JPH09159431A - 偏心量測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 偏心量の測定には、変位センサを用いると複
雑な機構が必要であり、画像処理を用いると測定値が安
定しないという課題があった。 【解決手段】 被定物１００は測定物固定台１１０に保
持されている。円錐状凸部１５０ａを形成した検出子１
５０を有する測定ロッド１４０は、基準軸１０１に対し
自由に傾動可能な支持部１３０で測定台１２０に取付け
られている。被測定物１００の軸心と中立機構１７０に
より中立状態を保つ測定ロッド１４０の軸心とはそれぞ
れ基準軸１０１に一致している。測定台１２０を測定物
固定台１１０に近づけ、検出子１５０を被測定物１００
の貫通穴１００ａに係合させた時、検出子１５０が貫通
穴１００ａの中心に向かって変位して生ずる測定ロッド
１４０の基準軸１０１に対する傾動量を傾動量測定手段
１６０で測定し、偏心量算出手段１８０によって偏心量
を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物に設けら
れた穴や突起などの、基準軸に対する偏心量を測定する
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】おおまかな形状が基準軸を中心とした回
転体である部品、例えば円柱の組み合わせでおおまかな
形状を構成できる軸部品などに設けられた穴あるいは突
起が、部品の基準軸を中心とした回転によっても位置を
変えないためには、部品の基準軸と穴あるいは突起の中
心とが一致していなければならない。また、所定の偏心
量を有する穴又は突起を形成した部品もある。このよう
な部品を生産する場合、基準軸と穴や突起の中心とのズ
レである偏心量を測定し、偏心量が所定の範囲内である
部品だけを合格とするなどの管理が行なわれている。

【０００３】偏心量を測定しようとする場合、被測定物
をその基準軸を中心として回転させ、穴の縁や突起の側
面の近傍に固定した変位センサで偏心の基準となる軸と
穴の縁や突起の側面との距離の変化を測定することで穴
や突起の偏心量を知ることができる。

【０００４】例えば円形の穴や円柱状の突起では、基準
軸を中心として被測定物を回転させた時の穴の縁あるい
は突起の側面と基準軸との距離の最大値と最小値との差
の２分の１が穴あるいは突起の偏心量である。

【０００５】また、被測定物を固定したまま、変位セン
サを穴の縁や突起の側面の近傍で基準軸を中心として回
転させ、穴の縁や突起の側面と基準軸との距離の変化を
測定することから穴あるいは突起の偏心量を知ることが
できる。

【０００６】被測定物あるいは変位センサを回転させず
に穴や突起の偏心量を知るために、視覚センサと画像処
理装置とを用いる方法がある。この方法では、まず視覚
センサの視野内に穴や突起の外形が全て収まると同時に
視覚センサの光軸と基準軸とが平行となるように視覚セ
ンサを固定し、穴あるいは突起の外形の画像を得る。次
に、この穴あるいは突起の外形の画像の位置と、穴ある
いは突起の偏心量が０である時の穴あるいは突起の画像
の位置との差を画像処理装置により算出して偏心量を知
ることができる。例えばパイプ状の部品の穴と外形との
偏心量は、パイプ状の部品の端面の穴を含む外形全体の
画像の重心と穴の重心との差が偏心量である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
被測定物あるいは変位センサを回転させて偏心量を測定
する方法では、被測定物あるいは変位センサは、基準軸
中心として少なくとも１回転する必要があるため、測定
に時間がかかる上に被測定物あるいは変位センサを基準
軸を中心として回転させるための複雑な機構を必要とす
るという課題がある。

【０００８】また、視覚センサと画像処理を用いる方法
では、穴の中心軸が基準軸と平行である貫通穴の場合は
明瞭な穴の画像を得る条件を整え易いのだが、貫通穴で
あっても穴の中心軸が基準軸と平行でない場合や非貫通
穴や突起の場合は、被測定物の色や表面状態の影響を受
けるので穴や突起の外形の明瞭な画像を得る条件を整え
るのが困難である。穴や突起の明瞭な画像を得るための
条件が整えられなければ、明瞭な画像が得られず測定結
果が不安定となり精密な測定が困難になるという課題が
あった。

