は必要ない。よって、こ
の図３の平行度調整手段２０Ｂには、図２の平行度調整
手段２０Ａの固定用ボルト２８に相当する固定手段が設
けられていない。

【００３９】また、このような平行度調整手段２０Ｂを
熱圧着装置に設ける場合に、平行度調整手段２０Ｂと熱
圧着ヘッド３の位置関係としては、平行度調整手段２０
Ｂの丸シャフト３３の真下方向Ｈ1 に熱圧着面３ａが位
置するように配することが好ましい。これにより、例え
ば、丸シャフト３３から球体３０側に寄った点の真下方
向Ｈ2 に熱圧着面３ａが位置するようにした場合に比し
て、一旦調整したＶ字状溝の開きＢが熱圧着時に変わる
ことなく、より安定的に維持されるようになる。

【００４０】図１に示した熱圧着装置２００には、支持
体４に一つの平行度調整手段２０Ａを設けた例を示した
が、本発明においては、複数の平行度調整手段を併設す
ることができる。例えば、図４に示した熱圧着装置２０
１のように、図１の熱圧着装置２００の支持体４に、図
２の平行度調整手段２０Ａと同様の２つの平行度調整手
段２０Ａ1 、２０Ａ2 を、それらのクサビ２２の移動方
向ｘが直交するように設けることができる。これによ
り、熱圧着面３ａの向きを、互いに直交するβ1方向及
びβ2 方向に回転させることが可能となり、熱圧着面３
ａのステージ面２ａに対する平行をより厳密にとること
が可能となる。

【００４１】支持体４に複数の平行度調整手段を併設す
るにあたり、使用する平行度調整手段は、同種のものを
組み合わせてもよく、異種のものを組み合わせてもよ
い。例えば、図４に示したように、図２の平行度調整手
段２０Ａを２つ組み合わせてもよく、あるいは図３の平
行度調整手段２０Ｂを２つ組み合わせてもよく、図２の
平行度調整手段２０Ａと図３の平行度調整手段２０Ｂと
を組み合わせてもよい。

【００４２】次に、本発明の熱圧着装置のステージに設
ける平行度調整手段について説明する。

【００４３】本発明の熱圧着装置においては、例えば図
１の熱圧着装置２００に示したようように、ステージ２
に、クサビ機構による平行度調整手段６０を設けること
ができる。この平行度調整手段６０は、上述の支持体４
に設ける平行度調整手段と同様のクサビ機構による平行
度調整手段を設けることができ、したがって図２の平行
度調整手段２０Ａや図３の平行度調整手段２０Ｂと同様
のクサビ機構による平行度調整手段を設けることができ
る。ステージの平行度調整手段６０では、支持体の平行
度調整手段に比して、熱圧着ヘッドからの伝熱が問題と
ならないので、したがって、例えば、図２の平行度調整
手段２０Ａのように、ブラケット内に放熱用の空間を広
く形成することは必ずしも必要ではない。

【００４４】また、平行度調整手段６０での熱圧着面３
ａとステージ面２ａとの平行の調整は、ハンドル６１を
適宜回転させることにより、Ｖ字状溝内の可動部材を移
動させ、それによりＶ字状溝の開きＩを変え、ステージ
面２ａをγ方向に回転させることにより行う。

【００４５】平行度調整手段６０をステージ２に設ける
に際しては、支持体４に平行度調整手段を設ける場合と
同様に、ステージ２には単一又は複数の平行度調整手段
を設けることができる。また、複数の平行度調整手段を
設ける場合に使用する平行度調整手段は、同種のもので
も、異種のものでもよい。したがって、例えば、図５に
示したように、図２の平行度調整手段２０Ａと略同様の
２つの平行度調整手段６０Ａ1 及び６０Ａ2 を、そのク
サビの移動方向が互いに直交するように設けることがで
きる。これにより、ステージ面２ａの向きを、互いに直
交するγ1 方向及びγ2 方向に回転させることが可能と
なり、熱圧着面３ａとステージ面２ａとの平行をより厳
密にとることが可能となる。

【００４６】次に、本発明の熱圧着装置に設ける、偏心
カムからなるクランプ機構について詳細に説明する。

【００４７】本発明の熱圧着装置においては、例えば図
１の熱圧着装置２００に示したようように、支持体４の
コの字状保持部４ｈに掛止された熱圧着ヘッド３を締め
付けて固定する手段として、偏心カムからなるクランプ
機構４０を設けることができる。図６（ａ）は、このク
ランプ機構４０付近を正面からみた説明図であり、同図
（ｂ）はクランプ機構４０の構成部材の説明図である。