【０００９】これらの課題を解決するため、本発明の目
的は、複雑な機構を必要とせず短時間で偏心量を測定で
き、非貫通穴や突起であっても安定した測定結果が得ら
れる偏心量測定装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の構成の内請求項１記載の発明では、一端に
穴あるいは突起を形成して中心軸を有する被測定物を被
測定物保持手段に保持し、前記穴あるいは突起に検出端
子を当接させて前記中心軸に対する前記穴あるいは突起
の偏心量を測定する偏心量測定装置において、前記被測
定物保持手段に対して接近あるいは離反するように移動
する測定台と、該測定台に支持された球状部並びに前記
被測定物の穴あるいは突起に係合する凸部あるいは凹部
を形成した検出端子を有する測定ロッドと、前記測定ロ
ッドの傾動量を測定する傾動量測定手段と、前記傾動量
から前記偏心量を得る偏心量算出手段とから構成され、
前記測定台が移動して前記検出端子が前記被測定物保持
手段に保持した前記被測定物に当接した時の前記測定ロ
ッドの傾動量から前記被測定物の中心軸に対する前記偏
心量を得ることを特徴とする。

【００１１】また、請求項２記載の発明は請求項１記載
の発明の内、前記測定ロッドが前記球状部を中心に傾動
して傾動の中立位置から外れた時に、前記測定ロッドを
前記中立位置に一致させる方向に力を発生する中立機構
を有することを特徴とする。

【００１２】また、請求項３記載の発明は請求項２記載
の発明の内、前記中立機構は、前記被測定物保持手段に
設けた付勢手段と前記測定ロッドに設けた前記付勢手段
の係合部とから構成されることを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき説明する。図１は本発明による偏心量測定装置
の実施の形態の一つを示す断面図、図２は図１の内の傾
動量測定手段の詳細を示す斜視図、図３は図１の内の中
立機構の詳細を示す斜視図である。

【００１４】まず、本発明による偏心量測定装置の構成
について説明する。図１において、１００は軸部品であ
る被測定物であり、貫通穴１００ａを有している。この
貫通穴１００ａには、貫通穴１００ａの内面に接し、被
測定物１００と軸心を同一にする別の軸部品が挿入され
るため、貫通穴１００ａの偏心量は非常に小さいもので
なければならない。１０１は測定の基準となる基準軸で
ある。

【００１５】チャック１１１とチャック台１１２とチャ
ック押さえ板１１３とチャック固定ねじ１１４とは被測
定物保持手段である測定物固定台１１０を構成する。チ
ャック台１１２はチャック１１１と係合する凹部にチャ
ック１１１を係合させてチャック１１１の位置を決め、
チャック押さえ板１１３とチャック固定ねじ１１４とで
チャック１１１を固定する。

【００１６】測定物固定台１１０は、被測定物１００の
軸心と基準軸１０１とを一致させて被測定物１００を保
持し、また、チャック１１１とチャック台１１２は分離
可能であり、被測定物１００を別の形状の部品に変更し
た場合に、部品形状に合わせたチャックに変更すること
で部品変更に対応する。

【００１７】測定台１２０は、測定物固定台１１０に対
して、図中見えない位置にある直動軸受で基準軸１０１
と平行に上下動するように支えられ、間欠駆動可能なカ
ムによって上下動し、測定物固定台に対して接近または
離反するように移動する。

【００１８】測定台１２０の下部には、後述する測定ロ
ッド１４０を支持する支持部１３０があり、この支持部
１３０は下側受け１３２と上側受け１３３とその外側の
受け板１３４とバネ座金１３５と固定ねじ１３１で構成
される。測定ロッド１４０の構成要素である球状部材１
４１は、下側受け１３２と上側受け１３３との双方に設
けられた円錐状の斜面を有する凹部で挟まれ、下側受け
１３２はばね座金１３５を介して固定ねじ１３１で上側
受け１３３に固定される受け板１３４で保持されてい
る。

【００１９】測定ロッド１４０の前記支持部１３０で
は、上側受け１３３と下側受け１３４の間に挟まれたば
ね座金１３５の反発力によって固定ねじ１３１の固定力
を得ることができるので、固定ねじ１３１の締め加減に
より遊びはないが強く締めつけないという所望の締め加
減を得ることができ、その状態を維持できる。したがっ
て、測定ロッド１４０は測定台１２０に対してどちらの
方向にも自由に傾動できる。

【００２０】球状部材１４１は中心を通る貫通穴を有
し、この貫通穴の両側にそれぞれ棒状部材である延長軸
１４３と検出子固定軸１４２とを螺合して測定ロッド１
４０を構成している。

【００２１】検出子１５０は棒状の部材で、その一端は
円錐状凸部１５０ａであり、他端は検出子固定軸１４２
に取付けられている。また、検出子１５０の円錐状凸部
１５０ａは被測定物１００の貫通穴１００ａと係合する
形状である。

【００２２】図１および図２において、センサ板１６１
とＸ軸センサ１６２とＹ軸センサ１６３とで傾動量測定
手段１６０を構成する。センサ板１６１はおおむね十字
型の形状であって、互いに直角な４つの腕１６１ａと中
心にセンサ板１６１を延長軸１４３に取付けるための貫
通穴を有する凸部を持つ。

【００２３】センサ板１６１の４つの腕の先端は上方に
向かって直角に曲げられて測定ロッド１４０の中心と平
行な平面部１６１ｂを有している。この平面部１６１ｂ
は、Ｘ軸センサ１６２およびＹ軸センサ１６３がセンサ
板１６１の腕１６１ａとの距離を測定する感度を維持す
るために設けられている。測定に係わるセンサーが２つ
であるから腕１６１ａは２本あれば十分だが、工作上の
便を図って対称形としたため腕の数は４本となってい
る。

【００２４】Ｘ軸センサ１６２の軸心とＹ軸センサ１６
３の軸心とは互いに直角であり、また、Ｘ軸センサ１６
２の軸心とＹ軸センサ１６３の軸心はそれぞれ基準軸１
０１と直角である。さらに、Ｘ軸センサ１６２およびＹ
軸センサ１６３はセンサ板１６１に近接し、延長軸１４
３に取付けられたセンサ板１６１とＸ軸センサ１６２お
よびＹ軸センサ１６３先端との距離が測定できる位置で
保持部材１６５を介して測定台１２０に固定されてい
る。

【００２５】図１および図３において、８本の線バネ１
７２からなる付勢手段とこの付勢手段が係合する係合部
であるバネ受け板１７１とは中立機構１７０の構成要素
である。基準軸１０１を中心とした円周を８等分した等
ピッチの位置で、線バネ１７２が基準軸１０１に平行に
なるように線バネ１７２の一端を測定台１２０に固定す
る。バネ受け板１７１の外周には線バネ１７２を係合さ
せる凹部であるバネ受け溝１７１ａを設けている。バネ
受け溝１７１ａと基準軸１０１との距離は、線バネ１７
２の取付け位置と基準軸１０１との距離よりやや大き
く、８本の線バネ１７２は自由端を開いた形となる。

【００２６】８本の線バネ１７２は自由端を開いた形と
なるため、それぞれがバネ受け板１７２に対してバネ受
け板１７２を基準軸１０１の方向に押しつける力を与え
ている。また、８本の線バネ１７２のそれぞれがバネ受
け溝１７１ａに係合しているので、中立機構１７０は測
定ロッド１４０の軸心を中立位置となる基準軸１０１と
一致させるとともに、測定ロッド１４０自身の軸心を中
心とした回転を止めている。

【００２７】図１において、偏心量算出手段１８０は２
つの入力部１８１および１８２と後述する算出式数８を
組み込まれた演算部１８３とで構成される。入力部１８
１はＸ軸センサ１６２からの出力ＤＸを数値に変換し、
同様に入力部１８２はＹ軸センサ１６３からの出力ＤＹ
を数値に変換する。演算部１８３は数値に変換された２
つのセンサからの出力ＤＸおよびＤＹより、後述する算
出式数８を用いて被測定物１００の有する貫通穴１００
ａの偏心量Ｅを算出して出力する。

【００２８】次に、本発明による偏心量測定装置の動作
について説明する。図１において、測定台１２０は上方
に移動しており、この状態で測定済みの被測定物があれ
ばそれを取り去り、偏心量を測定しようとする被測定物
１００を測定物固定台１１０のチャック１１１に取付け
て保持することで、被測定物１００の軸心と基準軸１０
１とを一致させる。

【００２９】測定台１２０が上方にあって、検出子１５
０がどこにも触れていない時、中立機構１７０によって
測定ロッド１４０は基準軸１０１に一致している。この
状態で得られるセンサ板１６１とＸ軸センサ１６２の先
端との距離をＤＸ０、センサ板１６１とＹ軸センサ１６
３の先端との距離をＤＹ０とする。