【００４８】このクランプ機構４０では、支持体４のコ
の字状保持部４ｈに掛止された熱圧着ヘッド３を固定す
るが、ここで熱圧着ヘッド３の掛止方法については図１
２の従来例と同様である。即ち、熱圧着ヘッド３は、そ
の軸方向と直交する方向に回転シャフト９を有し、一
方、支持体４はコの字状保持部４ｈに回転シャフト受け
用孔部４ｉを有し、熱圧着ヘッド３の回転シャフト９が
支持体４のコの字状保持部４ｈの孔部４ｉに嵌入するこ
とにより熱圧着ヘッド３がコの字状保持部４ｈに掛止さ
れる。なお、このように熱圧着ヘッド３を支持体４のコ
の字状保持部４ｈに掛止させるに際しては、図６に示し
たように熱圧着ヘッド３とコの字状保持部４ｈとの間に
断熱材１４を介在させることが好ましい。また、図６に
おいて、１５は熱圧着ヘッド３が内蔵するヒーター８に
接続するヒーター線であり、１６は熱圧着ヘッド３の温
度を測定するための温度センサーである。

【００４９】このようにして支持体４のコの字状保持部
４ｈに掛止された熱圧着ヘッド３を、その掛止状態で熱
圧着面３ａの熱圧着ヘッド３がステージ面２ａに対して
平行となるようにあわせ、次いで、コの字状保持部４ｈ
に掛止された熱圧着ヘッド３を締め付けて平行状態を固
定するために、本発明の熱圧着装置２００には、偏心カ
ム４１、偏心カム４１と着脱可能に取付けらるレバー４
２及び細目ネジ４３、これらレバー４２及び細目ネジ４
３を偏心カム４１に接続する結合部材４４、細目ネジ４
３に螺合するナット４５からなるクランプ機構４０が設
けられている。

【００５０】図７は、この偏心カム４１の拡大図であ
り、同図（ａ）は熱圧着ヘッド３が締め付けられる前の
状態を表しており、同図（ｂ）は熱圧着ヘッド３を締め
付けられ、コの字状保持部４ｈに固定された状態を表し
ている。同図（ａ）に示したように、偏心カム４１は、
断面がカマボコ形状を有している。偏心カム４１の外形
曲線部Ｒ1 の中心Ｏ1 を通る中心線Ｌ1 と、偏心カム４
１とレバー４２との結合部の中心Ｏ2 と通る中心線Ｌ2
とは離れており、両者の距離（即ち、偏心カム４１の外
形曲線部Ｒ1 の中心Ｏ1 の結合部の中心Ｏ2 からの偏心
量Ｓ）は、通常０．１〜１．０ｍｍ程度とされる。ま
た、偏心カム４１の側壁４１ａとコの字状保持部４ｈと
の間には隙間Ｔが設けられている。

【００５１】そこで、熱圧着面３ａとステージ面２ａと
の平行を調整し、その平行状態を固定する方法として
は、まず、図７（ａ）の状態で熱圧着ヘッド３を下げて
熱圧着面３ａをステージ面２ａに軽く押圧させ、両者の
平行をとり、次いで、レバー４２を矢印のように１８０
°回し、偏心カム４１を回転させて同図（ｂ）の状態と
する。同図（ｂ）においては、偏心カム４１の側壁とコ
の字状保持部４ｈとの間の隙間Ｔはなくなり、偏心カム
４１の側壁４１ｂがコの字状保持部４ｈに密着し、コの
字状保持部４ｈを強く押圧する。したがって、コの字状
保持部４ｈに掛止された熱圧着ヘッド３が締め付けら
れ、当初の熱圧着面３ａとステージ面２ａとの平行度が
固定される。またこの場合、偏心カム４１を回転させる
ときの回転モーメントは、細目ネジ４３の軸方向を中心
とする回転モーメントではないので、図１１に示した従
来例のように支持体４が回転することはない。したがっ
て、一旦設定した熱圧着面３ａの平行度が狂うことを防
止できる。

【００５２】このような熱圧着ヘッド３の固定時の熱圧
着ヘッド３の締め付け力は、熱圧着ヘッド３を締め付け
る前の図７（ａ）の状態における偏心カム４１の側壁４
１ａとコの字状保持部４ｈとの間の隙間Ｔの大きさや偏
心量Ｓに応じて異なる。また、適切な締め付け力は、コ
の字状保持部４ｈが挟持する熱圧着ヘッド３や断熱材１
４の厚み寸法のばらつきなどにもよるが、例えば、偏心
量０．５ｍｍの偏心カムを使用する場合、偏心カム４１
の側壁４１ａとコの字状保持部４ｈとの間の隙間Ｔは、
通常、０．１〜０．２ｍｍ程度とすることが好ましい。