【００３０】図４において、測定台１２０が下方に移動
して検出子１５０が測定物固定台１１０に保持した被測
定物１００に当接した時、検出子１５０は被測定物１０
０の有する貫通穴１００ａに係合しながら、円錐状凸部
１５０ａ斜面と貫通穴１００ａ端面との作用により検出
子１５０は貫通穴１００ａの中心に向かって変位する。
球状部材１４１の中心は基準軸１０１の上にあるから、
貫通穴１００ａの偏心による検出子１５０の変位の量に
応じて測定ロッド１４０が基準軸１０１に対して傾動す
る。なお、測定台１２０の測定ロッド１４０の支持部１
３０を含んで上下動する部分には、検出子１５０から被
測定物１００にかかる測定圧を適正に維持するための図
示しない調整機構が働いている。

【００３１】測定ロッド１４０が傾動すれば、測定ロッ
ドに取付けられたセンサ板１６１が変位する。この時の
センサ板１６１とＸ軸センサ１６２の先端との距離をＤ
Ｘ、センサ板１６１とＹ軸センサ１６３の先端との距離
をＤＹとすると、センサ板１６１の基準軸１０１に対す
る変位量Ｈは数１より得られる。

【００３２】

【数１】

【００３３】図５から図７は本発明による偏心量測定装
置の検出子１５０の変位とセンサ板１６１の変位との関
係を示す説明図である。図５において、検出子１５０の
基準軸１０１に垂直な方向の変位をＥ、センサ板１６１
の基準軸１０１に垂直な方向の変位をＨ、検出子１５０
の先端から球状部材１４１の中心までの距離をＬ１、球
状部材１４１からセンサ板１６１の先端までの基準軸１
０１に平行な方向の距離をＬ２、球状部材１４１からセ
ンサ板１６１の先端までの基準軸１０１に垂直な方向の
距離をＬ３とする。

【００３４】図６は、図５から幾何学的な関係だけを抜
き出したものである。図６において中立位置の検出子１
５０の先端をＳ、球状部材１４１の中心をＯ、センサ板
１６１の先端をＡ、センサ板１６１の取付け位置をＴと
すれば、測定ロッド１４０は直線ＴＯＳである。

【００３５】変位Ｅによる測定ロッド１４０の傾動量は
θである。変位後の検出子１５０の先端をＳ’とすれ
ば、θは角ＳＯＳ’である。Ｓ’から直線ＴＯＳに垂線
を下ろせばθは数２の式で表される。

【００３６】

【数２】

【００３７】変位Ｅによってセンサ板１６１の先端Ａは
Ｂの位置に変位する。傾動量測定手段を構成する２つの
近接センサであるＸ軸センサ１６２およびＹ軸センサ１
６３で測定できるのは基準軸１０１に垂直な方向の変位
であるから、変位ＡＢの基準軸１０１に垂直な方向の変
位を変位Ｈとして検出子１５０の変位Ｅと変位Ｈとの関
係を説明する。

【００３８】図７は、図６より三角形ＡＯＢおよび三角
形ＡＯＴの部分を抜き出したものである。図７におい
て、三角形ＡＯＢは二等辺三角形であるから角ＢＡＯは
（９０度−θ／２）である。従って、角ＢＡＴはＰ−θ
／２であり、図７の幾何学的関係より、変位Ｈ、角Ｐお
よび、変位ＡＢの長さであるＧは数３の式で表される。

【００３９】

【数３】

【００４０】ところで、本発明の実施の形態では被測定
物の偏心量は１０μｍのオーダーであり、また部品寸法
であるＬ１、Ｌ２、Ｌ３は数１０ｍｍのオーダーであ
る。つまり、Ｅ／Ｌ１は数百分の一のオーダーの微少量
となって数４に示す近似式が利用できる。

【００４１】

【数４】

【００４２】数４の近似式を利用して数２及び数３の式
を整理すれば数５の形になる。

【００４３】

【数５】

【００４４】数５の第一項のｃｏｓＰは三角形ＡＯＴの
三辺の長さの関係より数６で表される。また、数５の第
二項には数百分の一のオーダーの微少量であるＥ／Ｌ１
の二乗が含まれるのでこれを無視して整理すれば、変位
Ｅと変位Ｈとの関係は数７の形になる。

【００４５】

【数６】

【００４６】

【数７】

【００４７】数１に数７を代入すればＸ軸センサ１６２
およびＹ軸センサ１６３で測定したセンサ板１６１の変
位量ＤＸ０、ＤＸ、およびＤＹ０、ＤＹから検出子１５
０の変位量Ｅを求める数８の式が得られる。