【００５３】このような偏心カムからなるクランプ機構
４０を使用する場合に、熱圧着ヘッド３の固定前に熱圧
着面３ａのステージ面２ａに対する平行を調整する方法
としては、上述のように図７（ａ）の状態で調整する
他、図８（ａ）に示したように、偏心カム４１の側壁が
比較的弱い押圧力（例えば、約５０ｋｇ／ｃｍ²程度）
でコの字状保持部４ｈを押圧するようにし、その状態で
熱圧着ヘッド３を下げて熱圧着面３ａをステージ面２ａ
に押し付け、それをそのまま引き上げることによっても
よい。このようにして熱圧着面３ａとステージ面２ａと
の平行をとった後は、図７（ｂ）で説明した場合と同様
に、レバー４２を回して回転カム４１を回転させ、偏心
カム４１の側壁がコの字状保持部４ｈを強く押圧し、そ
れによって熱圧着面が固定されるようにしてもよい（図
８（ｂ））。

【００５４】以上、本発明の熱圧着装置を図１に示した
装置２００を中心にして説明したが、本発明の熱圧着装
置はこれに限られない。例えば、図１の熱圧着装置２０
０には、支持体４及びステージ２の双方にクサビ機構に
よる平行度調整手段２０Ａ、６０が設けられ、また、熱
圧着ヘッド３と支持体４とは偏心カムからなるクランプ
機構４０で接続されているが、支持体の平行度調整手段
２０Ａ、ステージの平行度調整手段６０及び偏心カムか
らなるクランプ機構４０のいずれか一つを熱圧着装置に
備えた場合でも、従来の熱圧着装置に比して、熱圧着面
３ａとステージ面２ａとの平行度を正確に調整すること
が可能となる。

【００５５】また、本発明の熱圧着装置は、複数の熱圧
着ヘッドを並列させて複数の被圧着体を同時に加熱加圧
する、所謂マルチヘッドタイプの熱圧着装置としても構
成することができる。例えば、図９は、６つの熱圧着ヘ
ッド３が、それぞれ支持体４に接続されている６連の熱
圧着ヘッドを有する熱圧着装置を偏心カム４１側からみ
た正面図であるが、同図に示したように、各熱圧着ヘッ
ド３と支持体４とをそれぞれ偏心カムからなるクランプ
機構４０で接続することができる。これにより、各熱圧
着ヘッド３の熱圧着面３ａを、図中矢印で示した回転方
向に正確に微調整してステージ面との平行をとることが
可能となる。

【００５６】また、本発明において、支持体又はステー
ジにクサビ機構による平行度調整手段を設ける点、又は
熱圧着ヘッドの支持体への固定を、偏心カムによるクラ
ンプ機構により行う点の他は、従来の熱圧着装置と同様
に構成することができる。例えば、上述の例では、熱圧
着ヘッド３として、一つのヒーター８を内蔵するものが
図示されているが、加熱時の温度分布を均一化するため
に、加熱ヘッドには複数のヒーターを内蔵させてもよ
い。

【００５７】本発明の熱圧着装置は、種々の被圧着体の
加熱加圧装置として使用することができ、特に、熱圧着
面とステージ面との平行度を厳密に調整することが必要
とされる場合の熱圧着装置として有用である。例えば、
液晶パネルとＴＡＢとを異方性導電性接着剤シートを介
して仮圧着したものを被圧着体とし、この被圧着体を熱
圧着ヘッドで加熱加圧して液晶パネルとＴＡＢとを本圧
着する場合、液晶パネルとＩＣとを接続する場合、リジ
ッド又はフィルム状基板とＴＡＢとを接続する場合、リ
ジッド又はフィルム状基板にＩＣを実装する場合、その
他種々の回路基板へ半導体素子を実装する等のための装
置として有用であるが、特に、液晶パネルとＴＡＢとを
異方性導電性接着剤シート（ＡＣＦ）を介して仮圧着し
たものを本圧着する場合の装置として有用である。

【００５８】

【発明の効果】本発明によれば、液晶パネルと異方性導
電性接着剤シートとＴＡＢとの仮圧着体などを被圧着体
とする熱圧着装置において、熱圧着面とステージ面との
平行度を厳密に調整することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の熱圧着装置の斜視図である。

【図２】本発明の熱圧着装置に使用する平行度調整手段
の斜視図（同図（ａ））及び断面図（同図（ｂ））であ
る。

【図３】本発明の熱圧着装置に使用する平行度調整手段
の断面図である。

【図４】本発明の熱圧着装置の斜視図である。

【図５】本発明の熱圧着装置に使用するステージの斜視
図である。

【図６】本発明の熱圧着装置に使用するクランプ機構の
正面説明図（同図（ａ））及び構成部材の説明図（同図
（ｂ））である。

【図７】本発明の熱圧着装置に使用するクランプ機構の
偏心カムの付近の拡大説明図である。

【図８】本発明の熱圧着装置に使用するクランプ機構の
説明図である。

【図９】６連の熱圧着ヘッドを有する本発明の熱圧着装
置の熱圧着ヘッド付近の正面図である。

【図１０】従来の熱圧着装置の斜視図である。

【図１１】従来の熱圧着装置の斜視図である。

【図１２】従来の熱圧着装置の熱圧着ヘッド付近の側面
図である。

【図１３】従来の熱圧着装置の熱圧着ヘッド付近の正面
図である。

【符号の説明】

１被圧着体２ステージ２ａステージ面３熱圧着ヘッド３ａ熱圧着面４支持体４ｈコの字状保持部４ｉ孔部８ヒ−ター９回転シャフト２０Ａ、２０Ｂ平行度調節手段２１ブラケット２１ｘ上部ブラケット２１ｙ下部ブラケット２２クサビ２３クサビ移動ネジ２６ハンドル２７当て板２８固定用ボルト３０球体３１球体保持部材３３丸シャフト３４スプリング３５加圧ボルト４０偏心カムからなるクランプ機構４１偏心カム４２レバー４３細目ネジ６０、６０Ａ1 、６０Ａ2 平行度調整手段２００熱圧着装置２０１熱圧着装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被圧着体を載置するステージ、ステージ
に載置した被圧着体を加熱加圧する熱圧着ヘッド及び熱
圧着ヘッドを支持する支持体を有する熱圧着装置におい
て、熱圧着ヘッドの熱圧着面とステージ面との平行度を
クサビ機構により微調整する平行度調整手段が、支持体
に設けられていることを特徴とする熱圧着装置。
【請求項２】平行度調整手段が、Ｖ字状溝を有するブ
ラケットと、そのＶ字状溝内をＶ字の深さ方向に移動す
ることによりＶ字状溝の開きを変える可動部材と、可動
部材に螺合して可動部材をＶ字の深さ方向に移動させる
可動部材移動ネジとからなり、該可動部材移動ネジが、
Ｖ字状溝を有するブラケットに接触することなく設けら
れている請求項１記載の熱圧着装置。
【請求項３】可動部材が、ブラケットのＶ字状溝の溝
面と面接触するクサビであり、Ｖ字状溝の開き度合いを
固定する固定手段が設けられている請求項２記載の熱圧
着装置。
【請求項４】可動部材が、ブラケットのＶ字状溝の溝
面と点接触する球体と、その球体を保持し、可動部材移
動ネジに螺合している球体保持部材からなる請求項２記
載の熱圧着装置。
【請求項５】Ｖ字状溝を有するブラケットが、Ｖ字状
溝の一方の溝面を構成する上部ブラケットと、Ｖ字状溝
の他方の溝面を構成する下部ブラケットと、上部ブラケ
ットと下部ブラケットとを互いに押し付ける加圧ボルト
とを有し、上部ブラケットと下部ブラケットとの接合部
には、上部ブラケットと下部ブラケットとのそれぞれに
Ｖ字状小溝が対向して設けられ、この対向するＶ字状小
溝から形成される中空部に丸シャフトが通っている請求
項２記載の熱圧着装置。
【請求項６】被圧着体が、液晶パネルとＴＡＢとの異
方性導電性接着剤シートによる仮圧着体である請求項１
〜５のいずれかに記載の熱圧着装置。
【請求項７】被圧着体を載置するステージ、ステージ
に載置した被圧着体を加熱加圧する熱圧着ヘッド及び熱
圧着ヘッドを支持する支持体を有する熱圧着装置におい
て、熱圧着ヘッドの熱圧着面とステージ面との平行度を
クサビ機構により微調整する平行度調整手段が、ステー
ジに設けられていることを特徴とする熱圧着装置。
【請求項８】被圧着体が、液晶パネルとＴＡＢとの異
方性導電性接着剤シートによる仮圧着体である請求項７
記載の熱圧着装置。
【請求項９】被圧着体を載置するステージ、ステージ
に載置した被圧着体を加熱加圧する熱圧着ヘッド及び熱
圧着ヘッドを支持する支持体を有する熱圧着装置におい
て、支持体が熱圧着ヘッドを掛止するコの字状保持部を
有し、該コの字状保持部には、そこに掛止されている熱
圧着ヘッドを締め付けてコの字状保持部に固定する、偏
心カムからなるクランプ機構が設けられていることを特
徴とする熱圧着装置。
【請求項１０】被圧着体が、液晶パネルとＴＡＢとの
異方性導電性接着剤シートによる仮圧着体である請求項
９記載の熱圧着装置。