【００４８】

【数８】

【００４９】偏心量算出手段１８０の演算部１８３には
前述の数８０が組み込まれており、Ｘ軸センサ１６２お
よびＹ軸センサ１６３で測定したセンサ板１６１の変位
量から検出子１５０の先端の変位量Ｅを得ることができ
る。この変位量Ｅは被測定物１００の穴１００ａの偏心
量と略等しいので、本発明による偏心量測定装置は被測
定物１００の穴１００ａの偏心量を測定できる。

【００５０】図８は、本発明による偏心量測定装置の他
の実施の形態であり、被測定物の突起の偏心を測定する
場合を示す断面図である。図８において、被測定物８０
０は一方の面に突起である軸部８００ａを有する円盤で
あり、円盤部の中心と軸部８００ａの軸心とが高精度に
一致していなければならない部品である。

【００５１】前述した、被測定物１００の有する貫通穴
１００ａに円錐状凸部１５０ａを持つ検出子１５０を係
合させる場合と同様に、円錐状凹部８５０ａを持つ検出
子８５０を軸部８００ａに係合させることで、検出子８
５０は円錐状凹部８５０ａ斜面と軸部８００ａ端面との
作用により検出子８５０は軸部８００ａの中心に向かっ
て変位する。従って測定ロッド１４０が偏心量に応じて
傾動するので被測定物８００の中心軸に対する軸部８０
０ａの偏心を測定できる。なお、被測定物の先端部の検
出子と係合する部位の形状によっては検出子の凹部の形
状は必ずしも円錐形状に限られない。

【００５２】なお、以上の実施の形態では被測定物は固
定されており、そのために測定に先立ち予め偏心の無い
サンプルで較正することが必要だが、被測定物はこれを
保持したチャックを公知の手段で回転させるように構成
することもできる。この場合にはサンプルによる較正は
不要となり、測定ロッドの傾動量を被測定物１回転分連
続測定して、偏心量を求めればよい。この場合には予め
被測定物の中心軸と測定ロッドの中立位置とを必ずしも
厳密に一致させる必要がない。

【００５３】図９はこのような偏心量測定装置の実施の
形態の一つを示し、ここで被測定物保持手段は、把持し
た被測定物を被測定物の軸心を中心として回転させるこ
とのできる把持機構となっている。図９において、ベー
ス９０１とベアリング９０２および９０３とベルト車９
０４とベルト９０５とチャック９１１と回転軸９１２と
チャック押さえ板１１３とチャック固定ねじ１１４とは
測定物把持機構９１０を構成する。

【００５４】チャック９１１は回転軸９１２の上部に設
けられた凹部に係合し、チャック押さえ板９１３とチャ
ック固定ねじ９１４とで回転軸９１２に固定される。回
転軸９１２はベアリング９０２および９０３を介してベ
ース９０１に固定されるので回転軸９１２は回転軸９１
２の軸心を中心として回転できる。また、回転軸９１２
の下部にはベルト車９０４が取付けられ、図中見えない
位置にある原動機によってベルト９０５を介して回転力
が伝えられる。

【００５５】回転軸９１２の軸心とチャック９１１の軸
心とは基準軸１０１に一致させてある。チャック９１１
の上部には被測定物９００に係合する凹部が設けられて
いるので、チャック９１１で被測定物９００を把持すれ
ば被測定物の軸心と基準軸とが一致した状態で保持され
るとともに、基準軸９１２を回転させることにより、チ
ャック９１１に把持した被測定物９００は基準軸１０１
を中心として回転する。

【００５６】測定台１２０を回転する被測定物９００に
近付けて、検出子１５０が回転する被測定物９００に当
接した時、検出子１５０は被測定物９００の有する貫通
穴９００ａに係合して、円錐状斜面と穴との作用により
検出子１５０は貫通穴９００ａの中心に向かって変位
し、前述の図４で説明したように、検出子１５０の変位
によって測定ロッド１５０が傾動する。

【００５７】前述の図１および図２で説明した傾動量測
定手段１６０によって測定ロッド１５０の傾動量を測定
できる。ただし、回転する被測定物９００の偏心量を得
るためにはＸ軸センサ１６２の出力ＤＸあるいはＹ軸セ
ンサ１６３の出力ＤＹのどちらか一方があればよい。

【００５８】出力ＤＸで代表して説明する。測定ロッド
１５０の傾動する方向は被測定物９００の回転に応じて
変化するため、出力ＤＸも被測定物９００の回転に応じ
て変化する。この出力ＤＸの変化の最大値をＤ１最小値
をＤ２とすれば、図５に示した寸法より数９の式によっ
て検出子１５０先端の変位量Ｅ、即ち被測定物９００の
貫通穴９００ａの偏心量を測定することができる。

【００５９】

【数９】

【００６０】

【発明の効果】以上のように本発明による偏心量測定装
置によれば、被測定物の穴あるいは突起に係合する円錐
状凸部あるいは円錐状凹部を有する検出子を測定ロッド
に取付け、検出子が偏心のある被測定物の穴あるいは突
起に係合した時に生ずる変位を測定ロッドの傾動とし、
測定ロッドの傾動量を測定することから被測定物の穴あ
るいは突起の偏心量を測定するので、複雑な機構を必要
とせず短時間で偏心量を測定でき、非貫通穴や突起であ
っても安定した測定結果が得られ、特に迅速な選別作業
に好適である。

【００６１】また、本発明による偏心量測定装置には中
立機構を有するので、測定ロッドが自由状態の時に測定
ロッドの軸心と基準軸とを一致させ、測定に当たり検出
子と被測定物との係合が外れることはない。

【００６２】また、本発明による偏心量測定装置には中
立機構は測定ロッドの係合部に係合する付勢手段を設け
たので、測定ロッド自身の軸心を中心とした回転を止め
て検出子先端の振れなどで生ずる測定誤差を回避するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による偏心量測定装置の実施の形態を示
す断面図である。

【図２】本発明による偏心量測定装置の傾動量測定手段
の詳細を示す斜視図である。

【図３】本発明による偏心量測定装置の中立機構の詳細
を示す斜視図である。

【図４】本発明による偏心量測定装置の偏心量測定装置
の動作を示す説明図である。

【図５】本発明による偏心量測定装置の測定の原理を示
す説明図である。

【図６】本発明による偏心量測定装置の測定の原理を示
し、幾何学的な関係を抜き出した説明図である。

【図７】本発明による偏心量測定装置の測定の原理を示
し、幾何学的な関係の詳細を示す説明図である。

【図８】本発明による偏心量測定装置の他の実施の形態
を示し、被測定物の突起の偏心を測定する場合を示す断
面図である。

【図９】本発明による偏心量測定装置の他の実施の形態
を示し、被測定物を回転させて偏心量を測定する場合を
示す断面図である。

【符号の説明】

１００、８００ 被測定物 １０１ 基準軸 １１０ 測定物固定台 １２０ 測定台 １３０ 支持部 １４０ 測定ロッド １４１ 球状部材 １５０、８５０ 検出子 １５０ａ 円錐状凸部 １６０ 傾動量測定手段 １７０ 中立機構 １７１ バネ受け板 １７２ 線バネ １８０ 偏心量算出手段 ８５０ａ 円錐状凹部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一端に穴あるいは突起を形成して中心軸
   を有する被測定物を被測定物保持手段に保持し、前記穴
   あるいは突起に検出端子を当接させて前記中心軸に対す
   る前記穴あるいは突起の偏心量を測定する偏心量測定装
   置において、前記被測定物保持手段に対して接近あるい
   は離反するように移動する測定台と、該測定台に支持さ
   れた球状部並びに前記被測定物の穴あるいは突起に係合
   する凸部あるいは凹部を形成した検出端子を有する測定
   ロッドと、前記測定ロッドの傾動量を測定する傾動量測
   定手段と、前記傾動量から前記偏心量を得る偏心量算出
   手段とから構成され、前記測定台が移動して前記検出端
   子が前記被測定物保持手段に保持した前記被測定物に当
   接した時の前記測定ロッドの傾動量から前記被測定物の
   中心軸に対する前記偏心量を得ることを特徴とする偏心
   量測定装置。
2. 【請求項２】 前記測定ロッドが前記球状部を中心に傾
   動して傾動の中立位置から外れた時に、前記測定ロッド
   を前記中立位置に一致させる方向に力を発生する中立機
   構を有することを特徴とする請求項１記載の偏心量測定
   装置。
3. 【請求項３】 前記中立機構は、前記被測定物保持手段
   に設けた付勢手段と前記測定ロッドに設けた前記付勢手
   段の係合部とから構成されることを特徴とする請求項２
   記載の偏心量測定装置。